JP2011216788A - 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1基板を保持する第1ステージと、第1ステージに対向して配され、第2基板を保持する第2ステージと、第2ステージに保持された第2基板の表面を観察する第1顕微鏡と、第1ステージに保持された第1基板の表面を観察する第2顕微鏡と、第1ステージおよび第2ステージの少なくとも一方を他方に対して移動する移動機構と、第1顕微鏡の焦点面と第2基板の表面とを合致させた位置、および、第2顕微鏡の焦点面と第1基板の表面とを合致させた位置、に基づいて、第1ステージに保持された第1基板の表面と第2ステージに保持された第2基板の表面との間隔を算出する算出部とを備える基板貼り合わせ装置が提供される。
【選択図】図2
Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1]特開2009−231671号公報
SL=Σi(ZLi−(YLiθx−XLiθy+Zc))2
SU=Σi(ZUi−(−YUiθx+XUiθy−Zc))2
Claims (16)
- 第1基板を保持する第1ステージと、
前記第1ステージに対向して配され、第2基板を保持する第2ステージと、
前記第2ステージに保持された前記第2基板の表面を観察する第1顕微鏡と、
前記第1ステージに保持された前記第1基板の表面を観察する第2顕微鏡と、
前記第1ステージおよび前記第2ステージの少なくとも一方を他方に対して移動する移動機構と、
前記第1顕微鏡の焦点面と前記第2基板の表面とを合致させた位置、および、前記第2顕微鏡の焦点面と前記第1基板の表面とを合致させた位置、に基づいて、前記第1ステージに保持された前記第1基板の表面と前記第2ステージに保持された前記第2基板の表面との間隔を算出する算出部と
を備える基板貼り合わせ装置。 - 前記移動機構は、前記第1顕微鏡の焦点面と前記第2顕微鏡の焦点面とを合致させた位置まで前記第1ステージおよび前記第2ステージの前記一方を移動し、
前記算出部は、前記第1顕微鏡の焦点面と前記第2顕微鏡の焦点面とを合致させたときの前記第1ステージと前記第2ステージとの距離をさらに用いて、前記第1基板の表面と前記第2基板の表面との間隔を算出する請求項1に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記第1顕微鏡および前記第2顕微鏡は、共通の指標を観察することにより、前記第1顕微鏡の焦点面と前記第2顕微鏡の焦点面とを合致させる請求項2に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第1顕微鏡および前記第2顕微鏡は、前記第1顕微鏡および前記第2顕微鏡の一方から投影した指標を他方で観察することにより、前記第1顕微鏡の焦点面と前記第2顕微鏡の焦点面とを合致させる請求項2に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第1ステージおよび前記第2ステージのいずれか一方は、対向する方向の高さの基準となる基準板を有し、
前記移動機構は、前記第1顕微鏡および前記第2顕微鏡のうち前記基準板に対向して配されている一方の焦点面を前記基準板上に合致させた位置まで、前記第1ステージおよび前記第2ステージのいずれか一方を移動し、
前記算出部は、前記第1顕微鏡および前記第2顕微鏡のうちの前記一方の焦点面を前記基準板上に合致させたときの前記第1ステージと前記第2ステージとの距離をさらに用いて、前記第1基板の表面と前記第2基板の表面との間隔を算出する請求項1に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記算出部は、算出に先立って、前記第1顕微鏡および前記第2顕微鏡のうちの他方の焦点面と前記基準板と前記対向する方向の距離を取得する請求項5に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記算出部は、前記第1顕微鏡で観察した前記第2基板の表面の傾きおよび前記第2顕微鏡で観察した前記第1基板の表面の傾きをさらに用いて、前記第1基板の表面と前記第2基板の表面との間隔を算出する請求項1から6のいずれかに記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記算出部は、前記第1基板の表面および前記第2基板の表面の少なくとも一方に配されたバンプの高さをさらに用いて、前記第1基板の表面と前記第2基板の表面との間隔を算出する請求項1から7のいずれかに記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記移動機構は、前記算出部により算出された前記間隔に基づいて前記第1ステージおよび前記第2ステージを互いに近接させて前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせる請求項1から8のいずれかに記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記移動機構は、前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせる場合に、前記算出部により算出された前記第1基板の表面と前記第2基板の表面との間隔よりも所定距離手前において前記第1ステージおよび前記第2ステージを互いに近接させる速度を減速する請求項9に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第1ステージおよび前記第2ステージの少なくとも一方は、複数の基板が積層されて形成された前記第1基板または前記第2基板を保持する請求項1から10のいずれかに記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第1顕微鏡は前記第1ステージに相対的に固定されると共に、前記第2顕微鏡は前記第2ステージに相対的に固定される請求項1から11のいずれかに記載の基板貼り合わせ装置。
- 第1顕微鏡の焦点面と、第1基板を保持した第1ステージに対向している第2ステージに保持された第2基板の表面とを合致させたときの前記第1ステージと前記第2ステージの相対的な位置を検出するステップと、
第2顕微鏡の焦点面と前記第1基板の表面とを合致させたときの前記第1ステージと前記第2ステージの相対的な位置を検出するステップと、
前記第1顕微鏡の焦点面と前記第2基板の表面とを合致させた位置、および、前記第2顕微鏡の焦点面と前記第1基板の表面とを合致させた位置、に基づいて、前記第1ステージに保持された前記第1基板の表面と前記第2ステージに保持された前記第2基板の表面との間隔を算出するステップと
を備える基板貼り合わせ方法。 - 前記算出するステップにより算出された前記間隔に基づいて前記第1ステージおよび前記第2ステージを互いに近接させて前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせるステップをさらに備える請求項13に記載の基板貼り合わせ方法。
- 前記第1ステージに第1の基準の厚みを有する第1基準板を保持して、前記第2顕微鏡の焦点面と前記第1基準板の表面とを合致させたときの前記第1ステージと前記第2ステージの相対的な位置を検出するステップと、
前記第2ステージに第2の基準の厚みを有する第2基準板を保持して、前記第1顕微鏡の焦点面と前記第2基準板の表面とを合致させたときの前記第1ステージと前記第2ステージの相対的な位置を検出するステップと
をさらに備え、
前記間隔を算出するステップにおいて、前記第2顕微鏡の焦点面と前記第1基準板の表面とを合致させたときの前記第1ステージと前記第2ステージの相対的な位置、および、前記第1顕微鏡の焦点面と前記第2基準板の表面とを合致させたときの前記第1ステージと前記第2ステージの相対的な位置、にさらに基づいて前記間隔を算出する請求項13または14に記載の基板貼り合わせ方法。 - 第1顕微鏡の焦点面内で、第1基板を保持した第1ステージに対向した第2ステージに保持された第2基板の表面を観察するステップと、
前記第2基板の表面を観察するステップにおける前記第1ステージと前記第2ステージとの第1の相対位置を検出するステップと、
第2顕微鏡の焦点面内で前記第1基板の表面を観察するステップと、
前記第1基板の表面を観察するステップにおける前記第1ステージと前記第2ステージとの第2の相対位置から、前記第1の相対位置を検出するステップにおいて検出された前記第1の相対位置に対応する距離分を前記第1ステージと前記第2ステージとを近接させることにより、前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせるステップと
を備える基板貼り合わせ方法。
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