JP2005183597A - 窒化物半導体mis型電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 窒化物半導体3の表面とゲート電極2の間にゲート絶縁膜を有する窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタであって、ゲート絶縁膜が窒素を含むアルミニウムの酸化物7である。窒素を含むアルミの酸化物7をゲート絶縁膜に用いることにより、膜中のリークパスを無くし、また窒化物半導体3に対して十分な障壁高さを得ることによりゲートリーク電流を低減すると共に、ドレイン電流の時間的変動の主要因となる半導体界面に発生する界面準位を抑制する。
【選択図】 図1
Description
図1を参照すると、本発明の第1の実施の形態として窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタの断面図が示されている。
上記実施の形態において、電極間の窒化物半導体表面を被う絶縁膜を窒素を含むアルミニウムの酸化物7と第2の絶縁膜で構成することができる。そのための構成を、第2の実施の形態として図10(a)示す。
上記の電極間の絶縁膜を窒素を含むアルミニウムの酸化物7と表面保護膜8で構成する実施の形態において、ゲート電極直下のみを窒素を含むアルミニウムの酸化物7で被うことができる。そのための構成を、第3の実施の形態として図12に示す。
上記各実施の形態において、ゲート電極下に窒素を含むアルミニウムの酸化物7の単層を用いたが、窒素を含むアルミニウムの酸化物7と窒化物半導体3の間に窒化アルミニウム(AlN)8を挿入した構造によって構成することができる。そのための構成を、第4の実施の形態として図14に示す。
2 ゲート電極
3 窒化物半導体
4 ソース電極
5 ドレイン電極
6 基板
7 窒素を含むアルミの酸化物(AlON)
8 表面保護膜
9 窒化アルミニウム(AlN)
Claims (12)
- 窒化物半導体表面とゲート電極の間にゲート絶縁膜を有する窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタにおいて、
上記ゲート絶縁膜が窒素を含むアルミニウムの酸化物であることを特徴とする窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁膜の厚さが3nm以上で20nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁膜の酸素原子数と窒素原子数の比(酸素原子数/(酸素原子数+窒素原子数))が0.4より大きく0.95以下であることを特徴とする請求項1又2に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁膜は、ソース電極端からドレイン電極端までの窒化物半導体表面を被っていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁膜は、ゲート電極直下およびその周辺の窒化物半導体表面を被い、
ゲート絶縁膜端からドレイン電極端までの窒化物半導体表面は、窒素を含むアルミニウムの酸化物以外の第2の絶縁膜で被われていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁膜の寸法より前記ゲート電極の寸法が大きく、かつゲート絶縁膜端からドレイン電極端までの窒化物半導体表面は、窒素を含むアルミニウムの酸化物以外の第2の絶縁膜で被われていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。
- 窒化物半導体表面とゲート電極の間にゲート絶縁膜を有する窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタにおいて、
上記ゲート絶縁膜は、ゲート電極側が窒素を含むアルミニウムの酸化物、窒化物半導体表面側がアルミニウムの窒化物の2層の絶縁膜で構成されていることを特徴とする窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。 - 前記窒素を含むアルミニウムの酸化物の厚さが3nm以上で16nm以下であり、前記アルミニウムの窒化物の厚さが0nmより厚く4nm以下であることを特徴とする請求項7に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。
- 前記窒素を含むアルミニウムの酸化物で構成された前記ゲート絶縁膜の酸素原子数と窒素原子数の比(酸素原子数/(酸素原子数+窒素原子数))が0.4より大きく0.95以下であることを特徴とする請求項7又は8に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁膜が、ソース電極端からドレイン電極端までの窒化物半導体表面を被っていることを特徴とする請求項7乃至9に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁膜が、ゲート電極直下およびその周辺の窒化物半導体表面を被い、
ゲート絶縁膜端からドレイン電極端までの窒化物半導体表面は、窒素を含むアルミニウムの酸化物以外の第2の絶縁膜で被われていることを特徴とする請求項7乃至9に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁膜の寸法よりゲート電極の寸法が大きく、かつゲート絶縁膜端からドレイン電極端までの窒化物半導体表面は、窒素を含むアルミニウムの酸化物以外の第2の絶縁膜で被われていることを特徴とする請求項7乃至9に記載の窒化物半導体MIS型電界効果トランジスタ。
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