JP2008103408A - 窒化物化合物半導体トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1上に形成された窒化物化合物半導体層3と、窒化物化合物半導体層3上に形成されたシリコン窒化膜6よりなる第1のゲート絶縁膜と、シリコン窒化膜6上に形成され且つシリコン窒化膜7よりも絶縁破壊強度の大きな材料の膜7からなる第2のゲート絶縁膜と、第2のゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極8gと、ゲート電極8gの側方で窒化物化合物半導体層5s、5dにオーミック接触するオーミック電極10s,10dを有する。
【選択図】図3
Description
本発明の実施形態に係る窒化物化合物半導体トランジスタは、基板上に形成された窒化物化合物半導体層と、前記窒化物化合物半導体層上に形成されたシリコン窒化膜よりなる第1のゲート絶縁膜と、前記シリコン窒化膜上に形成され且つ前記シリコン窒化膜よりも絶縁破壊強度の大きな材料からなる第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極の側方で前記窒化物化合物半導体層にオーミック接触するオーミック電極とを有する。
図2、図3は、本発明の第1実施形態に係る窒化物化合物半導体トランジスタの製造工程を示す断面図である。
なお、基板上に成長されるGaN等は、MOCVD法に限られるものではなく、ハイドライド気相成長(HVPE)法、分子線エピタキシー(MBE)法等の他の成長法を用いてもよい。これは、他の実施形態でも同様である。
なお、シリコン酸化膜7の代わりにアルミナ(Al2O3)膜を形成してもよい。
MOSFETにおいて、ゲート絶縁膜の下層部はシリコン窒化膜6から構成され、しかもCat−CVD法によるシリコン窒化膜6の形成によればその下のp−GaN層3に与えるダメージは小さく、しかも熱CVD法に比べて緻密な膜となる。
図5、図6は本発明の第2実施形態に係る窒化物化合物半導体トランジスタの製造工程を示す断面図である。
なお、シリコン酸化膜26の代わりにアルミナ膜を形成してもよい。
なお、ソース電極28s及びドレイン電極28dとなる金属膜としては、電子供給層24にオーミック接触するTi/AlSi/Mo等の金属であってもよい。
さらに、上記のゲート絶縁膜は二層構造としたが、それ以上の複数構造としてもよい。
2:バッファ層
3:GaN層
5s:ソース領域
5d:ドレイン領域
6:シリコン窒化膜
7:シリコン酸化膜
8g:ゲート電極
10s:ソース電極
10d:ドレイン電極
11:成膜装置
21:基板
22:バッファ層
23:電子走行層
24:電子供給層
25:シリコン窒化膜
26:シリコン酸化膜
28s:ソース電極
28d:ドレイン電極
30:ゲート電極
Claims (10)
- 基板上に形成された窒化物化合物半導体層と、
前記窒化物化合物半導体層上に形成されたシリコン窒化膜よりなる第1のゲート絶縁膜と、
前記シリコン窒化膜上に形成され且つ前記シリコン窒化膜よりも絶縁破壊強度の大きな材料からなる第2のゲート絶縁膜と、
前記第2のゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の側方で前記窒化物化合物半導体層にオーミック接触するオーミック電極と
を有することを特徴とする窒化物化合物半導体トランジスタ。 - 前記第2のゲート絶縁膜は、アルミナ膜、シリコン酸化膜のいずれかからなることを特徴とする請求項1に記載の窒化物化合物半導体トランジスタ。
- 前記オーミック電極は、前記ゲート電極の両側に形成されたソース電極とドレイン電極であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の窒化物化合物半導体トランジスタ。
- 前記窒化物化合物半導体層は、一導電型であって、前記オーミック電極の下には反対導電型領域が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載の窒化物化合物半導体トランジスタ。
- 前記窒化物化合物半導体層は、二次元電子ガスが生成されるヘテロ接合の複数層構造を有していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載の窒化物化合物半導体トランジスタ。
- 前記シリコン窒化膜よりなる前記第1のゲート絶縁膜は触媒化学気相成長法により形成された膜であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1つに記載の窒化物化合物半導体トランジスタ。
- 基板の上に窒化物化合物半導体層を成長する工程と、
前記窒化物化合物半導体層の表面に触媒化学気相成長法によりシリコン窒化膜を形成する工程と、
前記シリコン窒化膜の上に前記シリコン窒化膜よりも絶縁破壊強度の大きな材料からなる絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極の側方に前記窒化物化合物半導体層にオーミック接触するオーミック電極を形成する工程と
を有することを特徴とする窒化物化合物半導体トランジスタの製造方法。 - 前記絶縁膜は、触媒化学気相成長法、プラズマ化学気相成長法のいずれかにより形成されることを特徴とする請求項7に記載の窒化物化合物半導体トランジスタの製造方法。
- 前記窒化物化合物半導体層は一導電型半導体であって、前記オーミック電極の下には反対導電型半導体領域を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の窒化物化合物半導体トランジスタの製造方法。
- 前記窒化物化合物半導体層は、接合界面に二次元電子ガスが生成されるヘテロ接合を有する複数層構造を有することを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の窒化物化合物半導体トランジスタの製造方法。
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