JP2005158221A - 相変化メモリ装置におけるライトドライバ回路及びライト電流の印加方法 - Google Patents

相変化メモリ装置におけるライトドライバ回路及びライト電流の印加方法 Download PDF

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Abstract

【課題】相変化メモリ装置におけるライトドライバ回路及びライト電流印加方法を提供することにある。
【解決手段】相変化メモリセルを備えた相変化メモリ装置におけるライト動作に関する回路であって、ライト電流の強さがライトデータの論理状態に従って決定されて相変化メモリセルに提供される場合に、ライト電流の強さが増加または減少されるようにする補償プログラム部を相変化メモリ装置内に備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体メモリに係るもので、特に相変化メモリ装置におけるライトドライバ回路及びライト電流印加方法に関する。
通常、RAMは、コンピューターシステム、通信用機器などのような電子的システム内でデータを保持するための素子として用いられる。
特別なRAMメモリセルは相変化物質を含む。相変化物質を二つの物理的状態中の一つにセッティングすることにより、相変化物質から構成された相変化メモリセル内にデータが保持することができる。例えば、相変化物質の第1物理的状態は高抵抗状態を含み、第2物理的状態は低抵抗状態を含むことができる。ここで、前記高抵抗状態がバイナリ1を表現し、前記低抵抗状態はバイナリ0を表現するようになる。
複数の相変化メモリセルを有するメモリセルアレイを含む相変化メモリ装置は、DRAMの代用として電子的システム内に採用されることになる。
図9は、通常の相変化メモリ素子の適用例を示した携帯用電子システムの回路ブロック図である。バスラインL3を通じてマイクロプロセッサ4に連結された相変化メモリ装置10は、携帯用電子システムのメインメモリとして機能する。バッテリ2は、電源ラインL4を通じてマイクロプロセッサ4、I/O(入出力部)6及び相変化メモリ装置10に電力を供給する。受信データがラインL1を通じてI/O6に提供される場合、マイクロプロセッサ4は、ラインL2を通じてその受信データを受信し処理した後に、バスラインL3を通じて相変化メモリ装置10に受信または処理されたデータを印加する。相変化メモリ装置10は、バスラインL3を通じてそのデータをメモリセルに格納する。また、メモリセルに格納されたデータは、マイクロプロセッサ4によりリードされてI/O6を通じて外部に出力されう。
バッテリ2の電力が電源ラインL4に供給されていない場合でも、相変化メモリ装置10のメモリセルに格納されたデータは、相変化物質の特性により、消失しないで保持される。即ち、相変化メモリ装置10は、DRAMとは異なって不揮発性メモリである。さらに、高速動作及び低消費電力特性は、相変化メモリ装置10が有する他の長所である。 図10は、図9の相変化メモリ装置10の概略的回路ブロック図である。図示したように、相変化メモリセル52の他は、通常のDRAMが有する回路機能ブロック、例えば、アドレスバッファと信号発生回路20、ローデコーダー30、コラムパスとコラムデコーダー40、ライトドライバ回路100、リード増幅回路60、及びデータ入出力バッファ70が示される。しかし、このような回路機能ブロックの細部的構成及び動作は、相変化メモリセル52のリード及びライト動作特性に基因してDRAMの対応するブロックとは少し異なる。
図10において、メモリセルアレイ及びセンスアンプ50内でメモリセルアレイを構成する単位メモリセル52は、一つのアクセストランジスタNTと一つの可変抵抗体GSTで構成される。可変抵抗体GSTは、相変化物質に相当する。アクセストランジスタNTのゲートは、メモリセルアレイの行を構成するワードラインWLと連結され、可変抵抗体GSTの一端はメモリセルアレイの列を構成するビットラインBLと連結される。可変抵抗体GSTは、他の方式においては、DRAMセルを構成するキャパシタの位置にも連結されうる。
可変抵抗体GSTとして機能する相変化物質は、図11に示すような状態変化を有する。図10の相変化メモリセル52内の相変化物質に対応する状態変化を示す図11を参照すると、上部電極56と下部電極54との間に挟まれた相変化物質膜55が示される。相変化物質膜55は、温度及びヒーティング時間に従って相が結晶化または非晶質化されることにより、抵抗値が変化する相変化物質、例えばGexSbyTez(以下、GST)などで構成されうる。
図12は、図11の相変化物質についての時間対温度に対する相変化の特性を示す。図面において横軸は時間を示し、縦軸は温度Tを示す。相変化物質GSTの非晶質化状態は、グラフ中の参照符号12、10、14で示されるように、相変化物質GSTを溶融点Tm以上に加熱した後、急速に冷却させることにより達成される。また、結晶化状態はグラフ符号22、20、24で示されるように、相変化物質を一定時間の間に結晶化温度Tx以上に加熱した後、冷却させることにより達成される。図11の符号ST1、ST2で示されるように、相変化物質GSTの状態が非晶質化状態から結晶化状態に変わる場合をセット(SET)と定義し、結晶化状態から非晶質化状態に再度変わる場合をリセット(RESET)と定義する。相変化物質GSTが非晶質化状態として存在する場合、抵抗値は結晶化状態として存在する場合の抵抗値に比べ顕著に大きい。
図11の相変化物質膜55を加熱する方法は、レーザービームを用いる方法と電流を用いる方法などがあり、メモリチップの実現容易性の側面から電流を用いる方法の方が有利である。電流を用いる方法を適用する際、相変化物質膜55は、電流の強さ及び電流の印加時間に従い発生するジュール熱(joule heating)によりセットまたはリセット状態にすることができる。
図13は、図11の相変化物質をジュール熱により第1、第2状態に変化させるための電流パルスの波形を示す図である。図12と同様に、横軸は時間Tを示し、縦軸は電流Iを示す。図13において電流の強さを示す電流レベルを比較すると、リセットパルスG1のレベルはセットパルスG2のレベルよりも高い。電流の印加時間を比較すると、セットパルスG2の印加時間はリセットパルスG1の印加時間よりも長い。つまり、ここで、図13のリセットパルスG1とセットパルスG2は、ライト動作モードでバイナリ1またはバイナリ0を格納するためにメモリセルに印加されるべきライト電流を意味する。
以下、より具体的な例を例供するために、図10ないし図13を参照して相変化メモリセル52にデータを格納する動作、即ち、ライト動作(あるいは、プログラム動作)を概略的に説明し、次いで、格納されたデータを感知して外部に出力するリード動作を説明する。
図9のメモリセルアレイ及びセンスアンプ50内の第1ワードラインWL1と第1ビットラインBL1との間に連結された相変化メモリセル52にライトデータWDATAを格納する場合と仮定すると、ローデコーダー30のアドレスデコーディング動作により第1ワードラインWL1が活性化される。一方、コラムパス及びコラムデコーダー40のデコーディング動作により第1ビットラインBL1が選択される。データ入出力バッファ70を通じて印加されるライトデータWDATAは、ライトドライバ回路100に印加される。ライトドライバ回路100は、ライトデータWDATAが論理1である場合、図13に示されるリセットパルスG1をシングルデータラインSDLにライト電流として印加する。ライトドライバ回路100は、ライトデータWDATAが論理0である場合、図13に示されるようなセットパルスG2をシングルデータラインSDLにライト電流として印加する。リセットパルスG1が第1ビットラインBL1に印加されると、選択された相変化メモリセル52の相変化物質膜55は、図12の温度グラフ10のような温度に加熱されてから冷却されるため、図11のメモリセル52−1のようにリセットされる。つまり、リセットされたメモリセル52は高抵抗状態を有するため、データ1を保持するメモリセルとして機能する。一方、セットパルスG1が第1ビットラインBL1に印加されると、選択された相変化メモリセル52の相変化物質膜55は、図12の温度グラフ20のような温度に加熱されてから冷却されるため、図11のメモリセル52−2のようにセットされる。つまり、セットされたメモリセル52は、相対的に低抵抗状態を有するため、データ0を保持するメモリセルとして機能する。
データ1または0としてメモリセル52に保持されたデータは、第1ワードラインWL1と第1ビットラインBL1が選択される場合に、第1ビットラインBL1を通じてリードされる。データ1が保持された場合には、メモリセル52は高抵抗状態であるため、ビットラインBL1から接地へ流れるセル貫通電流のレベルは相対的に低い。また、データ0が保持された場合には、メモリセル52は低抵抗状態であるため、セル貫通電流のレベルは相対的に高い。従って、セル貫通電流による電流変化を感知する電流センスアンプをビットラインに連結して駆動させるか、または、セル貫通電流による電圧変化を感知する電圧センスアンプを前記ビットラインに連結して駆動させることにより、メモリセル52に保持されたデータが1であるか0であるかを判読することができる。1または0としてリードされたデータは、コラムパス及びコラムデコーダー40、並びにリード増幅回路60を経てデータ入出力バッファ70に出力される。ここで、リード増幅回路60は、ビットラインセンスアンプから出力されたデータを再度増幅する役割を果たす回路である。
相変化メモリセルからデータをリードする回路についての技術が、特許文献1(Lowrey等に2003年8月19日付で付与された米国特許第6,608,773号)に開示されている。
また、相変化メモリセルを形成する回路についての技術が、特許文献2(Heon Lee等に2003年8月12日付で付与された米国特許第6,605,821号)に開示されている。
そして、相変化メモリ素子においてライト動作を行う技術の例が、特許文献3(Lowrey等に2003年4月8日付で付与された米国特許第6,545,907号)に開示されている。特許文献3には、ライト電流としてのリセットパルスとセットパルスによりライト動作を行う方法が開示されているが、ライトドライバ回路などのようなライト電流生成回路において電流出力シフトが発生するか、または相変化物質を有する相変化メモリセルが外部要因及び工程変化に基因して相変化特性シフトを有する場合におけるライト電流の出力調節に対する対策が不足している。
即ち、外部要因及び工程変化に基因してライトドライバ回路などのようなライト電流生成回路の電流出力が規定した値で発生しない場合に、リセットパルス及びセットパルスの電流レベルも規定した値で生成しないため、ライト動作の信頼性が低下することになる。また、相変化物質を有する相変化メモリセルが外部要因及び工程変化に基因して相変化特性シフトを有する場合に、リセットまたはセットパルスの電流レベルが規定した値に印加されるとしてもライト動作の信頼性は保障されにくい。ライト動作の信頼性が低い場合、相変化メモリ装置の製造収率は低下しうる。
従って、ライトドライバ回路から出力されるライト電流をメモリセルアレイブロック別にまたはメモリチップ別に調節してライト動作をより正確に行い得る技術が必要とされる。
米国特許第6,608,773号公報 米国特許第6,605,821号公報 米国特許第6,545,907号公報
そこで、本発明の第1の目的は、このような従来の問題点を解決することができる相変化メモリ装置におけるライトドライバ回路及びライト電流印加方法を提供することにある。
本発明の第2の目的は、ライト電流生成回路で電流出力シフトが発生する場合においてもライト動作の信頼性を保障または最大化し得る相変化メモリ装置におけるライトドライバ回路及びライト電流印加方法を提供することにある。
本発明の第3の目的は、相変化物質を有する相変化メモリセルが外部要因及び工程変化に基因して相変化特性シフトを有する場合にライト電流の出力を調節することができる相変化メモリ素子におけるライトドライバ回路及びライト電流印加方法を提供することにある。
本発明の第4の目的は、相変化メモリセルをリセットまたはセットするためのライト電流の強さを調節することができるライトドライバ回路を提供することにある。
本発明の第5の目的は、製造工程及び外部要因により出力シフトされたセット電流及びリセット電流を補正し得る相変化メモリ装置におけるライトドライバ回路及びライト電流印加方法を提供することにある。
本発明の第6の目的は、セット電流とリセット電流のレベルをヒューズプログラムにより増減出力することができるライトドライバ回路を提供することにある。
このような目的を達成するため、本発明の実施形態に従うライトドライバ回路は、第1または第2抵抗状態を有する相変化メモリセルが複数のワードラインとビットラインとの交差するインターセクションごとに連結されたマトリックス形態のメモリセルアレイを備えた相変化メモリ装置におけるライト動作のための回路に係り、前記相変化メモリセルの抵抗状態を変化させるために印加される第1及び第2状態パルスのうち一つを印加されるライトデータの論理状態に応じて選択し、第1または第2選択パルスとして出力するパルス選択部と、前記第1選択パルス信号が印加される場合は、プログラムされた第1電流パスを形成して電流出力シフト及び相変化特性シフトに従って調節された第1レベルの電圧を出力し、前記第2選択パルス信号が印加される場合は、プログラムされた第2電流パスを形成して電流出力シフト及び相変化特性シフトに従って調節された第2レベルの電圧を出力するライト電流制御部と、前記ライト電流制御部の出力電圧に応じてライト電流を生成する電流駆動部と、を備える。
好ましくは、前記ライト電流制御部は、前記第1選択パルス信号に応じて前記第1電流パスを形成し、前記第1電流パスを通じて流れる電流がヒューズプログラムにより減少されるようにするリセット電流調節部と、前記第2選択パルス信号に応じて前記第2電流パスを形成し、前記第2電流パスを通じて流れる電流がヒューズプログラムにより減少されるようにするセット電流調節部と、前記第1、第2電流パスの電流供給端に電圧出力ノードが連結され、ヒューズプログラムにより前記電圧出力ノードの電圧レベルが減少されるようにし、前記第1または第2電流パスを通じて流れる電流量に従って調節された前記第1または第2レベルの電圧を前記電圧出力ノードを通じて出力する出力電圧調節部と、を含む。
また、本発明による相変化メモリセルを備える相変化メモリ装置におけるライト電流印加方法は、前記相変化メモリセルをライト動作モードに進入させる段階と、ライト電流の強さをライトデータの論理状態に従って決定して前記相変化メモリセルに提供するときに、電流出力シフト及び前記相変化メモリセルに対する相変化特性シフトが補償されるようにするため、前記ライト電流の強さを設定されたプログラムにより増加または減少的に調節する段階と、を含む。
上記のような本発明の相変化メモリ装置におけるライトドライバ回路及びライト電流印加方法によると、ライト電流生成回路に電流出力シフトが存在するか、または相変化物質を有する相変化メモリセルが外部要因及び工程変化に起因して相変化特性シフトを有する場合においても、ライト動作がより正確に行われるという効果がある。
以下、図面を参照しながら本発明の望ましい実施形態を詳しく説明する。図面において同一または類似した機能を有する構成要素には、同一または類似した参照符号が付されている。以下では、本発明の望ましい実施形態として多くの具体例が図面とともに説明されているが、これは本分野の通常の知識を有するものに本発明の理解を助けることを目的とするものであり、本発明を限定することを意図したものではない。
図1は、本発明の望ましい実施形態のライトドライバ回路のブロック図である。図1示すライトドライバ回路100は、パルス選択部110、ライト電流制御部150、及び電流駆動部160を含む。ライト電流制御部150は、リセット電流調節部120、セット電流調節部130及び出力電圧調節部140を含む。
パルス選択部110は、相変化メモリセルの抵抗状態を変化させるために印加される第1、第2状態パルスP_RESET、P_SETのうち一つを印加されるライトデータWDATAの論理状態に応じて選択し、第1または第2選択パルス信号PRESET、PSETとして出力する。
ライト電流制御部150は、第1選択パルス信号PRESETが印加された場合には、プログラムされた第1電流パスを形成して、調節された第1レベルの電圧を電圧出力端V0に出力し、第2選択パルス信号PSETが印加された場合には、プログラムされた第2電流パスを形成して、調節された第2レベルの電圧を電圧出力端V0に出力する。
電流駆動部160は、ライト電流制御部150の出力電圧に応答してライト電流を発生しラインSDLに印加する。
図2は、図1のパルス選択部110の構成例である。図示に示す構成では、パルス選択部110は、第1伝送ゲート112、第2伝送ゲート113及びインバーター114を含んで構成される。インバーター114は、ライトデータWDATAの論理状態を反転するために連結されたものである。第1伝送ゲート112、第2伝送ゲート113は、第1及び第2状態パルスP_RESET、P_SETを入力端でそれぞれ受信し、ライトデータを制御端で受信する。従って、ライトデータWDATAの論理状態がハイである場合、第1伝送ゲート112がイネーブルされて第1選択パルス信号PRESETが活性化される。反対に、ライトデータWDATAの論理状態がローである場合、第2伝送ゲート113がイネーブルされて第2選択パルス信号PSETが活性化される。
図3は、図1のライト電流制御部及び電流駆動部の第1構成例を示した回路図である。図3に示すように、リセット電流調節部120は、第1〜第4N型MOSトランジスタ121〜124と、第1〜第3ヒューズ125〜127とから構成される。ドレイン−ソースチャンネルが直列連結された第1〜第4N型MOSトランジスタ121〜124は、それぞれのゲート端子を通じて第1選択パルス信号PRESETを共通に受信する。第1〜第3ヒューズ125〜127は、第2〜第4N型MOSトランジスタ122〜124にそれぞれ対応して連結される。例えば、第1ヒューズ125がカッティングされた場合は、第1N型MOSトランジスタ121のソースに流れる電流は、第2N型MOSトランジスタ122を通じてのみ流れる。しかし、第1ヒューズ125がカッティングされなかった場合は、第1N型MOSトランジスタ121のソースに流れる電流は、第2N型MOSトランジスタ122を通過しなくても前記第3N型MOSトランジスタ123のドレインに流れることができる。
同様に、セット電流調節部130も第1〜第4N型MOSトランジスタ131〜134と、第1〜第3ヒューズ135〜137とから構成される。ドレイン−ソースチャンネルが直列連結された第1〜第4N型MOSトランジスタ131〜134は、それぞれのゲート端子を通じて第2選択パルス信号PSETを共通に受信する。第1〜第3ヒューズ135〜137は、第2〜第4N型MOSトランジスタ132〜134にそれぞれ対応して連結される。例えば、第1ヒューズ135がカッティングされた場合は、第1N型MOSトランジスタ131のソースに流れる電流は、第2N型MOSトランジスタ132を通じてのみ接地へ流れる。しかし、第1ヒューズ135がカッティングされなかった場合は、第1N型MOSトランジスタ131のソースに流れる電流は、第2N型MOSトランジスタ132を通過しなくても第3N型MOSトランジスタ133のドレインに流れることができる。ノードN01は電流供給端に相当する。
出力電圧調節部140は、第1〜第4P型MOSトランジスタ141〜144と、第1〜第3ヒューズ145〜147とから構成される。第1〜第4P型MOSトランジスタ141〜144のソース端子は共通に電源電圧VDDに連結され、ゲート端子は共通に電圧出力端VOに連結される。第2〜第4P型MOSトランジスタ142〜144のドレイン端子はそれぞれ対応する第1〜第3ヒューズ145〜147を通じて電圧出力端VOに共通に連結される。第1P型MOSトランジスタ141のドレイン端子は、電圧出力端VOに連結される。例えば、第1ヒューズ145がカッティングされた場合は、第2P型MOSトランジスタ142のドレイン端子は、電圧出力端VOと電気的に分離された状態であるため、第2P型MOSトランジスタ142による駆動電流はなくなる。つまり、第2P型MOSトランジスタ142が電流駆動を担わなくなるので、ノードN01の電圧レベルは、その分だけ低くなる。
図3において、電流駆動部160は、P型MOSトランジスタMPDから構成される。P型MOSトランジスタMPDのライト電流の出力レベル、即ち、ライト電流の大きさは、ノードN01に現れる電圧レベルに依存する。
図4は、図1のライトドライバ回路のライト電流出力に係る動作タイミング図である。図4に示すように、ライトデータWDATAが論理ハイ(1)として印加されるタイム区間内で第1選択パルス信号PRESETが図2の第1伝送ゲート112を通じて出力される。第1選択パルス信号PRESETは、図4のタイミング図において矢印符号A1として表示されたように、第1状態パルスP_RESETのライジングエッジに応じて生成される。
一方、ライトデータWDATAが論理ロー(0)として印加されるタイム区間内では、第2選択パルス信号PSETが図2の第2伝送ゲート113を通じて出力される。第2選択パルス信号PSETは、図4のタイミング図において矢印符号A2として表示されたように、第2状態パルスP_SETのライジングエッジに応じて生成される。
ライトデータWDATAの論理状態に従ってパルス選択部110が第1選択パルス信号PRESETまたは第2選択パルス信号PSETを出力すると、ライト電流制御部150内のリセット電流調節部120またはセット電流調節部130が出力電圧調節部140により生成された電圧を接地を通じて一定レベルに放電し始める。このとき、接地を通じて流れる電流量に従って出力電圧調節部140の出力電圧V0のレベルが決定される。出力電圧調節部140の出力電圧V0のレベルが高い場合は、図3のP型MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力が減少されて、出力ラインSDLに現われるライト電流の出力レベルは低くなる。一方、出力電圧調節部140の出力電圧V0のレベルが低い場合は、図5のP型MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力が増加されて、出力ラインSDLに現われるライト電流の出力レベルは高くなる。
図4の波形SDLに示されるように、リセット電流のレベルが参照符号H2のレベルとして出力される場合には、リセット電流のレベルを低くする必要がある。このような場合において、図3のリセット電流調節部120内の第1〜第3ヒューズ125〜127がカッティングの対象となる。例えば、第1ヒューズ125をレーザービームなどの光源でカッティングする場合、第1及び第2N型MOSトランジスタ121、122と、第2及び第3ヒューズ126、127を通じて電流パスが形成される。このとき、第2N型MOSトランジスタ122のターンオン抵抗が電流の流れを妨げるため、接地VSSを通じて流れる電流量は減り、その結果としてノードNO1の電圧レベルは第1ヒューズ125がカッティングされなかった場合に比べて高くなる。よって、図5のP型MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力が減少されて、出力ラインSDLに表われるライト電流の出力レベルは、参照符号H1のレベルに低くなる。もし、参照符号H3のレベルまでリセット電流のレベルを低くしなければならない場合は、第2ヒューズ126及び第3ヒューズ127が追加的にカッティングされる。従って、第1〜第3ヒューズ125〜127が全てカッティングされた場合、第1〜第4N型MOSトランジスタ121〜124のドレイン−ソースチャンネルを通じてのみ電流パスが形成されるため、放電電流量は一層減少される。その結果として、P型MOSトランジスタMPDのゲート端子の電圧レベルは以前の場合に比べて高くなり、出力ラインSDLに現われるライト電流の出力レベルは参照符号H3のレベルに低くなることができる。
一方、図4の波形SDLに示されるように、リセット電流のレベルが参照符号H3のレベルとして出力される場合は、リセット電流のレベルを高くする必要がある。そのような場合に図3の出力電圧調節部140内の第1〜第3ヒューズ145〜147がカッティングの対象となる。例えば、第1ヒューズ145をレーザービームなどの光源でカッティングする場合は、第2P型MOSトランジスタ142は、電源電圧VDDのドライビング動作に寄与しなくなる。よって、ノードNO1の電圧レベルは、第1ヒューズ145がカッティングされなかった場合に比べて低くなるため、P型MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力が増加して出力ラインSDLに現われるライト電流の出力レベルは参照符号H1のレベルに上昇する。また、参照符号H2のレベルまでリセット電流のレベルを高くする場合は、第2及び第3ヒューズ146、147が追加的にカッティングされることができる。よって、第1〜第3ヒューズ145〜147が全てカッティングされた場合は、第1P型MOSトランジスタ141のソース−ドレインチャンネルを通じてのみ電流がドライビングされるため、P型MOSトランジスタMPDのゲート端子の電圧レベルは以前の場合に比べて低くなる。従って、出力ラインSDLに現われるリセット電流の出力レベルは参照符号H2のレベルに上昇されることができる。
続いて、セット電流の調節動作を説明する。図4の波形SDLから示されるように、セット電流のレベルが参照符号H20のレベルとして出力される場合には、セット電流のレベルを低める必要がある。この場合は、図3のセット電流調節部130内の第1〜第3ヒューズ135〜137がカッティングの対象となる。例えば、第1ヒューズ135をレーザービームなどの光源でカッティングする場合は、第1及び第2N型MOSトランジスタ131、132と、第2及び第3ヒューズ136、137を通じて電流パスが形成される。このとき、第2N型MOSトランジスタ132のターンオン抵抗が電流の流れを妨げるように作用するため、接地VSSを通じて流れる電流量が減り、その結果としてノードN01の電圧レベルは、第1ヒューズ135がノーカッティングされた場合に比べて高くなる。よって、図5のP型MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力が減少されて出力ラインSDLに現われるセット電流の出力レベルは、参照符号H10のレベルに低くなる。もし、参照符号H30のレベルまでセット電流のレベルを低める場合は、第2及び第3ヒューズ136、137が追加的にカッティングされる。従って、第1ヒューズ135〜第3ヒューズ137が全てカッティングされた場合は、第1N型MOSトランジスタ131〜第4N型MOSトランジスタ134のドレイン−ソースチャンネルを通じてのみ電流パスが形成されるため、放電電流量は一層減少される。その結果として、P型MOSトランジスタMPDのゲート端子の電圧レベルは以前の場合に比べ高くなり、出力ラインSDLに表われるセット電流の出力レベルは参照符号H30のレベルまで低くなることができる。一方、セット電流のレベルが参照符号H30のレベルとして出力される場合には、セット電流のレベルを高くする必要がある。このような場合において、図3の出力電圧調節部140内の第1ヒューズ145〜第3ヒューズ147がカッティングの対象になることができる。例えば、第1ヒューズ145をカッティングする場合は、第2P型MOSトランジスタ142が電源電圧VDDのドライビング動作に寄与しないため、ノードNO1の電圧レベルは第1ヒューズ145がカッティングされなかった場合に比べて低くなる。従って、P型MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力が増加されて、出力ラインSDLに現われるセット電流の出力レベルは参照符号H10のレベルに上昇する。
上述のように、ライト電流生成回路に電流出力シフトが存在し、または相変化物質を有する相変化メモリセルが外部要因及び工程変化に基因して相変化特性シフトを有する場合においても、増加または減少によって補償されたリセットまたはセット電流をヒューズプログラムにより出力することができる。カッティングの可能なヒューズは、ライト電流の強さがライトデータの論理状態に従って決定されて相変化メモリセルに提供される場合において、ライト電流の強さが増加または減少されるようにする補償プログラム部として機能する。
図5は、図4のライト電流制御部及び電流駆動部の第2構成例を示した回路図である。図5に示すように、リセット電流調節部120−1は、第1N型MOSトランジスタ121〜第4N型MOSトランジスタ124と、第5及び第6N型トランジスタ128、129とから構成される。ドレイン−ソースチャンネルが直列連結された第1N型MOSトランジスタ121〜第4N型トランジスタ124は、それぞれのゲート端子を通じて第1選択パルス信号PRESETを共通に受信する。第5N型MOSトランジスタ128は、第1及び第2N型MOSトランジスタ121、122に対応して並列に連結され、第6N型MOSトランジスタ129は、第3及び第4N型MOSトランジスタ123、124に対応して並列に連結される。例えば、第5N型MOSトランジスタ128がターンオンされる場合は、第1N型MOSトランジスタ121のドレインに現われる電流は、第5N型MOSトランジスタ128のドレイン−ソースチャンネルを通じても流れることになる。第5及び第6N型MOSトランジスタ128、129のゲート端子には、それぞれ対応する制御信号C、Dが印加される。
同様に、セット電流調節部130−1も、第1N型MOSトランジスタ131〜第4N型MOSトランジスタ134と、第5及び第6N型MOSトランジスタ138、139とから構成される。ドレイン−ソースチャンネルが直列連結された第1N型MOSトランジスタ131〜第4N型MOSトランジスタ134は、それぞれのゲート端子を通じて第2選択パルス信号PSETを共通に受信する。第5N型MOSトランジスタ138は、第1N型MOSトランジスタ131及び第2N型MOSトランジスタ132に対応して並列に連結され、第6N型MOSトランジスタ139は、第3及び第4N型MOSトランジスタ133、134に対応して並列に連結される。第5及び第6N型MOSトランジスタ138、139のゲート端子には、それぞれ対応する制御信号C、Dが印加される。第5N型MOSトランジスタ138がターンオンされる場合、第1N型MOSトランジスタ131のドレインに現われる電流は、第5N型MOSトランジスタ138のドレイン−ソースチャンネルを通じても流れることになる。
出力電圧調節部140−1は、第1P型MOSトランジスタ141〜第4P型MOSトランジスタ144と、第5P型MOSトランジスタ145〜第7P型MOSトランジスタ147とから構成される。第1及び第5〜7P型MOSトランジスタ141、145〜147のソース端子は、共通に電源電圧VDDに連結され、第1〜第4P型MOSトランジスタ141〜144のゲート端子は、共通に電圧出力端VOに連結される。第5P型MOSトランジスタ145〜第7P型MOSトランジスタ147のゲート端子には、それぞれ対応する制御信号E、F、Gが印加される。例えば、第5P型MOSトランジスタ145がターンオンされる場合、第2P型MOSトランジスタ142もターンオンされる。従って、第1P型MOSトランジスタ141のターンオン動作と第5P型MOSトランジスタ145及び第2P型MOSトランジスタ142のターンオン動作に従ってノードNO1の電圧レベルがその分だけ高くなる。
図5において、電流駆動部160は、図3の場合と同様にP型MOSトランジスタMPDから構成される。
図5において、リセット電流調節部120−1内の第1N型MOSトランジスタ121〜第4N型MOSトランジスタ124は第1電流パスを動作的に形成し、第5及び第6N型MOSトランジスタ128、129はダミー電流パスを動作的に形成する。前記ダミー電流パスは、ヒューズプログラムに応答した制御信号A、Bにより制御される。従って、リセット電流調節部120−1は、図3のリセット電流調節部120の役割とは反対に、リセット電流を増加させる。即ち、前記ダミー電流パスの形成によりノードNO1の電圧レベルは低くなるため、MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力を増加させる。
また、セット電流調節部130−1内の第1N型MOSトランジスタ131〜第4N型MOSトランジスタ134は第1電流パスを動作的に形成し、第5及び第6N型MOSトランジスタ138、139はダミー電流パスを動作的に形成する。前記ダミー電流パスは、ヒューズプログラムに応答した制御信号C、Dにより制御される。従って、セット電流調節部130−1は、図3のセット電流調節部130の役割とは反対に、セット電流を増加させる。即ち、前記ダミー電流パスの形成によりノードNO1の電圧レベルは低くなるため、P型MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力を増加させる。
一方、図5において、出力電圧調節部140−1内の第5P型MOSトランジスタ145〜第7P型MOSトランジスタ147は、ダミー電圧供給パスを動作的に形成する。前記ダミー電圧供給パスの遮断または連結は、ヒューズプログラムに応答した制御信号E、F、Gにより制御される。従って、出力電圧調節部140−1は、図3の出力電圧調節部140の役割とは反対に、電圧出力ノードVOの電圧レベルを増加させる。出力電圧調節部140−1のダミー電圧供給パスの動作的連結によりP型MOSトランジスタMPDのゲート端子に印加される電圧レベルは高くなるため、ライト電流としてのリセット電流またはセット電流の出力レベルは低くなる。
図6は、図5の制御信号A、B〜Gを生成するための制御信号発生部の構成例を示した回路図である。図6において、符号11aは、出力電圧調節部140−1に印加される制御信号E、F、Gを生成するための回路で、符号11bは、リセット電流調節部120−1及びセット電流調節部130−1に印加される制御信号A、B、C、Dを生成するための回路である。
制御信号E、F、Gのうち一つを生成するための回路11aは、ヒューズFU1、FU2と、互いに従属接続されたダイオード機能のN型MOSトランジスタNM1〜NM4と、インバーターIN1、IN2とから構成される。例えば、制御信号Eを論理ローとして生成する場合、即ち、リセット電流またはセット電流の出力レベルを低める必要がある場合は、ヒューズFU1、FU2がカッティングされる。従って、電源電圧VDDがインバーターIN1の入力ノードに提供されないため、インバーターIN2の出力は論理ローとなる。
制御信号A、B、C、Dのうち一つを生成するための回路11bは、ヒューズFU1、FU2と、互いに従属接続されたダイオード機能のN型MOSトランジスタNM1〜NM4と、インバーターIN1〜IN3とからなる。例えば、制御信号Aを論理ハイとして生成する場合、即ち、リセット電流の出力レベルを高める必要がある場合には、ヒューズFU1、FU2がカッティングされる。従って、電源電圧VDDがインバーターIN1の入力ノードに提供されないため、インバーターIN3の出力は論理ハイとなる。
図7は、図1のライト電流制御部及び電流駆動部の第3構成例を示した回路図である。図7に示すように、リセット電流調節部120−2は、第1〜第4N型MOSトランジスタ121〜124と、第5及び第6N型MOSトランジスタ127、128と、から構成される。ドレイン−ソースチャンネルが直列連結された第1〜第5N型MOSトランジスタ121〜124、127は、それぞれのゲート端子を通じて第1選択パルス信号PRESETを共通に受信する。第6N型MOSトランジスタ128のソース端子は接地に連結され、ドレイン端子は第5N型MOSトランジスタ127のソース端子に連結され、ゲート端子は増減制御信号DC-RESETに連結される。例えば、第6N型MOSトランジスタ128のゲート端子に印加される増減制御信号DC-RESETの電圧レベルに従って第6N型MOSトランジスタ128のドレイン−ソースチャンネルを通じて流れる電流量が増加または減少的に調節される。リセット電流調節部120−2内の第1〜第4N型MOSトランジスタ121〜124は第1電流パスを動作的に形成し、第5及び第6N型MOSトランジスタ127、128はダミー電流パスを動作的に形成する。前記ダミー電流パスは、ヒューズプログラムに応答した増減制御信号DC-RESETにより制御される。従って、リセット電流調節部120−2は、リセット電流を増加または減少させる機能を有する。即ち、前記ダミー電流パスの形成によりノードNO1の電圧レベルは高くなるか又は低くなるため、P型MOSトランジスタMPDの電流ドライビング能力は減少または増加される。
同様に、セット電流調節部130−2も、第1〜第4N型MOSトランジスタ131〜134と、第5及び第6N型MOSトランジスタ137、138とから構成される。ドレイン−ソースチャンネルが直列連結された第1〜第5N型MOSトランジスタ131〜134、137は、それぞれのゲート端子を通じて第2選択パルス信号PSETを共通に受信する。第6N型MOSトランジスタ138のソース端子は接地に連結され、ドレイン端子は第5N型MOSトランジスタ137のソース端子に連結され、ゲート端子は増減制御信号DC-SETに連結される。例えば、第6N型MOSトランジスタ138のゲート端子に印加される増減制御信号DC-SETの電圧レベルに従って第6N型MOSトランジスタ138のドレイン−ソースチャンネルを通じて流れる電流量が増加または減少的に調節される。ここで、リセット電流調節部130−2内の第1〜第4N型MOSトランジスタ131〜134は第1電流パスを動作的に形成し、第5及び第6N型MOSトランジスタ137、138はダミー電流パスを動作的に形成する。前記ダミー電流パスは、ヒューズプログラムに応答した増減制御信号DC-SETにより制御される。従って、セット電流調節部130−2は、セット電流を増加または減少させる機能を有する。即ち、前記ダミー電流パスの形成によりノードNO1の電圧レベルは高くなるか低くなるため、P型MOSトランジスタMPDのドレイン端子を通じて出力されるセット電流のレベルは減少または増加される。
図7において、出力電圧調節部140−2は、一つのP型MOSトランジスタ141から構成される。P型MOSトランジスタ141のソース端子は、電源電圧VDDに連結され、ゲート端子及びドレイン端子は共通に電圧出力端VOに連結される。従って、P型MOSトランジスタ141は、ノーマリーターンオンされて、設定された駆動能力に従った電圧をノードNO1に提供する。
図7の電流駆動部160は、図3の場合と同様に、P型MOSトランジスタMPDから構成されている。
図8は、図5の増減制御信号を生成するための増減制御信号発生部の構成例を示した回路図である。図8において、符号13aは、リセット電流調節部120−2に印加される増減制御信号DC-RESETを生成するための回路で、符号13bは、セット電流調節部130−2に印加される増減制御信号DC-SETを生成するための回路である。
増減制御信号DC-RESETを生成するための回路13aは、直列に連結された抵抗R1〜R4と、直流電圧の増減をプログラムするためのヒューズF1〜F4と、互いに従属接続されたN型MOSトランジスタNM1〜NM4と、P型MOSトランジスタPM1と、からなる。ここで、レベルダウン部LD内のヒューズF1、F2がカッティングされる場合は、抵抗R3、R4がノードND1から接地VSSに流れる電流を妨げるように作用するため、P型MOSトランジスタPM1のゲート端子に印加される電圧が低くなる。これにより、P型MOSトランジスタPM1はノードND1の電圧を、ヒューズがカッティングされる以前の場合に比べて、低くする役割をする。従って、増減制御信号DC-RESETの直流レベルは低くなる。増減制御信号DC-RESETの直流レベルが低くなる場合は、リセット電流調節部120−2内のダミー電流パスを通じて流れる電流が減少されるため、ライト動作のためのリセット電流は減少される。
一方、レベル増加部LU内のヒューズF3、F4がカッティングされる場合は、N型MOSトランジスタNM2、NM3が抵抗を増加させるため、P型MOSトランジスタPM1のゲート端子に印加される電圧は高くなる。よって、P型MOSトランジスタPM1がノードND1の電圧をヒューズF3、F4がカッティングされる以前の場合に比べて弱くターンオンさせるため、増減制御信号DC-RESETの直流レベルが高くなる。増減制御信号DC-RESETの直流レベルが高くなる場合は、リセット電流調節部120−2内のダミー電流パスを通じて流れる電流が増加され、ライト動作のためのリセット電流が増加されるようになる。
同様に、増減制御信号DC-SETを生成するための回路13bは、直列に連結された抵抗R1〜R4と、直流電圧の増減をプログラムするためのヒューズF1〜F4と、互いに従属されたN型MOSトランジスタNM1〜NM4と、P型MOSトランジスタPM1と、からなる。ここで、レベルダウン部LD内のヒューズF1、F2がカッティングされる場合は、抵抗R3、R4がノードND1から接地VSSへ流れる電流を妨げるように作用するため、P型MOSトランジスタPM1のゲート端子に印加される電圧が低くなる。それで、P型MOSトランジスタPM1はノードND1の電圧を、ヒューズがカッティングされる以前の場合に比べて低くする役割をする。従って、増減制御信号DC-SETの直流レベルは低くなる。増減制御信号DC-SETの直流レベルが低くなった場合は、セット電流調節部130−2内のダミー電流パスを通じて流れる電流が減少するため、ライト動作のためのセット電流が減少される。
一方、レベル増加部LU内のヒューズF3、F4がカッティングされる場合、N型MOSトランジスタNM2、NM3が抵抗を増加させるため、P型MOSトランジスタPM1のゲート端子に印加される電圧は高くなる。従って、P型MOSトランジスタPM1は、ノードND1の電圧を、ヒューズF3、F4がカッティングされる以前の場合に比べて弱くターンオンさせるため、増減制御信号DC-SETの直流レベルが高くなる。増減制御信号DC-SETの直流レベルが高くなる場合、セット電流調節部130−2内のダミー電流パスを通じて流れる電流が増加され、ライト動作のためのセット電流が増加されるようになる。
図8の回路から発生する増減制御信号DC-RESET、DC-SETの直流レベルは、リセット電流とセット電流の生成特性に基因して互いに異なる。その場合、前記回路内の抵抗値の適切な調節が行われる必要がある。
上述のような実施形態の説明を通じて明らかに分かるように、ライト電流生成回路が製造要因及び微弱な欠陥により規定されたリセット電流とセット電流を出力できなくて若干の電流出力シフトを有する場合において、上記のようなヒューズプログラムを通じてライト電流の出力レベルをアップまたはダウンに調節して正確に出力することができるようになる。また、相変化物質を有する相変化メモリセルが外部要因及び工程変化に基因して相変化特性シフトを有する場合においても、増加または減少によって補償されたライト電流が本発明のライトドライバ回路を通じて生成されることができる。
以上の説明では、本発明の実施形態に基づき図面を用いて例示的に説明したが、本発明の技術的思想の範囲内で本発明を多様に変形または変更できることは本発明が属する分野の当業者には明白なものである。例えば、思案の異なった場合にライトドライバ回路内の回路構成及びヒューズの個数と結線関係を本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で多様な形態に変更できるのは勿論のことである。そして、相変化メモリ装置の適用先は、携帯用電子機器に限定されず、電子的システムに幅広く採用されることができる。
本発明の実施形態によるライトドライバ回路のブロック図である。 図1のパルス選択部の構成例を示した回路図である。 図1のライト電流制御部及び電流駆動部の第1構成例を示した回路図である。 図1のライトドライバ回路のライト電流出力に係る動作タイミング図である。 図1のライト電流制御部及び電流駆動部の第2構成例を示した回路図である。 図5の制御信号を生成する制御信号発生部の構成例を示した回路図である。 図1のライト電流制御部及び電流駆動部の第3構成例を示した回路図である。 図5の増減制御信号を生成する増減制御信号発生部の構成例を示した回路図である。 通常の相変化メモリ装置の適用例を示した携帯用電子システムの回路ブロック図である。 図9の相変化メモリ装置の概略的回路ブロック図である。 図10の相変化メモリセル内の相変化物質に対する状態変化を示した図である。 図11の相変化物質の時間対温度に従う相変化特性を示す図である。 図11の相変化物質を第1、第2状態に変化させるための電流パルスの波形を示した図である。

Claims (18)

  1. 相変化メモリセルを備えた相変化メモリ装置におけるライト動作に関する回路であって、
    ライト電流の強さがライトデータの論理状態に従って決定されて前記相変化メモリセルに提供される場合に、前記ライト電流の強さが増加または減少されるようにする補償プログラム部を前記相変化メモリ装置内に備えることを特徴とする回路。
  2. 前記補償プログラム部は、前記ライト電流の強さが増加または減少されるようにするためにカッティング可能なヒューズを含むことを特徴とする請求項1に記載の回路。
  3. 前記相変化メモリセルが相対的に高抵抗状態を有するようにする場合に印加される前記ライト電流の強さは、前記相変化メモリセルが相対的に低抵抗状態を有するようにする場合に印加される電流の強さよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の回路。
  4. 前記高抵抗状態がデータ”1”に設定される場合に、前記低抵抗状態はデータ”0”に設定されることを特徴とする請求項3に記載の回路。
  5. 第1または第2抵抗状態を有する相変化メモリセルが複数のワードラインとビットが交差するインターセクションごとに連結されたマトリックス形態のメモリセルアレイを備えた相変化メモリ装置におけるライト動作のためのライトドライバ回路であって、
    前記相変化メモリセルの抵抗状態を変化させるために印加される第1及び第2状態パルス中の一つを印加されるライトデータの論理状態に応じて選択し、第1または第2選択パルス信号として出力するパルス選択部と、
    前記第1選択パルス信号が印加される場合に、プログラムされた第1電流パスを形成して調節された第1レベルの電圧を出力し、前記第2選択パルス信号が印加される場合に、プログラムされた第2電流パスを形成して調節された第2レベルの電圧を出力するライト電流制御部と、
    前記ライト電流制御部の出力電圧に応じてライト電流を生成する電流駆動部と、を備えることを特徴とする回路。
  6. 前記パルス選択部は、前記第1及び第2状態パルス入力端にそれぞれ受信し、前記ライトデータを制御端で共通に受信する第1、第2伝送ゲートを含むことを特徴とする請求項5に記載の回路。
  7. 前記ライト電流制御部は、前記第1選択パルス信号に応じて前記第1電流パスを形成し、前記第1電流パスを通じて流れる電流がヒューズプログラムにより減少されるようにするリセット電流調節部と、
    前記第2選択パルス信号に応じて前記第2電流パスを形成し、前記第2電流パスを通じて流れる電流がヒューズプログラムにより減少されるようにするセット電流調節部と、
    前記第1、第2電流パスの電流供給端に電圧出力ノードが連結され、ヒューズプログラムにより前記電圧出力ノードの電圧レベルが減少されるようにし、前記第1または第2電流パスを通じて流れる電流量に従って調節された前記第1または第2レベルの電圧を前記電圧出力ノードを通じて出力する出力電圧調節部と、を含むことを特徴とする請求項5または6に記載の回路。
  8. 前記電流駆動部は、前記出力電圧調節部の前記電圧出力ノードにゲート端子が連結され、ソース端子で電源電圧を受信し、ドレイン端子で前記ライト電流を出力するP型MOSトランジスタから構成されることを特徴とする請求項7に記載の回路。
  9. 第1または第2抵抗状態を有する相変化メモリセルが複数のワードラインとビットラインが交差するインターセクションごとに連結されたマトリックス形態のメモリセルアレイを備えた相変化メモリ装置におけるライト動作のためのライトドライバ回路であって、
    前記相変化メモリセルの抵抗状態を変化させるために印加される第1及び第2状態パルスのうち一つを印加されるライトデータの論理状態に応じて選択し、第1または第2選択パルス信号として出力するパルス選択部と、
    前記第1選択パルス信号が印加される場合に、増加プログラムされた第1電流パスを形成して電流出力シフトまたは前記相変化メモリセルの相変化特性シフトに従って調節された第1レベルの電圧を出力し、前記第2選択パルス信号が印加される場合に、増加プログラムされた第2電流パスを形成して電流出力シフトまたは前記相変化メモリセルの相変化特性シフトに従い調節された第2レベルの電圧を出力するライト電流制御部と、
    前記ライト電流制御部の出力電圧に応じてライト電流を生成する電流駆動部と、を備えることを特徴とする回路。
  10. 前記パルス選択部は、前記第1及び第2状態パルスを入力端でそれぞれ受信し、前記ライトデータを制御端で共通に受信する第1、第2伝送ゲートを含むことを特徴とする請求項9に記載の回路。
  11. 前記ライト電流制御部は、前記第1選択パルス信号に応じて前記第1電流パスを形成し、前記第1電流パスを通じて流れる電流がヒューズプログラムに応答したダミー電流パスにより増加されるようにするリセット電流調節部と、
    前記第2選択パルス信号に応じて前記第2電流パスを形成し、前記第2電流パスを通じて流れる電流がヒューズプログラムに応答したダミー電流パスにより増加されるようにするセット電流調節部と、
    前記第1、第2電流パスの電流供給端に電圧出力ノードが連結され、ヒューズプログラムに応答したダミー電圧供給パスにより前記電圧出力ノードの電圧レベルが増加されるようにし、前記第1または第2電流パスを通じて流れる電流量に従って調節された前記第1または第2レベルの電圧を前記電圧出力ノードを通じて出力する出力電圧調節部と、を含むことを特徴とする請求項9または10に記載の回路。
  12. 前記電流駆動部は、前記出力電圧調節部の前記電圧出力ノードにゲート端子が連結され、ソース端子で電源電圧を受信し、ドレイン端子で前記ライト電流を出力するP型MOSトランジスタから構成されることを特徴とする請求項11に記載の回路。
  13. 第1または第2抵抗状態を有する相変化メモリセルが複数のワードラインとビットラインが交差するインターセクションごとに連結されたマトリックス形態のメモリセルアレイを備えた相変化メモリ装置におけるライト動作のためのライトドライバ回路であって、
    前記相変化メモリセルの抵抗状態を変化させるために印加される第1及び第2状態パルスのうち一つを印加されるライトデータの論理状態に応じて選択し、第1または第2選択パルス信号として出力するパルス選択部と、
    前記第1選択パルス信号が印加される場合に、増加または減少プログラムされた第1電流パスを形成して調節された第1レベルの電圧を出力し、前記第2選択パルス信号が印加される場合に、増加または減少プログラムされた第2電流パスを形成して調節された第2レベルの電圧を出力するライト電流制御部と、
    前記ライト電流制御部の出力電圧に応じてライト電流を生成する電流駆動部と、を備えることを特徴とする回路。
  14. 前記パルス選択部は、前記第1及び第2状態パルスを入力端でそれぞれ受信し、前記ライトデータを制御端で共通に受信する第1、第2伝送ゲートを含むことを特徴とする請求項13に記載の回路。
  15. 前記ライト電流制御部は、前記第1選択パルス信号に応じて前記第1電流パスを形成し、前記第1電流パスを通じて流れる電流がヒューズプログラムに応答したダミー電流パスにより増加または減少されるようにするリセット電流調節部と、
    前記第2選択パルス信号に応じて前記第2電流パスを形成し、前記第2電流パスを通じて流れる電流がヒューズプログラムに応答したダミー電流パスにより増加または減少されるようにするセット電流調節部と、
    前記第1、第2電流パスの電流供給端に電圧出力ノードが連結され、前記第1または第2電流パスを通じて流れる電流量に従って調節された前記第1または第2レベルの電圧を前記電圧出力ノードを通じて出力する出力電圧調節部と、を含むことを特徴とする請求項14に記載の回路。
  16. 前記電流駆動部は、前記出力電圧調節部の前記電圧出力ノードにゲート端子が連結され、ソース端子で電源電圧を受信し、ドレイン端子で前記ライト電流を出力するP型MOSトランジスタから構成されることを特徴とする請求項15に記載の回路。
  17. 前記ダミー電流パスは、DC出力回路のプログラムされた出力電圧に応じて前記電流供給端に印加される電流を通過させることを特徴とする請求項16に記載の回路。
  18. 相変化メモリセルを備えた相変化メモリ装置におけるライト電流印加方法であって、
    前記相変化メモリセルをライト動作モードに進入させる段階と、
    ライト電流の強さをライトデータの論理状態に従って決定して前記相変化メモリセルに提供するときに、前記ライト電流の強さを設定されたプログラムにより増加または減少的に調節する段階と、を含むことを特徴とするライト電流の提供方法。
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