JP2005086059A - 放射線検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この発明の放射線検出器は、放射線感応型の半導体1の表側における放射線検出有効エリアSA外に電気絶縁性の緩衝用台座13が設けられている。この緩衝用台座13の上を覆うかたちで形成されているバイアス電圧印加用の共通電極2の表面のうちの緩衝用台座13の上に位置する部分であるリード線接続領域2Aに、バイアス電圧給電用のリード線3が接続されているので、リード線3が共通電極2に接続される際に加わる衝撃が緩衝用台座13で和らげられる結果、性能低下の原因となる半導体1や中間層7の損傷が防止できる。又、緩衝用台座13は放射線検出有効エリアSA外にあるので、緩衝用台座13を設けることで放射線検出機能が損なわれることも防止できる。
【選択図】 図2
Description
すなわち、請求項1に記載の発明に係る放射線検出器は、放射線の入射により電荷を生成する放射線感応型の半導体と、前記放射線感応型の半導体の表側へ面状に形成されているバイアス電圧印加用の共通電極を備え、共通電極の表面にバイアス電圧給電用のリード線が接続されている放射線検出器において、放射線感応型の半導体の表側には放射線検出有効エリアから外れた位置に電気絶縁性の緩衝用台座が設けられており、バイアス電圧印加用の共通電極が緩衝用台座の上の少なくとも一部を覆うかたちで形成されていて、バイアス電圧給電用のリード線が共通電極の表面のうちの緩衝用台座の上に位置する部分に接続されていることを特徴とするものである。
実施例1の検出器は、放射線感応型の半導体1の表側には放射線検出有効エリアSAから外れた位置に電気絶縁性の緩衝用台座13が設けられており、バイアス電圧印加用の共通電極2が緩衝用台座13の上の大部分を覆うかたちで形成されていて、バイアス電圧給電用のリード線3が共通電極2の表面のうちの緩衝用台座13の上に位置する部分に接続されていることを構成上の顕著な特徴としている。すなわち、実施例1の場合には、キャリア選択性の中間層7が設けられているので、緩衝用台座13は中間層7の上に平面形状が略楕円状に形成されている一方、共通電極2の一部が放射線検出有効エリアSAから連続的に緩衝用台座13の上に張り出して長方形のリード線接続領域2Aを一体的に有するように電極用金属薄膜(例えば金薄膜)が形成されているのである。銅線等のリード線3は導電ペースト(例えば銀ペースト)14によってリード線接続領域2Aの表面に接続されている。なお、キャリア選択性の中間層7が設けられていない時は、共通電極2や緩衝用台座13は放射線感応型の半導体1の表面上に直に形成されることになる。
2 … (バイアス電圧印加用の)共通電極
2A … (共通電極における)リード線接続領域
3 … (バイアス電圧給電用の)リード線
4 … アクティブマトリックス基板
5 … 収集電極
6 … 蓄積・読み出し用電気回路
7 … キャリア選択性の中間層
13 … 緩衝用台座
13A … 台座用傾斜部
14 … 導電ペースト
15 … コリメータ
16 … 電極用傾斜部
SA … 放射線検出有効エリア
Claims (11)
- 放射線の入射により電荷を生成する放射線感応型の半導体と、前記放射線感応型の半導体の表側へ面状に形成されているバイアス電圧印加用の共通電極を備え、共通電極の表面にバイアス電圧給電用のリード線が接続されている放射線検出器において、放射線感応型の半導体の表側には放射線検出有効エリアから外れた位置に電気絶縁性の緩衝用台座が設けられており、バイアス電圧印加用の共通電極が緩衝用台座の上の少なくとも一部を覆うかたちで形成されていて、バイアス電圧給電用のリード線が共通電極の表面のうちの緩衝用台座の上に位置する部分に接続されていることを特徴とする放射線検出器。
- 請求項1に記載の放射線検出器において、放射線検出有効エリア内に設定された1次元状ないし2次元状マトリックス配列で複数の収集電極が表面に形成されているとともに各収集電極で収集される電荷の蓄積・読み出し用電気回路が配設されているアクティブマトリックス基板を備えていて、アクティブマトリックス基板の収集電極の形成面側に放射線感応型の半導体が積層されている放射線検出器。
- 請求項1または2に記載の放射線検出器において、バイアス電圧給電用のリード線と共通電極の接続が導電ペーストによってなされている放射線検出器。
- 請求項1から3のいずれかに記載の放射線検出器において、放射線感応型の半導体と共通電極の間にキャリア選択性の中間層が形成されていて、キャリア選択性の中間層の上に緩衝用台座が設けられている放射線検出器。
- 請求項1から4のいずれかに記載の放射線検出器において、放射線感応型の半導体が、高純度アモルファスセレン(a−Se),Na等のアルカリ金属やCl等のハロゲンもしくはAsやTeをドープしたセレンおよびセレン化合物のアモルファス半導体,CdTe,CdZnTe,PbI2 ,HgI2 ,TlBr等の非セレン系多結晶半導体のうちのいずれかである放射線検出器。
- 請求項4に記載の放射線検出器において、キャリア選択性の中間層は、厚さが0.1μm〜10μmの範囲であり、Sb2 S3 ,ZnTe,CeO2 ,CdS,ZnSe,ZnS等の多結晶半導体,Na等のアルカリ金属やCl等のハロゲンもしくはAsやTeをドープしたセレンおよびセレン化合物のアモルファス半導体のうちのいずれかである放射線検出器。
- 請求項1から6のいずれかに記載の放射線検出器において、緩衝用台座がエポキシ樹脂,ポリウレタン樹脂,アクリル樹脂等の硬質樹脂材料を用いて形成されている放射線検出器。
- 請求項1から7のいずれかに記載の放射線検出器において、緩衝用台座の高さが0.2mm〜2mmの範囲であり、緩衝用台座の側壁に台座外側に向かって厚みが次第に減るように構成された下り傾斜の台座用傾斜部が設けられていて、共通電極が放射線検出有効エリアから台座用傾斜部の表面を伝って緩衝用台座の上へ延びている放射線検出器。
- 請求項8に記載の放射線検出器において、前記緩衝用台座と台座用傾斜部とを少なくとも覆うように硬質樹脂材料を用いてオーバーコートする放射線検出器。
- 請求項1から9のいずれかに記載の放射線検出器において、放射線が放射線検出有効エリアに入射する際に共通電極の端縁部および緩衝用台座に当たるのを避けるコリメータを備えている放射線検出器。
- 請求項1から10のいずれかに記載の放射線検出器において、緩衝用台座のあるところでは共通電極の端縁部が緩衝用台座に乗り上げており、緩衝用台座以外のところでは、電極外側に向かって厚みが次第に増えるように構成された上り傾斜の電極用傾斜部が電気絶縁性の高分子材料で共通電極の周縁に沿って形成されているとともに共通電極の端縁部が電極用傾斜部に乗り上げている放射線検出器。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007096967A1 (ja) * | 2006-02-23 | 2007-08-30 | Shimadzu Corporation | 放射線検出器 |
JP2008252090A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-10-16 | Korea Electronics Telecommun | カルコゲン薄膜トランジスタアレイを備えた電子医療映像装置 |
JP2008251999A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujifilm Corp | 放射線検出器 |
JP2008256677A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-10-23 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出器 |
WO2008143049A1 (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Shimadzu Corporation | 放射線検出器 |
JP2009032975A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Fujifilm Corp | 放射線検出器 |
US7547885B2 (en) | 2006-12-18 | 2009-06-16 | National University Corporation Shizuoka University | Radiation detector |
JP2009175102A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Shimadzu Corp | 直接変換型x線フラットパネルセンサー |
JP2009231715A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Toshiba Corp | X線検出器 |
JPWO2019239851A1 (ja) * | 2018-06-14 | 2020-12-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 制御電極と、透明電極と、前記制御電極と前記透明電極の側面とを電気的に接続する接続層と、を備えるイメージセンサ |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005012049A (ja) * | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Shimadzu Corp | 放射線検出器およびそれを備えた放射線撮像装置 |
US7488950B2 (en) * | 2006-06-05 | 2009-02-10 | Blaise Laurent Mouttet | Crosswire sensor |
KR100891539B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2009-04-03 | 한양대학교 산학협력단 | 생물학적 활성 영역용의 uv 방사선 검출기 |
US7741610B2 (en) * | 2007-11-01 | 2010-06-22 | Oy Ajat Ltd. | CdTe/CdZnTe radiation imaging detector and high/biasing voltage means |
JP4900511B2 (ja) * | 2008-09-10 | 2012-03-21 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出器 |
JP5222398B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-06-26 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出器 |
CN101728450B (zh) * | 2009-11-18 | 2011-11-02 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 高占空比碲镉汞长波红外光电导面阵探测器 |
WO2011111590A1 (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-15 | 株式会社島津製作所 | 二次元アレイx線検出器の検査方法 |
DE102010055633A1 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Halbleiterdetektor mit versetztem Bondkontakt |
JP2013217769A (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-24 | Canon Inc | 放射線検出装置 |
JP6535271B2 (ja) * | 2015-11-09 | 2019-06-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器、及び放射線検出器の製造方法 |
DE102016221481B4 (de) * | 2016-11-02 | 2021-09-16 | Siemens Healthcare Gmbh | Strahlungsdetektor mit einer Zwischenschicht |
CN107170842B (zh) * | 2017-06-12 | 2019-07-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光电探测结构及其制作方法、光电探测器 |
US10910432B1 (en) * | 2019-07-23 | 2021-02-02 | Cyber Medical Imaging, Inc. | Use of surface patterning for fabricating a single die direct capture dental X-ray imaging sensor |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55127079A (en) | 1979-03-24 | 1980-10-01 | Anritsu Corp | Radiating wave detection element |
JPS5728223A (en) | 1980-07-26 | 1982-02-15 | New Japan Radio Co Ltd | Pyroelectric type radiation wave detector and manufacture thereof |
JPS6243586A (ja) | 1985-08-21 | 1987-02-25 | Nippon Mining Co Ltd | 放射線検出器 |
JPH0982932A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-03-28 | Hitachi Ltd | 固体撮像素子 |
KR100269520B1 (ko) * | 1997-07-29 | 2000-10-16 | 구본준 | 박막트랜지스터, 액정표시장치와 그 제조방법 |
US6150691A (en) * | 1997-12-19 | 2000-11-21 | Micron Technology, Inc. | Spacer patterned, high dielectric constant capacitor |
US6069360A (en) * | 1998-05-08 | 2000-05-30 | Lund; James C. | Method and apparatus for electron-only radiation detectors from semiconductor materials |
JP3838806B2 (ja) * | 1999-03-26 | 2006-10-25 | 株式会社東芝 | 信号増倍x線撮像装置 |
DE19932541B4 (de) * | 1999-07-13 | 2011-07-28 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Verfahren zur Herstellung einer Membran |
JP3832615B2 (ja) * | 1999-08-26 | 2006-10-11 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出装置 |
JP3588053B2 (ja) * | 2001-02-07 | 2004-11-10 | シャープ株式会社 | 電磁波検出器 |
JP3678162B2 (ja) * | 2001-04-12 | 2005-08-03 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出装置 |
JP3932857B2 (ja) * | 2001-10-22 | 2007-06-20 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出装置 |
US6647092B2 (en) * | 2002-01-18 | 2003-11-11 | General Electric Company | Radiation imaging system and method of collimation |
JP4211435B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2009-01-21 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出器 |
-
2003
- 2003-09-10 JP JP2003317965A patent/JP4269859B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-02 EP EP04020924A patent/EP1515374A3/en not_active Withdrawn
- 2004-09-09 US US10/936,673 patent/US7105829B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-09 KR KR1020040072190A patent/KR100624026B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-09-09 CA CA002480992A patent/CA2480992A1/en not_active Abandoned
- 2004-09-10 CN CNB2004100771195A patent/CN1318860C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7875856B2 (en) | 2006-02-23 | 2011-01-25 | Shimadzu Corporation | Radiation detector |
WO2007096967A1 (ja) * | 2006-02-23 | 2007-08-30 | Shimadzu Corporation | 放射線検出器 |
KR101064856B1 (ko) | 2006-02-23 | 2011-09-14 | 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 | 방사선 검출기 |
US7547885B2 (en) | 2006-12-18 | 2009-06-16 | National University Corporation Shizuoka University | Radiation detector |
JP2008252090A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-10-16 | Korea Electronics Telecommun | カルコゲン薄膜トランジスタアレイを備えた電子医療映像装置 |
JP2008256677A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-10-23 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出器 |
JP2008251999A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujifilm Corp | 放射線検出器 |
US8071980B2 (en) | 2007-03-30 | 2011-12-06 | Fujifilm Corporation | Radiation detector |
WO2008143049A1 (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Shimadzu Corporation | 放射線検出器 |
JP5104857B2 (ja) * | 2007-05-21 | 2012-12-19 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出器 |
US7786446B2 (en) | 2007-07-27 | 2010-08-31 | Fujifilm Corporation | Radiation detector |
JP2009032975A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Fujifilm Corp | 放射線検出器 |
JP2009175102A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Shimadzu Corp | 直接変換型x線フラットパネルセンサー |
JP2009231715A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Toshiba Corp | X線検出器 |
JPWO2019239851A1 (ja) * | 2018-06-14 | 2020-12-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 制御電極と、透明電極と、前記制御電極と前記透明電極の側面とを電気的に接続する接続層と、を備えるイメージセンサ |
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