JP2005003669A - 光電式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光電式エンコーダの受光チップ15には、複数のフォトダイオード23が測定軸Xに沿ってアレイ状に配置されている。アレイの端部31に配置されているPD23のピッチP1および受光面25の幅W1は、それぞれ、アレイの中央部29に配置されているそれのピッチP2およびそれの幅W2よりも小さくされている。
【選択図】 図3
Description
図1は、第1実施形態に係る光電式エンコーダ1の概略構成を示す図である。この実施形態は、受光部に含まれる受光チップの構造を主な特徴としているが、この理解の前提として光電式エンコーダ1について説明する。まず、エンコーダ1の構成を説明する。エンコーダ1は、発光ダイオード(LED)3と、これに近い順に沿って配置されたスケール5と、受光部7とにより構成される。
第2実施形態については、第1実施形態との相違を中心に説明する。図7は、第2実施形態に係る光電式エンコーダの受光チップ15に形成されたPDアレイの中央部29におけて、一つの受光面25とインデックス格子33との配置関係を模式的に示す平面図である。図8は、図7に示す構造をVIII(a)-VIII(b)断面から見た模式図である。
第3実施形態については、第1実施形態との相違を中心に説明する。図9は、光学格子側から見た第3実施形態の受光チップ15のフォトダイオードアレイを模式的に表した平面図である。この図では、インデックス格子の図示を省略している。図10は、第3実施形態に係る受光チップ15の一部の平面図である。この図では、受光面25とインデックス格子の透光部40との位置関係が示されている。受光素子の前面に配置される格子をインデックス格子と言う。
[第4実施形態]
第4実施形態については、第1実施形態との相違を中心に説明する。図11は、第4実施形態の受光チップ15のフォトダイオードアレイを模式的に表した平面図であり、図3と対応している。
[第5実施形態]
図12は、第5実施形態の比較となる受光チップの一部の平面図である。図13は、第5実施形態の受光チップの一部の平面図である。第1〜第4実施形態において、PD23のピッチPは、光強度の変化量を基に決められる。一方、インデックス格子33の透光部40の位置は、光信号の位相を基に決められる。したがって、図12に示す受光面25-1のように、透光部40-1が受光面25-1上に位置しない場合が発生する可能性がある。
MOD(Xb(k),Pf)=(1/4)×Pf+φ
MOD(Xaa(k),Pf)=(2/4)×Pf+φ
MOD(Xbb(k),Pf)=(3/4)×Pf+φ
ここで、MOD(A,B)演算は、AをBで割った余りを求める演算である。また、φは基準位置RPによって決まる値である。φは各位相に共通な値であり、位相差に関係しない。Pfは、図1に示すように、光源3からの光Lを光学格子11に照射した際に生成される明暗パターンL1の波長である。インデックス格子33の透光部40の位置を上記のようにして決めることにより、対応する位相の光信号をPD23に受光させることができる。
Claims (13)
- 光源と、
前記光源からの光が照射される光学格子を含むスケールと、
前記スケールに対して測定軸方向に相対移動可能に配置され、前記光学格子に照射された光を基にして生成された光信号が入射する受光面をそれぞれ有すると共に位相の異なる複数の光信号を検出する複数の受光素子と、
を備え、
前記複数の受光素子はアレイ状に配置され、
アレイの端部に配置された受光素子のサイズは、前記アレイの中央部に配置された受光素子のサイズに比べて小さくされている、
ことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記複数の受光素子は、前記測定軸に沿って配置されており、
前記受光面の前記測定軸方向のサイズは、前記アレイの端部に配置された受光素子のほうが前記アレイの中央部に配置された受光素子よりも小さくされている、
ことを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。 - 前記複数の受光素子を含む受光チップを備え、
前記受光チップは、さらに、
前記受光面を部分的に覆う遮光部を有するインデックス格子を含む、
ことを特徴とする請求項2に記載の光電式エンコーダ。 - 前記受光チップは、
導電性の前記遮光部の下でこの遮光部に接続されると共に前記受光面とコンタクトしているコンタクト部と、
前記遮光部と接続された配線と、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の光電式エンコーダ。 - 前記複数の受光素子は、前記測定軸と直交する方向に沿って配置されており、
前記受光面の前記測定軸と直交する方向のサイズは、前記アレイの端部に配置された受光素子のほうが前記アレイの中央部に配置された受光素子よりも小さくされている、
ことを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。 - 前記複数の受光素子により、セット毎に受光素子のサイズが異なる複数のセットが構成されており、
各セットを構成する受光素子は、同じピッチで連続して配置されていると共に位相の異なる複数の光信号を検出する受光素子を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。 - 各セットにおいて、前記受光面の前記測定軸方向のサイズが同じにされており、
前記アレイの端部に配置されたセットは、前記アレイの中央部に配置されたセットに比べて、前記受光面の前記測定軸方向のサイズが小さくされている、
ことを特徴とする請求項6に記載の光電式エンコーダ。 - 前記複数のセットのうち、前記アレイの端部に配置されたセットと、前記アレイの中央部に配置されたセットと、の間にある前記アレイの中間部に配置されたセットにおいて、受光素子のサイズは、前記アレイの端部のセットのそれよりも大きく、かつ前記アレイの中央部のセットのそれよりも小さい、
ことを特徴とする請求項6に記載の光電式エンコーダ。 - 各セットにおいて、前記受光面の前記測定軸方向のサイズが同じにされており、
前記アレイの中間部に配置されたセットにおいて、前記受光面の前記測定軸方向のサイズは、前記アレイの端部のセットのそれよりも大きく、かつ前記アレイの中央部のセットのそれよりも小さい、
ことを特徴とする請求項8に記載の光電式エンコーダ。 - 前記アレイの面上における光強度分布が原因となる光強度の変化量が各セット上で一定になるように前記複数のセットのサイズをそれぞれ設定する、
ことを特徴とする請求項6に記載の光電式エンコーダ。 - 光源と、
前記光源からの光が照射される光学格子を含むスケールと、
前記光源からの光が前記光学格子を介して照射されると共に、前記スケールに対して測定軸方向に相対移動可能な受光チップと、
前記受光チップ上の測定軸方向及び測定軸方向に垂直な方向に沿ってアレイ状に配置された複数の受光素子と、
前記複数の受光素子のそれぞれの前面に配置された複数のインデックス格子と、
を備え、
前記複数のインデックス格子は、前記相対移動することにより前記複数の受光素子から位相の異なる複数の光信号が出力されるように、互いに測定軸方向に沿って所定オフセット配置されている、
ことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 同じ位相の光信号を受光する前記受光素子が前記測定軸に対して斜めに配置されていると共に異なる位相の光信号を受光する前記受光素子が前記測定軸の斜め方向に周期的に配置されている、
ことを特徴とする請求項11に記載の光電式エンコーダ。 - 測定軸方向に垂直な方向のサイズは、前記アレイの端部に配置された受光素子のほうが前記アレイの中央部に配置された受光素子よりも小さくされている、
ことを特徴とする請求項11に記載の光電式エンコーダ。
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