JP4754230B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る光電式エンコーダ1の概略構成を示す図である。光電式エンコーダ1は、発光ダイオード(LED)3、スケール5及び受光チップ7を備える。
MOD(Xb(k),Pf)=(1/4)×Pf+φ
MOD(Xaa(k),Pf)=(2/4)×Pf+φ
MOD(Xbb(k),Pf)=(3/4)×Pf+φ
ここで、MOD(A,B)演算は、AをBで割った余りを求める演算である。また、φは基準位置RPによって決まる値である。φは各位相に共通な値であり、位相差に関係しない。第2のインデックス格子31の光通過部35の位置を上記のようにして決めることにより、対応する位相の光信号をフォトダイオード27に受光させることができる。
図6は、第2実施形態におけるフォトダイオード27と第2のインデックス格子31との位置関係を示す図である。各フォトダイオード27は、第2のインデックス格子31の遮光部33と対応する部分41がカットされている。各フォトダイオード27は、光通過部35と対応する三つの部分43から構成されている。このようなカットは、フォトダイオード27を形成する際に、カットしたい部分にイオンが注入されないようにすることにより実現される。
図7は、第3実施形態におけるフォトダイオード27と第2のインデックス格子31との位置関係を示す図である。各フォトダイオード27は、隣り合う第2のインデックス格子31間に対応する部分45がカットされており、これにより、各フォトダイオード27は、第2のインデックス格子31と対応する部分から構成される。
第4実施形態に係る光電式エンコーダは、第1のインデックス格子を兼ねる複数のフォトダイオード及び複数の第2のインデックス格子に加えて、複数の第3のインデックス格子を備えている。図8は、第4実施形態におけるフォトダイオード27、第2のインデックス格子31及び第3のインデックス格子51の位置関係を示す図である。各第3のインデックス格子51は、対応するフォトダイオード27と第2のインデックス格子31との間に位置している。第3のインデックス格子51は、遮光部53と光通過部55とから構成され、第2のインデックス格子31と同様の方法で形成される。
図12は、第5実施形態における第2のインデックス格子31及び第3のインデックス格子51を介して干渉縞IFがフォトダイオード27に入射している状態を示す図である。第3のインデックス格子51の遮光部53は、光吸収材(例えば、ポリシリコン、クロム)を含む。すなわち、第2のインデックス格子31及び第3のインデックス格子51のうち、フォトダイオード27に近い側に位置するものの遮光部が光吸収材を含むようにしている。
n1は光信号の相数、k1は任意の自然数
例えば図4に示す様な、Pf=4×Pig1の場合、n1=4、k1=1となる。また、例えば、図16に示す様な、Pf=(4/3)×Pig1の場合、n1=4、k1=2となる。
Pf=n3×Pig1÷(2k3−1)・・・2
n2及びn3は光信号の相数、k2及びk3は任意の自然数
例えば、式1において、n2=1、k2=1の場合、図11に示すPf=Pig2となり、n2=1、k2=2の場合、図17に示すPf=Pig2÷3となる。同様に、式2において、n3=1、k3=1の場合、図9に示すPf=Pig3となり、n3=1、k3=2の場合、図18に示すPf=Pig3÷3となる。なお、図17及び図18では、第2のインデックス格子31や第3のインデックス格子51を通過する光の図示を省略している。
Claims (8)
- 光源と、
第1のピッチ又はこれよりも小さい第2のピッチで形成された光学格子が設けられ、測定軸方向に延びるスケールと、
前記光源と一緒に前記スケールに対して前記測定軸方向に相対移動可能な受光チップと、を備え、
前記受光チップは、
前記光源からの光が前記第1のピッチを有する前記光学格子に照射されて生成される干渉縞のピッチがPf1であるとしたとき、
Pf1=n1×Pig1÷(2k1−1)
(但し、n1は光信号の相数、k1は任意の自然数)
を満たすピッチPig1で、半導体基板にアレイ状に形成され、第1のインデックス格子を兼ねる複数の受光素子と、
前記光源からの光が前記第2のピッチを有する前記光学格子に照射されて生成される干渉縞のピッチがPf2であるとしたとき、
Pf2=Pig2÷(2k2−1)
(但し、k2は任意の自然数)
を満たすピッチPig2で、位相を異ならせて形成され、前記複数の受光素子上に配置された複数の第2のインデックス格子と、を含む
ことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記複数の第2のインデックス格子は、それぞれ、遮光部と、これをピッチPig2で選択的に除去して形成された複数の光通過部とを有する
ことを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。 - 前記複数の受光素子は、それぞれ、前記光透過部を通過した光が直接入射しない部分がカットされている
ことを特徴とする請求項2に記載の光電式エンコーダ。 - 前記複数の受光素子は、それぞれ、隣り合う第2のインデックス格子間の前記遮光部によって遮光される部分がカットされている
ことを特徴とする請求項2に記載の光電式エンコーダ。 - 前記スケールには、前記第1のピッチ、前記第2のピッチ又は前記第1のピッチよりも小さく前記第2のピッチと異なる第3のピッチで形成された前記光学格子が設けられ、
前記受光チップは、前記光源からの光が前記第3のピッチを有する前記光学格子に照射されて生成される干渉縞のピッチがPf3であるとしたとき、
Pf3=Pig3÷(2k3−1)
(但し、k3は任意の自然数)
を満たすピッチPig3で、位相を異ならせて前記複数の受光素子上に形成され、前記複数の第2のインデックス格子と異なる層に配置された複数の第3のインデックス格子をさらに含む
ことを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。 - 前記複数の第2のインデックス格子は、それぞれ、遮光部と、これをピッチPig2で選択的に除去して形成された複数の光通過部とを有し、
前記複数の第3のインデックス格子は、それぞれ、遮光部と、これをピッチPig3で選択的に除去して形成された複数の光通過部とを有する
ことを特徴とする請求項5に記載の光電式エンコーダ。 - 前記複数の第2及び第3のインデックス格子のうち、前記複数の受光素子に近い側に位置するものの前記遮光部は、光吸収材を含む
ことを特徴とする請求項6に記載の光電式エンコーダ。 - 光源と、
第1のピッチ又はこれよりも小さい第2のピッチで形成された光学格子が設けられ、測定軸方向に延びるスケールと、
前記光源と一緒に前記スケールに対して前記測定軸方向に相対移動可能な受光チップと、を備え、
前記受光チップは、
前記光源からの光が前記第1のピッチを有する前記光学格子に照射されて生成される干渉縞のピッチの1/n(nは光信号の相数)のピッチで半導体基板にアレイ状に形成され、第1のインデックス格子を兼ねる複数の受光素子と、
前記光源からの光が前記第2のピッチを有する前記光学格子に照射されて生成される干渉縞のピッチで形成され、前記複数の受光素子上に配置された複数の第2のインデックス格子と、を含み、
前記複数の第2のインデックス格子は、その下に配置された受光素子の位相に合わせて互いに異なる位相で形成されている
ことを特徴とする光電式エンコーダ。
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JP2005026023A JP4754230B2 (ja) | 2005-02-02 | 2005-02-02 | 光電式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005026023A JP4754230B2 (ja) | 2005-02-02 | 2005-02-02 | 光電式エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006214791A JP2006214791A (ja) | 2006-08-17 |
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Family Applications (1)
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JP2005026023A Active JP4754230B2 (ja) | 2005-02-02 | 2005-02-02 | 光電式エンコーダ |
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Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE19918101A1 (de) * | 1999-04-22 | 2000-10-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische Positionsmeßeinrichtung |
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2005
- 2005-02-02 JP JP2005026023A patent/JP4754230B2/ja active Active
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