JP2004125812A - 光学式ロータリエンコーダ - Google Patents
光学式ロータリエンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004125812A JP2004125812A JP2004014387A JP2004014387A JP2004125812A JP 2004125812 A JP2004125812 A JP 2004125812A JP 2004014387 A JP2004014387 A JP 2004014387A JP 2004014387 A JP2004014387 A JP 2004014387A JP 2004125812 A JP2004125812 A JP 2004125812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- code plate
- light
- optical
- rotary encoder
- code
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
【解決手段】 光源部と、受光部および、両者の光路間に位置する可動のコード板4からなる光学式ロータリエンコーダにおいて、コード板4の外側のトラックT2に、当該コード板の絶対位置情報を知るための周知の絶対位置検出用パターンを形成し、そして内側のトラックT1に、位相型光回折格子を形成し、その位相型回折格子で回折した2つの回折光の干渉光に基づき、当該コード板の相対位置情報を検出し、両情報の組み合わせから高分解能の検出を可能にする。
【選択図】図2
Description
前記コード板に、位相型光回折格子を別途形成すると共に、その位相型回折格子で回折した2つの回折光の干渉光を受光するようにし、絶対位置検出用パターンからわかる絶対位置情報と、干渉光からわかる相対位置情報とを組み合わせて高分解能の位置情報を得ることを特徴とする。
図2は本発明の第1実施形態に係わる光学検出部の構成図を示す。コード板4には、リング状の2つのトラックT1、T2の領域がある。図3は、内側のトラックT1における周回方向でのコード板4の断面を示し、一方の面に“位相型回折格子”として矩形の凹凸を有する。図4は、外側のトラックT2における周回方向でのコード板4の断面を示し、絶対位置検出用パターンとして、一方の面に光路を遮るためのV字状の凹凸による全反射領域(領域1)とそうでない光透過領域(領域2)を交互に設けている。光源部1はレーザやLEDなどの可干渉光源とする。受光部5、6、7はPDなどの半導体受光素子とする。
θm= arcsin(m・λ/P) ただし、m=0,±1,±2…
Δφ=2・m・π・ΔL/P
η0=1−4・d(1−d)sin2(π(n−1)・H/λ)
λ:波長、n:コード板材料の屈折率、d:格子の幅デューティ
受光部配置位置(受光部5との距離)=P/2・(X+Δφ/2π) (Xは整数)
上記トラックT2に形成した図4のV字状凹凸による領域1は全反射領域としたものであったが、図9に示す第2の実施形態では、凹凸を形成する傾斜面1、2を、屈折面として機能する角度に傾斜させることで、領域1を屈折領域としている。領域2およびトラックT1に形成した図3の矩形の凹凸は前実施形態のものと同じである。
上記の2つの実施形態で示したコード板4、4’はロータリエンコーダに用いるためディスク状のものであったが、図10に示したリニアエンコード用コード板10は、直線状の2つのトラックT11、T12を持ち、トラックT11には、図3に図示の矩形状の凹凸を形成し、トラックT12には、図4もしくは図9に図示のV字状の凹凸を形成した領域1とそうでない領域2とを交互に配列している。
トラックT1に本発明に係わる矩形の凹凸(光回折格子)を形成したコード板4を得るには、透明プラスチックの成型により行えるが、その際、トラックT2に対しても同時に絶対位置検出用パターンを形成できれば、低コストかつ低慣性となるため都合が良い。そのため上記実施形態ではトラックT2にV字状の凹凸を形成したが、絶対位置検出用パターンはこれに限定されることはなく周知のものを採用できる。
以上の説明からわかるように、本発明はコード板に特徴を持つものであるため、請求項5にてコード板を請求している。
実施形態1〜5で説明した絶対位置検出用トラック及び受光部はそれぞれ1個で構成されているが、検出用トラック及び受光部をそれぞれ複数個用いて構成してもよい。高分解能検出についてもトラック1個、受光素子2個で構成しているが、トラックを複数、受光部を異なる数としてもよい。
4 コード板
5、6、7 受光部
10 リニアエンコード用コード板
T1、T2、T11、T12 トラック
X スリット
Claims (5)
- 光源部、受光部および、両者の光路間に位置し、光路を選択的に遮るための絶対位置検出用パターンを形成した可動のコード板からなる光学式ロータリエンコーダにおいて、
前記コード板に、位相型光回折格子を別途形成すると共に、その位相型回折格子で回折した2つの回折光の干渉光を受光するようにし、絶対位置検出用パターンからわかる絶対位置情報と、干渉光からわかる相対位置情報とを組み合わせて高分解能の位置情報を得ることを特徴とする光学式ロータリエンコーダ。 - 上記位相型回折格子は、コード板の移動方向に凹凸による矩形断面形状を連続して形成したものである請求項1記載の光学式ロータリエンコーダ。
- 上記絶対位置検出用パターンは、コード板の少なくとも一方の面に全反射させるV字状の凹凸を形成したものである請求項1または2に記載の光学式ロータリエンコーダ。
- 上記絶対位置検出用パターンは、V字状の凹凸がコード板の移動方向に並ぶように形成を形成したものである請求項1〜3のいずれかに記載の光学式ロータリエンコーダ。
- 光源部と受光部との光路間に位置する可動のコード板であって、光路を選択的に遮るための絶対位置検出用パターンとは別に、位相型光回折格子を形成したことを特徴とするロータリエンコーダ用コード板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004014387A JP2004125812A (ja) | 2004-01-22 | 2004-01-22 | 光学式ロータリエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004014387A JP2004125812A (ja) | 2004-01-22 | 2004-01-22 | 光学式ロータリエンコーダ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001213651A Division JP2003028671A (ja) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | 光学式エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004125812A true JP2004125812A (ja) | 2004-04-22 |
Family
ID=32291435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004014387A Pending JP2004125812A (ja) | 2004-01-22 | 2004-01-22 | 光学式ロータリエンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004125812A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106153090A (zh) * | 2014-10-30 | 2016-11-23 | 株式会社岛津制作所 | 转子位置检测装置以及旋转阀 |
-
2004
- 2004-01-22 JP JP2004014387A patent/JP2004125812A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106153090A (zh) * | 2014-10-30 | 2016-11-23 | 株式会社岛津制作所 | 转子位置检测装置以及旋转阀 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6437802B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
US10317253B2 (en) | Optical encoder | |
JPH08219812A (ja) | 変位情報検出装置、変位情報検出用スケール及びこれを用いたドライブ制御装置 | |
EP0729013B1 (en) | Displacement detection apparatus and drive control apparatus using the same | |
WO2011152076A1 (ja) | ロータリエンコーダ、ロータリモータ及びロータリモータシステム | |
US5917182A (en) | Rotation detector and controller for detecting rotation information using a grating interference system | |
EP2889586B1 (en) | Optical encoder | |
JPH063167A (ja) | エンコーダー | |
US5694218A (en) | Optical encoder including a plurality of phase adjusting gratings | |
US11448529B2 (en) | Optical rotary encoder | |
JP6651371B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP2004125812A (ja) | 光学式ロータリエンコーダ | |
US20100213358A1 (en) | Optical encoder and method for measuring displacement information using multiple optical tracks of diffractive optical regions having different periodicities | |
JP3198789B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP5069364B2 (ja) | 光電式インクリメンタル型エンコーダ | |
JP2003028671A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP3745354B2 (ja) | エンコーダアセンブリ | |
JP4543311B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP3199549B2 (ja) | エンコーダ装置 | |
KR101227125B1 (ko) | 광학식 엔코더 및 이를 이용한 변위 측정 방법 | |
JPH08226804A (ja) | 変位情報検出装置及びこれを用いたドライブ制御装置 | |
WO2020188668A1 (ja) | 光学式ロータリエンコーダ、サーボモータおよびアクチュエータ | |
JP3022647B2 (ja) | 光学式変位検出装置 | |
JP3566425B2 (ja) | 変位情報検出装置 | |
JP2021179417A (ja) | 光学式エンコーダ及び制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040122 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060314 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20060512 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060613 |