JPH08226804A

JPH08226804A - 変位情報検出装置及びこれを用いたドライブ制御装置

Info

Publication number: JPH08226804A
Application number: JP3219595A
Authority: JP
Inventors: Akira Ishizuka; 公石塚
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-02-21
Filing date: 1995-02-21
Publication date: 1996-09-03

Abstract

(57)【要約】【目的】高分解能化を格子間の衝突の危険性を防止し
ながら達成できる変位情報検出装置とこれを用いたドラ
イブ制御装置を提供することを目的とする。【構成】光源Ｌ１に照明された相対移動する部材上の
位相回折格子ＧＴ１からの回折光の出射直後の位置に発
生する干渉縞の発生位置に設けられた振幅格子ＧＴ２の
透過光を受光し、前記部材の相対移動に伴って前記受光
信号より変位情報としての周期的信号を発生させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、相対変位情報検出装置
に関する。本発明は、相対移動物体に取り付けられたス
ケールの回折格子に光束を照射して、そこから得られる
波面位相強度変調信号光を検出することで、スケールの
位置、位置ずれ量、位置ずれ方向、速度、加速度等を検
出するエンコーダに良好に適用できるものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、物体の変位情報（変位量、速
度、加速度等）を高精度に測定する目的にインクリメン
タルエンコーダが利用されている。

【０００３】従来の代表的なインクリメンタルエンコー
ダは、相対移動するスケール上に記録した１００ミクロ
ンオーダピッチの振幅格子（明暗格子）に、光束を照明
し、そこで得られる透過光を、スケールの格子と等ピッ
チの振幅格子に透過させることで、両者の格子の透過部
が重なりあったときに透過光が最大に、両者の格子が１
／２ピッチずれて重なりあったときに透過光が最小にな
るように変調され、スケール格子の１ピッチの移動に伴
う１周期の光量の変化を作り出して、それを光電素子で
検出し、周期をカウントすることでインクリメンタルエ
ンコーダ信号を出力している。測定分解能は格子ピッチ
と同一になる。

【０００４】

【発明が解決しようとしている課題】さて、最近の動向
としてエンコーダの高分解能化が求められているが、上
記の原理に基づいてエンコーダを構成すると、第１の格
子からの透過光が有する格子パターンが光の回折現象の
ためにぼやけるために第２の格子で重ね合せて透過光を
得たときに光量の強度変調が得られにくくなる。そこ
で、光の回折現象の影響をすくなくする目的で第１の格
子と第２の格子を極力接近させて構成することが行われ
ている。

【０００５】ここで、エンコーダの高分解能化（ＥＸ．
格子ピッチ１０μｍ）をさらにすすめると、第１の格子
と第２の格子を数１０μｍ程度まで近接させて構成する
必要が生じる。

【０００６】しかし、相対移動するスケールの移動は、
各種ガイド機構からなるステージによって拘束されるた
めに、機構部品の誤差によって、第１格子と第２格子が
衝突して破損する事故が起こりやすい。

【０００７】本発明は上述従来例に鑑み、高分解能化を
格子間の衝突の危険性を防止しながら達成できる変位情
報検出装置とこれを用いたドライブ制御装置を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述目的を達成するため
の第１発明は、相対移動する部材上の位相回折格子を照
明するための光源と、該光源に照明された該位相回折格
子からの回折光の出射直後の位置に発生する干渉縞の発
生位置に設けられた振幅格子と、該振幅格子の透過光を
受光する受光素子とを有し、前記部材の相対移動に伴っ
て前記受光信号より変位情報としての周期的信号を発生
させることを特徴とする変位情報検出装置である。

【０００９】また、第２発明は、相対回転移動する部材
上の位相回折格子を照明するための光源と、該光源に照
明された該位相回折格子からの回折光の出射直後の位置
に設けられ且つ一周相当の格子本数が前記位相回折格子
の２倍の振幅格子と、該振幅格子の透過光を受光する受
光素子とを有し、前記部材の相対移動に伴って前記受光
信号より変位情報としての周期的信号を発生させること
を特徴とする変位情報検出装置である。

【００１０】また、第３発明は、相対移動する部材上の
位相回折格子を照明するための光源と、該光源に照明さ
れた該位相回折格子からの回折光の出射直後の位置に設
けられ且つ格子ピッチが前記位相回折格子の１／２の振
幅格子と、該振幅格子の透過光を受光する受光素子とを
有し、前記部材の相対移動に伴って前記受光信号より変
位情報としての周期的信号を発生させることを特徴とす
る変位情報検出装置である。

【００１１】また、第４発明は、相対回転移動する部材
上の位相回折格子を照明するための光源と、該光源に照
明された該位相回折格子からの回折光の出射直後の位置
に設けられ且つ一周相当の格子本数が前記位相回折格子
に等しい振幅格子と、該振幅格子の透過光を受光する受
光素子とを有し、前記部材の相対移動に伴って前記受光
信号より変位情報としての周期的信号を発生させること
を特徴とする変位情報検出装置である。

【００１２】また、第５発明は、相対移動する部材上の
位相回折格子を照明するための光源と、該光源に照明さ
れた該位相回折格子からの回折光の出射直後の位置に設
けられ且つ格子ピッチが前記位相回折格子に等しい振幅
格子と、該振幅格子の透過光を受光する受光素子とを有
し、前記部材の相対移動に伴って前記受光信号より変位
情報としての周期的信号を発生させることを特徴とする
変位情報検出装置である。

【００１３】また、第６発明は、相対変位を検出すべき
物体に設けられた回折格子に光束照射を行って発生させ
た回折光を干渉させ、該干渉の情報を検出して前記物体
の変位情報を検出する装置であって、照明された前記物
体上の位相回折格子からの回折光の出射直後の位置に発
生する干渉縞の発生位置に設けられた振幅格子と該振幅
格子の透過光を受光する受光素子とを有する第１検出手
段と、前記物体の変位情報を検出するべく前記物体の所
定データ記録部からの光を検出する第２検出手段とを有
することを特徴とする変位情報検出装置である。

【００１４】また、第７発明は、上述構成において、前
記第２検出手段は前記物体の変位情報としてアブソリュ
ートな変位情報及び／又は前記物体の原点位置情報を検
出するべく前記物体の所定データ記録部からの光を検出
することを特徴とする。

【００１５】また、第８発明は、上述の変位情報検出装
置によって得られた変位情報に基づいて駆動手段のドラ
イブ制御を行うことを特徴とするドライブ制御装置であ
る。

【００１６】

【実施例】図１は、本発明の第１の実施例に係るエンコ
ーダの説明図である。図中、Ｌ１はＬＥＤ等の光源、Ｃ
Ｌはコリメータレンズ、ＳＣは透明部材で構成されたス
ケール、ＧＴ１はスケールＳＣに設けられた透過型の位
相型回折格子（透過位相格子）、ＧＴ２は振幅格子、Ｐ
Ｄは受光素子である。光源Ｌ１、コリメータレンズＣ
Ｌ、振幅格子ＧＴ２、受光素子ＰＤは、不図示の装置本
体側に固定配置され、スケールＳＣは装置本体に対する
相対回転を検出すべき不図示の物体に固着設置されてい
る。透過位相格子ＧＴ１は、スケールＳＣの相対回転方
向に沿って格子が配列されている。

【００１７】ＬＥＤ等の光源Ｌ１より射出された光束
は、コリメータレンズＣＬによって平行光束Ｒに変換
され、相対回転するスケールＳＣ上に照明される。

【００１８】スケールＳＣ上には透過位相格子ＧＴ１が
格子ピッチＰ１で記録されている。位相格子の断面形状
はラメラ格子であり、凹凸の比率は１：１であり、構
成材料の屈折率ｎ、光源の波長λとして、段差ｈはｈ
＝λ／（２×（ｎ−１））を満たすようにしてある。な
お凹凸による透過光量は同一である。

【００１９】透過位相格子ＧＴ１を透過した平行光束
は、透過位相格子ＧＴ１の凹凸によって回折され、波面
の位相が変調される。

【００２０】図２はこの回折の状態を表す説明図であ
る。図２において、左側は波面の形状を線で、右側は波
面変化による光量分布をグラデーションの濃度で、それ
ぞれ示してある。図２のように、格子ＧＴ１から遠ざか
るにつれて、回折現象によって、位相不連続部がなめら
かに接続し、かつ凹凸の両者からの光束同士の干渉が部
分的に生じて、位相不連続部の上部に光量低下部が周期
的に生じる。

【００２１】透過光束は、格子ＧＴ１から遠ざかるにつ
れて、回折現象によって、位相不連続部がなめらかに接
続し、かつ凹凸の両者からの光束同士の干渉が多くな
り、位相不連続部の上部に明瞭な光量低下部が規則的に
生じる。この明暗パターンの格子ピッチは、位相格子Ｇ
Ｔ１の格子ピッチＰ１の半分になる。

【００２２】さらに格子ＧＴ１から遠ざかると、回折現
象によって、位相不連続部がなめらかに接続し、かつ凹
凸の両者からの光束同士の干渉が多くなり、位相不連続
部の上部の光量低下部が弱くなり、やがて明暗パターン
のピッチは、位相格子ＧＴ１の格子ピッチＰ１と等しく
なる。

【００２３】そこで、格子ＧＴ１で生じた格子ピッチＰ
１の半分のピッチの明暗パターンが存在する空間に、格
子ピッチＰ２＝Ｐ１／２の透過型の振幅格子ＧＴ２（ス
リット格子）を配置すると、この振幅格子ＧＴ２の透過
光が、スケールＳＣの回転に伴う明暗信号光になる。明
暗の周期はスケールの移動Ｐ１毎に２周期である。

【００２４】この状態を説明する図が図３である。図で
は理解を促すため、格子の大きさを実際よりはるかに大
きくして記載してある。図３の（ａ）は光束が振幅格子
ＧＴ２を多く通過して明信号が発生するとき、（ｂ）光
束が振幅格子ＧＴ２に多く遮られて暗信号が発生すると
き、をそれぞれ示している。各部位における光量の大き
さはグラデーションの濃淡で示されている。

【００２５】たとえば、スケールの格子ピッチＰ１を２
０ミクロン、固定格子の格子ピッチＰ２を１０ミクロン
とすると、分解能が１０ミクロンのエンコーダになる
が、そのときのスケール、固定格子間のギャップは２０
０ミクロン程度に設定できるので、スケールの相対移動
中の衝突の問題が生じにくい。

【００２６】前述のようにスケールの移動に伴う振幅格
子ＧＴ２の透過光の明暗信号光を受光素子ＰＤで受光し
て周期信号を得、不図示の信号処理系にてよく知られて
いる信号処理を行って、分解能が１０ミクロンの変位信
号を得る。

【００２７】図４は本発明の第２実施例に係るエンコー
ダにおける、スケールＳＣの回転に伴う明暗信号光の状
態を図３と同様に説明する図である。図４の（ａ）は光
束が振幅格子ＧＴ２に多く遮られて暗信号が発生すると
き、（ｂ）光束が振幅格子ＧＴ２を多く通過して明信号
が発生するとき、をそれぞれ示している。その他の構成
等は第１実施例と同様であるので、説明は省略する。

【００２８】本実施例では、格子ＧＴ１で生じた格子ピ
ッチＰ１と同じピッチの明暗パターンが存在する空間
に、格子ピッチＰ２＝Ｐ１の透過振幅格子（スリット格
子）を配置している。この場合透過光の明暗信号光の明
暗の周期はスケールの移動Ｐ１毎に１周期である。

【００２９】たとえば、スケールの格子ピッチＰ１を１
０ミクロン、固定格子の格子ピッチＰ２を１０ミクロン
とすると、分解能が１０ミクロンのエンコーダになる
が、そのときのスケール、固定格子間のギャップは２０
０ミクロン程度に設定できるので、第１実施例同様スケ
ールの相対移動中の衝突の問題が生じにくい。

【００３０】図５は、本発明の第３の実施例に係るロー
タリーエンコーダの光学配置図、図６は光線の進行経路
の模式図である。図において、相対回転を検出されるべ
き物体に設けられたディスクＤ及びこのディスクＤ上の
各部材をのぞいて、他の部材はディスクＤとは分離さ
れ、かつ互いに固定配置されて設けられている。前出と
同様の部材には同じ符号を冠してある。

【００３１】ＬＥＤ等の光源ＬＧＴより射出された発散
光束は、コリメータレンズＬＮＳ１によって平行光束に
され、相対回転する光透過性のディスクＤ上に照明され
る。

【００３２】ディスクＤ上にはディスクＤ全周にわたっ
てガラスエッチングまたはレプリカ形成された、光透過
型の位相型放射状回折格子ＧＴ１と、原点となる位置に
光透過性パターンで形成された原点用符号パターンＺ
１、Ｚ２と、全周に亘り各位置の角度情報を示すように
設けられた図５に示されるような光非透過性のアブソリ
ュート符号パターンＵ、Ｖ、Ｗとが互いに異なる周（ト
ラック）上に記録されている。これらパターンはすべて
ラメラ位相格子等の位相型回折格子で形成されている。
平行光束はディスクＤの径方向に、放射状格子ＧＴトラ
ック、原点用符号パターンＺトラック、アブソリュート
符号パターンＵＶＷトラックの各部分領域を一括して照
明できる広がりを有している。

【００３３】受光素子アレイＳＡＲＹはインクリメンタ
ル検出部ＳＡ，ＳＡ，ＳＢ，ＳＢ、原点符号検出部ＳＺ
１、ＳＺ２、アブソリュート符号検出部ＳＵ，ＳＶ，Ｓ
Ｗからなる。

【００３４】放射状回折格子ＧＴ１はディスク１周でＮ
本であるとする。

【００３５】前述の平行光束で照明された放射状回折格
子ＧＴ１（格子ピッチＰ＝２π／Ｎラジアン）からは２
つの±１次回折光束Ｒ＋、Ｒ−が発生する。この２つの
±１次回折光束Ｒ＋、Ｒ−は、前述の実施例同様にディ
スクＤからわずかに離れた空間に明暗縞（縞ピッチＰ＝
π／Ｎラジアン）が発生する。そこに配置された振幅格
子ＧＴ２（格子ピッチＰ＝π／Ｎラジアン）によって透
過領域を選択し、前述のように透過光を明暗信号光とし
て出射する。

【００３６】ここで本実施例において振幅格子ＧＴ２
は、図６に示すように領域を４分割されていて、各領域
は互いの格子の配列の位相を１／４ピッチ分ずつずらし
て形成してある。各領域からの出射光の明暗の位相は互
いに１／４周期ずつずれている。

【００３７】この各領域からの干渉光を夫々対応する受
光素子ＳＡ，ＳＢ，ＳＡ，ＳＢに入射するので、受光素
子ＳＡ，ＳＢ，ＳＡ，ＳＢからは１回転で２Ｎ周期の正
弦波状アナログ信号電流が互いに１／４周期ずつずれて
発生する。この４つの位相のずれた正弦波状アナログ信
号を用いて、不図示の信号処理回路でディスクＤの相対
的なインクリメンタルな回転量及び回転方向が演算され
る。この演算についてはよく知られているので、説明は
省略する。

【００３８】一方、ディスクＤ上の原点用符号パターン
Ｚ１、Ｚ２が形成されたトラックは原点用符号パターン
Ｚ１、Ｚ２が無い部分は光非透過性に構成され、この部
分に前述の平行光束が入射しても透過光が生じないよう
にされている。そしてディスクＤが回転して原点位置付
近に達し、原点用符号パターンＺ１、Ｚ２がある位置に
前述の平行光束が入射したときはこのパターンを通過し
て受光素子ＳＺ１、ＳＺ２に入射する様になっている。

【００３９】原点用符号パターンＺ１、Ｚ２は、各々が
受光素子ＳＺ１、ＳＺ２夫々のディスク径方向位置に対
応して配置されている。原点用符号パターンＺが前述平
行光束に照明されたときは、その周方向位置に応じた光
量の透過光が受光素子ＳＺ１、ＳＺ２に入射する。ディ
スクＤの回転によって原点用符号パターンＺ１、Ｚ２が
照明領域内で移動すると、原点用符号パターンＺ１、Ｚ
２の透過光は、受光素子ＳＺ１、ＳＺ２に投影される透
過光断面積が変化する。これにより、受光素子ＳＺ１、
ＳＺ２に照明される全光束量が変化する。この時、前述
のような互いに周方向にずれたパターン配置により、受
光素子ＳＺ１、ＳＺ２の受光光量は互いに光量変化する
タイミングがずれる。従って受光素子ＳＺ１、ＳＺ２か
らはディスクＤの回転によって互いにピークのずれた山
型波形アナログ信号電流が発生する。尚、原点信号とし
ては、たとえば受光素子ＳＺ１、ＳＺ２出力が一致した
時点でパルス信号を発生すれば良い。このようなパルス
信号は受光素子ＳＺ１、ＳＺ２出力を受ける不図示の信
号処理回路で発生させる。これによってディスクＤの原
点通過が検出される。

【００４０】一方、アブソリュート符号パターンＵ、
Ｖ、Ｗの存在するトラックに照明された前述平行光束
は、受光素子に対応する部分に照射された光束部分がア
ブソリュート符号パターンＵ、Ｖ、Ｗにかかっているか
否か、即ちアブソリュート符号パターントラックの受光
素子に対応する部分における光束透過非透過に応じて、
ディスクＤの回転によって透過光が受光素子ＳＵ，Ｓ
Ｖ，ＳＷ上に間欠的に投影される。受光素子ＳＵ，Ｓ
Ｖ，ＳＷからはディスクＤの現在の回転位置に応じたア
ブソリュート符号信号群が出力され、その２値情報の組
み合わせによって不図示の信号処理回路でアブソリュー
ト位置が特定される。このアブソリュート位置の特定の
仕方はよく知られているので、説明は省略する。

【００４１】このように、ディスク照明領域透過変調光
は受光素子アレイＳＡＲＹ上に入射する。

【００４２】このように回折光の干渉を利用する方式で
インクリメンタルな回転量検出を行う為の回折格子ＧＴ
１と、このような干渉を利用する方式ではなく、ディス
クＤからの光の透過非透過を検出することによって回転
に関する別情報（アブソリュートな回転位置、原点位
置）の検出を行う為のパターンとを、全く同一の照明光
学系によって一括に照明する構成としたことで、構成の
小型化、簡素化が可能となり、装置の更なる小型化がで
きる。特に、ディスクＤからの回折光の干渉を利用する
方式用の回折格子と、ディスクＤからの光の透過非透過
を検出する方式用のパターンとを平行光束によって一括
照明する構成によって、このような別方式の測定、検出
であっても同一光学系で一括照明できるものである。

【００４３】なお、図５、６の実施例の光学系を一部変
更して、振幅格子ＧＴ２と、原点用符号パターンＺ１、
Ｚ２とアブソリュート符号パターンＵ、Ｖ、Ｗとを投影
レンズによって受光素子アレイＳＡＲＹに投影するよう
にすれば、アブソリュート符号パターンや原点用符号パ
ターンのエッジの解像度が向上して、検出制度がより向
上する。

【００４４】本実施例の構成では、放射状回折格子ＧＴ
１と、原点用符号パターンＺ１、Ｚ２と、アブソリュー
ト符号パターンＵ、Ｖ、Ｗの位相格子構造を略同一にで
き、製造工程がガラスエッチングまたはレプリカ成形の
みで済み、簡略化できる。なお、位相格子をラメラ格子
とした場合の段差も同一構成にすることが可能であり、
この場合はガラスエッチング処理も一括してできる。

【００４５】図７は本発明の第４実施例にかかるモータ
ードライバーシステムの概略構成図である。図中、ＤＨ
は前述した第１〜第３実施例のいずれかにおける光源Ｌ
ＧＴから受光素子アレイＳＡＲＹまでのディスクＤをの
ぞく全光学構成が配置された検出ヘッド、ＰＵは受光素
子アレイＳＡＲＹの各受光素子からの出力を信号処理し
て、インクリメンタルな回転量及び回転方向測定、ディ
スクリートな回転位置測定、及び原点検出を行い、制御
信号を発生する信号処理回路、ＩＭは信号処理回路ＰＵ
へ回転の指令入力を行う為の入力部、ＭＤは信号処理回
路ＰＵからの制御信号を受けてモータの駆動制御を行う
モータドライバー、ＭＴはモータ、ＳＦはモータに回転
駆動され、不図示の被駆動部に駆動力を伝達するシャフ
トである。

【００４６】信号処理回路ＰＵは受光素子アレイＳＡＲ
Ｙの各受光素子からの出力と、入力部からの指令入力情
報に基づいて制御信号を発生し、これによりモータＭＴ
によるシャフトＳＦの回転駆動が制御される。

【００４７】前述のような構成により検出ヘッドＤＨが
小型化され、よりコンパクト化されたモータードライバ
ーシステムが実現される。

【００４８】その他以下の変更による光学系の展開が可
能である。

【００４９】（１）アブソリュート符号パターンＵ、
Ｖ、Ｗをモータ制御用ではなく、通常のピュアバイナリ
ーコード、グレイコード等に変更してもよい。

【００５０】（２）振幅格子ＧＴ２を分割して互いに位
相をずらして透過変調光の明暗のタイミングをずらす構
造の分割数や位相ずらし量を変えてもよい（例えば２分
割にして、互いに位相を９０度ずらしたり、６分割にし
て、互いに位相を６０度ずらすようにしてもよい）。

【００５１】（３）格子ＧＴ１を装置本体側に設け、格
子ＧＴ２を移動する側に設けてもよい。

【００５２】（４）格子ＧＴ２をスリット格子ではな
く、他の振幅格子（反射スリット格子、プリズムアレイ
状格子）に変更してもよい。

【００５３】（５）原点の検出パターンをのように前述
のように周方向にずらした２つにして得られる２信号の
差信号から得るのではなく、通常の２つのランダムピッ
チパターンの重ね合せによる相関関数のピークを検出す
る方式に変更してもよい。

【００５４】（６）アブソリュート符号パターンＵ、
Ｖ、Ｗ、原点用符号パターンＺ１、Ｚ２の透過非透過、
または反射非反射の関係を逆にしてもよい。

【００５５】（７）検出する情報は回転変位情報に限ら
ず、直動変位であってもよい。

【００５６】

【発明の効果】以上述べたように、第１〜５発明によれ
ば、高分解能化を格子間の衝突の危険性を防止しながら
達成できる変位情報検出装置が達成される。

【００５７】また、第６発明によれば、さらに別の手段
により変位情報を別にとる構成においても高分解能化を
格子間の衝突の危険性を防止しながら達成できる変位情
報検出装置が達成される。

【００５８】また、第７発明によれば、アブソリュート
な変位情報及び／または原点情報も得られる構成におい
ても、高分解能化を格子間の衝突の危険性を防止しなが
ら達成できる変位情報検出装置が達成される。

【００５９】また、第８発明によれば、高分解能化を格
子間の衝突の危険性を防止しながら達成できるドライブ
制御装置が達成される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るエンコーダの説明
図

【図２】回折の状態を表す説明図

【図３】明暗信号光の状態を説明する図

【図４】本発明の第２実施例に係るエンコーダにおける
明暗信号光の状態を説明する図

【図５】本発明の第３の実施例に係るロータリーエンコ
ーダの光学配置図

【図６】光線の進行経路の模式図

【図７】本発明の第４実施例にかかるモータードライバ
ーシステムの概略構成図

【符号の説明】

ＧＴ１位相回折格子ＧＴ２振幅格子ＰＤ受光素子Ｒ平行光束

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】相対移動する部材上の位相回折格子を照
明するための光源と、該光源に照明された該位相回折格
子からの回折光の出射直後の位置に発生する干渉縞の発
生位置に設けられた振幅格子と、該振幅格子の透過光を
受光する受光素子とを有し、前記部材の相対移動に伴っ
て前記受光信号より変位情報としての周期的信号を発生
させることを特徴とする変位情報検出装置。
【請求項２】相対回転移動する部材上の位相回折格子
を照明するための光源と、該光源に照明された該位相回
折格子からの回折光の出射直後の位置に設けられ且つ一
周相当の格子本数が前記位相回折格子の２倍の振幅格子
と、該振幅格子の透過光を受光する受光素子とを有し、
前記部材の相対移動に伴って前記受光信号より変位情報
としての周期的信号を発生させることを特徴とする変位
情報検出装置。
【請求項３】相対移動する部材上の位相回折格子を照
明するための光源と、該光源に照明された該位相回折格
子からの回折光の出射直後の位置に設けられ且つ格子ピ
ッチが前記位相回折格子の１／２の振幅格子と、該振幅
格子の透過光を受光する受光素子とを有し、前記部材の
相対移動に伴って前記受光信号より変位情報としての周
期的信号を発生させることを特徴とする変位情報検出装
置。
【請求項４】相対回転移動する部材上の位相回折格子
を照明するための光源と、該光源に照明された該位相回
折格子からの回折光の出射直後の位置に設けられ且つ一
周相当の格子本数が前記位相回折格子に等しい振幅格子
と、該振幅格子の透過光を受光する受光素子とを有し、
前記部材の相対移動に伴って前記受光信号より変位情報
としての周期的信号を発生させることを特徴とする変位
情報検出装置。
【請求項５】相対移動する部材上の位相回折格子を照
明するための光源と、該光源に照明された該位相回折格
子からの回折光の出射直後の位置に設けられ且つ格子ピ
ッチが前記位相回折格子に等しい振幅格子と、該振幅格
子の透過光を受光する受光素子とを有し、前記部材の相
対移動に伴って前記受光信号より変位情報としての周期
的信号を発生させることを特徴とする変位情報検出装
置。
【請求項６】相対変位を検出すべき物体に設けられた
回折格子に光束照射を行って発生させた回折光を干渉さ
せ、該干渉の情報を検出して前記物体の変位情報を検出
する装置であって、照明された前記物体上の位相回折格
子からの回折光の出射直後の位置に発生する干渉縞の発
生位置に設けられた振幅格子と該振幅格子の透過光を受
光する受光素子とを有する第１検出手段と、前記物体の
変位情報を検出するべく前記物体の所定データ記録部か
らの光を検出する第２検出手段とを有することを特徴と
する変位情報検出装置。
【請求項７】前記第２検出手段は前記物体の変位情報
としてアブソリュートな変位情報及び／又は前記物体の
原点位置情報を検出するべく前記物体の所定データ記録
部からの光を検出することを特徴とする請求項６に記載
の変位情報検出装置。
【請求項８】請求項１〜７に記載の変位情報検出装置
によって得られた変位情報に基づいて駆動手段のドライ
ブ制御を行うことを特徴とするドライブ制御装置。