JP3254737B2 - エンコーダー - Google Patents

エンコーダー

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JP3254737B2
JP3254737B2 JP18450692A JP18450692A JP3254737B2 JP 3254737 B2 JP3254737 B2 JP 3254737B2 JP 18450692 A JP18450692 A JP 18450692A JP 18450692 A JP18450692 A JP 18450692A JP 3254737 B2 JP3254737 B2 JP 3254737B2
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエンコーダーに関し、特
に円筒状物体の外周面又は内周面上に又は平板面上に凹
凸形状の透光性の格子を複数個、周期的に設けた光学ス
ケールを有する移動体に光束を入射させ、該光学スケー
ルを介した光束を利用することにより、該移動体の移動
情報を検出するようにしたロータリーエンコーダーやリ
ニアーエンコーダー等のエンコーダーに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来よりフロッピーディスクの駆動等の
コンピューター機器、プリンター等の事務機器、あるい
はＮＣ工作機械、更にはＶＴＲのキャプステンモーター
や回転ドラム等の回転機構の回転速度や回転速度の変動
量又は直線移動物体の変動量を検出する為の手段として
光電的なロータリーエンコーダーやリニアーエンコーダ
ーが利用されてきている。
【０００３】図９は特開昭６１−１０７１６号公報や特
開平１−１７６９１４号公報で提案されている所謂トル
ボット干渉を利用したロータリーエンコーダーの要部概
略図である。
【０００４】同図において１は半導体レーザであり、波
長λの可干渉性光束を発する。２は半導体レーザー１か
らの発散光束を平行光束に変換するコリメーターレンズ
系であり、半導体レーザ１とコリメーターレンズ系２と
で光照射手段ＬＲが構成されている。３は円筒状の内周
面に複数のＶ溝を周期的に設けた透光性の格子部を有し
た光学スケールであり、矢印に示す方向に回転してい
る。
【０００５】光学スケール３は透光性の光学材料より成
っている。光学スケール３を挟んで光照射手段ＬＲと対
向する位置には、受光手段４を構成する３つのフォトデ
ィテクタ４ａ，４ｂ，４ｃが配置されている。そして各
フォトディテクタの出力は信号処理回路５に接続されて
いる。信号処理回路５はパルスのカウント回路、回転方
向の判別回路、信号内挿処理回路等を有している。
【０００６】同図のロータリーエンコーダーは光照射手
段ＬＲからの光束を光学スケール３の一領域３ａに入射
させ、該光学スケール３で光変調（回折）した光束を更
に光学スケール３の他の領域３ｂに入射させて光変調
（偏向）させている。そして光学スケール３から射出し
た複数（３つ）の光束を受光手段４で受光し、該受光手
段４からの出力信号を利用して光学スケール３の回転情
報を検出している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図３は図９の第１スケ
ール３ａから射出した回折光が第２スケール３ｂに入射
するときの状態を示した説明図である。
【０００８】スケール３の第１スケール３ａの格子と第
２スケール３ｂの格子の光軸に沿った間隔ｄ（スケール
３の内側の直径）は、格子ピッチをＰ、半導体レーザ１
からの光束の波長をλとしたとき ｄ＝ｎa ×Ｐ2 ／λ （ｎa ＝１，２，３，…） を満足するように設定されている。
【０００９】第１スケール３ａからの距離ｎa ×Ｐ2 ／
λ（ｎa ＝１，２，３，…）の位置は第１スケール３ａ
の格子と同じ格子ピッチの強度分布の光学像が鮮明に形
成されるフーリエイメージ面と異なる光軸方向の位置で
は第１スケール３ａの格子と同じ格子ピッチで強度分布
が低下し、高周波成分の低下が目立つコントラストの低
い強度分布の光学像となっている。
【００１０】この為、例えば外部環境の温度変化等によ
り半導体レーザからの光束の波長λが変化すると第１ス
ケール３ａの格子のフーリエイメージの結像位置と第２
スケール３ｂの格子面とが相対的にズレてくる。そうす
ると受光手段４で検出される検出信号のＳ／Ｎ比が低下
してきて光学スケール３の移動情報の検出精度が低下し
てくるという問題点があった。
【００１１】本発明は鮮明な光学源の得られる光軸方向
（直径方向）の範囲を広げ、例えば半導体レーザからの
光束の波長が変化してもＳ／Ｎ比の高い検出信号が得ら
れ、移動物体の移動情報（回転情報）を高精度に検出す
ることができるエンコーダーの提供を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明のエンコ
ーダ−は一定周期の格子より成る光学スケールを設けた
移動体の該光学スケールのうちの第１スケールに光照射
手段からの光束を照射し、該第１スケールによって生じ
る複数の次数の回折光束同士が干渉した状態で該光学ス
ケールのうちの第２スケールに入射し、該第２スケール
で光波波面分割されて射出される複数の光束を複数の受
光手段で受光し、該受光手段からの信号を用いて該移動
体の移動情報を検出するエンコーダーにおいて、該第１
スケールからの回折光のうち＋１次回折光又は−１次回
折光を遮断又は減衰させる光調整手段を該第１スケール
と第２スケールとの間の光路中に配置し、主に０次光と
−１次回折光又は０次光と＋１次回折光により該第２ス
ケール上に該第１スケールと同じ格子ピッチの強度分布
の光学像を形成するようにしたことを特徴としている。
請求項２の発明は請求項１の発明において前記光調整手
段は２重回折光学系と該第１スケールのフーリエ変換面
における１次又は−１次のフーリエスペクトル位置を通
過する光を遮断又は減衰させる光学部材とを有している
ことを特徴としている。請求項３の発明は請求項１の発
明において前記光調整手段は前記±１次回折光のうち所
定の入射角で入射してきた回折光を全反射させる反射面
を有したプリズム部材を有していることを特徴としてい
る。
【００１３】請求項４の発明のエンコーダーは円筒部材
の周囲に一定周期の格子より成る光学スケールを設けた
回転体の該光学スケールのうちの第１スケールに光照射
手段からの光束を照射し、該該１スケールによって生じ
る複数の次数の回折光束同士が干渉した状態で該光学ス
ケールのうちの第２スケールに入射させ、該第２スケー
ルで光波波面分割されて射出される複数の光束を複数の
受光手段で受光し、該受光手段からの信号を用いて該回
転体の回転情報を検出するエンコーダーにおいて、該第
１スケールからの回折光のうち＋１次回折光又は−１次
回折光を遮断又は減衰させる光調整手段を該第１スケー
ルと第２スケールとの間の光路中に配置し、主に０次光
と−１次回折光又は０次光と＋１次回折光により該第２
スケール上に該第１スケールと同じ格子ピッチの強度分
布の光学像を形成するようにしたことを特徴としてい
る。請求項５の発明のエンコーダーは光照射手段と、回
折格子を有し該光源手段からの光束を第1領域によって
生じる複数の次数の回折光束同士が干渉した状態で第２
領域に入射し、該第２領域で複数の光束に光波波面分割
されて射出する光学スケールと、該第２領域で光波波面
分割された複数の光束を受光する受光手段と、前記第１
領域から前記第２領域までの光路中に配置され、前記第
１領域からの回折光のうち±１次回折光の一方を遮断又
は減衰させる光調整手段とを有することを特徴としてい
る。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の実施例１の要部概略図、図
２，図３，図４，図５は各々図１の一部分の説明図であ
る。
【００１５】図中ＬＲは光照射手段であり、半導体レー
ザ１とコリメーターレンズ２とを有している。３は光学
スケールであり、円筒部材３ｃの内周面又は外周面に一
定周期で複数の格子（格子部）３ｄを設けた構成よりな
っている。光学スケール３は透光性の光学材料より成
り、回転体（不図示）の一部として設けられており、回
転体と一体的に回転軸３ｇを中心に回転している。
【００１６】格子３ｄは図１，図２に示すように光学ス
ケール３の矢印３ｆで示す回転方向に対して垂直方向
（回転軸３ｇ方向）に長い互いに逆方向に傾けた２つの
傾斜面を有するＶ溝（Ｖ溝部）と円筒状に基づく僅かに
曲率を有した略平面に近い曲面部（以下、「平面部」と
称する）より成っている。
【００１７】図２（Ａ），（Ｂ）は光学スケール３の格
子の詳細図であり、Ｖ溝部３０ｂ−１，３０ｂ−２と平
面部３０ａが交互に配列されて格子を形成している。円
筒部材３ｃの内側面にＶ溝を等間隔にｎ個、円周方向に
ピッチＰで等間隔に配列している。Ｖ溝幅は１／２・
Ｐ、又Ｖ溝を形成する２つの平面部は各々１／４・Ｐの
幅を有し、各々の傾斜面はＶ溝の底部と中心とを結ぶ直
線に対し各々臨界角以上、本実施例ではθ＝４５°で傾
いている。
【００１８】光学スケール３の第１スケール（第１領
域）３ａと第２スケール（第２領域）３ｂの光軸８に沿
った間隔ｄ（光学スケール内側の直径）は、本実施例で
は格子ピッチがＰ、波長がλとして、 ｄ＝Ｎ・Ｐ2 ／λ （Ｎは自然数） Ｐ＝πｄ／ｎ （ｎはスリット（Ｖ溝）の総数） を満たすように設定されている。
【００１９】６は光調整手段であり、円筒部材３ｃ内に
収納されており、２重回折光学系（７ａ，７ｂ）と光学
部材７ｃとを有している。光調整手段６は後述するよう
に第１スケール３ａからの回折光のうち＋１次回折光又
は−１次回折光を遮断又は減衰させて、０次光と−１次
回折光又は０次光と＋１次回折光により第２スケール３
ｂ上に第１スケールと同じ格子ピッチの強度分布の光学
像を形成するようにしている。
【００２０】４は受光手段であり、光学スケール３で光
変調され射出した３つの光束を各々受光する為の３つの
フォトディテクタ（受光素子）４ａ，４ｂ，４ｃを有し
ている。５は信号処理回路であり、後述するように受光
手段４からの信号を用いて光学スケール３の回転情報を
検出している。
【００２１】次に本実施例の光調整手段６の構成につい
て説明する。
【００２２】図３は第１スケール３ａからの回折光と第
２スケール３ｂとの関係を示す説明図である。図３にお
いて斜線で示した領域Ｒには第１スケール３ａの格子で
回折した主に０次光と−１次回折光、そして０次光と＋
１回折光の２光束干渉によって第１スケール３ａの格子
と同じ格子ピッチの明暗の分布（光学像）が存在してい
る。このときの明暗の分布は次の理由により半導体レー
ザ１からの光束の波長λの変化の影響を受けない。
【００２３】第１スケール３ａの格子ピッチＰは不変で
ある。半導体レーザ１からの光束の波長の変化前後にお
ける波長を各々λａ，λｂ、１次回折光又は−１次回折
光の波長の変化前後の回折角を各々θａ，θｂとする
と、 Ｐ＝λａ／ｓｉｎθａ Ｐ＝λｂ／ｓｉｎθｂ となる。
【００２４】又、この２光束干渉の明暗の分布のピッチ
を波長の変化前後においてＴa ，Ｔb とすると、お互い
に角度θａ，θｂで進行しているのでピッチＴa ，Ｔb
は、 Ｔa ＝λａ／ｓｉｎθａ Ｔb ＝λｂ／ｓｉｎθｂ となる。（１），（２）式よりＴa ＝Ｔｂとなり、波長
の変化前後においてこの明暗の分布は不変となる。
【００２５】このとき本発明では光調整手段６を用いて
±１次回折光のうち、いずれか一方の回折光を遮断又は
減衰させている。そして第２スケール３ｂの格子に対し
て第１スケール３ａの格子と同じ格子ピッチの明暗の分
布がコントラストを良好に保存しつつ光軸方向（直径方
向）の広い範囲で形成するようにしている。これにより
例えば半導体レーザからの光束の波長が環境変化等で変
化しても検出手段４で検出される信号のＳ／Ｎ比の低下
を防止している。
【００２６】図４は図１の光調整手段６の要部概略図で
ある。
【００２７】本実施例では光調整手段６を２重回折光学
系（７ａ，７ｂ）とフィルターより成る光学部材７ｃと
により構成し、±１次回折光のうち一方の回折光を光学
部材７ｃにより遮断又は減衰させている。
【００２８】同図では第１スケール３ａの格子をコヒー
レント光で照明し、フーリエ変換レンズ７ａでこれをフ
ーリエ変換してフーリエスペクトル面ＦＳを得た後、再
度フーリエ変換レンズ７ｂでフーリエ変換して光学像を
第２スケール３ｂの格子面に形成している。
【００２９】フーリエ変換レンズ７ａの焦点距離をｆ1
＋１次回折光又は−１次回折光の回折角をθ、フーリエ
スペクトル面ＦＳでの光軸８からの高さをｈとしたとき
光学部材７ｃで ｈ＝ｆ・ｓｉｎθ の位置を通過する光束を遮断又は減衰させている。
【００３０】図５（Ａ）はこのときの光学部材７ｃの説
明図である。同図の光学部材７は光軸８からの高さｈに
相当する領域を光不透過としたフィルターより構成して
いる。
【００３１】尚、本実施例においては光学部材７ｃとし
て図５（Ｂ）に示すような光軸８からの高さｈに相当す
る領域を不透過とした光学部材７ｄを用いても良い。
【００３２】次に本実施例におけるエンコーダーとして
の光学スケール３（回転体）の回転情報の検出方法につ
いて説明する。
【００３３】半導体レーザ１からの光束はコリメータレ
ンズ系２の位置を調整して収束光に変換され、この収束
光束を光学スケール３の第１スケール（第１領域）３ａ
に入射させる。ここで収束光とした理由は、光学スケー
ル３の側面部は外側面と内側面の曲率差により凹レンズ
相当の屈折力を有する為であり、凸レンズ作用によって
光学スケール３内に進入した光は略平行光になる。
【００３４】この収束光束は、第１領域３ａの格子３ｄ
において図２（Ａ）に示すように、格子部３０ａに到達
した光線は格子部３０ａを通過して円筒内に進む。又、
格子部３０ｂ−１面に到達した光線は、傾斜面が臨界角
以上に設定されているので、図に示したように全反射し
て３０ｂ−２面に向けられ、３０ｂ−２面でも全反射す
ることになるので、結局３０ｂ−１面へ到達した光線は
光学スケール３の円筒部材の内部に進入することなく、
略入射方向に戻されることになる。同様に３０ｂ−２面
に到達した光線も全反射を繰り返して戻される。
【００３５】従って、第１領域３ａにおいてＶ溝を形成
する２つの傾斜面３０ｂ−１，３０ｂ−２の範囲に到達
する光束は、円筒部材内に進入することなく反射され、
格子部３０ａに到達した光線のみが円筒部材の内部に進
むことになる。即ち、第１領域３ａにおいてＶ溝型の格
子３ｄは透過型の振幅回折格子と同様の作用を有する。
【００３６】この第１領域３ａの格子３ｄで光束は回折
され、格子の作用により０次、±１次、±２次・・・の
回折光が生じ、０次光及び±１次光の２つ若しくは３つ
の光束同士の干渉の結果、第１領域３ａの格子のフーリ
エ像が光調整手段６を介して光学スケール３の内部に結
像される。本実施例では前述したようにこのとき光調整
手段６により±１次回折光のうち一方の回折光を遮断又
は減衰させている。
【００３７】第２領域３ｂにおいて面３０ａに入射した
光束は図２（Ｂ）に示すように略垂直入射するため直線
透過してフォトディテクタ（受光素子）４ｃに到達す
る。又、Ｖ溝面を形成する２つの傾斜面３０ｂ−１及び
３０ｂ−２に到達した光線は、各々の面に略４５。の入
射角をもって入射するためそれぞれ異なる方向に大きく
屈折して各々フォトディテクタ４ａ及び４ｂに到達す
る。
【００３８】このように第２領域３ｂにおいては、入射
光束に対して異なる方向に傾斜した２つの傾斜面、及び
Ｖ溝とＶ溝の間の平面の合計３種の傾き方向の異なる面
により、光束は３つの方向に別れて進み、各々の面に対
応した位置に設けられた各フォトディテクタ４ａ，４
ｂ，４ｃに到達する。即ち第２領域３ｂにおいてＶ溝格
子は光波波面分割素子として機能する。
【００３９】ここで光学スケール３が回転すると各フォ
トディテクタ４ａ，４ｂ，４ｃで検出される光量が変化
する。格子の位置とフーリエ像の位置の相対的変位に応
じ、各フォトディテクタに入射する光量バランスが変化
し、その結果、光学スケール３が反時計廻りに回転した
とすると、図６に示すような光学スケール３の回転に伴
う光量変化が得られる。
【００４０】ここで横軸は光学スケール３の回転量、縦
軸は受光光量である。記号ａ，ｂ，ｃはそれぞれフォト
ディテクタ４ａ，４ｂ，４ｃに対応している。尚、逆に
光学スケール３が時計廻りに回転した場合はａは４ｂ、
ｂは４ａ、ｃは４ｃの出力となる。この違いによって回
転方向を判別することができる。
【００４１】尚、図６はフーリエ像のコントラストが非
常に高く理想に近い場合の理論的な光量変化の様子を示
したものであり、実際にはフーリエ像のコントラストが
低い為、信号ａ，ｂ，ｃは各々正弦波状となってくる。
本実施例ではこのときの信号ａ，ｂ，ｃを基にして光学
スケール３の回転情報を検出している。
【００４２】図７，図８は各々本発明の実施例２，３の
光学スケール３近傍の要部概略図である。
【００４３】図７（Ａ）の実施例２では第１スケール３
ａからの回折光をフーリエ変換レンズ７ａとミラー７１
を介しフーリエスペクトル面ＦＳに相当する位置に配置
したミラー７２に入射させている。ミラー７２は図１の
フィルター７ｃに相当し、図７（Ｂ）に示すように光軸
８からの高さｈに相当する領域７２ａをクロムエッチン
グ又はマスキング等により非反射面又は低反射率面とし
ている。
【００４４】これにより＋１次回折光又は−１次回折光
のうち一方の回折光を遮断又は減衰している。そしてミ
ラー７２でミラー７１方向に反射し、ミラー７１で反射
した光束をフーリエ変換レンズ７６により第２スケール
３ｂに導光している。本実施例では以上のような構成に
より実施例１と同様の効果を得ている。
【００４５】図８（Ａ）の実施例３では光調整手段をプ
リズム部材８３より構成して、円筒部材３ｃの内部に設
けている。プリズム部材８３は２つのプリズム８１，８
２（材質の屈折率Ｎｄ）を斜面（８１ｂ，８２ａ）を対
向させて僅かの空気間隔を隔てて配置して構成してい
る。
【００４６】第１スケール３ａからの±１次回折光のう
ち一方の回折光がプリズム８１の斜面８１ｂで全反射す
るように図８（Ｂ）に示すようにプリズム頂角や屈折率
Ｎｄ等の各要素を設定している。
【００４７】そして、斜面８１ｂとプリズム８２ａ，８
２ｂを介して、第２スケール３ｂに導光している。これ
により実施例１と同様の効果を得ている。
【００４８】尚、本発明において例えば＋１次回折光の
進行方向に対して逆向きに進む同一の位相を持つ平面波
を発生させて、＋１次回折光を遮断又は減衰させるよう
にしても良い。
【００４９】
【発明の効果】本発明によれば以上のように第１スケー
ルからの回折光のうち所定次数の回折光を遮断又は減衰
させ、主に０次光と−１次回折光、又は０次光と＋１次
回折光の２光束干渉により、第２スケール上に第１スケ
ールと同じ格子ピッチの明暗の分布を有した高いコント
ラストの光学像を形成することにより鮮明な光学像の得
られる光軸方向（直径方向）の範囲を広げ、例えば半導
体レーザからの光束の波長が変化してもＳ／Ｎ比の高い
検出信号が得られ、移動物体の移動情報（回転情報）を
高精度に検出することができるエンコーダーを達成する
ことができる。また、他の本発明によれば、光学スケー
ルの第１領域から第２領域までの光路中に配置され、第
１領域からの回折光の内±１次回折光の一方を遮断又は
減衰させる光変調手段を設けたことにより、鮮明な光学
像の得られる光軸方向の範囲を広げ、光束の波長が変化
してもＳ／Ｎ比の高い検出信号が得られ、移動物体の移
動情報を高精度に検出することが出来るエンコーダーを
達成することが出来るエンコーダーを達成することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例１の要部概略図
【図２】 図１の一部分の説明図
【図３】 図１の一部分の説明図
【図４】 図１の一部分の説明図
【図５】 図１の一部分の説明図
【図６】 図１の検出手段からの出力信号の説明図
【図７】 本発明の実施例２の要部概略図
【図８】 本発明の実施例３の要部概略図
【図９】 従来のトルボット型のエンコーダーの要部概
略図
【符号の説明】
１ 半導体レーザ ２ コリメータレンズ ３ 光学スケール ３ａ 第１スケール ３ｂ 第２スケール ３ｃ 円筒部材 ４ 受光手段 ５ 信号処理回路 ６，８３ 光調整手段 ７ｃ フィルター
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−206720（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01D 5/26 - 5/38 G01B 11/00 - 11/30

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一定周期の格子より成る光学スケールを
    設けた移動体の該光学スケールのうちの第１スケールに
    光照射手段からの光束を照射し、該第１スケールによっ
    て生じる複数の次数の回折光束同士が干渉した状態で該
    光学スケールのうちの第２スケールに入射し、該第２ス
    ケールで光波波面分割されて射出される複数の光束を複
    数の受光手段で受光し、該受光手段からの信号を用いて
    該移動体の移動情報を検出するエンコーダーにおいて、
    該第１スケールからの回折光のうち＋１次回折光又は−
    １次回折光を遮断又は減衰させる光調整手段を該第１ス
    ケールと第２スケールとの間の光路中に配置し、主に０
    次光と−１次回折光又は０次光と＋１次回折光により該
    第２スケール上に該第１スケールと同じ格子ピッチの強
    度分布の光学像を形成するようにしたことを特徴とする
    エンコーダー。
  2. 【請求項２】 前記光調整手段は２重回折光学系と該第
    １スケールのフーリエ変換面における１次又は−１次の
    フーリエスペクトル位置を通過する光を遮断又は減衰さ
    せる光学部材とを有していることを特徴とする請求項１
    のエンコーダー。
  3. 【請求項３】 前記光調整手段は前記±１次回折光のう
    ち所定の入射角で入射してきた回折光を全反射させる反
    射面を有したプリズム部材を有していることを特徴とす
    る請求項１のエンコーダー。
  4. 【請求項４】 円筒部材の周囲に一定周期の格子より成
    る光学スケールを設けた回転体の該光学スケールのうち
    の第１スケールに光照射手段からの光束を照射し、該第
    １スケールによって生じる複数の次数の回折光束同士が
    干渉した状態で該光学スケールのうちの第２スケールに
    入射させ、該第２スケールで光波波面分割されて射出さ
    れる複数の光束を複数の受光手段で受光し、該受光手段
    からの信号を用いて該回転体の回転情報を検出するエン
    コーダーにおいて、該第１スケールからの回折光のうち
    ＋１次回折光又は−１次回折光を遮断又は減衰させる光
    調整手段を該第１スケールと第２スケールとの間の光路
    中に配置し、主に０次光と−１次回折光又は０次光と＋
    １次回折光により該第２スケール上に該第１スケールと
    同じ格子ピッチの強度分布の光学像を形成するようにし
    たことを特徴とするエンコーダー。
  5. 【請求項５】 光照射手段と、回折格子を有し該光源手
    段からの光束を第１領域によって生じる複数の次数の回
    折光束同士が干渉した状態で第２領域に入射し、該第２
    領域で複数の光束に光波波面分割されて射出する光学ス
    ケールと、該第２領域で光波波面分割された複数の光束
    を受光する受光手段と、前記第１領域から前記第２領域
    までの光路中に配置され、前記第１領域からの回折光の
    うち±１次回折光の一方を遮断又は減衰させる光調整手
    段とを有することを特徴とするエンコーダ。
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