JP2015105953A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015105953A JP2015105953A JP2014236243A JP2014236243A JP2015105953A JP 2015105953 A JP2015105953 A JP 2015105953A JP 2014236243 A JP2014236243 A JP 2014236243A JP 2014236243 A JP2014236243 A JP 2014236243A JP 2015105953 A JP2015105953 A JP 2015105953A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- scanning
- signal
- scale
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 76
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 52
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 241000669003 Aspidiotus destructor Species 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000007562 laser obscuration time method Methods 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】スケール10が、少なくとも1つの基準マーク12を有する。この場合、基準信号が、基準マーク12を光学走査することによって生成可能である。さらに、スケール10が、走査ビーム束でこれらの領域マーク13.1、13.2を光学走査することによって、走査装置が、基準マーク12の第1側に存在するのか又は第2側に存在するのかが識別可能である。周期的な1つの遮光回折格子が、スケール10と領域信号検出器との間に配置されている。領域信号検出器の検出面内の複数の領域マーク13.1、13.2の光学走査時に、干渉縞が発生するように、遮光回折格子が形成されていて且つ配置されている。少なくとも2つの識別可能な走査信号が、基準マーク12に対する走査装置の位置に応じて干渉縞から生成可能である
【選択図】図3
Description
PBM=λ/(sin(atan(PSG(u+v))))
にしたがって選択され得る。
PBM:=領域マークの反射型回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
λ:=使用された光源の波長
PSG:=透過型回折格子の周期
PBM=2・v・λ/PBD
にしたがって選択されている。
PBM:=領域マークの反射型回折格子の周期
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
λ:=使用された光源の波長
PBD:=領域信号検出器の周期
・当該走査装置の位置が、基準マークの第1側にあるときに、複数の検出素子による第1グループが、最大走査信号を記録し、複数の検出素子による第2グループが、最小走査信号を記録し、
・当該走査装置の位置が、基準マークの第2側にあるときに、複数の検出素子による第1グループが、最小走査信号を記録し、複数の検出素子による第2グループが、最大走査信号を記録するように、当該遮光回折格子の周期と当該領域信号検出器の周期とが選択されていて、この遮光回折格子とこの領域信号検出器とが配置されていることが可能である。
PBM=λ/(sin(atan(PSG(u+v)))) (方程式1)
PBM:=領域マークの反射型回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
λ:=使用された光源の波長
PSG:=透過型回折格子の周期
PBG=u/(u+v)*PBD (方程式2)
PBG:=遮光回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
PBD:=領域信号検出器の周期
11 インクリメンタル測定目盛
12 基準マーク
13.1 第1領域マーク
13.2 第2領域マーク
20 走査装置
21 光源
22 透過型回折格子
23 キャリア基板
24 走査板
25 検出装置
26 領域信号検出器
26.1 検出素子
26.2 検出素子
27 インクリメンタル信号検出器
28 基準信号検出器
29 遮光回折格子
30 透光性又は非透光性領域
31 透光性又は非透光性領域
40 減算素子
41 比較素子
50.1 リミット領域
50.2 リミット領域
60 加算素子
61 比較素子
Claims (15)
- 1つのスケールと、このスケールに対して測定方向に可動な1つの走査装置とを有するンコーダであって、
・前記スケールが、1つの測定目盛を有し、周期的な測定信号が、この測定目盛を光学走査することによって生成可能であり、
・前記スケールが、少なくとも1つの基準マークを有し、基準信号が、当該基準マークを光学走査することによって生成可能であり、
・前記スケールが、光学走査可能な複数の領域マークを有し、領域信号が、走査ビーム束でこれらの領域マークを光学走査し、1つの領域信号検出器を通じて当該走査ビーム束を検出することによって生成可能であり、前記走査装置が、前記基準マークの第1側に存在するのか又は第2側に存在するのかが、前記領域信号によって識別可能であり、
・前記複数の領域マーク上に照射される当該走査ビーム束が、前記基準マークの前記第1側と前記第2側とで異なる回折作用で出射する当該エンコーダにおいて、
周期的な1つの遮光回折格子(29)が、前記スケール(10)と前記領域信号検出器(26)との間に配置されていて、前記領域信号検出器(26)の検出面内の前記複数の領域マーク(13.1,13.2)の光学走査時に、干渉縞が発生するように、前記遮光回折格子が形成されていて且つ配置されていて、少なくとも2つの識別可能な走査信号(S1,S2;S1′,S2′)が、前記基準マーク(12)に対する前記走査装置(20)の位置に応じて前記干渉縞から生成可能であることを特徴とするエンコーダ。 - 前記遮光回折格子(29)の周期(PBG)が、
PBG=u/(u+v)*PBD
にしたがって選択されていて、
PBG:=遮光回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
PBD:=領域信号検出器の周期
であることを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。 - 前記基準マーク(12)の前記第1側の前記領域マーク(13.1)が、反射するように形成されていて、前記基準マーク(12)の前記第2側の前記領域マーク(13.2)が、反射型回折格子として形成されていることを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記領域マーク(13.2)の前記反射型回折格子は、前記測定目盛(11)と異なる周期(PBM)を有することを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。
- 前記遮光回折格子の周期(PBM)が、
PBM=λ/(sin(atan(PSG(u+v))))
にしたがって選択されていて、
PBM:=領域マークの反射型回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
λ:=使用された光源の波長
PSG:=透過型回折格子の周期
であることを特徴とする請求項4に記載のエンコーダ。 - 前記複数の領域マーク(13.1,13.2)は、前記スケール(10)上の1つの領域マークトラック内に配置されていて、前記基準マーク(12)は、このスケール(10)上の1つの基準マークトラック内に配置されていて、この領域マークトラックとこの基準マークトラックとが、前記測定方向(x)に沿って平行に延在することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記スケール(10)は、複数のリミット領域(50.1,50.2)を有し、これらのリミット領域(50.1,50.2)は、前記複数の領域マーク(13.1,13.2)又は前記基準マークトラックの光学作用を部分的に変更することによって形成されていることを特徴とする請求項6に記載のエンコーダ。
- 前記複数のリミット領域(50.1,50.2)は、前記領域マークトラック又は前記基準マークトラックの少なくとも部分領域内に形成されていて、前記測定目盛(11)に対して垂直に配向された複数の透過型回折格子又は複数の反射型回折格子が、これらのリミット領域(50.1,50.2)に内に配置されていることを特徴とする請求項7に記載のエンコーダ。
- 発散放射する1つの光源(21)が設けられていて、この光源(21)は、中間接続された光学素子なしに周期的な1つの透過型回折格子(22)を照射し、前記測定目盛(11)と少なくとも1つの基準マーク(12)と前記複数の領域マーク(13.1,13.2)とを有する前記スケール(10)と、前記遮光回折格子(29)と、前記領域信号検出器(26)と1つのインクリメンタル検出器(27)と1つの基準信号検出器(28)とを有する1つの検出装置(25)とが、ビームの伝播方向に前記透過型回折格子に後続して配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記領域信号検出器(26)は、周期的に交互に配置された複数の検出素子(26.1,26.2)による2つのグループから構成され、1つのグループごとのこれらの検出素子が(26.1,26.2)それぞれ、互いに接続されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記回折格子は、+/−1次の回折光と減衰した0次の回折光とを発生させる位相型回折格子として形成されている結果、前記走査ビーム束が、前記複数の領域マーク(13.1,13.2)間を移行するときに、前記検出面内の干渉縞が、位置的に移動することを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。
- ・前記走査装置(10)の位置が、前記基準マーク(12)の前記第1側にあるときに、複数の検出素子(26.1)による前記第1グループが、最大走査信号(S1)を記録し、複数の検出素子(26.2)による前記第2グループが、最小走査信号(S2)を記録し、
・前記走査装置(10)の位置が、前記基準マーク(12)の前記第2側にあるときに、複数の検出素子(26.1)による前記第1グループが、最小走査信号(S1)を記録し、複数の検出素子(26.2)による前記第2グループが、最大走査信号(S2)を記録するように、前記遮光回折格子(29)の周期と前記領域信号検出器(26)の周期とが選択されていて、この遮光回折格子(29)とこの領域信号検出器(26)とが配置されていることを特徴とする請求項10又は11に記載のエンコーダ。 - 複数の検出素子(26.1)による前記第1グループの走査信号(S1)と、複数の検出素子(26.2)による前記第2グループの走査信号(S2)とが、前記領域信号(B)を生成するために1つの減算素子(40)に入力可能であり、前記領域信号(B)が、後続に配置された1つの比較素子(41)を経由して当該発生した減算信号(ΔS)から生成可能であることを特徴とする請求項10又は11に記載のエンコーダ。
- 前記回折格子は、0次の回折光と+/−1次の回折光とを発生する振幅型回折格子又は位相型回折格子として形成されている結果、当該複数の異なる領域マークの走査時に、平均化された異なる強度(I1′,I2′)を有する干渉縞が、前記検出面内で発生することを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。
- 複数の検出素子による第1グループの走査信号(S1′)と、複数の検出素子による第2グループの走査信号(S2′)とが、前記領域信号を生成するために1つの減算素子に異なって増幅されて入力可能であり、前記領域信号(B′)が、後続に配置された1つの比較素子を経由して当該発生した減算信号から生成可能であることを特徴とする請求項14に記載のエンコーダ。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013224405 | 2013-11-28 | ||
DE102013224405.3 | 2013-11-28 | ||
DE102014215633.5A DE102014215633A1 (de) | 2013-11-28 | 2014-08-07 | Positionsmesseinrichtung |
DE102014215633.5 | 2014-08-07 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015105953A true JP2015105953A (ja) | 2015-06-08 |
JP2015105953A5 JP2015105953A5 (ja) | 2017-10-26 |
JP6250525B2 JP6250525B2 (ja) | 2017-12-20 |
Family
ID=51893895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014236243A Active JP6250525B2 (ja) | 2013-11-28 | 2014-11-21 | エンコーダ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9303981B2 (ja) |
EP (1) | EP2878930B1 (ja) |
JP (1) | JP6250525B2 (ja) |
DE (1) | DE102014215633A1 (ja) |
ES (1) | ES2592209T3 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9871595B2 (en) | 2016-04-27 | 2018-01-16 | Industrial Technology Research Institute | Decoding device and method for absolute positioning code |
DE102017219125A1 (de) * | 2017-10-25 | 2019-04-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
JP7258515B2 (ja) | 2018-10-26 | 2023-04-17 | Dmg森精機株式会社 | 位置検出装置および搬送装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01151210U (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-19 | ||
EP1407231A1 (de) * | 2001-07-09 | 2004-04-14 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmesseinrichtung |
JP2006071535A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置 |
JP2006329818A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Olympus Corp | 光学式エンコーダ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3334609C1 (de) | 1983-09-24 | 1984-11-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder Winkelmesseinrichtung |
DE3526206A1 (de) * | 1985-07-23 | 1987-02-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Wegmesseinrichtung |
AT395071B (de) * | 1989-02-09 | 1992-09-10 | Rieder & Schwaiger Sentop | Inkrementales messsystem |
DE4111873C2 (de) | 1991-04-11 | 1995-05-11 | Boehringer Werkzeugmaschinen | Meßeinrichtung an einer Werkzeugmaschine zum Bestimmen des jeweiligen Standorts eines beweglichen Bauteils |
DE19941318A1 (de) * | 1999-08-31 | 2001-03-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische Positionsmeßeinrichtung |
DE102005006247A1 (de) * | 2005-02-11 | 2006-08-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
US7903336B2 (en) * | 2005-10-11 | 2011-03-08 | Gsi Group Corporation | Optical metrological scale and laser-based manufacturing method therefor |
DE102008044858A1 (de) | 2008-08-28 | 2010-03-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
DE102011075286A1 (de) | 2011-05-05 | 2012-11-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
DE102011076055A1 (de) | 2011-05-18 | 2012-11-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
-
2014
- 2014-08-07 DE DE102014215633.5A patent/DE102014215633A1/de not_active Withdrawn
- 2014-11-12 ES ES14192766.5T patent/ES2592209T3/es active Active
- 2014-11-12 EP EP14192766.5A patent/EP2878930B1/de active Active
- 2014-11-21 JP JP2014236243A patent/JP6250525B2/ja active Active
- 2014-11-21 US US14/549,605 patent/US9303981B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01151210U (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-19 | ||
EP1407231A1 (de) * | 2001-07-09 | 2004-04-14 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmesseinrichtung |
JP2006071535A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置 |
JP2006329818A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Olympus Corp | 光学式エンコーダ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102014215633A1 (de) | 2015-05-28 |
EP2878930A1 (de) | 2015-06-03 |
US20150146217A1 (en) | 2015-05-28 |
JP6250525B2 (ja) | 2017-12-20 |
EP2878930B1 (de) | 2016-08-31 |
ES2592209T3 (es) | 2016-11-28 |
US9303981B2 (en) | 2016-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5142502B2 (ja) | 位置測定装置 | |
JP5147367B2 (ja) | エンコーダ | |
JP5100266B2 (ja) | エンコーダ | |
JP4503799B2 (ja) | 光学的位置測定装置 | |
JP5147368B2 (ja) | エンコーダ | |
JP4982242B2 (ja) | 位置測定装置 | |
US20080252906A1 (en) | Absolute position length-measurement type encoder | |
JPH11142114A (ja) | 光学位置測定装置用の走査ユニット | |
US10317253B2 (en) | Optical encoder | |
JP5128368B2 (ja) | エンコーダ用のスケール及びエンコーダ | |
JP5164809B2 (ja) | 光学エンコーダ | |
JP6329456B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
JP2004534247A (ja) | 位置測定装置 | |
US20160231143A1 (en) | Position measurement encoder | |
JP6250525B2 (ja) | エンコーダ | |
KR20180071934A (ko) | 광학적 위치 측정 장치 | |
JP2017044700A (ja) | 光学式位置測定装置 | |
US9952068B2 (en) | Optical element | |
US6552810B1 (en) | Optical measuring system | |
JP7248504B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP6293700B2 (ja) | エンコーダ | |
US10859374B2 (en) | Optical angle sensor | |
JP5927779B2 (ja) | エンコーダ、駆動システム、及び制御装置 | |
WO2007074752A1 (ja) | チルトセンサ及びエンコーダ | |
US7705289B2 (en) | Scanning unit for an optical position-measuring device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170914 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170914 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20170914 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20171017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171122 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6250525 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |