JP6250525B2 - エンコーダ - Google Patents
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Description
PBM=λ/(sin(atan(PSG(u+v))))
にしたがって選択され得る。
PBM:=領域マークの反射型回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
λ:=使用された光源の波長
PSG:=透過型回折格子の周期
PBM=2・v・λ/PBD
にしたがって選択されている。
PBM:=領域マークの反射型回折格子の周期
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
λ:=使用された光源の波長
PBD:=領域信号検出器の周期
・当該走査装置の位置が、基準マークの第1側にあるときに、複数の検出素子による第1グループが、最大走査信号を記録し、複数の検出素子による第2グループが、最小走査信号を記録し、
・当該走査装置の位置が、基準マークの第2側にあるときに、複数の検出素子による第1グループが、最小走査信号を記録し、複数の検出素子による第2グループが、最大走査信号を記録するように、当該遮光回折格子の周期と当該領域信号検出器の周期とが選択されていて、この遮光回折格子とこの領域信号検出器とが配置されていることが可能である。
PBM=λ/(sin(atan(PSG(u+v)))) (方程式1)
PBM:=領域マークの反射型回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
λ:=使用された光源の波長
PSG:=透過型回折格子の周期
PBG=u/(u+v)*PBD (方程式2)
PBG:=遮光回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
PBD:=領域信号検出器の周期
11 インクリメンタル測定目盛
12 基準マーク
13.1 第1領域マーク
13.2 第2領域マーク
20 走査装置
21 光源
22 透過型回折格子
23 キャリア基板
24 走査板
25 検出装置
26 領域信号検出器
26.1 検出素子
26.2 検出素子
27 インクリメンタル信号検出器
28 基準信号検出器
29 遮光回折格子
30 透光性又は非透光性領域
31 透光性又は非透光性領域
40 減算素子
41 比較素子
50.1 リミット領域
50.2 リミット領域
60 加算素子
61 比較素子
Claims (15)
- 1つのスケール(10)と、このスケール(10)に対して測定方向(x)に可動な1つの走査装置(20)とを有するンコーダであって、
・前記スケール(10)が、1つの測定目盛(11)を有し、周期的な測定信号が、この測定目盛(11)を光学走査することによって生成可能であり、
・前記スケール(10)が、少なくとも1つの基準マーク(12)を有し、基準信号(REF)が、当該基準マーク(12)を光学走査することによって生成可能であり、
・前記スケール(10)が、光学走査可能な複数の領域マーク(13.1,13.2)を有し、領域信号(B)が、走査ビーム束でこれらの領域マーク(13.1,13.2)を光学走査し、1つの領域信号検出器(26)を通じて当該走査ビーム束を検出することによって生成可能であり、前記走査装置(20)が、前記基準マーク(12)の第1側に存在するのか又は第2側に存在するのかが、前記領域信号(B)によって識別可能であり、
・前記複数の領域マーク(13.1,13.2)上に照射される当該走査ビーム束が、前記基準マーク(12)の前記第1側と前記第2側とで異なる回折作用で出射する当該エンコーダにおいて、
周期的な1つの遮光回折格子(29)が、前記スケール(10)と前記領域信号検出器(26)との間に配置されていて、前記領域信号検出器(26)の検出面内の前記複数の領域マーク(13.1,13.2)の光学走査時に、干渉縞が発生するように、前記遮光回折格子が形成されていて且つ配置されていて、少なくとも2つの識別可能な走査信号(S1,S2;S1′,S2′)が、前記基準マーク(12)に対する前記走査装置(20)の位置に応じて前記干渉縞から生成可能であることを特徴とするエンコーダ。 - 前記遮光回折格子(29)の周期(PBG)が、
PBG=u/(u+v)*PBD
にしたがって選択されていて、
PBG:=遮光回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
PBD:=領域信号検出器の周期
であることを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。 - 前記基準マーク(12)の前記第1側の前記領域マーク(13.1)が、反射するように形成されていて、前記基準マーク(12)の前記第2側の前記領域マーク(13.2)が、反射型回折格子として形成されていることを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記領域マーク(13.2)の前記反射型回折格子は、前記測定目盛(11)と異なる周期(PBM)を有することを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。
- 前記遮光回折格子の周期(PBM)が、
PBM=λ/(sin(atan(PSG(u+v))))
にしたがって選択されていて、
PBM:=領域マークの反射型回折格子の周期
u:=透過型回折格子からスケールを経由して遮光回折格子までの走査ビーム束の進行光路長
v:=遮光回折格子と領域信号検出器の検出面との間の走査ビーム束の進行光路長
λ:=使用された光源の波長
PSG:=透過型回折格子の周期
であることを特徴とする請求項4に記載のエンコーダ。 - 前記複数の領域マーク(13.1,13.2)は、前記スケール(10)上の1つの領域マークトラック内に配置されていて、前記基準マーク(12)は、このスケール(10)上の1つの基準マークトラック内に配置されていて、この領域マークトラックとこの基準マークトラックとが、前記測定方向(x)に沿って平行に延在することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記スケール(10)は、複数のリミット領域(50.1,50.2)を有し、これらのリミット領域(50.1,50.2)は、前記複数の領域マーク(13.1,13.2)又は前記基準マークトラックの光学作用を部分的に変更することによって形成されていることを特徴とする請求項6に記載のエンコーダ。
- 前記複数のリミット領域(50.1,50.2)は、前記領域マークトラック又は前記基準マークトラックの少なくとも部分領域内に形成されていて、前記測定目盛(11)に対して垂直に配向された複数の透過型回折格子又は複数の反射型回折格子が、これらのリミット領域(50.1,50.2)に内に配置されていることを特徴とする請求項7に記載のエンコーダ。
- 発散放射する1つの光源(21)が設けられていて、この光源(21)は、中間接続された光学素子なしに周期的な1つの透過型回折格子(22)を照射し、前記測定目盛(11)と少なくとも1つの基準マーク(12)と前記複数の領域マーク(13.1,13.2)とを有する前記スケール(10)と、前記遮光回折格子(29)と、前記領域信号検出器(26)と1つのインクリメンタル検出器(27)と1つの基準信号検出器(28)とを有する1つの検出装置(25)とが、ビームの伝播方向に前記透過型回折格子に後続して配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記領域信号検出器(26)は、周期的に交互に配置された複数の検出素子(26.1,26.2)による2つのグループから構成され、1つのグループごとのこれらの検出素子が(26.1,26.2)それぞれ、互いに接続されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記回折格子は、+/−1次の回折光と減衰した0次の回折光とを発生させる位相型回折格子として形成されている結果、前記走査ビーム束が、前記複数の領域マーク(13.1,13.2)間を移行するときに、前記検出面内の干渉縞が、位置的に移動することを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。
- ・前記走査装置(10)の位置が、前記基準マーク(12)の前記第1側にあるときに、複数の検出素子(26.1)による前記第1グループが、最大走査信号(S1)を記録し、複数の検出素子(26.2)による前記第2グループが、最小走査信号(S2)を記録し、
・前記走査装置(10)の位置が、前記基準マーク(12)の前記第2側にあるときに、複数の検出素子(26.1)による前記第1グループが、最小走査信号(S1)を記録し、複数の検出素子(26.2)による前記第2グループが、最大走査信号(S2)を記録するように、前記遮光回折格子(29)の周期と前記領域信号検出器(26)の周期とが選択されていて、この遮光回折格子(29)とこの領域信号検出器(26)とが配置されていることを特徴とする請求項10又は11に記載のエンコーダ。 - 複数の検出素子(26.1)による前記第1グループの走査信号(S1)と、複数の検出素子(26.2)による前記第2グループの走査信号(S2)とが、前記領域信号(B)を生成するために1つの減算素子(40)に入力可能であり、前記領域信号(B)が、後続に配置された1つの比較素子(41)を経由して当該発生した減算信号(ΔS)から生成可能であることを特徴とする請求項10又は11に記載のエンコーダ。
- 前記回折格子は、0次の回折光と+/−1次の回折光とを発生する振幅型回折格子又は位相型回折格子として形成されている結果、当該複数の異なる領域マークの走査時に、平均化された異なる強度(I1′,I2′)を有する干渉縞が、前記検出面内で発生することを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ。
- 複数の検出素子による第1グループの走査信号(S1′)と、複数の検出素子による第2グループの走査信号(S2′)とが、前記領域信号を生成するために1つの減算素子に異なって増幅されて入力可能であり、前記領域信号(B′)が、後続に配置された1つの比較素子を経由して当該発生した減算信号から生成可能であることを特徴とする請求項14に記載のエンコーダ。
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