JP4667653B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は光透過格子および受光素子を備えた半導体基板を用いた3枚格子理論に基づく光学式エンコーダに関し、特に、位置検出のための原点位置信号を生成可能な小型でコンパクトに構成された光学式エンコーダに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
本願人は先に、特開2000―321097号公報において、3枚格子理論に基づく光学式エンコーダを提案している。この光学式エンコーダは、光源としてのLEDと、一定のピッチで光透過格子および受光素子(ホトダイオード)が作り込まれている半導体基板からなる移動板と、一定のピッチで反射格子が形成されている反射格子板とを備えており、LEDと反射格子板の間に移動板が配置されている。
【0003】
この構成の光学式エンコーダでは、移動板を測定対象物と一体化させて、LEDからの射出光の光軸に直交する方向で、しかも、光透過格子およびホトダイオードの配列方向に移動させる。LEDからの射出光は、まず、移動板の背面を照射し、当該移動板に形成されている光透過格子を通過して反射格子板の表面を格子縞状に照射する。反射格子板にも一定のピッチで反射格子が形成されているので、当該反射格子板を照射した光のうちの各反射格子に照射した成分のみが反射される。反射格子像は再び移動板を照射し、一定のピッチおよび一定幅で形成されている縦縞状のホトダイオードによって受光される。
【0004】
移動格子板に形成された縦縞状の光透過格子とホトダイオードとが2枚の格子板として機能する。従って、反射格子を用いた3枚格子の理論に基づき、ホトダイオードの受光量は、反射格子板と移動格子板の相対移動に対応して正弦波状に変化する。よって、ホトダイオードの光電流に基づき相対移動速度に対応したパルス信号を得ることができ、当該パルス信号のパルスレートに基づき相対移動速度を演算できる。
【0005】
また、90度位相の異なるA相信号およびB相信号が得られるように、ホトダイオードを配列しておけば、これらの2相の信号に基づき、移動格子板の移動方向も判別できる。
【0006】
このように、上記の公開公報に開示されている光学式エンコーダにおいては、光透過格子および受光素子を半導体製造技術により製作しているので、微小ピッチの格子を製造することができ、高分解能のエンコーダを実現できる。また、一定ピッチで縦縞状に形成された受光素子が格子として機能し、しかも、当該格子自体がレンズ効果を持つので、レンズ光学系を用いる必要が無く、装置の小型化を達成できる。さらには、3枚格子の理論により、反射格子と光透過格子の隙間の広狭および、当該隙間の変動が分解能に悪影響を及ぼすことがないので、これらが形成されている部材の取り付け精度を確保するための調整作業を簡略化でき、また、取り付け場所の制約が少なくなる。これに加えて、反射格子と光透過格子の間隔を広くできるので、例えば反射格子の側を保護ケース等に収納して耐環境性を高めることも可能となる等の利点がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、半導体基板からなる移動板と固定側の反射格子板との相対位置を検出するためには、位置や回転角度の基準になる原点位置を検出する必要がある。
【0008】
本発明の課題は、この点に鑑みて、原点位置を検出可能な三枚格子の理論に基づく光学式エンコーダを提案することにある。
【0009】
また、本発明の課題は、原点位置の検出機構が小型でコンパクトに構成された三枚格子の理論に基づく光学式エンコーダを提案することにある。
【0010】
さらに、本発明の課題は、精度良く原点位置を検出可能な三枚格子の理論に基づく光学式エンコーダを提案することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、光源と、一定のピッチで配列された所定形状の反射格子と、一定のピッチで配列された所定形状の光透過格子と、前記光源から出射され前記光透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する受光素子とを有し、各受光素子から得られる検出信号に基づき、少なくとも、前記反射格子および前記光透過格子の相対移動位置を検出する光学式エンコーダであって:前記反射格子が形成されている反射格子板と、前記光透過格子および前記受光素子が作り込まれている半導体基板とを有しており;前記受光素子には、前記反射格子板および前記半導体基板の相対位置を検出するための基準となる原点位置を検出するための少なくとも一つの原点位置検出用受光素子が含まれており、前記反射格子には、前記原点位置を検出するための少なくとも一つの原点位置検出用反射格子が含まれており、
【0012】
前記半導体基板には、前記光透過格子が一定のピッチで配列された光透過領域と、この光透過領域の一方の側において前記受光素子が一定のピッチで配列されている第1の受光領域と、前記光透過領域の他方の側において前記受光素子が一定のピッチで配置されている第2の受光領域とが形成されており、
【0013】
前記光透過領域における隣接配置されている一対の前記光透過格子の間に、前記原点位置検出用受光素子が形成されており、前記反射格子板における前記原点位置検出用受光素子に対峙可能な位置に、前記原点位置検出用反射格子が形成されていることを特徴としている。
【0014】
このような構成により、小型、コンパクト化を阻害することなく、半導体基板に原点位置検出用受光素子を作り込むことができる。また、原点位置検出用受光素子に反射光を導くことができる。よって、小型、コンパクトで、原点位置も検出可能な三枚格子の理論による光学式エンコーダを実現できる。
【0015】
次に、原点位置検出用受光素子での受光量不足を解消して、原点位置を確実に検出できるようにするためには、一定のピッチで配列された複数の前記原点位置検出用受光素子と、同一のピッチで配列された同一個数の前記原点位置検出用反射格子とを備えた構成を採用し、最も受光量の多い位置の原点位置検出用受光素子の出力に基づき原点位置を検出することが望ましい。
【0016】
また、原点位置検出用受光素子の検出信号のS/N比を高めて精度良く原点位置検出を行うためには、異なるピッチで配列された複数の前記原点位置検出用受光素子と、これらの原点位置検出用受光素子のそれぞれに対応するピッチで配列された同一個数の前記原点位置検出用反射格子とを備えた構成を採用し、最も受光量の多い位置の原点位置検出用受光素子の出力に基づき原点位置を検出することが望ましい。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した三枚格子の理論に基づく光学式リニアエンコーダの実施例を説明する。
【0018】
図1は本例の光学式リニアエンコーダを示す概略構成図である。この図に示すように、光学式リニアエンコーダ1は、光源としてのLED2と、光透過格子3およびホトダイオード群4A、4Bと一つのホトダイオード4Cが作り込まれている半導体基板からなる移動格子板5と、反射格子群6A、6Bおよび一つの反射格子6Bが表面に形成されている反射格子板(固定格子板)7と、制御回路部8から基本的に構成されている。本例の移動格子板5は、後述のように、LED2が一体化された光源一体型の移動板ユニットとされている。LED2からの射出光は、移動格子板5に形成されている光透過格子3を透過して、反射格子板7の反射格子群6A、6B、および反射格子6Cを照射する。この反射格子群で反射された反射光像がホトダイオード群4A、4B、およびホトダイオード4Cで受光され、各ホトダイオード群4A、4B、およびホトダイオード4Cの検出信号が制御回路部8に供給される。
【0019】
制御回路部8は、ホトダイオード群4A、4B、およびホトダイオード4Cの検出信号に基づき、1/4λだけ位相のずれたA相信号およびB相信号と、移動格子板5の原点位置を示すZ信号を形成する信号処理部9と、これらA相、B相信号およびZ信号に基づき移動格子板5の移動速度、移動方向、移動位置等の移動情報を演算するための演算部10と、演算結果を表示する表示部11と、LED2の駆動をフィードバック制御するランプ駆動部12とを備えている。
【0020】
図2(a)ないし(c)は、光源一体型の移動板ユニットを示す概略平面図、b−b線で切断した部分の概略断面図、およびc−c線で切断した部分の概略断面図である。
【0021】
これらの図を参照して説明すると、本例の光源一体型の移動板ユニット20は、シリコン基板からなるLED保持板21と、このLED保持板21の表面に積層接着した同じくシリコン基板からなる移動格子板5とを備えている。LED保持板21の表面には一定深さの凹部22が形成されており、ここに、LED2が装着されている。本例のLED2は面発光ダイオードであり、例えば、AuZn基板にGaAlAsの発光層が形成された構造のものである。
【0022】
移動格子板5もシリコン基板から形成されており、その表面23には、中央部分に一定のピッチで一定幅の光透過格子3が一定間隔で配列された光透過領域24が形成されている。この光透過領域24における一対の光透過格子3の間には原点位置検出用のホトダイオード4Cが形成されている。光透過領域24の上側には、ホトダイオード群4Aが配列された第1の受光領域25が形成されており、光透過領域24の下側にも、ホトダイオード4Bが配列された第2の受光領域26が形成されている。
【0023】
一方、固定格子板である反射格子板7の表面には、図1(b)に示すように、一定の間隔で上側に反射格子群6Aが配列され、下側に反射格子群6Bが配列されている。また、移動格子板5の移動方向の中央には、上下の反射格子群6A、6Bの間の位置に一つの原点位置検出用の反射格子6Cが形成されている。
【0024】
次に、図3は移動格子板の表面23の中央部分に形成されている光透過領域24の拡大部分断面図である。この図から分かるように、本例の光透過領域24は、移動板5の裏面側からウエットエッチングを施すことにより形成された薄膜部分41に、ICP等のドライエッチングにより一定のピッチで一定幅の光透過格子3としてのスリットを形成した構成とされている。また、ほぼ中央に位置している一対の隣接する光透過格子3の間の領域には原点位置検出用のホトダイオード4Cが作り込まれている。
【0025】
図4は、第1の受光領域25に作り込まれているホトダイオード群4Aに含まれているホトダイオード31A、31B’を示す拡大部分断面図である。第2の受光領域26の場合も同様である。また、原点位置検出用のホトダイオード4Cも同様である。この図から分かるように、シリコン基板からなる移動格子板5の表面からボロンをドープすることにより形成したボロンドープ層51を備えたpn接合のホトダイオード31A、31B’が作り込まれている。各ホトダイオード31A、31B’のボロンドープ層51にはアルミニウム製の電極配線層35、36が接続されており、移動格子板5のn層の側にはアルミニウム製の共通電極層53が接続されている。電極配線層35、36と移動格子板5の間はシリコン酸化膜からなる絶縁層54により絶縁されている。また、移動格子板5の露出表面は耐久性を確保するためにシリコン酸化膜55によって覆われている。同様に、ボロンドープ層51の表面もシリコン酸化膜56によって覆われている。
【0026】
次に、図5には、第1および第2の受光領域25、26における各ホトダイオードの配置関係、および反射格子の配置関係を示してある。この図に示すように、光透過格子3のピッチをPとすると、第1の受光領域25では、A相信号検出用のホトダイオード31A、B相の反転信号出力用のホトダイオード31B’、A相の反転信号出力用のホトダイオード31A’、B相信号出力用のホトダイオード31Bが、(3/4)pのピッチで(1/2)pの幅で、この順序で周期的に配列されている。これらのホトダイオードは、光透過格子3に対してp/2オフセットした状態で配列されている。第2の受光領域26においても、第1の受光領域25と同一位置において同一順番で各相検出用のホトダイオード31A、31B’、31A’および31Bが配列されている。
【0027】
ここで、原点位置検出用のホトダイオード4Cは、隣接する一対の光透過格子3の間の残り領域に形成されており、その幅は、p/2よりも僅かに狭い寸法とされている。
【0028】
これに対して、反射格子板7においては、ホトダイオード群4Aに対応する上側の反射格子群6Aを構成している反射格子61は、光透過格子3と同様に、幅がp/2であり、ピッチpで配列されている。同様に、ホトダイオード群4Bに対応する下側の反射格子群6Bを構成している反射格子62も、上側の反射格子61と同様に、同一ピッチ、同一幅で配列されている。
【0029】
ここで、原点位置検出用の反射格子6Cは、上下の反射格子群6A、6Bにおける対応する反射格子61、62の間の位置において、同一幅で形成されている。本例では、これら3つの反射格子61、62、6Cが連続した状態で形成されている。
【0030】
このように構成された本例の光学式リニアエンコーダ1では、移動格子板5を測定対象物(図示せず)と一体化させて、光軸Lに直交する方向で、しかも、スリットおよびホトダイオードの配列方向に移動させる。LED2からの出射光は、まず、移動格子板5の背面を照射し、当該移動格子板5に形成されている光透過格子3を透過して固定した位置に配置されている反射格子板7を格子縞状に照射する。反射格子板7にも一定ピッチで同一幅の反射格子6が形成されているので、当該反射格子板7を照射した光のうち各反射格子6に照射した成分のみが反射される。反射格子像は再び移動格子板5を照射し、ホトダイオード群4A、4Bによって受光される。
【0031】
このように、移動格子板5に形成された縦縞状の光透過格子3とホトダイオード群4A、4Bとが2枚の格子板として機能する。従って、反射格子6を用いた3枚格子の理論に基づき、ホトダイオード群4A、4Bにおいては、固定側の反射格子6と移動側の光透過格子3の相対移動に対応して受光量が正弦波状に変化する。よって、ホトダイオード群4A、4Bの光電流に基づき相対移動速度に対応したパルス信号を得ることができ、当該パルス信号のパルスレートに基づき相対移動速度を演算できる。
【0032】
また、ホトダイオード31A、31A’の出力に基づき、精度良くA相信号を得ることができ、ホトダイオード31B、31B’の出力に基づき、精度良くB相信号を得ることができる。これらの2相の信号に基づき、移動格子板5の移動方向も判別できる。
【0033】
ここで、本例の光学式リニアエンコーダ1では、A相信号、B相信号と共に、移動格子板5の原点位置を検出するためのZ信号も得られるようになっている。すなわち、図6(a)に示すように、移動格子板5には原点位置検出用のp/2幅の受光素子4Cが形成され、固定格子板7にも原点位置検出用のp/2幅の反射格子6Cが形成されている。移動格子板5が移動して、これらが一致する位置を通過すると、図6(b)に示すように、ホトダイオード4Cの検出信号には、底辺の幅がpで高さが所定のV(ホトダイオードから得られるピーク電圧)の三角波が一つ現れる。本例の信号処理部9では、この信号のV/2の位置にトリガーレベルを設定して波形整形を行い、図6(c)に示す幅がp/2の矩形波信号zを生成している。
【0034】
信号処理部9では、第1および第2の受光領域のホトダイオード群からの検出信号に基づき、図6(d)、(e)に示すような周期pのA相信号およびB相信号を生成している。そして、これら矩形波信号zと、AおよびB相信号の論理積を取ることにより、図6(f)に示すようなパルス幅がp/4の原点位置を表す原点信号Zを生成している。この原点信号Zに基づき、移動格子板5の絶対位置を検出できるので、これに基づき、移動格子板5の移動位置を検出できる。
【0035】
(原点位置検出機構の別の例)
上記の例では、主信号(A相信号、B相信号)を、複数の光透過格子、反射格子およびホトダイオードを用いて検出しているのに対して、原点信号Zは単一の反射格子およびホトダイオードを用いて検出している。このために、原点位置検出用のホトダイオード4Cの受光量が不足して、確実な原点位置検出ができない可能性がある。この弊害を回避するためには、図7(a)に示すように、原点位置検出用の反射格子およびホトダイオードを3組配置すると、図7(b)に示すように、中央のホトダイオード4C1の受光量を1組の場合に比べて3倍にすることができる。
【0036】
この場合、両側のホトダイオード4C2、4C3の受光量もそのピーク値が高くなるので、S/N比を大きくとれない。S/N比を高めて原点位置の検出精度を改善するためには、図8(a)に示すように、中央の反射格子6C1およびホトダイオード4C1に対して、左右の反射格子6C2、6C3およびホトダイオード4C2、4C3のピッチを異なるようにすればよい。このようにすれば、図8(b)に示すように、中央に位置しているホトダイオード4C1の受光量を増加させることができると共に、左右のホトダイオードの受光量のピーク値を低くすることができるので、S/N比を大きくとることができ、精度良く原点位置を検出できる。
【0037】
(その他の実施の形態)
上記の例では、反射格子が形成されている反射格子板を固定側としてあるが、当該反射格子板の側を移動側とし、移動板の側を固定側としてもよい。
【0038】
また、上記の例では光源としてLEDを用いているが、レーザー光源等のその他の光源を利用することも可能である。
【0039】
さらに、上記の例はリニアエンコーダに関するものであるが、ロータリーエンコーダに対しても本発明を同様に適用可能である。この場合には、光透過格子とホトダイオードを、円周方向に向けて一定の角度間隔で形成すればよい。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、3枚格子理論に基づき、反射格子と光透過格子を用いてこれらの相対移動に関する情報を検出可能な反射格子像を受光素子で受光させるようにした光学式エンコーダにおいて、光透過格子と受光素子を共通の半導体基板上に作り込むようにすると共に、半導体基板に形成した光透過格子の間に原点位置検出用の受光素子を配置した構成を採用している。
【0041】
従って、本発明によれば、小型、コンパクトで、原点位置も検出可能な三枚格子の理論による光学式エンコーダを実現できる。
【0042】
また、本発明では、原点位置検出用受光素子および原点位置検出用反射格子の組を複数配置し、中央に位置している受光素子から原点位置検出用の出力を得るようにしている。この構成によれば、原点位置検出用の受光素子の受光量不足を解消でき、確実な原点位置検出動作を行うことが可能になる。
【0043】
さらに、これらの原点位置検出用の受光素子および反射格子の組を異なるピッチで配置した場合には、中央の受光素子の受光量に対して両側の受光素子の受光量を大幅に低減できるので、原点位置検出信号のS/N比を大きく取れるので、精度良く原点位置を検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)、(b)は、本発明を適用した3枚格子の理論に基づく光学式リニアエンコーダを示す概略構成図である。
【図2】(a)、(b)および(c)は、図1の光源一体型の移動板ユニットを示す概略平面図、b−b線で切断した部分の概略断面図、およびc−c線で切断した部分の概略断面図である。
【図3】図1の移動板に形成されている光透過格子の部分を示す拡大部分断面図である。
【図4】図1の移動板に形成されているホトダイオードの部分を示す拡大部分断面図である。
【図5】図1の移動格子板に形成されている光透過格子およびホトダイオードと、反射格子板に形成されている反射格子の配列関係を示す説明図である。
【図6】図1のリニアエンコーダにおける原点位置検出動作を説明するための説明図である。
【図7】原点位置検出機構の別の例を示す説明図である。
【図8】原点位置検出機構の更に別の例を示す説明図である。
【符号の説明】
1 光学式リニアエンコーダ
2 LED
3 光透過格子
4A、4B ホトダイオード群(受光素子)
4C ホトダイオード
31A、31A’、31B、31B’ ホトダイオード
5 移動格子板
6A、6B 反射格子群
61、62 反射格子
6C 反射格子
7 反射格子板
8 制御回路部
20 光源一体型の移動板ユニット
21 LED保持板
22 凹部
23 基板表面
24 光透過領域
25 第1の受光領域
26 第2の受光領域
Claims (3)
- 光源と、一定のピッチで配列された所定形状の反射格子と、一定のピッチで配列された所定形状の光透過格子と、前記光源から出射され前記光透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する受光素子とを有し、各受光素子から得られる検出信号に基づき、少なくとも、前記反射格子および前記光透過格子の相対移動位置を検出する光学式エンコーダであって、
前記反射格子が形成されている反射格子板と、前記光透過格子および前記受光素子が作り込まれている半導体基板とを有しており、
前記受光素子には、前記反射格子板および前記半導体基板の相対位置を検出するための基準となる原点位置を検出するための少なくとも一つの原点位置検出用受光素子が含まれており、
前記反射格子には、前記原点位置を検出するための少なくとも一つの原点位置検出用反射格子が含まれており、
前記半導体基板には、前記光透過格子が一定のピッチで配列された光透過領域と、この光透過領域の一方の側において前記受光素子が一定のピッチで配列されている第1の受光領域と、前記光透過領域の他方の側において前記受光素子が一定のピッチで配置されている第2の受光領域とが形成されており、
前記光透過領域における隣接配置されている一対の前記光透過格子の間に、前記原点位置検出用受光素子が形成されており、
前記反射格子板における前記原点位置検出用受光素子に対峙可能な位置に、前記原点位置検出用反射格子が形成されていることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 請求項1において、
一定のピッチで配列された複数の前記原点位置検出用受光素子と、同一のピッチで配列された同一個数の前記原点位置検出用反射格子とを備えていることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 請求項1において、
異なるピッチで配列された複数の前記原点位置検出用受光素子と、これらの原点位置検出用受光素子のそれぞれに対応するピッチで配列された同一個数の前記原点位置検出用反射格子とを備えていることを特徴とする光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001186490A JP4667653B2 (ja) | 2001-06-20 | 2001-06-20 | 光学式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001186490A JP4667653B2 (ja) | 2001-06-20 | 2001-06-20 | 光学式エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003004488A JP2003004488A (ja) | 2003-01-08 |
JP4667653B2 true JP4667653B2 (ja) | 2011-04-13 |
Family
ID=19025925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001186490A Expired - Lifetime JP4667653B2 (ja) | 2001-06-20 | 2001-06-20 | 光学式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4667653B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4364711B2 (ja) | 2004-04-14 | 2009-11-18 | シャープ株式会社 | 光学式エンコーダおよびそれを備えた電子機器 |
CN109238316A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-01-18 | 上海市雷智电机有限公司 | 一种透反一体式光栅组件 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08201115A (ja) * | 1995-01-26 | 1996-08-09 | Fanuc Ltd | ロータリエンコーダ |
JP2000321097A (ja) * | 1999-05-12 | 2000-11-24 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 光学式エンコーダ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6474414A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Mitutoyo Corp | Optical displacement detector |
-
2001
- 2001-06-20 JP JP2001186490A patent/JP4667653B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003004488A (ja) | 2003-01-08 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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