JP3622960B2 - 投影型エンコーダ - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は透過格子および受光素子が形成された半導体基板などの基板を用いた３枚格子の理論に基づく投影型エンコーダに関し、特に、位置検出のための原点位置信号を精度良く生成可能な小型でコンパクトに構成された投影型エンコーダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明者等は先に、特開２０００―３２１０９７号公報等において、３枚格子の理論に基づく投影型エンコーダを提案している。この投影型エンコーダは、光源としてのＬＥＤと、一定のピッチで透過格子および受光素子（ホトダイオード）が作り込まれている半導体基板からなる移動板と、一定のピッチで反射格子が形成されている反射格子板とを備えており、ＬＥＤと反射格子板の間に移動板が配置された構成となっている。
【０００３】
この構成の投影型エンコーダでは、移動板を測定対象物と一体化させて、ＬＥＤからの射出光の光軸に直交する方向に沿って、透過格子およびホトダイオードの配列方向に移動させる。ＬＥＤからの射出光は、まず、移動板の背面を照射し、当該移動板に形成されている透過格子を通過して反射格子板の表面を格子縞状に照射する。反射格子板にも一定のピッチで反射格子が形成されているので、当該反射格子板を照射した光のうちの各反射格子に照射した成分のみが反射される。反射格子像は再び移動板を照射し、一定のピッチおよび一定幅で形成されている縦縞状のホトダイオードによって受光される。
【０００４】
移動格子板に形成された縦縞状の透過格子とホトダイオードとが２枚の格子板として機能する。従って、反射格子を用いた３枚格子の理論に基づき、ホトダイオードの受光量は、反射格子板と移動格子板の相対移動に対応して正弦波状に変化する。よって、ホトダイオードの光電流に基づき相対移動速度に対応したパルス信号を得ることができ、当該パルス信号のパルスレートに基づき相対移動速度を演算できる。
【０００５】
また、９０度位相の異なるＡ相信号およびＢ相信号が得られるように、ホトダイオードを配列しておけば、これらの２相の信号に基づき、移動格子板の移動方向も判別できる。
【０００６】
このように、上記の公開公報等に開示されている投影型エンコーダにおいては、透過格子および受光素子を半導体製造技術により製作しているので、微小ピッチの格子を製造することができ、高分解能のエンコーダを実現できる。また、一定ピッチで縦縞状に形成された受光素子が格子として機能し、しかも、当該格子自体がレンズ効果を持つので、レンズ光学系を用いる必要が無く、装置の小型化を達成できる。さらには、３枚格子の理論により、反射格子と透過格子の隙間の広狭および、当該隙間の変動が分解能に悪影響を及ぼすことがないので、これらが形成されている部材の取り付け精度を確保するための調整作業を簡略化でき、また、取り付け場所の制約が少なくなる。これに加えて、反射格子と透過格子の間隔を広くできるので、例えば反射格子の側を保護ケース等に収納して耐環境性を高めることも可能となる等の利点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、移動板と固定側の反射格子板との相対位置を検出するためには、位置や回転角度の基準になる原点位置を検出する必要がある。原点位置を検出するためには、移動板に原点位置検出用の受光素子を作り込むと共に、反射格子板に原点位置検出用の反射格子を形成することが考えられる。この場合、移動板と反射格子板の間隔を大きくすると、原点位置検出用の反射光像のコントラストが低下し、検出される信号のレベルが小さくなってしまう。この結果、原点位置検出用の検出信号がノイズに埋もれてしまい、原点位置を精度良く検出できないおそれがある。
【０００８】
検出信号レベルを安定化させると共に検出信号レベルを高めるためには、原点検出用の反射格子の数および原点検出用の受光素子の数を増やして、原点位置を差動検出することが考えられる。しかしながら、単に差動検出を適用しようとすると、移動板および反射格子板の大型化を招くことになる。換言すると、移動板および反射格子板の大きさに制約のある場合には、原点位置検出用の受光素子および反射格子の数を増やすことができないので、精度良く原点位置検出を行うことができない。
【０００９】
本発明の課題は、この点に鑑みて、原点位置を精度良く検出可能な３枚格子の理論に基づく投影型エンコーダを提案することにある。
【００１０】
また、本発明の課題は、原点位置の検出機構が小型でコンパクトに構成された３枚格子の理論に基づく投影型エンコーダを提案することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、光源と、一定のピッチで配列された所定形状の反射格子と、一定のピッチで配列された所定形状の透過格子と、前記光源から出射され前記透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する受光素子とを有し、各受光素子から得られる検出信号に基づき、少なくとも、前記反射格子および前記透過格子の相対移動位置を検出する投影型エンコーダであって、
前記反射格子が形成されている反射格子板と、前記透過格子および前記受光素子が形成されている基板と、前記反射格子板および前記基板の原点位置を検出するための原点位置検出機構とを有しており、
前記原点位置検出機構は、
前記反射格子板に形成された原点位置検出用反射格子領域と、
前記基板に形成された原点位置検出用受光素子領域とを備え、
前記原点位置検出用反射格子領域では、Ｍ系列の配列パターンに従って一定幅の反射格子および非反射格子が配列されており、
前記原点位置検出用受光素子領域では、前記Ｍ系列の配列パターンに従って位相の異なるＺ相信号およびＺ’相信号を得るための一定幅のＺ相受光素子およびＺ’相受光素子が配列されており、
前記原点位置検出用反射格子領域で反射された反射光像を前記原点位置検出用受光素子領域において受光できるように、これら原点位置検出用反射格子領域および原点位置検出用受光素子領域の位置関係が設定されていることを特徴としている。
【００１２】
Ｍ系列の配列パターンを採用することにより、原点位置検出用反射格子領域における配列パターンと、原点位置検出用受光素子領域における配列パターンとが一致した場合に、Ｚ相受光素子による受光量とＺ’相受光素子による受光量の差異が最大となり、双方の配列パターンが一致しない場合における光量差は実質的に零に近い。従って、これらＺ相受光素子およびＺ’相受光素子からの検出信号の差動を取ることにより、Ｓ／Ｎ比の高い原点位置信号を確実に生成することができる。
【００１３】
ここで、本発明は、原点位置検出のための反射光像のコントラストを高めるために、前記反射格子板に形成されている前記原点位置検出用反射格子領域において一定のピッチで配列されている各反射格子および各非反射格子を、それぞれ、１／２のピッチで配列された１／２の幅の二分割反射格子および二分割非反射格子から構成してある。
【００１４】
また、前記基板には、前記透過格子が一定のピッチで配列された透過領域と、この透過領域の一方の側において前記受光素子が一定のピッチで配列されている受光領域と、前記透過領域の他方の側において前記Ｚ相受光素子および前記Ｚ’相受光素子が一定のピッチで配列されている前記原点位置検出用受光素子領域とを形成することができる。この場合、前記反射格子板には、前記受光領域に対峙可能な位置に前記反射格子が一定のピッチで配列された反射格子領域と、前記原点位置検出用受光素子領域に対峙可能な位置に前記反射格子および非反射格子が一定のピッチで配列された原点位置検出用反射格子領域とを形成すればよい。
【００１５】
次に、本発明の投影型エンコーダの前記原点位置検出機構は、前記Ｚ相受光素子による検出信号と前記Ｚ’相受光素子による検出信号との差動信号に基づき原点位置を検出する信号処理部を備えていることを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した３枚格子の理論に基づく投影型リニアエンコーダの実施例を説明する。
【００１７】
図１は本例の投影型リニアエンコーダを示す概略構成図であり、図２はその主要部分の側面構成図である。これらの図に示すように、投影型リニアエンコーダ１は、ＬＥＤ、ハロゲンランプなどの光源２と、透過格子群３およびホトダイオード群４、５が作り込まれている半導体基板からなる移動格子板６と、反射格子群７、８が表面に形成されている反射格子板（固定格子板）９と、制御回路部１０から基本的に構成されている。光源２からの射出光は、移動格子板６に形成されている透過格子群３を透過して、反射格子板９の反射格子群７、８を照射する。この反射格子群７、８で反射された反射光像がホトダイオード群４、５で受光され、各ホトダイオード群４、５の検出信号が制御回路部１０に供給される。
【００１８】
制御回路部１０は、ホトダイオード群４、５の検出信号に基づき、１／４λだけ位相のずれたＡ相信号およびＢ相信号、並びに移動格子板６の原点位置を示すＺ相信号を形成する信号処理部１１と、これらＡ相、Ｂ相信号およびＺ相信号に基づき移動格子板６の移動速度、移動方向、移動位置等の移動情報を演算するための演算部１２と、演算結果を表示する表示部１３と、光源２の駆動をフィードバック制御するランプ駆動部１４とを備えている。
【００１９】
図３は反射格子板９の表面に形成されている反射格子の配列パターンを示す説明図である。反射格子板９の表面９ａは光源２からの射出光の光軸Ｌに垂直に配置されていると共に移動格子板６の移動方向Ｒに平行となるように配置されている。この表面９ａにおける、移動方向Ｒに直交する方向の一方の表面部分（図において上側部分）に、一定幅の反射格子７１が一定のピッチで移動方向Ｒに配列されている。また、表面９ａにおける他方の表面部分（図の下側部分）には、Ｍ系列の配列パターンに従って一定幅の反射格子８１および非反射格子８２が配列されている。本例では、反射格子板９を透明基板から形成してあり、従って、その表面に反射格子８１を規定している反射膜が形成されているのみであり、図において想像線で示す非反射格子８２は理解を容易にするために便宜上、描いたものである。
【００２０】
図４は、反射格子板９に対峙している移動格子板６に形成されている透過格子群３、ホトダイオード群４、５を示す説明図である。この図に示すように、移動格子板６には、その移動方向Ｒに直交する方向における中央部分に光透過領域３０が形成されており、この光透過領域３０は、一定幅の透過格子３１が一定のピッチで移動方向Ｒに配列された透過格子群３から構成されている。この光透過領域３０を挟み、一方の側（図における上側）にはＡ相信号およびＢ相信号検出用のホトダイオード群４からなる受光領域４０が形成されている。本例のホトダイオード群４は、Ａ相信号検出用のホトダイオード４Ａと、Ｂ相信号検出用のホトダイオード４Ｂと、Ａ相信号の反転信号であるＡ’相信号検出用のホトダイオード４Ａ’と、Ｂ相信号の反転信号であるＢ’信号検出用のホトダイオード４Ｂ’を含んでいる。これらのホトダイオードは同一幅であり同一のピッチで移動方向Ｒに配列されている。
【００２１】
透過格子３１の反対側（図における下側）には、Ｚ相信号検出用のホトダイオード群５からなる原点位置検出用受光素子領域５０が形成されている。本例のホトダイオード群５は、Ｚ相信号検出用のホトダイオード５Ｚと、Ｚ相信号の反転信号であるＺ’相信号検出用のホトダイオード５Ｚ’とを含んでいる。これらのホトダイオードは同一幅であり同一ピッチで交互に移動方向Ｒに配列されている。
【００２２】
次に、図５は移動格子板６の中央部分に形成されている光透過領域３０の拡大部分断面図である。この図から分かるように、本例の光透過領域３０は、移動格子板６の裏面側からウエットエッチングを施すことにより形成された薄膜部分６１に、ＩＣＰ等のドライエッチングにより一定のピッチで一定幅の透過格子３１としてのスリットを形成した構成とされている。
【００２３】
図６は、移動格子板６の受光領域４０に作り込まれているホトダイオード群４に含まれているホトダイオード４Ａ、４Ｂを示す拡大部分断面図である。ホトダイオード群５も同様である。この図から分かるように、シリコン基板からなる移動格子板６の表面からボロンをドープすることにより形成したボロンドープ層６２を備えたｐｎ接合のホトダイオード４Ａ、４Ｂが作り込まれている。各ホトダイオード４Ａ、４Ｂのボロンドープ層６２にはアルミニウム製の電極配線層６３、６４が接続されており、移動格子板６のｎ層の側にはアルミニウム製の共通電極層６５が接続されている。電極配線層６３、６４と移動格子板６の間はシリコン酸化膜からなる絶縁層６６により絶縁されている。また、移動格子板６の露出表面は耐久性を確保するためにシリコン酸化膜６７によって覆われている。同様に、ボロンドープ層６２の表面もシリコン酸化膜６８によって覆われている。
【００２４】
（原点位置検出機構）
次に、本例の投影型リニアエンコーダ１における原点位置信号（Ｚ相信号）を検出するための検出原理について説明する。まず、本例の投影型リニアエンコーダ１に組み込まれている原点位置検出機構は、上述した移動格子板６の原点位置検出用受光素子領域５０に形成されているホトダイオード群５（Ｚ相検出用のホトダイオード５Ｚ、５Ｚ’）と、反射格子板９の原点位置検出用反射格子領域８０に形成されている反射格子８１および非反射格子８２と、信号処理部１１とを含んでいる。
【００２５】
本例では、原点位置検出のためにＭ系列の配列パターンを利用している。例えば、次のような１５個のＭ系列の配列パターンを利用している。
０００１００１１０１０１１１１
このＭ系列の配列パターンを２組上下に並べた場合において、図７（ａ）に示すように上段の組と下段の組の各桁を一致させるように並べた場合には、全ての桁において「０」同士の組み合わせ、および「１」同士の組み合わせとなる。よって、「１」同士の組み合わせとなる桁の数が８、上段が「１」、下段が「０」の組み合わせとなる桁の数が０になり、その差は８である。しかるに、図７（ｂ）に示すように、上段の組に対して下段の組が相対的に１桁分ずれると、「１」同士の組み合わせとなる桁の数が４、上段が「１」、下段が「０」の組み合わせとなる桁の数が３になり、その差は僅か１となる。
【００２６】
本例では、反射格子板９の原点位置検出用反射格子領域８０において、このＭ系列の配列パターンにおける「１」を反射格子８１に対応させ、「０」を非反射格子８２に対応させるように、これらの格子８１、８２を配列してある。同様に、移動格子板６の原点位置検出用受光領域５０では、Ｍ系列の配列パターンにおける「１」をＺ相検出用のホトダイオード５Ｚに対応させ、「０」をＺ’相検出用のホトダイオード５Ｚ’に対応させるように、これらのホトダイオード５Ｚ、５Ｚ’を配列してある。すなわち、図７（ｃ）に示すように、反射格子板９には原点位置検出用の反射格子８１および非反射格子８２が配列され、移動格子板６に原点位置検出用のホトダイオード５Ｚ、５Ｚ’が配列されている。図７（ｄ）には、図７（ｂ）のように配列パターンが１桁分だけずれた場合に対応する反射格子板９と移動格子板６の関係を示してある。
【００２７】
ここで、反射格子８１に対峙する位置にあるホトダイオード５Ｚあるいは５Ｚ’が当該反射格子８１による反射光を受光するという光の強度のみを考慮すると、図７（ｃ）の場合には、Ｚ相検出用のホトダイオード５Ｚは８箇所全てにおいて受光し、Ｚ’相検出用のホトダイオード５Ｚ’で受光する個所は零である。従って、これらＺ相検出用のホトダイオード５ＺとＺ’相検出用のホトダイオード５Ｚ’の光量差は、１個のホトダイオードによる受光量を「１」とすると「８」になる。これに対して、図７（ｄ）の場合には、Ｚ相検出用のホトダイオード５Ｚによる受光量が「４」であり、Ｚ’相検出用のホトダイオード５Ｚ’による受光量が「３」であり、光量差は僅かに「１」となる。従って、これらＺ相検出用のホトダイオード５Ｚから得られる検出信号と、Ｚ’相検出用のホトダイオード５Ｚ’から得られる検出信号との差動信号を生成すれば、当該差動信号が最大となる位置、すなわち原点位置（図７（ｃ）に示す移動格子板の位置）において最大レベルの検出信号が得られる。
【００２８】
Ｍ系列の配列パターンは（２^ｎ−１）（ｎ：正の整数）の周期パターンである。一例として、６３桁からなるＭ系列の配列パターン（ｎ＝６）を、原点位置検出用のホトダイオード５Ｚ、５Ｚ’の配列パターン、および原点位置検出用の反射格子８１および非反射格子８２の配列パターンに採用した。図８のグラフは、この場合におけるＺ相検出用のホトダイオード５ＺとＺ’相検出用のホトダイオード５Ｚ’の差動信号の強度を、移動格子板６の移動に伴ってプロットしたものである。
【００２９】
次に、反射格子板９における原点位置検出用の反射格子８１および非反射格子８２の配列パターンとしては、図９に示す構成のものを採用することができる。３枚格子の理論では、透過格子（オブジェクト格子）、反射格子（瞳格子）および受光素子（イメージ格子）の各ピッチをそれぞれ、Ｐ１、Ｐ、Ｐ２としたとき、２Ｐ１＝Ｐ＝２Ｐ２の関係を満たす場合に高コントラストの反射光像が得られる。この点を考慮すると、例えば、図７（ｃ）に示す理論的な反射格子８１および非反射格子８２の配列パターンを二分割した配列パターンとすれば、より高コントラストの原点信号を得ることができる。すなわち、図９（ａ）に示すＭ系列の配列パターンによる各反射格子８１および各非反射格子８２を、図９（ｂ）に示すように、それぞれ、１／２のピッチで配列された１／２の幅の二分割反射格子８１ａ、８１ｂ、および二分割非反射格子８２ａ、８２ｂに置き換えた配列パターンとすればよい。
【００３０】
（検出動作）
このように構成された本例の投影型リニアエンコーダ１では、移動格子板６を測定対象物（図示せず）と一体化させて、光軸Ｌに直交する方向であって、スリットおよびホトダイオードの配列方向に移動させる。光源２からの出射光は、まず、移動格子板６の背面を照射し、当該移動格子板６に形成されている光透過格子群３を透過して固定した位置に配置されている反射格子板９を格子縞状に照射する。反射格子板９にも一定ピッチで同一幅の反射格子群７、８が形成されているので、当該反射格子板９を照射した光のうち各反射格子７、８に照射した成分のみが反射される。反射格子像は再び移動格子板６を照射し、ホトダイオード群４、５によって受光される。
【００３１】
移動板６に形成された縦縞状の透過格子群３とホトダイオード４とが２枚の格子板として機能する。従って、反射格子群７を用いた３枚格子の理論に基づき、ホトダイオード群４においては、固定側の反射格子群７と移動側の透過格子群３の相対移動に対応して受光量が正弦波状に変化する。よって、ホトダイオード群４の光電流に基づき相対移動速度に対応したパルス信号を得ることができ、当該パルス信号のパルスレートに基づき相対移動速度を演算できる。
【００３２】
また、ホトダイオード４Ａ、４Ａ’の差動出力に基づき、精度良くＡ相信号を得ることができ、ホトダイオード４Ｂ、４Ｂ’の差動出力に基づき、精度良くＢ相信号を得ることができる。これらの２相の信号に基づき、移動格子板６の移動方向も判別できる。
【００３３】
さらに、本例の投影型リニアエンコーダ１では、Ａ相信号、Ｂ相信号と共に、移動格子板６の原点位置を検出するためのＺ信号も得られる。移動格子板６が移動すると、ホトダイオード５Ｚ、５Ｚ’から図７、８を参照して説明したように検出信号が得られる。移動格子板６が原点位置に到ると、ホトダイオード５Ｚ、５Ｚ’の差動信号は最大レベルとなり、確実かつ精度良くＺ相信号が得られる。
【００３４】
（その他の実施の形態）
上記の例では、反射格子が形成されている反射格子板を固定側としてあるが、当該反射格子板の側を移動側とし、移動板の側を固定側としてもよい。
【００３５】
また、光源としては、ＬＥＤ、レーザー光源、ハロゲンランプなどの各種の光源を利用することができる。
【００３６】
さらに、上記の例はリニアエンコーダに関するものであるが、ロータリーエンコーダに対しても本発明を同様に適用可能である。この場合には、光透過格子とホトダイオードを、円周方向に向けて一定の角度間隔で形成すればよい。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、３枚格子の理論に基づき、反射格子と透過格子を用いてこれらの相対移動に関する情報を検出可能な反射格子像を受光素子で受光させるようにした投影型エンコーダにおいて、透過格子が形成されている基板に原点位置検出用受光素子領域を形成し、反射格子が形成されている反射格子板にも原点位置検出用反射格子領域を形成し、原点位置検出用受光素子領域にはＭ系列の配列パターンに従ってＺ相検出用ホトダイオードおよびＺ’相検出用ホトダイオードを配列し、原点位置検出用反射格子領域にも同様にＭ系列の配列パターンに従って反射格子および非反射格子を配列した構成を採用している。
【００３８】
従って、本発明によれば、原点位置検出用のＺ相検出用ホトダイオードおよびＺ’相検出用ホトダイオードの差動信号を得ることにより、原点位置において大きな信号レベルの原点位置検出信号を生成することができる。よって、原点位置の検出を光量変動などに影響されることなく精度良く行うことが可能になる。また、原点位置検出機能付きの投影型エンコーダを小型でコンパクトに構成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した３枚格子の理論に基づく投影型リニアエンコーダを示す概略構成図である。
【図２】図１の移動格子板、反射格子板および光源の配置関係を示す側面構成図である。
【図３】図１の反射格子板に形成されている反射格子の配列パターンを示す説明図である。
【図４】図１の移動格子板に形成されている透過格子、ホトダイオード群の配列パターンを示す説明図である。
【図５】図１の移動格子板における透過格子の形成部分を示す拡大部分断面図である。
【図６】図１の移動格子板に形成されているホトダイオードの部分を示す拡大部分断面図である。
【図７】図１の投影型リニアエンコーダにおける原点位置の検出原理を示す説明図である。
【図８】図１の投影型リニアエンコーダにおけるＺ相検出用ホトダイオードおよびＺ’相検出用ホトダイオードの差動信号の強度を移動格子板の移動に伴ってプロットしたグラフである。
【図９】図１の反射格子板に形成されている原点位置検出用反射格子領域に形成可能な反射格子および非反射格子の配列パターンを示す説明図である。
【符号の説明】
１ 投影型リニアエンコーダ
２ 光源
３ 透過格子
４、５ ホトダイオード群
４Ａ、４Ａ’、４Ｂ、４Ｂ’ ホトダイオード
５Ｚ、５Ｚ’ ホトダイオード
４０ 受光領域
５０ 原点位置検出用受光素子領域
６ 移動格子板
７、８ 反射格子群
７１、８１ 反射格子
８２ 非反射格子
８０ 原点位置検出用反射格子領域
９ 反射格子板
１０ 制御回路部
１１ 信号処理部
１２ 演算部
１３ 表示部
１４ ランプ駆動部

Claims (3)

1. 光源と、一定のピッチで配列された所定形状の反射格子と、一定のピッチで配列された所定形状の透過格子と、前記光源から出射され前記透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する受光素子とを有し、各受光素子から得られる検出信号に基づき、少なくとも、前記反射格子および前記透過格子の相対移動位置を検出する投影型エンコーダであって、
   前記反射格子が形成されている反射格子板と、前記透過格子および前記受光素子が形成されている基板と、前記反射格子板および前記基板の原点位置を検出するための原点位置検出機構とを有しており、
   前記原点位置検出機構は、前記反射格子板に形成された原点位置検出用反射格子領域と、前記基板に形成された原点位置検出用受光素子領域とを備え、
   前記原点位置検出用反射格子領域では、Ｍ系列の配列パターンに従って一定幅の反射格子および非反射格子が配列されており、
   前記原点位置検出用受光素子領域では、前記Ｍ系列の配列パターンに従って位相の異なるＺ相信号およびＺ’相信号を得るための一定幅のＺ相受光素子およびＺ’相受光素子が配列されており、
   前記原点位置検出用反射格子領域で反射された反射光像を前記原点位置検出用受光素子領域において受光できるように、これら原点位置検出用反射格子領域および原点位置検出用受光素子領域の位置関係が設定されており、
   前記反射格子板に形成されている前記原点位置検出用反射格子領域において一定のピッチで配列されている各反射格子および各非反射格子は、それぞれ、１／２のピッチで配列された１／２の幅の二分割反射格子および二分割非反射格子から構成されていることを特徴とする投影型エンコーダ。
2. 請求項１において、
   前記基板には、前記透過格子が一定のピッチで配列された透過領域と、この透過領域の一方の側において前記受光素子が一定のピッチで配列されている受光領域と、前記透過領域の他方の側において前記Ｚ相受光素子および前記Ｚ’相受光素子が一定のピッチで配列されている前記原点位置検出用受光素子領域とが形成されており、
   前記反射格子板には、前記受光領域に対峙可能な位置に前記反射格子が一定のピッチで配列された反射格子領域と、前記原点位置検出用受光素子領域に対峙可能な位置に前記反射格子および非反射格子が一定のピッチで配列された原点位置検出用反射格子領域とが形成されていることを特徴とする投影型エンコーダ。
3. 請求項１または２において、
   前記原点位置検出機構は、前記Ｚ相受光素子による検出信号と前記Ｚ’相受光素子による検出信号との差動信号に基づき原点位置を検出する信号処理部を備えていることを特徴とする投影型エンコーダ。

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