JP2004500251A5

JP2004500251A5 -

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Publication number: JP2004500251A5
Application number: JP2001572257A
Authority: JP
Filing date: 2001-03-20
Publication date: 2005-01-27

Claims

（ａ）ディスク形状の中央プレナムと、
（ｂ）前記中央プレナムを囲む複数の同心環形状プレナムと、
（ｃ）すべての隣り合うプレナム間に一つずつ配される複数の同心隔壁とを備え、前記同心隔壁の少なくとも一つは圧力調節可能である、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
（ａ）圧力調節可能なディスク形状の中央プレナムと、
（ｂ）前記中央プレナムを囲む圧力調節可能な複数の同心環形状プレナムと、
（ｃ）すべての隣り合うプレナム間に一つずつ配される複数の圧力調節可能な同心隔壁とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
キャリヤハウジングと、
前記キャリヤハウジングに支持された第一及び第二の主表面を有するウェブ隔壁と、
一つ一つが頭及び足を有する複数の環形状リブであって、各リブの頭が前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面とほぼ直角に結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の環形状リブと、
前記複数のウェブプレナムのそれぞれと個々に流体連通している複数の独立制御可能なウェブ流体連通経路と、
前記ウェブ隔壁の第二の主表面に近接する複数の凹部であって、当該複数の凹部のそれぞれは前記複数の環形状リブの一つの反対に位置し、それによって複数の環形状キャリヤプレナムを形成する複数の凹部と、
離隔配置された前記複数の環形状リブに加えられる前記複数のキャリヤプレナム内の圧力を制御するために、前記複数のキャリヤプレナムと流体連通する独立制御される複数のキャリヤ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
前記ウェブ隔壁及び前記複数の環形状リブが、一体の弾性材料から製造されている請求項３記載のキャリヤ。
（ａ）前記ウェブ隔壁又はリブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に備える、請求項３記載のキャリヤ。
前記ウェブ隔壁はそれぞれのリブについて分離独立した環形状隔壁を持つ請求項３記載のキャリヤ。
（ａ）前記リブの足近傍を真空にするためリブ内に通されたリブ真空ラインを更に備える、請求項３記載のキャリヤ。
前記キャリヤハウジングに設けられる保持リング溝と、
前記キャリヤハウジングの周縁部に結合され、前記保持リング溝を覆って保持リングプレナムを形成する保持リング隔壁と、
前記保持リング隔壁に結合された保持リングとを更に備える、請求項３記載のキャリヤ。
（ａ）前記保持リングに作用する圧力を制御するため、前記保持リングプレナムと流体連通している保持リング流体連通経路を更に備える、請求項８記載のキャリヤ。
前記保持リングの系方向内側が弾性材料で被覆されている請求項８記載のキャリヤ。
（ａ）複数の圧力調節可能な同心プレナムと、隣り合う前記プレナムのそれぞれの間に設けられた圧力調節可能な同心隔壁とを有するキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記キャリヤの前記複数の同心プレナムに対応する前記ウェハの複数の同心領域に対し、所望の除去速度を決定する工程と、
（ｄ）前記ウェハの対応する同心領域において所望の除去速度を実現するような圧力で、前記キャリヤの各同心プレナムを加圧することにより、前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｅ）同心プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｆ）前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ウェハ平坦化方法。
複数の圧力調節可能な同心プレナムと、隣り合う前記プレナムのそれぞれの間に設けられた圧力調節可能な同心隔壁とを有するキャリヤに被処理ウェハを装填する前記工程（ａ）において、前記隣り合うプレナム間の前記隔壁が弾性リブからなる請求項１１記載の方法。
前記ウェハの対応する同心領域において所望の除去速度を実現するような圧力で前記キャリヤの各同心プレナムを加圧することにより前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる前記工程（ｄ）において、前記圧力は、ウェハと接触するように構成された第１主表面と前記同心隔壁に結合される第２主表面とを有するウェハ隔壁を介して前記ウェハに加えられる、請求項１１記載の方法。
前記圧力を調整する工程は、前記複数の同心プレナムのそれぞれについての圧力操作可能なウェブ隔壁に加えられる圧力を調整する工程を含む、請求項１１記載の方法。
（ｇ）前記キャリヤに取りつけられ、前記ウェハを取り囲むように位置決めされる保持リングを提供する工程と、
（ｈ）前記研磨表面に対し前記保持リングを介して独立に圧力を加える工程とをさらに実行する請求項１１記載の方法。
前記独立に圧力を加える工程は、所定の方法で前記保持リングによって研磨表面に加えられる圧力を前記ウェハの周辺部分からの材料除去速度に影響を与えるように調整する工程を含む、請求項１５記載の方法。
前記圧力を調整する工程が、前記同心プレナムの間の複数の隔壁のそれぞれに対する圧力を隣り合う同心プレナムにおける圧力と等しいか、またはそれらの圧力の間になるように調整する工程を含む請求項１１記載の方法。
キャリヤハウジングと、
ウェハに接触するように構成された第一の主表面と、第二の主表面とを有するウェハ隔壁と、
離隔配置された複数の環形状リブであって、各リブはその一端において前記ウェハ隔壁の前記第二の主表面と結合し、その他端において前記キャリヤハウジングと結合し、前記キャリヤハウジングと前記ウェハ隔壁とにより複数の同心ウェブプレナムを画定する複数の環形状リブと、
前記同心ウェブプレナムのそれぞれの圧力を制御するために、前記複数のウェブプレナムのそれぞれと流体連通している複数の独立制御可能なウェブ流体連通経路と、
前記キャリヤハウジング内に形成され、前記複数の離隔配置された環形状リブと整合するように配置された複数の同心環形状キャリヤプレナムと、
離隔配置された複数の環形状リブに加えられる前記複数のキャリヤプレナム内の圧力を制御するために、前記複数のキャリヤプレナムと流体連通する独立制御される複数のキャリヤ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
前記リブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に備える、請求項１８記載のキャリヤ。
前記キャリヤハウジングに設けられる保持リング溝と、前記キャリヤハウジングの周縁部に結合され、前記保持リング溝を覆って保持リングプレナムを形成する保持リング隔壁と、前記保持リング隔壁に結合される保持リングとを更に備える請求項１８記載のキャリヤ。
前記環形状リブのそれぞれは各リブの前記他端に結合される柔軟な環形状リブ隔壁によって前記キャリヤハウジングに接続される請求項１８記載のキャリヤ。
ＣＭＰ装置のキャリヤであって、
キャリヤ本体と、
加工物の表面に圧力を加えるように構成された第１表面と、加工物隔壁の第２表面から実質的に直角に伸びる複数の同心リブとを持つ隔壁であって、前記複数の同心リブのそれぞれは前記加工物隔壁に実質的に平行な延長部において途切れ、前記拡張部は前記キャリヤ本体を圧締するように構成されている隔壁とを備える、キャリヤ。
研磨パッドと、複数のリブによって支持された加工物隔壁と、前記加工物隔壁の第２表面の近傍に配置される圧力調整可能な複数のウェブプレナムと、前記加工物隔壁を囲み前記研磨パッドに押しつけられるように構成されているウェアリングとを備え、各リブは圧力調整可能なキャリヤプレナムを有し、前記加工物隔壁は前記加工物の第２表面に圧力を加える第１表面を有し、前記ウェアリングの研磨パッドに対する圧力は調整可能であるＣＭＰ装置を用いて加工物の第１表面を平坦化する方法であって、
加工物の第２表面を前記加工物隔壁の第１表面に近接させて配置する工程と、
前記加工物の前記第１表面を前記研磨パッドに接触させて配置する工程と、
前記圧力調整可能なウェブプレナムのそれぞれに所定の圧力を与える工程と、
前記キャリヤプレナムのそれぞれに所定の圧力を与える工程と、
前記所定のウェブプレナムおよびキャリヤプレナムの圧力とは独立に、前記ウェアリングが前記研磨パッドに与える圧力を調整する工程と、
前記加工物隔壁と前記研磨パッドとの間に相対運動を起す工程とを実行する方法。