JP2004184999A - フォトイメージャブル導波路組成物及びそれから形成される導波路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】式(R1SiO1.5)及び(R2SiO1.5)の単位を含むシルセスキオキサンポリマー、(ここでR1及びR2は異なる、有機側鎖基であり、ヒドロキシ基を含まず、2以上の官能性末端基である);及びフォト活性成分を含む。シルセスキオキサンポリマーの溶解度は、組成物が水性現像溶液中で現像可能であるよう化学線での露光により変更される。
【選択図】なし
Description
本発明の組成物は、典型的にはスクリーンプリンティング、カーテンコーティング、ローラーコーティング、スロットコーティング、スピンコーティング、フラッドコーティング(flood coating)、静電スプレー、スプレーコーティング又はディップコーティングに限られないが、これらを含む任意の手段により基体上に層として最初に析出される。本発明の組成物がスプレーコートされるとき、加熱スプレーガンが任意に使用される。組成物の粘度は、粘度変性剤、チキソトロープ剤及び充填剤等によるそれぞれの適用方法の要求を満たすよう調整され得る。典型的には、層は約1から100μm、より具体的には約8から60μmの厚さでコートされる。
特に有用な導波路は、1.4から1.7の屈折率を有するコア及び1.3から1.69の屈折率を有するクラッドを含む。
50重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、49重量%のフェニル−メチルシルセスキオキサン(50:50)、0.99重量%のトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。要求された導波路の輪郭を形成するアートワークは、直接組成物の上に置かれる。そのアートワークは、長さ2から14cmと幅5から15μmの間の直線、枝分かれ及び曲線形状の導波路のような種々の寸法及び形状の導波路を形成するパターンを含んでいる。800mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで30秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。光学導波路は、それにより形成される。
37重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、53重量%のフェニル−メチルシルセスキオキサン(80:20)、5重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート、4.99重量%のポリフェニルシロキサン及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。500mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで30秒間、21℃に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。ウェーハは200℃において10分間、加熱される。光学導波路は、それにより形成される。
37重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、53重量%のフェニル−メチルシルセスキオキサン(50:50)、5重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート、4.99重量%のポリフェニルシロキサン及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。露光されたウェーハは、次いで60秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.35N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。光学導波路は、それにより形成される。
37重量%の乳酸エチル、53重量%の縮合反応生成物(45重量%のフェニル−トリエトキシシラン、45重量のメチル−トリエトキシシラン及び10重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、5重量%の縮合反応生成物(33重量%のフェニル−トリエトキシシラン、33重量%のメチル−トリエトキシシラン及び34重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、4.99重量%の2,4−ビス−(トリクロロメチル)−6−(4−エトキシエトキシ−1−ナフチル)−トリアジン及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチLCDガラス基体上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。800mJ/cm2の化学線がウェーハに適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで90秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.26N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。光学導波路は、それにより形成される。
37重量%の乳酸エチル、53重量%縮合反応生成物(45重量%のフェニル−トリエトキシシラン、45重量%のメチル−トリエトキシシラン及び10重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、5重量%のポリジエトキシシロキサン、4.99重量%のトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。プリント配線基板製造に一般的に使用されるようなエポキシラミネート上に、組成物を50μmの厚さにローラーコートし、30分間、90℃において対流式オーブンにおける空気中で乾燥される。構造物は、90℃の出発温度で1分当たり2度の速度で室温に低減される温度において空気中でアニールされる。実施例1に記載され、しかし幅が40から200μmのラインを有するアートワークは、直接組成物上に置かれる。1000mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて30分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光された構造物は、次いで60秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ラミネートは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。生じた導波路は1000mJ/cm2の化学線でフラッド露光され、次に対流式オーブンの空気中で200℃において60分間ハード硬化される。光学導波路は、それにより形成される。
37重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、53重量%の縮合反応生成物(49重量%のフェニル−トリエトキシシラン、49重量%のメチル−トリエトキシシラン及び2重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、5重量%のポリジフェニルシロキサン、4.95重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート及び0.05重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2500rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。800mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで60秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。ウェーハは、ホットプレート上で10分間空気中において200℃に加熱される。光学導波路は、それにより形成される。
37重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、53重量%の縮合反応生成物(79重量%のフェニル−トリエトキシシラン、19重量%のトリフルオロメチル−トリエトキシシラン及び2重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、5重量%のポリジフェニルシロキサン、4.95重量%のトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート及び0.05重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2500rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。800mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで60秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.26N水酸化テトラメチルアンモニウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。ウェーハは、ホットプレート上で10分間空気中において200℃に加熱される。光学導波路は、それにより形成される。
35重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、10重量%のアニソール、45重量%の縮合反応生成物(49重量%のフェニル−トリエトキシシラン、49重量%のブチルトリエトキシシラン及び2重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、5重量%のポリジエトキシシロキサン、4.95重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート及び0.05重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2500rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。800mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで60秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。ウェーハは、ホットプレート上で10分間空気中において200℃に加熱される。光学導波路は、それにより形成される。
45重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、45重量%の縮合反応生成物(49重量%のフェニル−トリエトキシシラン、49重量%のメチルトリエトキシシラン及び2重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、5重量%のポリジフェニルシロキサン、4.95重量%のベンゾイントシレート及び0.05重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2500rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。2000mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで60秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.35N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。ウェーハは、ホットプレート上で10分間空気中において200℃に加熱される。光学導波路は、それにより形成される。
37重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、53重量%の縮合反応生成物(49重量%のフェニル−トリエトキシシラン、49重量%のメチルトリエトキシシラン及び2重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、5重量%のポリジフェニルシロキサン、4.90重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート、0.05重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイル及び0.05重量%のマロン酸は、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。800mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで60秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。ウェーハは、ホットプレート上で10分間空気中において200℃に加熱される。光学導波路は、それにより形成される。
41重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、41重量%の縮合反応生成物(65重量%のフェニル−トリエトキシシラン、33重量%のメチルトリエトキシシラン及び2重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、10重量%のヘキサメチロール−メタン−メラミン、4重量%のポリジエトキシシロキサン、3.95重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート及び0.05重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。800mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで30秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。ウェーハは、ホットプレート上で10分間空気中において200℃に加熱される。光学導波路は、それにより形成される。
50重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、49重量%のフェニルシルセスキオキサン、0.99重量%のトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。800mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで60秒間、21℃に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。光学導波路は、それにより形成される。
37重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、53重量%のメチルシルセスキオキサン、5重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート、4.99重量%のポリフェニルシロキサン及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間8μmの厚さにホットプレート上で空気中においてソフトベークされる。実施例1に記載されたアートワークは、直接組成物の上に置かれる。500mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて2分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光されたウェーハは、次いで60秒間、21℃に保持された0.26N水酸化テトラメチルアンモニウム現像液溶液中に浸漬される。ウェーハは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。ウェーハは、10分間空気中において200℃に加熱される。光学導波路は、それにより形成される。
41重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、41重量%の縮合反応生成物(65重量%のフェニル−トリエトキシシラン、33重量%のメチルトリエトキシシラン及び2重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、10重量%のヘキサメチロール−メタン−メラミン、4重量%のポリジエトキシシロキサン、3.95重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート及び0.05重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルは、混ぜ合わされて配合される。その組成物は、プリント配線基板製造に一般的に使用される24インチ×36インチ(61cm×91.4cm)エポキシラミネート上に、60μmの厚さでローラーコートされる。組成物は、次いで90℃において45分間、対流式オーブンにおける空気中で乾燥される。実施例1において記載されたものであるが、40から200μmのライン幅を有するアートワークは、直接組成物に置かれる。1000mJ/cm2の化学線が構造物に適用され、続いて30分間、90℃において空気中で露光後−ベークされる。露光された構造物は、次いで合計120秒間、37.8℃(100°F)に保持された0.7N水酸化ナトリウム現像液溶液を含有するスプレー現像液中に置かれる。ラミネートは、次いで脱イオン水中ですすがれ、乾燥される。生じる導波路は、2000mJ/cm2の化学線でフラッド露光され、引き続き対流式オーブンにおける空気中で180℃において120分間、ハード硬化される。光学導波路は、それにより形成される。
クラッド(1)層
第一クラッド層組成物は、50重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、49.99重量%のフェニル−メチルシルセスキオキサン(50:50)及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルを混ぜ合わせて配合することにより形成される。組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に2000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間、ホットプレート上で空気中において7μmの厚さにソフトベークされる。組成物は、次いで200℃において10分間、ホットプレート上でハードベークされる。
第一クラッド層はコア層でコートされ、コア層は実施例1に記載の組成物及び手順を使用してパターン化される。
第二クラッド層組成物は、ソフトベーク後の第二クラッド層の厚さが10μmであることを除き第一クラッド層を形成するのに使用されるものと同一組成物及び手順を使用してパターン化されたコア及び第一クラッド層上に形成される。光学導波路は、それにより形成される。
クラッド(1)層
第一クラッド層組成物は、39重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、56重量%のフェニル−メチルシルセスキオキサン(80:20)、4.99重量%のポリフェニルシロキサン及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルを混ぜ合わせて配合することにより形成される。組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間、ホットプレート上で空気中において7μmの厚さにソフトベークされる。組成物は、次いで200℃において10分間、ホットプレート上で空気中においてハードベークされる。
第一クラッド層はコア層でコートされ、コア層は実施例2に記載の組成物及び手順を使用してパターン化される。
第二クラッド層組成物は、ソフトベーク後の第二クラッド層の厚さが10μmであることを除き第一クラッド層を形成するのに使用されるものと同一組成物及び手順を使用してパターン化されたコア及び第一クラッド層上に形成される。光学導波路は、それにより形成される。
クラッド(1)層
第一クラッド層組成物は、37重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、55.5重量%のフェニル−メチルシルセスキオキサン(50:50)、2.5重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート、4.99重量%のポリフェニルシロキサン及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルを混ぜ合わせて配合することにより形成される。組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間、ホットプレート上で空気中において7μmの厚さにソフトベークされる。組成物は1ジュール/cm2の化学線でブランケット露光される。組成物は、次いで200℃において10分間、ホットプレート上で空気中においてハードベークされる。
第一クラッド層はコア層でコートされ、コア層はそれぞれ実施例1〜4及び6〜13に記載の組成物及び手順を使用してパターン化される。
第二クラッド層組成物は、ソフトベーク後の第二クラッド層の厚さが10μmであることを除き第一クラッド層を形成するのに使用されるものと同一組成物及び手順を使用してパターン化されたコア及び第一クラッド層上に形成される。光学導波路は、それにより形成される。
クラッド(1)層
第一クラッド層組成物は、41重量%の乳酸エチル、56重量%の縮合反応生成物(45重量%のフェニル−トリエトキシシラン、45重量%のメチル−トリエトキシシラン及び10重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、2.99重量%の2,4−ビス−(トリクロロメチル)−6−(4−エトキシエトキシ−1−ナフチル)−トリアジン及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルを混ぜ合わされて配合することにより形成される。組成物は、6インチガラスウェーハ上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間、ホットプレート上で空気中において7μmの厚さにソフトベークされる。組成物は1ジュール/cm2の化学線でブランケット露光される。組成物は、次いで200℃において10分間、ホットプレート上で空気中においてハードベークされる。
第一クラッド層はコア層でコートされ、コア層はそれぞれ実施例1〜4及び6〜13に記載の組成物及び手順を使用してパターン化される。
第二クラッド層組成物は、ソフトベーク後の第二クラッド層の厚さが10μmであることを除き第一クラッド層を形成するのに使用されるものと同一組成物及び手順を使用してパターン化されたコア及び第一クラッド層上に形成される。光学導波路は、それから形成される。
クラッド(1)層
第一クラッド層組成物は、39重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、56重量%のフェニル−メチルシルセスキオキサン(80:20)、4.99重量%のポリフェニルシロキサン及び0.01重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルを混ぜ合わせて配合することにより形成される。組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間、ホットプレート上で空気中において7μmの厚さにソフトベークされる。組成物は、次いで140℃において5分間、ホットプレート上で空気中においてセミハードベークされる。
第一クラッド層はコア層でコートされ、コア層は、そこに記載されている最終ハードベークが140℃において5分間であることを除きそれぞれ実施例1〜4及び6〜13に記載の組成物及び手順を使用してパターン化される。
第二クラッド層組成物は、ソフトベーク後の第二クラッド層の厚さが10μmであること及びセミハードベークの代わりに完全ハードベークが200℃において10分間ホットプレート上の空気中で構造物に与えられることを除き第一クラッド層を形成するのに使用されるものと同一組成物及び手順を使用してパターン化されたコア及び第一クラッド層上に形成される。光学導波路は、それから形成される。
クラッド(1)層
第一クラッド層組成物は、37重量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、53重量%の縮合反応生成物(49重量%のフェニル−トリエトキシシラン、49重量%のメチル−トリエトキシシラン及び2重量%のジメチル−ジエトキシシランの縮合反応生成物)、5重量%のポリジフェニルシロキサン、4.95重量%のトリフェニルスルホニウムトリフルオロメチルスルホネート及び0.05重量%のダウシルウェットL−7604シリコーンベースオイルを混ぜ合わせて配合することにより形成される。組成物は、6インチ二酸化ケイ素コーテッドシリコンウェーハ上に3000rpmにおいてスピンコートされ、90℃において2分間、ホットプレート上で空気中において7μmの厚さにソフトベークされる。組成物は、次いで140℃において5分間、ホットプレート上で空気中においてセミハードベークされる。
第一クラッド層はコア層でコートされ、コア層は最終ハードベークが140℃において5分間であることを除きそれぞれ実施例1〜4及び6〜13に記載の組成物及び手順を使用してパターン化される。
第二クラッド層組成物は、ソフトベーク後の第二クラッド層の厚さが10μmであること及びセミハードベークの代わりに完全ハードベークが200℃において10分間ホットプレート上の空気中で構造物に与えられることを除き第一クラッド層を形成するのに使用されるものと同一組成物及び手順を使用してパターン化されたコア及び第一クラッド層上に形成される。光学導波路は、それにより形成される。
Claims (15)
- 式(R1SiO1.5)及び(R2SiO1.5)の単位(ここでR1及びR2は異なり、置換又は非置換の有機側鎖基であり、ヒドロキシ基を含まない)、及び2以上の官能性末端基を含むシルセスキオキサンポリマー、;並びに
フォト活性成分
を含む、光学導波路を形成する場合の使用のために好適なフォトデファイナブル組成物であって、
ここで、該シルセスキオキサンポリマーの溶解度は、前記組成物が水性現像溶液中で現像可能であるよう化学線での露光により変更される、前記組成物。 - 式(R1SiO1.5)の単位(ここでR1はヒドロキシ基を含まない置換又は非置換の有機側鎖基である)、及び1以上のヒドロキシル末端基を含むシルセスキオキサンポリマー;並びに
フォト活性成分
を含む、光学導波路を形成する場合の使用のために好適なフォトデファイナブル組成物であって、
ここで、該シルセスキオキサンポリマーが0.5から15モル%のヒドロキシ含量を有する、前記組成物。 - 該シルセスキオキサンポリマーが更に式(R2SiO1.5)の単位を含み、ここでR1及びR2は同一又が異なる請求項2に記載のフォトデファイナブル組成物。
- R1及びR2の一つが置換又は非置換の芳香族基であり、その他のR1及びR2が置換又は非置換の脂肪族基である請求項1又は3に記載のフォトデファイナブル組成物。
- R1及びR2の一つがフェニル基であり、その他のR1及びR2がメチル基である請求項1又は4に記載のフォトデファイナブル組成物。
- 該シルセスキオキサンポリマーが更に式((R3)2SiO)の単位を含み、ここでR3が置換又は非置換の有機基である請求項1〜5のいずれかに記載のフォトデファイナブル組成物。
- 更に柔軟剤を含む請求項1〜6のいずれかに記載のフォトデファイナブル組成物。
- (a)請求項1〜7のいずれかに記載のフォトデファイナブル組成物の層を基体上に堆積させ、ここで該層は基体より高い屈折率を有し;
(b)該層の一部を化学線で露光し;さらに
(c)露光された層を現像して、それによりコア構造を形成することを含む光学導波路の形成方法。 - 現像工程が露光された層と水性現像溶液とを接触させることにより遂行される請求項8に記載の方法。
- 更に該コア構造上にクラッド層を析出することを含む請求項8又は9に記載の方法。
- 該クラッド層がシルセスキオキサンポリマーを含む請求項8〜10のいずれかに記載の方法。
- 該シルセスキオキサンポリマーが更に式((R3)2SiO)の単位を含み、ここでR3が置換又は非置換の有機基である請求項8〜11のいずれかに記載の方法。
- フォトデファイナブル組成物が更に柔軟剤を含む請求項8〜12のいずれかに記載の方法。
- 該コアが請求項1〜7のいずれかに記載のフォトデファイナブル組成物から形成される、コア及びクラッドを含む光学導波路。
- 請求項14に記載の1以上の導波路を含む電子デバイス。
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