JP2003084838A - 位置決め装置及び位置決め方法 - Google Patents

位置決め装置及び位置決め方法

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JP2003084838A JP2001270974A JP2001270974A JP2003084838A JP 2003084838 A JP2003084838 A JP 2003084838A JP 2001270974 A JP2001270974 A JP 2001270974A JP 2001270974 A JP2001270974 A JP 2001270974A JP 2003084838 A JP2003084838 A JP 2003084838A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、位置決め対象を従来より一層高速に
位置決めすることができる位置決め装置及び位置決め方
法を実現しようとするものである。 【解決手段】位置決め対象を所望位置に移動する位置決
め装置及び位置決め方法において、位置決め対象を所望
の速度及び加速度で移動させ、当該位置決め対象の位置
決め直後に生じる残留振動の振動周期に応じて、当該残
留振動をキャンセルするように当該位置決め対象の加減
速時間及び減速開始のタイミングを調整するようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は位置決め装置及び位
置決め方法に関し、例えば半導体素子を基板上に搬送す
るマウンタに適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のマウンタでは、半導体素
子を吸着するヘッドをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させ
ながら位置決め制御する際、当該ヘッドの動作パターン
を、いわゆる台形速度指令に基づいて算出された目標軌
道を利用して決定するようになされている。
【０００３】この台形速度指令とは、加速、等速、減速
の過程を経て、現在位置から目標位置に到達させるため
の目標軌道である。その一般的な生成方法は、使用する
加速度と速度を決定し、目的とする移動距離に応じて加
速度時間、等速時間、減速時間を変更するものである。
【０００４】例えば図１２に示すように、移動指令とし
て、移動距離ｘ〔ｍ〕、最大速度Ｖ ｍａｘ〔ｍ／s〕、
最大加速度aｍａｘ〔ｍ／s２〕が与えられた場合、各移
動距離において、最大速度に達するまで同じ加速度を用
いて、目標軌道が生成される。そのときの速度軌道は、
図１３に示すように、三角形又は台形となり、三角形の
速度軌道である移動距離０〜（Ｖｍａｘ ２／aｍａｘ）
〔ｍ〕までの間、加速時間及び減速時間は変動する。
【０００５】このようなマウンタにおいて、位置決め高
速化のためにヘッドの移動加速度を大きくすると、ヘッ
ド移動時に生じる反力が大きくなり、マウンタの基台か
らヘッド支持部を介してヘッドに至るまでの間で振動を
生じ易くなる。
【０００６】この目標位置到着時の残留振動を、目標と
する位置決め精度に押さえるためにはヘッドの駆動系が
本来発生できる加速度よりも小さな加速度を最大加速度
として採用するようになされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
最大速度、最大加速度が固定された目標値生成方式を用
いた場合、最大速度、最大加速度の制約を満たすが、加
減速時間や減速開始のタイミングにより変動する目標軌
道の加減速成分の周波数特性は、考慮されていない。
【０００８】この目標軌道における加速度の周波数特性
の変動により、位置決め位置決め対象の制御ポイントに
おける位置決め完了時の残留振動の様子が変化する問題
がある。
【０００９】かかる問題を解決すべく、加速時間及び減
速時間を操作することにより位置決め制御における残留
振動の低減方法が提案されている。
【００１０】まず第１の方法（特公昭60-29121号公報、
特開平05-270786号公報、特開平06-170769号公報、特開
平07-328965号公報）は、加速時間及び減速時間を振動
の固有周波数の整数倍にすることにより残留振動を減少
させる方法である。この方法は、ロボットマニュピレー
タやクレーン等で使用されており、加速時間が残留振動
周期の整数倍となる位置決めに用いられている。
【００１１】しかしマウンタでは加速時間が残留振動の
振動周期よりも短い移動が多いため、この方法をそのま
まマウンタに使用すると、加減速時間を長くして目標軌
道による残留振動の制振を行った場合、図１４に示すよ
うに、一般的な目標軌道（残留振動10〔Ｈｚ〕の１周期
分の加減速時間0.1〔ｓｅｃ〕）では加減速時間内で目
標位置に到達する短い距離では必ず残留振動の２周期分
の時間かかることになり、高速化が非常に困難となる問
題があった。
【００１２】次に第２の方法（特開平2000-298521号公
報）は、位置決め時間をパラメータとしてもつことによ
り最大速度及び最大加速度の条件を満たしつつ、移動時
間と制振の度合いのデータベースを用いることにより制
振を行う方法である。
【００１３】しかしこの方法では、それぞれ各装置ごと
に制振を実現するための移動時間と振動の程度について
のデータ作成が必要になり、そのための作業が非常に煩
雑になる問題があった。
【００１４】さらに第３の方法（特開平05-108165号公
報）は、目標軌道に対して、移動指令時に与えられる制
振用に設定された周波数（以下、これを制振周波数と呼
ぶ）の周期の半分だけ時間をずらした同じ目標軌道を足
し合わせて２で割る方法である。
【００１５】しかしこの方法によると、制振周波数の奇
数倍の振動周波数に対しては制振できるが、単一では偶
数倍の振動周波数に対しては制振できず、さらに同じ手
法を２度以上直列に繰り返すことにより任意の２以上の
周波数について制振できるが、それぞれの制振周波数の
周期の半分を足し合わせた時間、目標軌道生成完了時間
が遅くなるという問題があった。
【００１６】従って、これら第１〜第３の方法の問題を
解決する条件として、加速時間、減速時間を位置決め完
了時に発生する最も振幅の大きな残留振動の振動周期に
応じて変更し、この振動をなるべく生じさせないように
することが望ましい。
【００１７】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、位置決め対象を従来より一層高速に位置決めするこ
とができる位置決め装置及び位置決め方法を提案しよう
とするものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、位置決め対象を所望位置に移動す
る位置決め装置において、位置決め対象を移動させるた
めに駆動する駆動手段と、位置決め対象を所望の速度及
び加速度で移動させるように駆動手段を制御する制御手
段とを設け、制御手段は、位置決め対象の位置決め直後
に生じる残留振動の振動周期に応じて、当該残留振動を
キャンセルするように当該位置決め対象の加減速時間及
び減速開始のタイミングを調整するように駆動手段を制
御するようにした。
【００１９】この結果、この位置決め装置では、位置決
め時に位置決め対象に生じた残留振動を効率良くキャン
セルすることができる。
【００２０】また本発明においては、位置決め対象を所
望位置に移動する位置決め方法において、位置決め対象
を所望の速度及び加速度で移動させ、当該位置決め対象
の位置決め直後に生じる残留振動の振動周期に応じて、
当該残留振動をキャンセルするように当該位置決め対象
の加減速時間及び減速開始のタイミングを調整するよう
にした。
【００２１】この結果、この位置決め方法では、位置決
め時に位置決め対象に生じた残留振動を効率良くキャン
セルすることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施の形態を詳述する。
【００２３】（１）本実施の形態によるマウンタの構成 図１において、１は全体として本実施の形態によるマウ
ンタを示し、当該マウンタ１は、基板搬送部２が供給さ
れる加工対象の基板３を架台４上の所定位置にまで搬送
し、これを当該所定位置において所定時間固定保持する
ようになされている。
【００２４】この架台４上には、当該架台４に対して矢
印ａで示す前方向及びこれと逆方向の後方向に移動自在
の第１の可動体５と、第１の可動体５に対して矢印ｂで
示す右方向及びこれと逆の左方向に移動自在の第２の可
動体６と、第２の可動体６に対して矢印ｃで示す上方向
及びこれと逆の下方向に移動自在の第３の可動体７とを
順次介してヘッド８が配設されている。
【００２５】ヘッド８は、第３の可動体７に固着された
ヘッド本体（図示せず）を有し、当該ヘッド本体の排気
口が図示しない管を介して負圧源（図示せず）と接続さ
れており、かくして負圧源から管を介してヘッド８に与
えられる負圧に基づいてヘッド８の下端部が半導体素子
を吸着し得るようになされている。
【００２６】これによりこのマウンタ１では、負圧源
と、第１、第２及び第３の可動体５〜７でなる可動部１
０とを駆動することにより、架台４上に供給された半導
体素子をヘッド８の下端部に吸着して搬送でき、かくし
て基板３の対応するランド上に半導体素子をマウントす
ることができるようになされている。
【００２７】実際上このマウンタ１では、動作時、基板
搬送部２が供給された加工対象の基板３を架台上の所定
位置にまで搬送して固定保持した後、可動部１０が駆動
してヘッド８を半導体素子の供給位置の上方にまで移動
させ、下降させることにより当該ヘッド８の下端部を供
給位置にある半導体素子に密着又は近接させる。
【００２８】続いて負圧源が駆動することによりヘッド
８による半導体素子の吸引を開始し、当該ヘッド８の下
端部に半導体素子を１つずつ吸着させる。
【００２９】次いで可動部１０が駆動してヘッド８を上
昇させ、基板搬送部２に固定保持されている基板３上方
の所定位置にまで当該ヘッド８を移動させた後、これを
下降させる。
【００３０】さらにヘッド８に吸引保持された半導体素
子が基板３の対応するランドに接したところで可動部１
０を停止させ、続いて負圧源の駆動を停止させることに
より半導体素子の吸引保持を停止する。これによりヘッ
ド８の下端部に吸着された半導体素子を基板３上にマウ
ントする。
【００３１】かくしてこのマウンタ１では、この後可動
部１０が駆動してヘッド８を上昇させると共に、基板搬
送部２がこの基板３を送り、この後同様の動作を順次繰
り返すことにより、基板搬送部２に供給される基板３に
対して順次所定のランド上に半導体素子をマウントする
ようになされている。
【００３２】（２）マウンタのハードウェア構成 図２は、上述したマウンタ１における各種動作を制御す
る制御部２０の回路構成を示す。この制御部２０は、全
体の制御を司るＣＰＵ（Central Processing Unit ）２
１と、各種ソフトウェアが格納されたＲＯＭ（Read Onl
y Memory）２２と、ＣＰＵ２１のワークメモリとしての
ＲＡＭ（Random Access Memory）２３と、ＣＰＵ２１が
ネットワークを介して外部と通信するためのインターフ
ェース部２４とを有し、これらがバス２５を介して相互
に接続されることにより構成されている。
【００３３】さらに制御部２０には、バス２５を介して
Ｄ／Ａ変換器２６、Ａ／Ｄ変換器２７及びカウンタ２８
が接続されており、ＣＰＵ２１から供給される駆動デー
タＤ１をＤ／Ａ変換器２６を介してアナログ電圧に変換
した後、当該アナログ電圧をの制御の下で発生される所
定電圧をパワーアンプ２９を介して増幅させて可動部１
０（図１）のアクチュエータ３０に与えることにより、
当該可動部１０を形成する第１、第２及び第３の可動体
５〜７を所望状態に駆動するようになされている。
【００３４】そして第１、第２及び第３の可動体５〜７
にはアナログ計測器３１及びディジタル計測器３２が取
り付けられており、当該第１、第２及び第３の可動体５
〜７のアクチュエータ本体又はボールねじ、ラック・ピ
ニオン、タイミングブルト等の動力伝達機構の駆動状態
をアナログ量又はディジタル量で計測し、アナログ量の
計測結果は計測器アンプ３３を介して増幅した後、制御
２０部内のＡ／Ｄ変換器２７でディジタル変換してＣＰ
Ｕ２１に送出する一方、ディジタル量の計測結果は制御
部２０内のカウンタ２８を介して計数値に変換してＣＰ
Ｕ２１に送出する。
【００３５】この結果ＣＰＵ２１は、可動部１０（図
１）を形成する第１、第２及び第３の可動体５〜７の駆
動状態に基づいて、当該第１、第２及び第３の可動体５
〜７を所望状態にフィードバック制御し得る。
【００３６】またＣＰＵ２１は、外部の上位アプリケー
ション３４から与えられる移動指令情報Ｄ２や制振周波
数ｆＣ〔Ｈｚ〕を表す周波数情報Ｄ３（共に後述する図
５）、各種センサ情報Ｄ４をインターフェース部２４を
介して取り込み、当該移動指令情報等Ｄ２〜Ｄ４等と、
ＲＯＭ２２に格納されているソフトウェアとに基づいて
各種処理を実行する。
【００３７】（３）本実施の形態による目標軌道生成方
法 （３−１）振動をキャンセルするための原理
【００３８】移動中の位置決め対象を位置決めさせた直
後に生じる残留振動をキャンセルする場合、当該位置決
め対象を加速して制振させる（以下、これを加速制振と
呼ぶ）方法と減速して制振させる（以下、これを減速制
振と呼ぶ）方法の２通りの制振方法を組み合わせて、上
述した台形速度指令に基づく目標軌道の生成に適用させ
る。
【００３９】ここで加速制振とは、インパルス入力に対
する振動のような任意の力の入力により生じる振動を、
位置決め対象に生じる残留振動の半周期後に同じ方向に
同じだけの力で加えることにより、当該残留振動をキャ
ンセルさせる制御である。
【００４０】具体的には図３（Ａ）及び（Ｂ）に示すよ
うに、第１のインパルス入力（約25〔Ｎ〕）ＩＰ１を加
えた時点から0.02〔sec〕後に第２のインパルス入力Ｉ
Ｐ２を同じ方向に同じだけの力で加えると（図３
（Ｂ））、第１のインパルス入力ＩＰ１に応じた振動Ｖ
Ａ１に対して半周期後に第２のインパルス入力ＩＰ２に
応じた振動ＶＡ２を加えることで残留振動がキャンセル
された振動振幅ＶＡ３を得ることができる。
【００４１】この加速制振の原理を台形速度指令に基づ
く目標軌道の生成に適用するには、加減速時間を位置決
め対象に生じる残留振動の１周期の正の整数倍の時間と
なるようにインパルス入力を与えて調整することによ
り、当該残留振動をキャンセルさせる。
【００４２】一方、減速制振とは、インパルス入力に対
する振動のような任意の力の入力により生じる振動を、
位置決め対象に生じる残留振動の１周期の正の整数倍時
間後に逆方向に同じだけの力で加えることにより、当該
残留振動をキャンセルさせる制御である。
【００４３】具体的には図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すよ
うに、第１のインパルス入力（約25〔Ｎ〕）ＩＰ３を加
えた時点から0.04〔sec〕後に第２のインパルス入力Ｉ
Ｐ４を逆方向に同じだけの力で加えると（図４
（Ｂ））、第１のインパルス入力ＩＰ３に応じた振動Ｖ
Ａ５に対して１周期の正の整数倍時間後に第２のインパ
ルス入力ＩＰ４に応じた振動ＶＡ６を加えることで残留
振動がキャンセルされた振動振幅ＶＡ７を得ることがで
きる。
【００４４】この減速制振の原理を台形速度指令に基づ
く目標軌道の生成に適用するには、加速開始時間から位
置決め対象に生じる残留振動の１周期の正の整数倍時間
後に減速を開始するようにインパルス入力を与えて調整
することにより、当該残留振動をキャンセルさせる。
【００４５】このように加速制振及び減速制振の両方式
について、位置決め対象の移動距離に応じて選択的に切
り換えながら、当該両方式をつなぎ合わせることによ
り、位置決め対象がどのような移動距離をとった場合で
も残留振動をキャンセルさせ得るような最も高速移動が
可能な目標軌道を導出することができる。
【００４６】（３−２）目標軌道生成処理 実際にＣＰＵ２１は、図５に示す目標軌道生成処理手順
ＲＴ０に従って、位置決め対象の移動時における台形速
度指令に基づく目標軌道を、上述した加速制振及び減速
制振の組み合わせを用いて生成する。
【００４７】まずＣＰＵ２１は、ステップＳＰ１におい
て、移動距離ｘ〔ｍ〕、最大速度ｖ ｍａｘ〔ｍ／s〕、
最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕からなる移動指令情報
Ｄ２と、制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕を表す周波数情報Ｄ３
とを上位アプリケーションから受けると、続くステップ
ＳＰ２に進んで、このうち最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／
s〕、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕及び制振周波数ｆ
Ｃ〔Ｈｚ〕に基づいて、以下に述べる制振パラメータの
生成判別処理を実行する。
【００４８】この制振パラメータの生成判別処理では、
図６に示すように、まず最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕で制振する制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕の１周期分の
時間１／ｆＣ加速したときの速度（以下、これを制振周
波数速度と呼ぶ）をｖｆｅｑ（＝ａｍａｘ／ｆＣ）〔ｍ
／s〕としたとき、ヘッド駆動系の仕様で決まる最大速
度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕を例えば６通り（低速、第１及び
第２の中速、第１、第２及び第３の高速）に場合分けを
行う。
【００４９】本実施の形態では、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ
／s〕が次式
【００５０】
【数１】
【００５１】で示すように、０以上で制振周波数速度ｖ
ｆｅｑ以下のときには、低速であると判別し、次式
【００５２】
【数２】
【００５３】で示すように、制振周波数速度ｖｆｅｑよ
り大きく制振周波数速度ｖｆｅｑの２分の３倍以下のと
きには、第１の中速であると判別し、次式
【００５４】
【数３】
【００５５】で示すように、制振周波数速度ｖｆｅｑの
２分の３倍より大きく制振周波数速度ｖｆｅｑの２倍以
下のときには、第２の中速であると判別し、次式
【００５６】
【数４】
【００５７】で示すように、制振周波数速度ｖｆｅｑの
２倍より大きく制振周波数速度ｖｆｅ ｑの２分の５倍以
下のときには、第１の高速であると判別し、次式
【００５８】
【数５】
【００５９】で示すように、制振周波数速度ｖｆｅｑの
２分の５倍より大きく制振周波数速度ｖｆｅｑの３分の
８倍以下のときには、第２の高速であると判別し、次式
【００６０】
【数６】
【００６１】で示すように、制振周波数速度ｖｆｅｑの
３分の８倍より大きく制振周波数速度ｖｆｅｑの３倍以
下のときには、第３の高速であると判別する。
【００６２】なお、例として取り上げた場合分け使用時
の制限として、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕が制振周波
数速度ｖｆｅｑ〔ｍ／s〕の３倍以下であるか、又は制
振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕が３×ａｍａｘ／ｖｍａｘ〔Ｈ
ｚ〕以下であることとする。
【００６３】続いてＣＰＵ２１は、ステップＳＰ３に進
んで、上述の判別結果として得られた６通り（低速、第
１及び第２の中速、第１、第２及び第３の高速）の最大
速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕について、それぞれ移動距離ｘ
〔ｍ〕に応じた制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及び制振最
大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕を計算する。
【００６４】具体的には、まず低速の場合、図７に示す
ように、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００６５】
【数７】
【００６６】で表す範囲内では、１周期の減速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００６７】
【数８】
【００６８】のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数
ｆＣ〔Ｈｚ〕との積に設定され、また制振最大加速度ａ
Ｃ〔ｍ／s２〕は、次式
【００６９】
【数９】
【００７０】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図７に示す実線Ｌ
Ａ）。
【００７１】また移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００７２】
【数１０】
【００７３】で表す範囲内では、１周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００７４】
【数１１】
【００７５】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s
２〕は、次式
【００７６】
【数１２】
【００７７】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積に設定される（図７に示
す破線ＬＢ）。
【００７８】続いて中速（第１及び第２の中速）の場
合、図８に示すように、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００７９】
【数１３】
【００８０】で表す範囲内では、１周期の減速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００８１】
【数１４】
【００８２】のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数
ｆＣ〔Ｈｚ〕との積に設定され、また制振最大加速度ａ
Ｃ〔ｍ／s２〕は、次式
【００８３】
【数１５】
【００８４】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図８に示す実線Ｌ
Ｃ）。
【００８５】また移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００８６】
【数１６】
【００８７】で表す範囲内では、１周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００８８】
【数１７】
【００８９】のように、制振周波数速度ｖｆｅｑ〔ｍ／
s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａ
Ｃ〔ｍ／s２〕は、次式
【００９０】
【数１８】
【００９１】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図８に示す破線Ｌ
Ｄ）。
【００９２】そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００９３】
【数１９】
【００９４】で表す範囲内では、２周期の減速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００９５】
【数２０】
【００９６】のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数
ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の半分の値に設定され、また制振最
大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【００９７】
【数２１】
【００９８】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図８に示す破線Ｌ
Ｅ）。
【００９９】さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が数（１９）で示
す最大値を越えた場合には、第１の中速と第２の中速と
では異なる値をとる。
【０１００】すなわち第１の中速の場合、移動距離ｘ
〔ｍ〕が次式
【０１０１】
【数２２】
【０１０２】で表す範囲内では、１周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１０３】
【数２３】
【０１０４】のように、制振周波数速度ｖｆｅｑと等し
い値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕
は、次式
【０１０５】
【数２４】
【０１０６】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図８に示す破線Ｌ
Ｆ）。
【０１０７】そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１０８】
【数２５】
【０１０９】で表す範囲内では、２周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１１０】
【数２６】
【０１１１】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s
２〕は、次式
【０１１２】
【数２７】
【０１１３】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の半分の値に設定される
（図８に示す実線ＬＧ）。
【０１１４】一方、第２の中速の場合、移動距離ｘ
〔ｍ〕が次式
【０１１５】
【数２８】
【０１１６】で表す範囲内では、１周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１１７】
【数２９】
【０１１８】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s
２〕は、次式
【０１１９】
【数３０】
【０１２０】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の半分の値に設定される
（図８に示す破線ＬＦ）。
【０１２１】続いて高速（第１、第２及び第３の高速）
の場合、図９に示すように、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１２２】
【数３１】
【０１２３】で表す範囲内では、１周期の減速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１２４】
【数３２】
【０１２５】のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数
ｆＣ〔Ｈｚ〕との積に設定され、また制振最大加速度ａ
Ｃ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１２６】
【数３３】
【０１２７】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図９に示す実線Ｌ
Ｈ）。
【０１２８】また移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１２９】
【数３４】
【０１３０】で表す範囲内では、１周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１３１】
【数３５】
【０１３２】のように、制振周波数速度ｖｆｅｑ〔ｍ／
s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａ
Ｃ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１３３】
【数３６】
【０１３４】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線Ｌ
Ｉ）。
【０１３５】そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１３６】
【数３７】
【０１３７】で表す範囲内では、２周期の減速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１３８】
【数３８】
【０１３９】のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数
ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の半分の値に設定され、また制振最
大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１４０】
【数３９】
【０１４１】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線Ｌ
Ｊ）。
【０１４２】さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１４３】
【数４０】
【０１４４】で表す範囲内では、２周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１４５】
【数４１】
【０１４６】のように、制振周波数速度ｖｆｅｑ〔ｍ／
s〕の２倍の値に設定され、また制振最大加速度ａ
Ｃ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１４７】
【数４２】
【０１４８】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線Ｌ
Ｋ）。
【０１４９】さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１５０】
【数４３】
【０１５１】で表す範囲内では、２周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１５２】
【数４４】
【０１５３】のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数
ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の３分の１の値に設定され、また制
振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１５４】
【数４５】
【０１５５】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線Ｌ
Ｌ）。
【０１５６】さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が数（４３）で示
す最大値を越えた場合には、第１及び第２の高速と第３
の高速とでは異なる値をとる。
【０１５７】すなわち第１及び第２の高速の場合、移動
距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１５８】
【数４６】
【０１５９】で表す範囲内では、２周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１６０】
【数４７】
【０１６１】のように、制振周波数速度ｖｆｅｑの２倍
の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕
は、次式
【０１６２】
【数４８】
【０１６３】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線Ｌ
Ｎ）。
【０１６４】そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１６５】
【数４９】
【０１６６】で表す範囲内では、４周期の減速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１６７】
【数５０】
【０１６８】のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数
ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の４分の１の値に設定され、また制
振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１６９】
【数５１】
【０１７０】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線Ｌ
Ｏ）。
【０１７１】さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が数（４９）で示
す最大値を越えた場合には、第１の高速と第２の高速と
では異なる値をとる。
【０１７２】すなわち第１の高速の場合、移動距離ｘ
〔ｍ〕が次式
【０１７３】
【数５２】
【０１７４】で表す範囲内では、２周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１７５】
【数５３】
【０１７６】のように、制振周波数速度ｖｆｅｑの２倍
の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕
は、次式
【０１７７】
【数５４】
【０１７８】のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線Ｌ
Ｐ）。
【０１７９】そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１８０】
【数５５】
【０１８１】で表す範囲内では、３周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１８２】
【数５６】
【０１８３】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s
２〕は、次式
【０１８４】
【数５７】
【０１８５】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の３分の１の値に設定さ
れる（図９に示す実線ＬＭ）。
【０１８６】一方、第２の高速の場合、移動距離ｘ
〔ｍ〕が次式
【０１８７】
【数５８】
【０１８８】で表す範囲内では、３周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１８９】
【数５９】
【０１９０】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s
２〕は、次式
【０１９１】
【数６０】
【０１９２】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の３分の１の値に設定さ
れる（図９に示す実線ＬＭ）。
【０１９３】これに対して、第３の高速の場合、移動距
離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１９４】
【数６１】
【０１９５】で表す範囲内では、３周期の加速制振を行
うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１９６】
【数６２】
【０１９７】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s
２〕は、次式
【０１９８】
【数６３】
【０１９９】のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と
制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の３分の１の値に設定さ
れる（図９に示す実線ＬＭ）。
【０２００】このようにして制振パラメータの生成方法
判別の結果に応じて、６通りに場合分けされた速度（低
速、第１及び第２の中速、第１〜第３の高速）につい
て、それぞれ移動距離ｘ〔ｍ〕に応じた制振最大速度ｖ
Ｃ〔ｍ／s〕、制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕を決定す
ることができる。
【０２０１】この後ＣＰＵ２１は、ステップＳＰ４に進
んで、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及び制振最大加速度
ａＣ〔ｍ／s２〕と移動指令情報のうちの移動距離ｘ
〔ｍ〕とに基づいて、実時間処理にて時々刻々の目標軌
道を生成することができる。
【０２０２】（４）ジャークフィルタ演算処理 上述した目標軌道生成処理手順ＲＴ０（図５）に続く処
理として、いわゆるジャークフィルタを用いた制御演算
処理を実行することにより、加速度の変化を滑らかにし
て高周波域の振動を励起しないように動かすといったジ
ャーク（加速度の微分値）特有の効果を目標軌道の生成
に反映させることができる。
【０２０３】ここで、ｎを遅れサンプル数（１以上の整
数）とし、ジャークフィルタにより減衰させる周波数
（以下、これをジャーク周波数と呼ぶ）をｆjerk〔Ｈ
ｚ〕とし、サンプル値制御におけるサンプリング周波数
をｆsample〔Ｈｚ〕とし、サンプル値制御における遅れ
演算子をｚ-1としたとき、ジャークフィルタによるレス
ポンスＧ（ｚ-1）は、次式
【０２０４】
【数６４】
【０２０５】
【数６５】
【０２０６】で表される。但し、目標軌道の生成時間は
サンプル数ｎ分長くなる。
【０２０７】このジャークフィルタによるレスポンスＧ
（ｚ-1）を用いて、サンプル数ｎ＝１、２、３、10とし
たときの周波数特性Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ10を図６に示
す。この図６で、横軸はサンプリング周波数ｆ
sample〔Ｈｚ〕により正規化した周波数を示す。
【０２０８】またジャークフィルタを用いる前と後の三
角速度波形と台形速度波形の様子を図１１（Ａ）及び
（Ｂ）に示す（使用前を破線で示し、使用後を実線で示
す）。この図１１（Ａ）及び（Ｂ）では、ジャークフィ
ルタにおけるサンプル数ｎ＝100であり、サンプリング
周波数ｆsampleは4000〔Ｈｚ〕である。
【０２０９】このように目標軌道生成後にジャークフィ
ルタを用いることにより、具体的にどの周波数成分を刺
激しない目標軌道となるのかがはっきりと判別でき、ジ
ャークを含んでいることによる目標軌道生成完了時間の
遅れ時間１／ｆjerk〔sec〕もはっきりと把握でき、遅
れサンプル数ｎを指定することによりサンプリング間隔
の正の整数分の１という制約はつくもののほぼ任意に、
制御周期であるサンプリング間隔に対して比較的高周波
成分の振動を減少させることが可能となる。
【０２１０】またジャークフィルタを用いた目標軌道生
成において、ジャーク（加速度の微分値）の大きさによ
る場合分けが必要なくなるなど、簡略化でき、さらにジ
ャークが位置決め完了時の残留振動に与える影響をフィ
ルタの周波数特性として考慮することができる等、ジャ
ークの大きさの設定について試行錯誤する必要がなくな
る。
【０２１１】さらにフィードフォワード制御器として、
ジャークフィルタを使用することにより、制振パラメー
タ演算部で求めた、残留振動を低減する制振最大速度、
制振最大加速度のパラメータの残留振動を低減した目標
軌道の周波数特性に付加する、すなわち畳み込まれる形
でジャークフィルタの性質が反映されることとなる。
【０２１２】（５）本実施の形態による動作及び効果 以上の構成において、このマウンタ１では、半導体素子
を吸着するヘッド８をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させ
ながら所望位置に位置決めさせたときに、当該ヘッド駆
動系の仕様で決まる最大速度ｖmax〔ｍ／s〕を判別して
所定条件下で６通り（低速、第１及び第２の中速、第１
〜第３の高速）に場合分けを行う。
【０２１３】続いて６通りに場合分けされたヘッド８の
最大速度ｖmax〔ｍ／s〕について、各速度ごとに、移動
距離ｘ〔ｍ〕に応じて加速制振又は減速制振を選択的に
切り換えながら、当該ヘッド８に生じる残留振動を効率
良くキャンセルすることができるような制振最大速度ｖ
Ｃ〔ｍ／s〕及び制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕を決定
する。
【０２１４】この後、ヘッド８の移動距離ｘ〔ｍ〕に応
じて決定された制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及び制振最
大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕に基づいて、時々刻々と変化
するヘッド８の動作パターンに合わせて最速な目標軌道
を実時間処理で生成することができる。
【０２１５】このようにヘッド８の位置決め完了時に生
じる比較的低周波で振動振幅の大きな残留振動の周波数
を特定することにより、残留振動を誘発する周波数及び
その正の整数倍の周波数成分を低減した目標軌道を、移
動距離ｘ〔ｍ〕に応じた制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及
び制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕の調整により生成す
ることができる。
【０２１６】さらにヘッド８の移動の際に当該ヘッド８
の荷重が変更し、位置決め時に生じる残留振動の様子が
変化するような場合でも、予め位置決め完了時のヘッド
８の残留振動の様子を把握しておけば、移動指令時に残
留振動の周波数を制振周波数として反映させることによ
り、移動距離ごとに変動する残留振動にも対応すること
が可能になる。
【０２１７】これに加えて、ヘッド８の動作パターンを
決定するための目標軌道を生成した後、ジャークフィル
タを通過させることにより、目標軌道生成時にジャーク
を考慮しなくても比較的高周波成分の振動を減少させる
ことができ、より演算量の少ない目標軌道を生成するこ
とができる。
【０２１８】以上の構成によれば、このマウンタ１にお
いて、移動時のヘッド８を所望位置に位置決めさせたと
きに、ヘッド駆動系の仕様で決まる最大速度ｖmax〔ｍ
／s〕及び最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕の制限の下
で、当該位置決め完了時にヘッド８に生じる残留振動の
振動周期に応じて加減速時間及び減速開始のタイミング
を調整して、当該残留振動の周波数の正の整数倍となる
振動成分を制振した後、当該調整結果を目標軌道の生成
に反映させるようにしたことにより、位置決め時にヘッ
ド８に生じた残留振動を効率良くキャンセルすることが
でき、かくしてヘッド８を従来より一層高速に位置決め
することができるマウンタ１を実現できる。
【０２１９】さらに目標軌道の生成後にジャークフィル
タを用いることにより、比較的高周波成分の振動を減少
させ得る分、より高速な目標軌道を生成させることがで
き、位置決め時にヘッド８に生じた残留振動を一層効率
良くキャンセルすることができ、かくしてヘッド８を従
来より一層高速に位置決めすることができるマウンタ１
を実現できる。
【０２２０】（６）他の実施の形態 なお上述の実施の形態においては、位置決め対象を所望
位置に移動する位置決め装置として、図１に示すような
マウンタ１を適用するようにした場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、位置決め対象が駆動源の駆
動に応じて動力伝達されるような構成を有する、その他
種々の位置決め装置に広く適用することができる。
【０２２１】また本実施の形態においては、制御手段と
してのＣＰＵ２１がヘッド（位置決め対象）８を所望の
速度及び加速度で移動させるようにアクチュエータ（駆
動手段）３０を制御することを前提として、ヘッド８の
位置決め直後に生じる残留振動の振動周期に応じて、当
該残留振動をキャンセルするように当該ヘッド８の加減
速時間及び減速開始のタイミングを調整するようにアク
チュエータ３０を制御するようにした場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、要は、ヘッド８の加減速
時間が当該ヘッド８の位置決め直後の残留振動の振動周
期より短くなる場合でも当該残留振動をキャンセルする
ことができれば、この他種々の方法によりアクチュエー
タ３０を駆動制御するようにしても良い。
【０２２２】さらに本実施の形態においては、制御手段
としてのＣＰＵ２１は、ヘッド８の位置決め直後に生じ
る残留振動の半周期後に同じ方向に同じだけの力で振動
を加えて、ヘッド８の加減速時間を、当該残留振動の１
周期の正の整数倍の時間に調整すると共に、当該残留振
動の１周期の正の整数倍時間後に逆方向に同じだけの力
で振動を加えて、ヘッド８の減速開始のタイミングを、
加速開始時間から残留振動の１周期の正の整数倍時間後
に調整するようにした場合について述べたが、本発明は
これに限らず、ヘッド８の加減速時間及び減速開始のタ
イミングは残留振動をキャンセルできれば種々の状態に
調整するようにしても良い。
【０２２３】さらに本実施の形態においては、制御手段
としてのＣＰＵ２１は、アクチュエータ（駆動手段）３
０の仕様で決定する最大速度を６通りのレベルに場合分
けし、当該各レベルごとに、ヘッド８の位置決め直後に
生じる残留振動の振動周期に応じてヘッド８の加減速時
間及び減速開始のタイミングを調整するようにした場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、駆動手段の
仕様で決定する最大速度の制限下であれば、５通り以下
又は７通り以上の任意のレベルで場合分けをするように
しても良い。
【０２２４】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、位置決め
対象を所望位置に移動する位置決め装置において、位置
決め対象を移動させるために駆動する駆動手段と、位置
決め対象を所望の速度及び加速度で移動させるように駆
動手段を制御する制御手段とを設け、制御手段は、位置
決め対象の位置決め直後に生じる残留振動の振動周期に
応じて、当該残留振動をキャンセルするように当該位置
決め対象の加減速時間及び減速開始のタイミングを調整
するように駆動手段を制御するようにしたことにより、
位置決め時に位置決め対象に生じた残留振動を効率良く
キャンセルすることができ、かくして位置決め対象を従
来より一層高速に位置決めすることができる位置決め装
置を実現できる。
【０２２５】また本発明によれば、位置決め対象を所望
位置に移動する位置決め方法において、位置決め対象を
所望の速度及び加速度で移動させ、当該位置決め対象の
位置決め直後に生じる残留振動の振動周期に応じて、当
該残留振動をキャンセルするように当該位置決め対象の
加減速時間及び減速開始のタイミングを調整するように
したことにより、位置決め時に位置決め対象に生じた残
留振動を効率良くキャンセルすることができ、かくして
位置決め対象を従来より一層高速に位置決めすることが
できる位置決め方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態によるマウンタの構成を示す略線
的な斜視図である。
【図２】図１に示すマウンタ内部のハードウェア構成を
示すブロック図である。
【図３】加速制振の説明に供するグラフである。
【図４】減速制振の説明に供するグラフである。
【図５】目標軌道生成処理手順の説明に供するフローチ
ャートである。
【図６】ヘッド駆動系の仕様で決まる最大速度の場合分
けについての説明に供するグラフである。
【図７】低速の場合における制振最大速度及び制振最大
加速度の算出方法の説明に供するグラフである。
【図８】中速の場合における制振最大速度及び制振最大
加速度の算出方法の説明に供するグラフである。
【図９】高速の場合における制振最大速度及び制振最大
加速度の算出方法の説明に供するグラフである。
【図１０】ジャークフィルタの周波数特性を表すグラフ
である。
【図１１】ジャークフィルタの使用前後の速度及び加速
度を表すグラフである。
【図１２】従来の目標軌道生成方法の説明に供する概念
図である。
【図１３】従来の目標軌道を表すグラフである。
【図１４】従来の目標軌道を表すグラフである。
【符号の説明】
１……マウンタ、８……ヘッド、５〜７……第１〜第３
の可動体、１０……可動部、２０……制御部、２１……
ＣＰＵ、３０……アクチュエータ、Ｄ２……移動指令情
報、Ｄ３……周波数情報、ＲＴ０……目標軌道生成処理
手順。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年８月８日（２００２．８．８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４８】この制振パラメータの生成判別処理では、
図６に示すように、まず最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／
s２〕で制振する制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕の１周期分の
時間１／ｆＣ加速したときの速度（以下、これを制振周
波数速度と呼ぶ）をｖｆｒｅｑ（＝ａｍａｘ／ｆＣ）
〔ｍ／s〕としたとき、ヘッド駆動系の仕様で決まる最
大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕を例えば６通り（低速、第１
及び第２の中速、第１、第２及び第３の高速）に場合分
けを行う。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５１】で示すように、０以上で制振周波数速度ｖ
ｆｒｅｑ以下のときには、低速であると判別し、次式
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５３】で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ
より大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２分の３倍以下
のときには、第１の中速であると判別し、次式
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５５】で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ
の２分の３倍より大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２
倍以下のときには、第２の中速であると判別し、次式
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５７】で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ
の２倍より大きく制振周波数速度ｖｆ ｒｅｑの２分の５
倍以下のときには、第１の高速であると判別し、次式
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５９】で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ
の２分の５倍より大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの３
分の８倍以下のときには、第２の高速であると判別し、
次式
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００６１】で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ
の３分の８倍より大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの３
倍以下のときには、第３の高速であると判別する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００６２】なお、例として取り上げた場合分け使用時
の制限として、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕が制振周波
数速度ｖｆｒｅｑ〔ｍ／s〕の３倍以下であるか、又は
制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕が３×ａｍａｘ／ｖｍａｘ〔Ｈ
ｚ〕以下であることとする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００８９】のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ〔ｍ
／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ
〔ｍ／s２〕は、次式
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０１０４】のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑと等
しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／
s２〕は、次式
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０１３２】のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ〔ｍ
／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ
〔ｍ／s２〕は、次式
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０１４６】のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ〔ｍ
／s〕の２倍の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ
〔ｍ／s２〕は、次式
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０１６１】のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２
倍の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／
s２〕は、次式
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０１７６】のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２
倍の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／
s２〕は、次式
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０２１６】さらにヘッド８の移動の際に当該ヘッド８
の荷重が変更し、位置決め時に生じる残留振動の様子が
変化するような場合でも、予め位置決め完了時のヘッド
８の残留振動の様子を把握しておけば、移動指令時に残
留振動の周波数を制振周波数として反映させることによ
り、移動ごとに変動する残留振動にも対応することが可
能になる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C001 KA01 KA07 TA05 TA09 TB08 5E313 AA02 AA11 CC03 EE02 EE24 EE50 FG01 FG10 5H303 AA06 BB03 BB08 BB12 CC05 DD25 DD28 EE03 EE08 FF04 FF06 GG20 HH01 JJ02 KK01 KK16 KK27 LL03 LL06 LL09 MM05 QQ09

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】位置決め対象を所望位置に移動する位置決
    め装置において、 上記位置決め対象を移動させるために駆動する駆動手段
    と、 上記位置決め対象を所望の速度及び加速度で移動させる
    ように上記駆動手段を制御する制御手段とを具え、 上記制御手段は、上記位置決め対象の位置決め直後に生
    じる残留振動の振動周期に応じて、当該残留振動をキャ
    ンセルするように当該位置決め対象の加減速時間及び減
    速開始のタイミングを調整するように上記駆動手段を制
    御することを特徴とする位置決め装置。
  2. 【請求項２】上記制御手段は、 上記残留振動を生じさせる力が加えられた時間から当該
    残留振動の半周期後に同じ方向に同じだけの力で振動を
    加えて、上記位置決め対象の加減速時間を、上記残留振
    動の１周期の正の整数倍の時間に調整すると共に、 上記残留振動を生じさせる力が加えられた時間から当該
    残留振動の１周期の正の整数倍時間後に逆方向に同じだ
    けの力で振動を加えて、上記位置決め対象の減速開始の
    タイミングを、加速開始時間から上記残留振動の１周期
    の正の整数倍時間後に調整することを特徴とする請求項
    １に記載の位置決め装置。
  3. 【請求項３】上記制御手段は、上記駆動手段の仕様で決
    定する最大速度を複数のレベルに場合分けし、当該各レ
    ベルごとに上記残留振動の振動周期に応じて上記位置決
    め対象の加減速時間及び減速開始のタイミングを調整す
    ることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
  4. 【請求項４】上記制御手段は、ジャークフィルタを有
    し、 上記位置決め対象の加減速時間及び減速開始のタイミン
    グを調整した後、当該調整結果を上記ジャークフィルタ
    を介してフィルタ処理させることを特徴とする請求項１
    に記載の位置決め装置。
  5. 【請求項５】位置決め対象を所望位置に移動する位置決
    め方法において、 上記位置決め対象を所望の速度及び加速度で移動させる
    第１のステップと、 上記位置決め対象の位置決め直後に生じる残留振動の振
    動周期に応じて、当該残留振動をキャンセルするように
    当該位置決め対象の加減速時間及び減速開始のタイミン
    グを調整する第２のステップとを具えることを特徴とす
    る位置決め方法。
  6. 【請求項６】上記第２のステップでは、 上記残留振動を生じさせる力が加えられた時間から当該
    残留振動の半周期後に同じ方向に同じだけの力で振動を
    加えて、上記位置決め対象の加減速時間を、上記残留振
    動の１周期の正の整数倍の時間に調整すると共に、 上記残留振動を生じさせる力が加えられた時間から当該
    残留振動の１周期の正の整数倍時間後に逆方向に同じだ
    けの力で振動を加えて、上記位置決め対象の減速開始の
    タイミングを、加速開始時間から上記残留振動の１周期
    の正の整数倍時間後に調整することを特徴とする請求項
    ５に記載の位置決め方法。
  7. 【請求項７】上記第２のステップでは、 上記位置決め対象を移動させる駆動系の仕様で決定する
    最大速度を複数のレベルに場合分けし、当該各レベルご
    とに上記残留振動の振動周期に応じて上記位置決め対象
    の加減速時間及び減速開始のタイミングを調整すること
    を特徴とする請求項５に記載の位置決め方法。
  8. 【請求項８】上記第２のステップにおいて上記位置決め
    対象の加減速時間及び減速開始のタイミングを調整した
    後、当該調整結果をジャークフィルタを介してフィルタ
    処理させる第３のステップを具えることを特徴とする請
    求項５に記載の位置決め方法。
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