JP2006303032A - 部品実装機 - Google Patents

Abstract

【課題】部品保持手段の移動停止時に生じる残留振動を効率的に低減して実装精度を確保すると共に、タクトロスをも抑制できる部品実装機を提供する。
【解決手段】部品実装機１００は、部品保持手段１２３の移動停止時に発生する残留振動の許容値を設定する許容値設定部４０２、部品保持手段１２３の移動時間を算出する移動時間算出部４０３、当該移動時間における残留振動値が許容値を超えている場合に部品保持手段１２３の移動時間を変更する移動時間変更部４０４、移動時間に基づいて部品保持手段１２３の移動速度を算出する速度算出部４０５、残留振動の許容値等のデータを蓄積するデータベース４０６、及び装着ヘッドに対して動作指令を行う装着ヘッド移動部４０７を備えている。
【選択図】図４

Description

本発明は、部品を基板上に実装する部品実装機に関し、特に、部品供給部において供給される部品を、部品保持手段を用いて吸着し、基板上の実装点に当該部品保持手段を移動して部品の実装処理を行う部品実装機に関する。

従来、一般的に、部品保持手段が部品供給部から部品を吸着し、この部品保持手段を駆動用モータにより移動させて基板上に部品を実装する部品実装機が用いられている。このような部品実装機においては、部品保持手段の先端が部品供給部上に設置されている部品の位置に、又は部品実装点に合致するようにヘッドをＸ方向に、あるいはＹ方向に移動させることにより、部品の吸着あるいは実装時における部品保持手段先端の位置決め制御が行われている。

そして、従来の部品実装機では、装着する電子部品の品種に対応して電子部品の移載スピードとプリント基板の移動スピードが所定の適切な値に自動的に切り替えられるように、制御されている（例えば、特許文献１参照）。

そして、この場合、部品保持手段は駆動用モータからの加速度を伴って動くために、部品実装点への停止時には部品保持手段に残留振動が発生し、この残留振動は部品実装機の実装精度に大きな影響を及ぼす要因の１つとなっている。

また、複数ヘッドが同時に動作する構成の部品実装機の場合には、複数のヘッドに生じる残留振動が相互に影響を及ぼし実装精度が低下する原因となる。

そして、従来、このような部品保持手段に生じる残留振動を低減するために、実装精度を優先する場合には全体的に動作速度を遅くする等の処理が行われている。
特開平９−２７０５９６号公報

しかしながら、部品の実装精度を優先して部品実装機の部品保持手段に生じる残留振動を防止するために、実装処理全体の動作速度を遅くする方法においては、残留振動の低減を図ることができる一方、動作速度を遅くすることに伴うタクトロスが大きくなるという問題が生じる。

そして、近年の部品実装においては、部品の微小化が進んでおり、より高い装着精度が要求されると共にタクトの向上をも要求されている。このため、残留振動の発生を低減するために単に動作速度を遅くすることのみではこの要求に対処できていない。

本発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、部品実装時において生じる残留振動を効率的に抑え実装精度を向上させると共に、タクトロスをも最小限に抑えることができる部品実装機を提供することを目的としている。

以上の課題を解決するために、本発明に係る部品実装機は、部品保持手段を移動させることにより当該部品保持手段に吸着した部品を基板上に実装する部品実装機であって、前記部品保持手段の移動時間と残留振動との関係を取得する残留振動取得手段と、前記残留振動の許容値を設定する許容値設定手段と、前記部品保持手段の移動距離に基づいて、前記部品保持手段の移動時間を算出する移動時間算出手段と、前記算出された移動時間に対応する残留振動値が前記許容値を超える場合には、前記許容値以下となるように前記移動時間を変更する移動時間変更手段と、前記変更後の移動時間に基づいて、前記部品保持手段の移動速度を算出する算出手段と、前記算出された移動速度で前記部品保持手段を移動する移動手段とを備えることを特徴とする。

また、本発明に係る部品実装機の前記移動時間変更手段は、前記残留振動値が前記許容値以下となるように、前記移動時間を遅くなる方向に変更することを特徴とする。

さらに、本発明に係る部品実装機の前記移動時間変更手段は、前記残留振動値が前記許容値以下となるように、前記移動時間を早くなる方向に変更することを特徴とする。

これらの構成により、本発明に係る部品実装機においては、許容値設定手段において残留振動の許容値を設定して、部品保持手段の残留振動が許容値を超える場合には、移動時間変更手段において前記許容値以下となるように移動時間を変更できるために、発生する残留振動を低減して実装精度を向上できると共に、タクトのロスを最低限に抑えることが可能となる。

尚、前記目的を達成するために、本発明は、前記部品実装機の特徴的な構成手段を備える実装条件決定装置、当該構成条件をステップとする部品実装方法としたり、それらのステップを全て含むプログラムとして実現することもできる。そして、そのプログラムは、受信装置及び送出装置が備えるＲＯＭ等に格納しておくだけでなく、ＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体や通信ネットワークを介して流通させることもできる。

本発明に係る部品実装機は、部品実装時に部品保持手段に発生する残留振動を効率的に低減して装着精度の向上、及びタクトロスの低減という両面を実現できる。

以下、本発明に係る部品実装機について図面を参照しながら説明を行う。

（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係る部品実装機１００の構成を一部透視状態で示す外観斜視図である。尚、本発明に係る部品実装機１００は、設備スペックとして必要な実装精度を確保するために、部品保持手段（例えば、吸着ノズルもしくはチャック等が該当）に生じる残留振動がどの程度であるかを予め計測しておき、移動距離と加速度から移動時間を算出し、当該移動時間に対応する残留振動が、予め設定されている「残留振動の許容値」を超える場合にのみ移動時間を調節して動作させることを特徴とする。

この部品実装機１００は、上流から下流に向けて基板１２０を順次送りながらそれぞれの基板１２０に独立して電子部品を実装する部品実装機であり、基板の搬送方向（Ｘ方向）に並ぶ２つの実装ステージ１０９，１１０を備えている。そして、各実装ステージ１０９，１１０はそれぞれ、搬送装置１１１，１１２と、装着ヘッド１１３，１１４と、ビーム１１５，１１６と、ビーム軌道１１７，１１８とを備えている。尚、装着ヘッド１１３，１１４は駆動用モータに接続されＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向に移動するものである。

図２は、部品実装機１００内部に備えられる実装ステージ１０９，１１０の主要な構成をさらに詳細に示す斜視図である。尚、下記にて実装ステージ１０９の各構成要素について詳述するが、以下の説明は実装ステージ１１０についても共通である。

ビーム軌道１１７は、実装ステージ１０９のＹ軸方向にわたって部品実装機１００に固定されるビームの軌道となる剛性の高い部材である。このビーム軌道１１７の内部においては、ＡＣサーボモータＭがシャフトを回転させることによってビーム軌道１１７に取り付けられたビーム１１５を駆動している。

ビーム軌道１１７に取り付けられるビーム１１５は、基板１２０の搬送方向（Ｘ方向）に延びており、ビーム軌道１１７に沿って（Ｙ方向）移動可能な部材である。また、このビーム１１５の内部にはリニアモータが設けられており（図示せず）、ビーム１１５に垂下状に取り付けられる装着ヘッド１１３がビーム１１５に沿って移動できる範囲によって電子部品の基板への装着可能領域が規定される。

また、装着ヘッド１１３は、電子部品を真空吸着により保持し、基板１２０上に保持する電子部品を装着するための部品保持手段１２３を複数備えており（マルチ装着ヘッド）、複数の電子部品を吸着保持し搬送して基板１２０に装着することができる。

部品実装機１００は、さらに、各実装ステージ１０９，１１０に対しそれぞれ部品供給部１２１，１２２を備えている。

部品供給部１２１は、複数種類の電子部品を保持し、必要に応じて電子部品を実装ステージ１０９に供給する装置であり、同一電子部品を多数個保持する部品テープが巻きつけられたリールと、当該部品テープに保持された電子部品を順次供給するテープフィーダとを多数Ｘ方向に並べて備えており、部品実装機１００に対して着脱自在となっている。

次に部品実装処理について図２を用いて説明する。
部品供給部１２１の上に移動した装着ヘッド１１３は、部品保持手段１２３を降下させて供給された電子部品を吸着保持し、部品保持手段１２３を上昇させる。当該装着ヘッド１１３は複数の部品保持手段１２３を備えているため、部品保持手段１２３にそれぞれ電子部品を吸着保持させる。

次に、ビーム１１５と装着ヘッド１１３を移動させて、電子部品を基板の実装点まで搬送する。この実装点とは、対応する電子部品を装着すべき基板上の位置であって、基板上の何れかの部分を基準点とし、この基準点との位置関係によって規定されている。

最後に部品保持手段１２３を降下させて電子部品を基板１２０に装着する。
以上の実装動作を繰り返すことにより、必要な電子部品の全てが基板１２０に実装される。

図３は、本実施の形態において部品実装機１００の部品保持手段１２３に生じる残留振動計測時の外観図である。

本図に示すように、部品保持手段１２３の移動停止時に発生する残留振動を、レーザビーム計測器３００に接続される測定部３０１を用いて計測する。尚、残留振動の計測は、レーザビーム計測器３００を用いる以外に、例えば、ＡＣサーボモータのドライバ（アンプ）から専用のソフトで残パルス波形をオシロスコープで取り出して周波数分析する方法、周波数を測定する装置、振幅を測定できるギャップセンサ等を用いて計測することもできる。

図４は、本発明に係る部品実装機１００の機能ブロック図を示す。
部品実装機１００は、実装条件決定装置４０８と装着ヘッド移動部４０７とを備えている。

実装条件決定装置４０８は、部品保持手段１２３の移動速度等の実装条件を決定する装置であり、残留振動の許容値を設定する許容値設定部４０２、部品保持手段の移動時間を算出する移動時間算出部４０３、部品保持手段の移動時間を変更する移動時間変更部４０４、部品保持手段の移動時間に基づいて移動速度を算出する速度算出部４０５、及びデータベース４０６を備えている。

また、部品実装機１００は、レーザビーム計測器３００に接続されており、計測された残留振動のデータを取得する。このレーザビーム計測器３００は、部品保持手段１２３の残留振動を測定する残留振動測定部４０１を備える。尚、部品保持手段１２３の残留振動は設備に固有の振動数となるために、例えば工場における出荷時等において同機種の設備について測定してデータ化する等が可能である。

許容値設定部４０２は、実装精度等に応じた残留振動の許容値を設定するための処理部である。この許容値はより高い実装精度が要求される装置においてはより低い値に設定される。

移動時間算出部４０３は、部品供給部から基板上の実装点への移動距離と装着ヘッド１１３の移動速度、加速度により部品保持手段１２３の移動時間の算出を行う。尚、移動時間算出部４０３で移動時間を算出する以外に実際に部品保持手段１２３を移動させた移動時間を計測して取得する移動時間取得部を備えることも可能である。 移動時間変更部４０４は、残留振動測定部４０１から残留振動のデータを取得すると共に、部品保持手段１２３に発生する残留振動が許容値設定部４０２において設定された許容値を超えるか否かの判定を行う。そして、発生する残留振動が許容値を超える場合には、許容値以下となるように部品保持手段１２３の移動時間の変更を行う。尚、移動時間変更部４０４における移動時間の変更の動作手順は、後述の図５〜図８を用いて説明を行う。

速度算出部４０５は、移動時間変更部４０４で決定された移動時間に基づいて装着ヘッド１１３の移動速度、加速度等を算出し、装着ヘッド移動部４０７に指示する。

データベース４０６には、残留振動の許容値、部品情報や移動距離や移動時間といった実装データ等が格納されている。許容値設定部４０２や移動時間算出部４０３は、データベース４０６から取得するこれらの情報を用いて許容値の設定や移動時間を算出する。

装着ヘッド移動部４０７は、実装条件決定装置４０８の速度算出部４０５において算出された移動速度の指令を受け、この移動速度に基づいて装着ヘッド１１３を移動させる。なお、本図において、実装条件決定装置４０８は、部品実装機１００の内部に備えられるものとして説明したが、この限りではない。実装条件決定装置が部品実装機の外部装置として独立した構成であっても構わない。その場合には、この外部装置である実装条件決定装置が、決定した移動速度で動作するように、部品実装機の装着ヘッド移動部４０７に対して指令するものとなる。

図５は、本実施の形態に係る部品実装機１００の許容値設定部４０２において設定される残留振動の許容値の説明図である。

尚、一般の部品実装機では、部品サイズなどに応じて移動速度を高速設定や低速設定等の多段階に選択できるようになっており、この速度設定により発生する残留振動が異なる。これは、低速設定時には動作時のエネルギーが小さくなるので、共振点は変わらないが残留振動自体が全体的に小さくなるためである。

そして、図５（ａ）は高速設定時の残留振動と移動時間との関係を示すグラフであり、図５（ｂ）は低速設定時の残留振動と移動時間との関係を示すグラフである。図５（ａ）と図５（ｂ）とを比較すると、図５（ｂ）に示す低速設定時の残留振動が図５（ａ）に示す高速設定時の残留振動に比較して全体的に小さくなっている。

また、残留振動が発生する要因は、ビームやヘッド等の機構の固有振動数における共振である。部品保持手段１２３は急発進をしてから急停止し、このパルス状の動作は、あたかも部品保持手段１２３に移動時間を周期とする振動を加えたのと同様となる。そして、移動時間の逆数が加振振動数となり、この加振振動数が部品保持手段１２３を含めたビームの固有振動数（１次、２次等のいずれか）の近傍になると共振が発生し残留振動が生じる。尚、振動数の逆数が周期、即ち移動時間と関連するために、図５に示すように残留振動は移動時間に左右されることとなる。

そして、図５においては、残留振動値１０μｍに残留振動の許容値が設定され、図５（ａ）の高速設定の場合においては、残留振動が許容値よりも大きい区間は区間１、区間２及び区間３の３箇所存在し、図５（ｂ）の低速設定の場合においては、残留振動が許容値よりも大きい区間は区間１及び区間２の２箇所存在している。即ち、低速設定時には残留振動の許容値を超える移動時間の領域は高速設定時よりも少なくなる。

本発明に係る部品実装機１００において、移動時間変更部４０４は、移動時間算出部４０３により算出された移動時間に対応する残留振動が、この区間に該当している場合は、残留振動が許容値以下となる区間の移動時間に変更する。例えば、図５（ａ）におけるＢ点である場合、Ｂから見て移動時間が延長される方向で、残留振動が許容値以下となる最短の移動時間であるＣ点に変更する（図５（ｂ）におけるＢ点も同様）。このことにより、発生する残留振動を低減することができる。

尚、本実施の形態の説明においては、残留振動の許容値として１０μｍが設定されているが、この許容値は、装着精度を保つための設定値であり、より高い実装精度が要求される場合にはより低い値が設定される。また、タクトを優先して実装処理を行う場合には、残留振動の許容値の高くすることが考えられる。また、チップ部品を実装する場合には、一般的には５０μｍ以内の停止精度であれば実用上不良が出ることはなく、５０μｍ／３σでＣｐ＝１．３３以上の精度であれば十分であると考えられる。

図６は、本発明に係る部品実装機１００の基本的な動作手順を示すフローチャートである。

最初に、部品実装機１００において、移動時間算出部４０３は、基板上に装着される各部品に対応して、ＮＣ（Numeric Control）データで指定された部品保持手段１２３の速度・加速度・移動時間を取得する（Ｓ６０１）。

そして、許容値設定部４０２は、実装精度に適した残留振動の許容値を取得する（Ｓ６０２）。

次に、移動時間算出部４０３は、部品保持手段１２３の部品吸着位置及び実装位置を取得して、移動距離と加速度の関係から移動時間を算出する（Ｓ６０３）。

そして、移動時間変更部４０４は、算出された移動時間に対応する残留振動値が、設定された残留振動の許容値を超えているか否かの判定を行う（Ｓ６０４）。そして、残留振動が許容値を超えている場合には（Ｓ６０４でＹｅｓ）、移動時間変更部４０４は、図５に示すように、移動時間が延長される方向で、残留振動が許容値以下となる最短の移動時間に変更する（Ｓ６０５）。

次に、速度算出部４０５は、移動時間変更部４０４において変更された移動時間から速度・加速度を再計算して算出し（Ｓ６０６）、再計算された速度・加速度に基づいてロボットの動作指定を行う（Ｓ６０８）。

一方、残留振動が許容値を超えていない場合には（Ｓ６０４でＮｏ）、速度算出部４０５は、ＮＣデータで指定された速度・加速度をそのまま装着ヘッド移動部４０７にセットして（Ｓ６０７）、装着ヘッド移動部４０７は、装着ヘッド１１３の動作指令を行う（Ｓ６０８）。

図７は、本発明に係る部品実装機１００において、多段階の速度設定のある場合の動作手順を示すフローチャートである。また、本図において図６と異なる点は、各速度設定に応じて残留振動パターンデータを取得する点である。

最初に、部品実装機１００において、移動時間算出部４０３は、基板上に装着される各部品に対応して、ＮＣデータで指定された部品保持手段１２３の速度・加速度・移動時間を取得する（Ｓ７０１）。

そして、許容値設定部４０２は、速度設定に応じて図５に示すような残留振動の許容値を含むパターンデータを取得する（Ｓ７０２）。尚、以下のＳ７０３からＳ７０８までの処理は図６のＳ６０３からＳ６０８までの処理と同様であるために、その説明を省略する。

図８は、本発明に係る部品実装機１００において、移動時間を延長するか又は速度設定を下げた場合のタクトの早いほうを選択して部品保持手段１２３の動作指令を行う場合の動作手順を示すフローチャートである。

最初に、部品実装機１００において、部品保持手段１２３の速度・加速度・移動時間を取得する（Ｓ８０１）動作から、ＮＣデータで指定された速度・加速度をそのまま設定する手順（Ｓ８０７）までは図６のＳ６０１からＳ６０７までの手順と同様である。

本図では、その後、移動時間変更部４０４は、選出された移動時間と速度設定を１段落とした場合の移動時間を比較する（Ｓ８０８）。

そして、前者が速い場合には（Ｓ８０９でＹｅｓ）、速度算出部４０５は、選出された移動時間に基づいて移動速度を算出して、装着ヘッド移動部４０７に設定し、装着ヘッド移動部４０７は装着ヘッド１１３の動作指令を行う（Ｓ８１１）。

一方、後者が速い場合には（Ｓ８０９でＮｏ）、速度算出部４０５は、速度設定を１段落とした場合の速度・加速度を装着ヘッド移動部４０７に設定して（Ｓ８１０）、装着ヘッド移動部４０７は、装着ヘッド１１３の動作指令を行う（Ｓ８１１）。

以上の説明のように、本実施の形態に係る部品実装機１００においては、設備スペックとして必要な実装精度を確保するために、レーザビーム計測器３００を用いて設備固有の残留振動を予め計測しておき、移動時間算出部４０３において移動距離と加速度から実装される部品の移動時間を算出し、当該移動時間に対応する残留振動が、予め設定されている「残留振動の許容値」を超える場合にのみ共振点を回避するように、移動時間変更部４０４を用いて移動時間を調節して動作させる。このため、発生する残留振動を許容値以内とでき装着精度を向上させると共に、移動速度を最小限必要な移動時間に延長することで余分なタクトのロスをも抑制することが可能となる。

また、部品実装機１００の各速度設定に応じた形で残留振動を低減することが可能となる。

さらに、本発明に係る部品実装機１００においては、設備自体の振動を低減することができるため、特に複数ヘッドを用いて部品実装処理を行う部品実装機において、装着精度向上等の効果は大きい。

尚、以上の本実施の形態の説明においては、残留振動値が許容値を超える場合においては、移動時間が長くなる方向に変更しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、移動時間を短くなる方向に変更しても構わない。この場合、移動時間が短くなることに伴い部品保持手段の移動速度が速くなるが、例えばサイズの小さな部品の実装時においては有効となる。

本発明は、例えば、部品保持手段を移動して部品を基板上に装着するモジュラー型の部品実装機に適用できる。

本発明の実施の形態に係る部品実装機の構成を一部透視状態で示す外観斜視図 部品実装機内部に備えられる実装ステージの主要な構成をさらに詳細に示す斜視図 実施の形態において部品実装機の部品保持手段に生じる残留振動計測時の外観図 本発明に係る部品実装機の機能ブロック図 実施の形態に係る部品実装機の許容値設定部において設定される残留振動の許容値の説明図 本発明に係る部品実装機の基本的な動作手順を示すフローチャート 本発明に係る部品実装機において、多段階の速度設定のある場合の動作手順を示すフローチャート 本発明に係る部品実装機において、移動時間を延長するか又は速度設定を下げた場合のタクトの早いほうを選択して部品保持手段の動作指令を行う場合の動作手順を示すフローチャート

符号の説明

１００ 部品実装機
１０９，１１０ 実装ステージ
１１１，１１２ 搬送装置
１１３，１１４ 装着ヘッド
１１５，１１６ ビーム
１１７，１１８ ビーム軌道
１２０ 基板
１２１，１２２ 部品供給部
１２３ 部品保持手段
３００ レーザビーム計測器
３０１ 測定部
４０１ 残留振動測定部
４０２ 許容値設定部
４０３ 移動時間算出部
４０４ 移動時間変更部
４０５ 速度算出部
４０６ データベース
４０７ 装着ヘッド移動部
４０８ 実装条件決定装置

Claims (9)

1. 部品保持手段を移動させることにより当該部品保持手段に吸着した部品を基板上に実装する部品実装機であって、
   前記部品保持手段の移動時間と残留振動との関係を取得する残留振動取得手段と、
   前記残留振動の許容値を設定する許容値設定手段と、
   前記部品保持手段の移動距離に基づいて、前記部品保持手段の移動時間を算出する移動時間算出手段と、
   前記算出された移動時間に対応する残留振動値が前記許容値を超える場合には、前記許容値以下となるように前記移動時間を変更する移動時間変更手段と、
   前記変更後の移動時間に基づいて、前記部品保持手段の移動速度を算出する算出手段と、
   前記算出された移動速度で前記部品保持手段を移動する移動手段とを備える
   ことを特徴とする部品実装機。
2. 前記移動時間変更手段は、前記残留振動値が前記許容値以下となるように、前記移動時間を遅くなる方向に変更する
   ことを特徴とする請求項１記載の部品実装機。
3. 前記移動時間変更手段は、前記残留振動値が前記許容値以下となるように、前記移動時間を早くなる方向に変更する
   ことを特徴とする請求項１記載の部品実装機。
4. 前記部品実装機は、前記部品保持手段の速度設定を多段階有し、
   前記移動時間変更手段は、前記残留振動値が前記許容値を超えている場合には、前記速度設定を低くなる方向に変更する
   ことを特徴とする請求項１記載の部品実装機。
5. 前記移動時間変更手段は、前記移動時間に対応する残留振動値が前記許容値を超える場合において、前記移動時間を遅くなる方向に変更した場合と、前記速度設定を低くなる方向に変更した場合との移動時間を比較して、短くなる方の移動時間に変更する
   ことを特徴とする請求項１記載の部品実装機。
6. 部品保持手段を移動させることにより当該部品保持手段に吸着した部品を基板上に実装する部品実装機であって、
   前記部品保持手段の移動時間と残留振動との関係を取得する残留振動取得手段と、
   前記残留振動の許容値を設定する許容値設定手段と、
   前記部品保持手段の移動時間を取得する移動時間取得手段と、
   前記取得された移動時間に対応する残留振動値が前記許容値を超える場合には、前記許容値以下となるように前記移動時間を変更する移動時間変更手段と、
   前記変更後の移動時間に基づいて、前記部品保持手段の移動速度を算出する算出手段と、
   前記算出された移動速度で前記部品保持手段を移動する移動手段とを備える
   ことを特徴とする部品実装機。
7. 部品保持手段を移動させることにより当該部品保持手段に吸着した部品を基板上に実装するための実装条件を決定する実装条件決定装置であって、
   前記部品保持手段の移動時間と残留振動との関係を取得する残留振動取得手段と、
   前記残留振動の許容値を設定する許容値設定手段と、
   前記部品保持手段の移動距離に基づいて、前記部品保持手段の移動時間を算出する移動時間算出手段と、
   前記算出された移動時間に対応する残留振動値が前記許容値を超える場合には、前記許容値を超えないように前記移動時間を変更する移動時間変更手段と、
   前記変更後の移動時間に基づいて、前記部品保持手段の移動速度を算出する算出手段と、
   前記算出された移動速度で前記部品保持手段を移動する移動手段とを備える
   ことを特徴とする実装条件決定装置。
8. 部品保持手段を移動させることにより当該部品保持手段に吸着した部品を基板上に実装する部品実装方法であって、
   前記部品保持手段の移動時間と残留振動との関係を取得する残留振動取得ステップと、
   前記残留振動の許容値を設定する許容値設定ステップと、
   前記部品保持手段の移動距離に基づいて、前記部品保持手段の移動時間を算出する移動時間算出ステップと、
   前記算出された移動時間に対応する残留振動値が前記許容値を超える場合には、前記許容値を超えないように前記移動時間を変更する移動時間変更ステップと、
   前記変更後の移動時間に基づいて、前記部品保持手段の移動速度を算出する算出ステップと、
   前記算出された移動速度で前記部品保持手段を移動する移動ステップとを含む
   ことを特徴とする部品実装方法。
9. 部品保持手段を移動させることにより当該部品保持手段に吸着した部品を基板上に実装する部品実装機に用いるプログラムであって、
   前記部品保持手段の移動時間と残留振動との関係を取得する残留振動取得ステップと、
   前記残留振動の許容値を設定する許容値設定ステップと、
   前記部品保持手段の移動距離に基づいて、前記部品保持手段の移動時間を算出する移動時間算出ステップと、
   前記算出された移動時間に対応する残留振動値が前記許容値を超える場合には、前記許容値を超えないように前記移動時間を変更する移動時間変更ステップと、
   前記変更後の移動時間に基づいて、前記部品保持手段の移動速度を算出する算出ステップと、
   前記算出された移動速度で前記部品保持手段を移動する移動ステップと
   をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。

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