JP2002355544A - 球状セラミックス粉末の製造方法、球状セラミックス粉末および複合材料 - Google Patents

球状セラミックス粉末の製造方法、球状セラミックス粉末および複合材料

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稔 高谷
Yoshiaki Akachi
義昭 赤地
Tomohiro Sogabe
智浩 曽我部
Hisashi Kosara
恒 小更
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 樹脂材料との複合化に適する粒径を有し、し
かも樹脂に対する分散性、充填性に優れたセラミックス
粉末を提供する。 【解決手段】 セラミックス成分からなる原料粉体を含
むスラリーをスプレー・ノズルにより噴霧して液滴を形
成しかつ液体成分を乾燥することによりセラミックス顆
粒粉を得る噴霧乾燥工程と、得られた前記セラミックス
顆粒粉を焼結する焼結工程と、を備えることを特徴とす
る球状セラミックス粉末の製造方法により、平均粒径１
〜５０μｍ、球形度０.８以上の樹脂材料との複合化に
適する粒径を有し、しかも樹脂に対する分散性、充填性
に優れた粉末を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はセラミックス粉末お
よびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】微細なセラミックス粉末は、原料を混合
し、乾燥後仮焼きした後ボールミル等の粉砕装置によっ
て粉砕し、さらにスプレードライヤー等の乾燥装置によ
って乾燥後、気流粉砕装置等の粉砕機によって微粉砕し
て得ることができる。これらセラミックス粉末は、粉末
単体として利用に供される場合もあるが、樹脂材料と複
合化した複合材料として利用に供されることもある。複
合材料として用いられるセラミックス粉末には、樹脂材
料に対する分散性、充填性が要求される。樹脂材料に対
する分散性、充填性を確保するための一つの要素とし
て、粉末の粒径がある。例えば、セラミックス粉末は上
記方法のほかに例えば共沈法のように液相から製造する
こともできるが、この粉末は粒径が微細すぎて樹脂材料
に対する分散性、充填性を確保することができない。ま
た、前述した方法により得られたセラミックス粉末は、
粉砕により得られるものであるため粉末の形態が不定形
となり、樹脂材料に対する分散性、充填性を確保するこ
とができない。
【０００３】これまで球状のセラミックス粉末を製造す
る技術が種々提案されている。例えば、特開平１１−２
０９１０６号公報、特開２０００−１０７５８５号公
報、特開平８−４８５６０号公報、特開平５−１０５５
０２号公報である。特開平１１−２０９１０６号公報
は、可燃性ガスに無機粉末を坦持させ火炎中に噴射して
無機質粉末を加熱球状化する方法において、バーナーノ
ズル先端における無機質粉末の噴射速度を７０〜１２０
０ｍ／ｓｅｃとする球状粒子の製造方法を開示してい
る。具体的に開示された実施例において、平均粒径０.
５〜３０μｍのシリカ（ＳｉＯ2）粉末を得ている。ま
た、特開２０００−１０７５８５号公報は、生体吸収性
を有するセラミックスに適当なバインダを混練してスラ
リー状にし、これを高温加熱体に滴下する球状セラミッ
クス粉末の製造方法を開示している。また、特開平８−
４８５６０号公報は、攪拌造粒法によって得られたセラ
ミックス粉末を成形してセラミックス微小成形球体を製
造するにあたり、噴霧乾燥法によって得られたセラミッ
クス粉末の顆粒を核として用いるセラミックス微小成形
球体の製造方法を開示している。さらに、特開平５−１
０５５０２号公報は、平均粒径７μｍ以下のセラミック
ス球状粉末とバインダ樹脂とを含有する射出成形材料を
開示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述した特開平１１−
２０９１０６号公報に開示された方法は、可燃性のガス
を直接吹き付けるため、雰囲気の制御および温度の制御
が難しい。そのため、複合酸化物のような多成分のセラ
ミックス粉末を得ることが容易でない。特開２０００−
１０７５８５号公報の製造方法は、得られた粉末は球状
であるものの直径が０.３〜１.２ｍｍ（３００〜１２０
０μｍ）と大きく、樹脂材料との複合化には適さない。
特開平８−４８５６０号公報に開示された方法も、０.
０２〜０.４ｍｍ（２０〜４００μｍ）と樹脂材料との
複合化には適さないサイズの粉末を得ることを目的とし
ている。特開平５−１０５５０２号公報は、平均粒径７
μｍ以下のセラミックス球状粉末とバインダ樹脂とを含
有する射出成形材料を開示しているが、セラミックス球
状粉末を得るための具体的な手法は開示していない。
【０００５】以上の通りであり、従来は樹脂材料との複
合化に適切な粒径をもつ球状粉末を得ることが困難であ
った。特に、複合酸化物のような多成分系のセラミック
スを得るための手法は見出されていない。そこで本発明
は、樹脂材料との複合化に適する粒径を有し、しかも樹
脂に対する分散性、充填性に優れたセラミックス粉末の
提供を課題とする。本発明はまた、そのようなセラミッ
クス粉末を製造する方法の提供を課題とする。さらに本
発明は、そのようなセラミックス粉末と樹脂材料との複
合材料の提供を課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、噴霧乾燥法
によって顆粒粉を形成し、この顆粒粉を焼結することに
より樹脂材料との複合化に適した粉末を得るための検討
を行った。そして、噴霧乾燥法の中で、スプレー・ノズ
ルを用いると粒径の小さい顆粒粉を得ることができるた
め、その後の焼結によって球形度が高くかつ樹脂材料と
の複合化に適した粒径の粉末を製造できることを知見し
た。そして、この噴霧乾燥法によれば、多成分系のセラ
ミックス粉末を容易に得ることができる。さらに、本発
明による球形度の高い微細な粉末を用いることにより、
樹脂材料との複合材中への充填性が向上して粉末の有す
る特性を有効に発揮することができる。また、充填性の
向上は複合材の機械的強度の確保にとっても有効であ
る。さらに、噴霧乾燥法を用いているため、粉砕粉末の
ように巨大な粉末が混入することがほとんどないため、
製品の信頼性を確保することができるのである。本発明
は以上の知見に基づきなされたものであり、セラミック
ス成分からなる原料粉体を含むスラリーをスプレー・ノ
ズルにより噴霧して液滴を形成しかつ液体成分を乾燥す
ることによりセラミックス顆粒粉を得る噴霧乾燥工程
と、得られた前記セラミックス顆粒粉を焼結する焼結工
程と、を備えることを特徴とする球状セラミックス粉末
の製造方法である。
【０００７】本発明の球状セラミックス粉末の製造方法
において、前記原料粉体は、前記焼結工程を経た後の前
記球状セラミックス粉末と同様の化合物から構成するこ
とができる。つまり本発明は、最終的に得たいセラミッ
クス粉末と同様の化合物を原料粉体とすることを許容す
る。また、本発明の球状セラミックス粉末の製造方法に
おいて、前記原料粉体は、複数のセラミックス粉体の混
合物から構成することができる。つまり、本発明は、複
数のセラミックス粉体の混合物を原料粉体とする多成分
系のセラミックス粉末にも対応することができるのであ
る。より具体的には、本発明によれば、複合酸化物から
なる誘電体材料から構成される球状セラミックス粉末を
得ることができる。また、複合酸化物からなる磁性フェ
ライト材料から構成される球状セラミックス粉末を得る
こともできる。以上の本発明による製造方法によって平
均粒径が１〜５０μｍの範囲にある球状セラミックス粉
末を得ることができる。本発明による球状粉末の粒径
は、セラミックス顆粒粉を構成する一次粒子の粒径に基
づいて制御することができる。樹脂材料との複合化に適
した粉末の粒径を得るためには、セラミックス顆粒粉を
構成する一次粒子の平均粒径を１μｍ以下にすることが
望ましい。
【０００８】本発明は、以上の本発明の製造方法による
以下の新規な球状セラミックス粉末を提供する。すなわ
ち本発明の球状セラミックス粉末は、複数のセラミック
ス成分が焼結により複合化した粉末であって、前記粉末
の平均粒径が１〜５０μｍ、０.８以上の球形度を備え
ることを特徴としている。本発明の球状セラミックス粉
末は、その材質として酸化物磁性材料または酸化物誘電
体材料を選択することができる。従来、酸化物磁性材料
または酸化物誘電体材料のように多成分系となるセラミ
ックス粉末であって、平均粒径が１〜５０μｍ、０.８
以上、さらには０.９以上の球形度を有するものは見当
たらない。本発明の球状セラミックス粉末において、平
均粒径は５〜２０μｍの範囲とすることが望ましい。
【０００９】本発明は、磁性体または誘電体からなる酸
化物球状粉末と、前記酸化物球状粉末を分散、保持する
バインダ樹脂と、からなる複合材料であって、前記酸化
物球状粉末は、平均粒径が１〜５０μｍ、０.８以上の
球形度を備えることを特徴とする複合材料を提供する。
この複合材料において、前記酸化物球状粉末は、３０〜
９８ｗｔ％の範囲で含有することが望ましく、また０.
９以上の球形度を有することが望ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態を説明す
る。本発明の球状セラミックス粉末の製造方法は、セラ
ミックス成分からなる原料粉体を含むスラリーをスプレ
ー・ノズルにより噴霧して液滴を形成しかつ液体成分を
乾燥することによりセラミックス顆粒粉を得る噴霧乾燥
工程と、得られた前記セラミックス顆粒粉を焼結するこ
とにより球状セラミックス粉末を得る焼結工程とを備え
ている。
【００１１】本発明におけるセラミックス成分とは、セ
ラミックスとして認識される酸化物、窒化物、炭化物等
の化合物を包含している。また、単一のセラミックスの
みならず、複数のセラミックスの混合体、複合酸化物、
複合窒化物等の複合化合物をも包含している。セラミッ
クス成分の具体例として、誘電体材料がある。具体的に
は、チタン酸バリウム−ネオジウム系セラミックス、チ
タン酸バリウム−錫系セラミックス、鉛−カルシウム系
セラミックス、二酸化チタン系セラミックス、チタン酸
バリウム系セラミックス、チタン酸鉛系セラミックス、
チタン酸ストロンチウム系セラミックス、チタン酸カル
シウム系セラミックス、チタン酸ビスマス系セラミック
ス、チタン酸マグネシウム系セラミックス等が挙げられ
る。さらに、ＣａＷＯ4系セラミックス、Ｂａ（Ｍｇ，
Ｎｂ）Ｏ3系セラミックス、Ｂａ（Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ3系セ
ラミックス、Ｂａ（Ｃｏ，Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ3系セラミッ
クス、Ｂａ（Ｃｏ，Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ3系セラミックスも
挙げられる。これらは、単独で用いても良いし、２種類
以上混合しても良い。なお、二酸化チタン系セラミック
スとは、組成的に二酸化チタン（ＴｉＯ2）のみからな
る系、または二酸化チタン（ＴｉＯ3）に他の少量の添
加物を含む系のいずれかであって二酸化チタン（ＴｉＯ
3）の結晶構造が保持されているものをいう。他の系の
セラミックスについても同様のことが言える。二酸化チ
タンはＴｉＯ2で示される物質であって、種々の結晶構
造を示すが、誘電体セラミックスとして使用されるのは
その中のルチル構造のものである。磁性材料としては、
磁性を持つ複合酸化物を使用する。例えば、Ｍｎ−Ｚｎ
系フェライト、Ｎｉ−Ｚｎ系フェライト、Ｍｎ−Ｍｇ−
Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト等を
挙げることができる。また、Ｆｅ2Ｏ3やＦｅ3Ｏ4等の酸
化鉄であってもよい。
【００１２】本発明において、セラミックス成分からな
る原料粉体とは、粉末、顆粒粉、粉砕粉等、その形態に
拘わらず粒子から構成される種々の形態を包含してい
る。原料粉体の粒径は、最終的に得られる粉末の粒径を
左右する。本発明の目的を達成するためには、３μｍ以
下、望ましくは１μｍ以下とする。なお、原料粉体を得
る手段も特に限定されない。以上の原料粉体をスプレー
・ノズルから噴霧するためのスラリーを作成する。スラ
リーは、原料粉体を溶媒に適量添加した後に、ボールミ
ル等の混合機を用いて混合することにより得ることがで
きる。溶媒としては水を用いることができるが、原料粉
体の分散性を向上するために分散剤を添加することが推
奨される。原料粉体同士を機械的に結合するための結合
剤、例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を添加する
こともできる。
【００１３】本発明は、以上のセラミックス成分からな
る原料粉体を含むスラリーをスプレー・ノズルにより噴
霧して液滴を形成する。ここで、スプレー・ノズルは、
上記のスラリーと圧縮気体とを噴霧するためのものであ
り、２流体ノズル、あるいは４流体ノズルを用いること
ができる。圧縮気体とともにスプレー・ノズルから吐出
されたスラリーは微粒化されて噴霧を形成する。噴霧中
の液滴の粒径は、スラリーと圧縮気体との比率により制
御することができる。液滴の粒径を制御することによ
り、最終的に得られる粉体の粒径を制御することができ
る。噴霧状態のスラリーが自由落下する過程で水分を乾
燥するための熱を与えることにより、液体成分を乾燥、
除去した粉末を得ることができる。この熱は、スプレー
・ノズルから吐出する気体を加熱気体とする、あるいは
噴霧雰囲気に加熱気体を供給することにより与えること
ができる。乾燥のためには、１００℃以上の加熱気体を
用いればよい。スプレー・ノズルによる噴霧および乾燥
の工程は、所定のチャンバー内で行われる。スプレー・
ノズルを用いた噴霧乾燥法により得られる粉体は、通
常、顆粒粉である。この顆粒粉の粒径は、前述のよう
に、スラリーと圧縮気体との比率によって制御すること
ができる。スラリー同士を衝突させることにより小さな
液滴を作成することもできる。
【００１４】スプレー・ノズルを用いた噴霧乾燥法によ
り得た顆粒粉を焼結することにより、球状のセラミック
ス粉末を得る。ここで、例えば、チタン酸バリウム（Ｂ
ａＴｉＯ3）粉末を最終的に得ようとする場合、顆粒粉
は、ＢａＴｉＯ3粒子のみから構成される場合の他、Ｔ
ｉＯ2粒子およびＢａＯ粒子の混合物から構成される場
合がある。焼結の条件、特に温度および時間はセラミッ
クスの組成によって適宜定めればよいが、本発明ではス
プレー・ノズルにより得られる顆粒粉が球状に近い形状
を有しているために、焼結後の粉末はより球形度が１に
近い粉末となる。また、顆粒粉の粒径を容易に制御する
ことができるため、焼結後に得られる粉末もその粒径を
制御することができる。特に、スプレー・ノズルによれ
ば１〜１０μｍ程度の微細な顆粒粉を得ることができ
る。そして、この顆粒粉を焼結すると粒径は若干縮小す
るものの、ほぼ１〜１０μｍの粒径となる。
【００１５】以上のようにして得られる本発明のセラミ
ックス粉末は、複数のセラミックス成分が焼結により複
合化した粉末であって、前記粉末の平均粒径が１〜５０
μｍ、０.８以上の球形度を備えることを特徴とする。
本発明の球状セラミックス粉末は、複数のセラミックス
成分が焼結により反応もしくは複合化している。前述し
たように、本発明は、スプレー・ノズルを用いて顆粒粉
を作成する。スプレー・ノズルで噴霧するスラリーに
は、複数のセラミックス成分を混合することができるた
め、得られる顆粒粉も複数のセラミックス成分（粒子）
の混合体として構成される。このセラミックス成分（粒
子）の混合体としての顆粒粉を焼結することにより、複
数のセラミックス成分が焼結により複合化した粉末を得
ることができる。
【００１６】本発明の球状セラミックス粉末の平均粒径
は、１〜５０μｍである。平均粒径が５０μｍより大き
いと樹脂との複合材により回路基板を形成した場合に、
基板表面が粗くなり回路形成が難しくなるためである。
一方、１μｍより小さいと樹脂との混練性が低下するた
めである。より望ましい平均粒径は１〜２０μｍ、さら
に望ましい平均粒径は１〜１０μｍである。
【００１７】本発明の球状セラミックス粉末は、０.８
以上、望ましくは０.９以上、さらに望ましくは０.９５
以上の球形度を有している。つまり、本発明における球
状とは、表面が平滑な真球のみならず、真球に近い多面
体を含む概念である。ここで「球形度」とは、Ｒ：粒子
の投影面積に等しい円の直径、ｒ：粒子の投影像に外接
する最小円の直径、とすると、ｒ／Ｒとして定義され
る。球形度が０.８以上であると、セラミックス粉末を
樹脂材料と複合化した複合材料として利用するとき、セ
ラミックス粉末が樹脂材料に対して均一に分散しやすく
なり、さらに成形時において不均一性に起因したクラッ
クが生成しづらい。
【００１８】本発明の球状セラミックスの具体的組成と
しては、前述した酸化物磁性材料、酸化物誘電体材料が
挙げられる。しかし、この組成が本発明を限定する根拠
とはならない。本発明は、組成の如何にかかわらず実施
することが可能だからである。また、酸化物磁性材料、
酸化物誘電体材料は、複合酸化物の形態として構成され
ることが多いが、本発明はこのような複合酸化物であっ
て、かつ平均粒径１〜５０μｍ、球形度が０.８以上と
いう性状を備えている点に特徴がある。
【００１９】本発明では以上の球状セラミックス粉末と
樹脂材料との複合材料を提供する。複合材料の製造方法
としては、可溶性の樹脂と本発明の球状セラミックス粉
末との混合物を得た後にガラス・クロスに含浸したもの
を基板として成型する方法、印刷法による成型方法、デ
ィップによる成型方法が挙げられる。また、熱可塑性の
樹脂と本発明の球状セラミックス粉末との混合物を射出
成型機により成型する方法、トランスファー成型による
成型方法、押出し成型といった、樹脂成型に用いられて
いる公知の手法を広く適用することができる。また、樹
脂材料としても従来公知の樹脂材料を用いることができ
ることは言うまでもない。本発明の複合材料において、
磁性体または誘電体からなる酸化物球状粉末の含有量
は、３０〜９８ｗｔ％の範囲とすることが望ましい。含
有量が３０ｗｔ％未満では、複合材料として磁性体また
は誘電体の特性が不足するためである。一方、９８ｗｔ
％を超えると成型が困難となるからである。複合化する
樹脂材料の特性によって左右されるが、酸化物球状粉末
の含有量は、４０〜８０ｗｔ％、さらには５０〜７０ｗ
ｔ％の範囲とすることが望ましい。
【００２０】本発明により得られた球形度０.９４のチ
タン酸バリウム粉末（本発明）の粒子構造を示す顕微鏡
写真（×３５００）を図１に示す。また、比較のために
粉砕法によるチタン酸バリウム粉末（従来例）の粒子構
造を示す顕微鏡写真（×３５００）を図２に示す。本発
明により、従来の粉砕法による粉末に比べて球形度の高
い粉末が得られることが容易にわかる。これら粉末を使
って、有機樹脂材料（ビニルベンジル樹脂）とこれら粉
末が４０ｖｏｌ％（７６ｗｔ％）となるように混合した
時の誘電率および品質係数（Ｑ）を求めた。結果を表１
に示す。二つの粉末は同一の組成を有しているから誘電
体材料としての特性は一致するが、複合材料としては、
誘電率および品質係数（Ｑ）ともに本発明による粉末を
用いたもののほうが優れている。
【００２１】
【表１】
【００２２】本発明により得られた粉末と従来の粉砕法
により得られた粉末とを、各々射出成型用の熱可塑性樹
脂と混練したときの混練性を加熱ニーダ中で混練してい
る際のトルク値に基づき評価した。トルクが低いほう
が、混練性がよく高充填可能な粉末であると言えるであ
ろう。結果として、本発明による粉末はトルク値が７０
Ｎ・ｍ、従来の粉砕法による粉末はトルク値が１００Ｎ
・ｍであり、本発明の粉末の方が混練性に優れているこ
とが確認された。なお、このような結果となったのは、
粉砕紛末は角張った形状をしているために粒子と樹脂と
の摩擦抵抗が大きくなるのに対して、本発明のように球
状粉末であれば樹脂との間の摩擦抵抗が低下して樹脂中
の流動性がよくなるためと推察される。
【００２３】本発明複合材料の具体的用途の一例を図３
に示す。図３において、球状フェライト粉末を樹脂中に
分散、混合した磁性体層１の表裏両面に、比較的低い誘
電率の誘電体層２を積層し、さらにこの誘電体層２のい
ずれか一方に比較的高い誘電率の誘電体層３を積層する
ことにより基板を構成している。この基板の表裏面の少
なくても一方にグランド・パターン、配線パターンから
なる導体パターンを形成することにより積層基板を得る
ことができるが、この誘電体層２，３を本発明の複合材
料で構成することができる。また、本発明の複合磁性材
料は、プリプレグを用いる基板材料、チップ状のインダ
クタ素子材料、フィルタ等の積層電子部品材料として使
用することもできる。本発明によれば、このような基
板、電子部品を製造する際に、セラミックス粉末の充填
性が向上するから、セラミックス粉末の有する特性を有
効に発揮することができる。また、粉砕粉末のように巨
大な粒子を含むことがほとんどないため、製品製造時の
不良発生を低減することができる。具体的な例として、
セラミックス粉末を含む複合材料ワニスをガラス・クロ
スに塗布、含浸する一般的プリント基板製造工程におい
て、基板の厚さを薄くした場合にガラス・クロスと銅箔
との間に巨大粒子が入り込み、銅箔と粒子との間に樹脂
が存在しなくなることにより湿気の侵入が促進され基板
の信頼性を低下させる。
【００２４】
【実施例】以下本発明を具体的な実施例に基づいて説明
する。 （実施例１）酸化バリウム（ＢａＯ）粉末、酸化チタン
（ＴｉＯ2）粉末、酸化ネオジウム（Ｎｄ2Ｏ3）粉末お
よび酸化マンガン（ＭｎＯ）粉末を、１３.８：５４.
７：３１.４：０.１の重量比にて秤量したものに水を加
えてボールミルにて１２時間混合することにより、スラ
リー（以下、第１のスラリー）を得た。なお、混合に先
立って、分散剤（東亞合成社製Ａ−３０ＳＬ）を粉末の
重量に対して１％の割合で添加した。第１のスラリーを
噴霧乾燥機にて乾燥、顆粒化を行った。この際の噴霧、
乾燥条件は特に限定されるものではないが、顆粒粉の粒
径が２００μｍ以下となるような条件を設定するのが望
ましい。
【００２５】得られた顆粒粉を１２５０℃の温度で１時
間焼結することにより、複合酸化物焼結体を得た。この
焼結体に水を加えかつ分散剤（東亞合成社製Ａ−３０Ｓ
Ｌ）を焼結体の重量に対して１％の割合で添加した後ボ
ールミルにて４８時間粉砕することにより、平均粒径
０.５μｍの粉末を含むスラリー（以下、第２のスラリ
ー）を作成した。この第２のスラリーに対して、１０ｗ
ｔ％濃度に希釈されたＰＶＡ（ポリビニルアルコール）
溶液を粉末の総重量に対して２ｗｔ％添加し、さらに第
２のスラリー中の粉末が４０ｗｔ％になるように調整を
行った。ＰＶＡは結合剤として機能する。
【００２６】第２のスラリーに噴霧乾燥法を適用して顆
粒粉を作成した。使用した噴霧乾燥機は藤崎電機（株）
製のＭＤＬ−０５０であり、４流体方式のノズルを用
い、送液量を４０ｃｃ／ｍｉｎ、ノズルエア量を１６０
ＮＬ／ｍｉｎ、給気温度を１９０℃の条件とした。得ら
れた顆粒粉の平均粒径は９.７μｍである。この顆粒粉
を１３００℃で１時間焼結した。得られた焼結粉は平均
粒径が９μｍの球状粉末であった。得られた粉末は、球
形度０.９３の誘電体材料であるチタン酸バリウム粉末
である。
【００２７】次に、以上で得た粉末を４０ｖｏｌ％（７
８ｗｔ％）になるように液状のビニルベンジル樹脂と混
合しボールミルを用いて混練、分散を行った。３時間混
練、分散を行った後、分散溶液をドクターブレード法に
て、厚さ２００μｍのシートに形成した。このシートを
乾燥した後に、シートの表裏両面に厚さ１８μｍの電解
銅箔を加熱加圧により接着した。電解銅箔を接着した後
の電解銅箔を除くシートの厚さは１００μｍである。な
お、電解銅箔で挟まれた部分は誘電体層となる。電解銅
箔を接着したシートから打ち抜きにより直径１０ｍｍの
円板状の試料を作成した。
【００２８】この円板状試料の静電容量をインピーダン
ス・アナライザー（アジレント・テクノロジー社製ＨＰ
４２９１Ａ）用いて測定した。測定結果に基づいて誘電
率を算出した。その結果を品質係数Ｑとともに表２に示
す。この結果については後述する。また、電解銅箔を接
着したシートについて曲げ強度試験を行ったところ、１
７６ＭＰａの曲げ強度が得られた。この値は、従来の粉
砕紛を３０ｖｏｌ％（６９ｗｔ％）添加した複合材料と
同等であることから、本発明の粉末を用いれば、機械的
物性を損ねることなく複合材料としての特性を向上する
ことができる。
【００２９】
【表２】
【００３０】（実施例２）実施例２は、第２のスラリー
を得るためのボールミルによる粉砕時間を９６時間まで
延長した以外は実施例１と同様の条件で粉末を得るとと
もに円板状の試料を得た。９６時間粉砕した後の第２の
スラリーを構成する粉末の平均粒径は、０.１μｍであ
った。また、第２のスラリーに噴霧乾燥法を適用して得
られた顆粒粉の平均粒径は、４.５μｍであった。さら
に、焼結後の粉末の平均粒径は３.５μｍ、球形度は０.
９４であった。さらにまた、実施例１との比較から、噴
霧乾燥法を適用する粉末の粒径を小さくすると、得られ
る顆粒粉の粒径が小さくなることが確認された。実施例
１と同様にして測定された誘電率および品質係数（Ｑ）
を表２に示す。
【００３１】(比較例１)スラリー中の粉末の濃度を６０
ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にして第１のスラリ
ーを得た。ディスク・タイプの噴霧乾燥機を用いて第１
のスラリーから平均粒径８７μｍの顆粒粉を得た。ちな
みに、４流体方式のノズルを用いた噴霧乾燥機により得
られた顆粒粉の平均粒径が９.７μｍであるから、スプ
レー・ノズルを用いた噴霧乾燥法を適用することによ
り、微細な顆粒粉を作成することができることが判る。
以上で得られた顆粒粉を１３５０℃で１時間焼結した。
得られた焼結粉を気流粉砕機によって粉砕することによ
り、平均粒径３.５μｍ、球形度０.７１の粉末を得た。
この粉砕粉末を用いて実施例１と同様にして円板状試料
を作成し、やはり実施例１と同様に誘電率、品質係数
（Ｑ）を求めた。結果を表２に示す。
【００３２】ここで、表２に示した実施例１、実施例２
および比較例１の特性について言えば、実施例２、さら
には実施例１の誘電率および品質係数（Ｑ）が比較例１
に比べて優れていることが判る。このように実施例１お
よび実施例２の誘電率および品質係数（Ｑ）が向上した
のは、実施例１および実施例２におけるセラミックス粉
末がより真球に近いために樹脂に対する充填性および分
散性が向上したためと推察される。
【００３３】（比較例２）実施例１と同様にして平均粒
径０.５μｍの粉末を構成要素とする第１のスラリーを
得た。ディスク・タイプの噴霧乾燥機を用いてこの第１
のスラリーから顆粒粉を得た。この顆粒粉の平均粒径は
８６μｍであった。またこの顆粒粉の粒子構造を観察し
たところ、中空もしくは中央が潰れた形態の顆粒粉とな
っている。噴霧乾燥法で粒径の小さい顆粒粉を得るため
には、噴霧された液滴を小さくする必要があるが、ディ
スク・タイプの噴霧乾燥機では、細かな液滴をつくるこ
とが困難なために、大きな顆粒粉となったものと推察さ
れる。逆に、実施例１および実施例２で用いたスプレー
・ノズル・タイプの噴霧乾燥機によれば、微小の液滴が
作成される結果として、ディスク・タイプの噴霧乾燥機
で得られる顆粒粉に比べて小さい粒径の顆粒粉を得るこ
とができる。
【００３４】（実施例３）モル比換算で、酸化鉄（Ｆｅ
2Ｏ3）：酸化ニッケル（ＮｉＯ）：酸化亜鉛（ＺｎＯ）
＝４９：２３：２８となる原料粉末に水を加えてボール
ミルにて１２時間混合することにより、スラリー（以
下、第１のスラリー）を得た。なお、混合に先立って、
分散剤（東亞合成社製Ａ−３０ＳＬ）を粉末の重量に対
して１％の割合で添加した。以後、実施例１と同様の工
程により平均粒径１０.３μｍの顆粒粉を得た。得られ
た顆粒粉を１１５０℃で１時間焼結することにより球状
の焼結粉末を得た。この粉末の平均粒径は８.５μｍ、
球形度は０.９５ であった。この粉末は、磁性フ
ェライト粉末である。
【００３５】得られた磁性フェライト粉末を４０ｖｏｌ
％（７５ｗｔ％）になるようにエポキシ樹脂と混合し
た。エポキシ樹脂としては、多官能エポキシ樹脂として
エピビス型エポキシ樹脂（油化シェルエポキシ社製エピ
コート１００１およびエピコート１００７）を各々２
６.９ｗｔ％ずつ含有させ、またビスフェノールＡ型高
分子エポキシ樹脂（油化シェルエポキシ社製エピコート
１２２５）２３.１ｗｔ％、特殊骨格を持つエポキシ樹
脂としてテトラフェ二ロールエタン型エポキシ樹脂（油
化シェルエポキシ社製エピコート１０３１Ｓ）２３.１
ｗｔ％を含むものを主成分とし、硬化剤としてビスフェ
ノールＡ型ノボラック樹脂（油化シェルエポキシ社製Ｙ
ＬＨ１２９Ｂ６５）と硬化促進剤としてイミタゾール化
合物（四国化成工業社製２Ｅ４ＭＺ）とを混合したもの
を用いた。
【００３６】磁性フェライト粉末とエポキシ樹脂との混
合物にトルエンとメチルエチルケトンの混合溶液を加え
た後にボールミルで５時間混合、分散することにより、
磁性フェライト粉末が分散した溶液を得た。この分散溶
液をドクターブレード法にて、厚さ１００μｍのシート
に成形した。このシートと厚さ６０μｍのガラス・クロ
スとを交互に積層した後に、加熱、加圧により約０.４
ｍｍの厚さの複合磁性基板を得た。この複合磁性基板に
ついて、透磁率および品質係数（Ｑ）を測定した結果を
表３に示す。表３には、粉砕法により得られた平均粒径
５.２μｍの同一組成の磁性フェライト粉末（不定形）
を用いて得た複合磁性基板（比較例）の測定結果を併せ
て示す。比較例による複合磁性基板に比べて本実施例に
よる複合磁性基板の透磁率が高くかつ品質係数（Ｑ）も
向上していることがわかる。なお、本実施の形態ではガ
ラス・クロスを交互に積層した複合磁性基板について説
明したが、本発明の複合磁性基板はこの形態に限定され
ない。
【００３７】
【表３】
【００３８】(実施例４)実施例３で得られた磁性フェラ
イト粉末を用いて圧粉磁性成形体を作成してその磁気特
性を測定した。実施例３で得られた磁性フェライト粉末
をやはり実施例３で用いたエポキシ樹脂に対して９７ｗ
ｔ％となるように混合し、外径７ｍｍ、内径３ｍｍの金
型に１８０℃で５ｔｏｎ／ｃｍ2で加圧成形することに
より、圧粉磁性成形体を作成した。作成した圧粉磁性成
形体の透磁率(μ')の周波数特性を測定した。その結果
を図４に示す。また、実施例３で用いた粉砕法により得
られた平均粒径２μｍの粉末を用いて本実施例と同様に
して得た圧粉磁性成形体の透磁率(μ')の周波数特性を
図４に併せて示す。図４に示すように、本実施例による
圧粉磁性成形体が優れた透磁率の周波数特性を示すこと
がわかる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
樹脂材料との複合化に適する粒径を有し、しかも樹脂に
対する分散性、充填性に優れたセラミックス粉末を得る
ことができる。本発明はまた、そのようなセラミックス
粉末を製造する方法を提供することができる。さらに本
発明は、そのようなセラミックス粉末と樹脂材料との複
合材料を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明により得られた球状粉末のＳＥＭ像を
示す写真である。
【図２】 従来の粉砕法により得られた粉末のＳＥＭ像
を示す写真である。
【図３】 本発明の複合材料の具体的用途例を示す断面
図である。
【図４】 実施例３における透磁率の周波数特性を示す
グラフである。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年７月１６日（２００２．７．１
６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】微細なセラミックス粉末は、原料を混合
し、乾燥後仮焼きした後ボールミル等の粉砕装置によっ
て粉砕し、さらにスプレードライヤー等の乾燥装置によ
って乾燥後、気流粉砕装置等の粉砕機によって微粉砕し
て得ることができる。これらセラミックス粉末は、粉末
単体として利用に供される場合もあるが、樹脂材料に分
散した複合材料として利用に供されることもある。複合
材料として用いられるセラミックス粉末には、樹脂材料
に対する分散性、充填性が要求される。樹脂材料に対す
る分散性、充填性を確保するための一つの要素として、
粉末の粒径がある。例えば、セラミックス粉末は上記方
法のほかに例えば共沈法のように液相から製造すること
もできるが、この粉末は粒径が微細すぎて樹脂材料に対
する分散性、充填性を確保することができない。また、
前述した方法により得られたセラミックス粉末は、粉砕
により得られるものであるため粉末の形態が不定形とな
り、樹脂材料に対する分散性、充填性を確保することが
できない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】以上の通りであり、従来は樹脂材料との複
合化に適切な粒径をもつ球状粉末を得ることが困難であ
った。特に、複合酸化物のような多成分系のセラミック
スを得るための手法は見出されていない。そこで本発明
は、樹脂材料への分散に適する粒径を有し、しかも樹脂
に対する分散性、充填性に優れた球状セラミックス粉末
の提供を課題とする。本発明はまた、そのような球状セ
ラミックス粉末を製造する方法の提供を課題とする。さ
らに本発明は、そのような球状セラミックス粉末と樹脂
材料との複合材料の提供を課題とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、噴霧乾燥法
によって顆粒粉を形成し、この顆粒粉を焼結することに
より樹脂材料との複合化に適した粉末を得るための検討
を行った。そして、噴霧乾燥法の中で、スプレー・ノズ
ルを用いると粒径の小さい顆粒粉を得ることができるた
め、その後の焼結によって球形度が高くかつ樹脂材料へ
の分散に適した粒径の粉末を製造できることを知見し
た。そして、この噴霧乾燥法によれば、多成分系のセラ
ミックス粉末を容易に得ることができる。さらに、本発
明による球形度の高い微細な粉末を用いることにより、
樹脂材料との複合材中への充填性が向上して粉末の有す
る特性を有効に発揮することができる。また、充填性の
向上は複合材の機械的強度の確保にとっても有効であ
る。さらに、噴霧乾燥法を用いているため、粉砕粉末の
ように巨大な粉末が混入することがほとんどないため、
製品の信頼性を確保することができるのである。本発明
は以上の知見に基づきなされたものであり、セラミック
ス成分からなる原料粉体を含むスラリーをスプレー・ノ
ズルにより噴霧して液滴を形成しかつ液体成分を乾燥す
ることによりセラミックス顆粒粉を得る噴霧乾燥工程
と、得られた前記セラミックス顆粒粉を焼結する焼結工
程と、を備えることを特徴とする球状セラミックス粉末
の製造方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】本発明の噴霧乾燥工程は、以上のセラミッ
クス成分からなる原料粉体を含むスラリーをスプレー・
ノズルにより噴霧して液滴を形成する。ここで、スプレ
ー・ノズルは、上記のスラリーと圧縮気体とを噴霧する
ためのものであり、２流体ノズル、あるいは４流体ノズ
ルを用いることができる。圧縮気体とともにスプレー・
ノズルから吐出されたスラリーは微粒化されて噴霧を形
成する。噴霧中の液滴の粒径は、スラリーと圧縮気体と
の比率により制御することができる。液滴の粒径を制御
することにより、最終的に得られる粉体の粒径を制御す
ることができる。噴霧状態のスラリーが自由落下する過
程で水分を乾燥するための熱を与えることにより、液体
成分を乾燥、除去した粉末を得ることができる。この熱
は、スプレー・ノズルから吐出する気体を加熱気体とす
る、あるいは噴霧雰囲気に加熱気体を供給することによ
り与えることができる。乾燥のためには、１００℃以上
の加熱気体を用いればよい。スプレー・ノズルによる噴
霧および乾燥の工程は、所定のチャンバー内で行われ
る。スプレー・ノズルを用いた噴霧乾燥法により得られ
る粉体は、通常、顆粒粉である。この顆粒粉の粒径は、
前述のように、例えばスラリーと圧縮気体との比率によ
って制御することができる。スラリー同士を衝突させる
ことにより小さな液滴を作成することもできる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】本発明の焼結工程は、スプレー・ノズルを
用いた噴霧乾燥法により得た顆粒粉を焼結することによ
り、球状のセラミックス粉末を得ることができる。ここ
で、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3）粉末を
最終的に得ようとする場合、顆粒粉は、ＢａＴｉＯ3粒
子のみから構成される場合の他、ＴｉＯ2粒子およびＢ
ａＯ粒子の混合物から構成される場合がある。焼結の条
件、特に温度および時間はセラミックスの組成によって
適宜定めればよいが、本発明ではスプレー・ノズルによ
り得られる顆粒粉が球状に近い形状を有しているため
に、焼結後の粉末はより球形度が１に近い粉末となる。
また、顆粒粉の粒径を容易に制御することができるた
め、焼結後に得られる粉末もその粒径を制御することが
できる。特に、スプレー・ノズルによれば１〜１０μｍ
程度の微細な顆粒粉を得ることができる。そして、この
顆粒粉を焼結すると粒径は若干縮小するものの、ほぼ１
〜１０μｍの粒径となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】本発明の球状セラミックス粉末は、０.８
以上、望ましくは０.９以上、さらに望ましくは０.９５
以上の球形度を有している。つまり、本発明における球
状とは、表面が平滑な真球のみならず、真球に近い多面
体を含む概念である。ここで「球形度」とは、Ｒ：粒子
の投影面積に等しい円の直径、ｒ：粒子の投影像に外接
する最小円の直径、とすると、ｒ／Ｒとして定義され
る。球形度が０.８以上であると、セラミックス粉末を
樹脂材料へ分散した複合材料として利用するとき、セラ
ミックス粉末が樹脂材料に対して均一に分散しやすくな
り、さらに成形時において不均一性に起因したクラック
を発生しづらい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】本発明複合材料の具体的用途の一例を図３
に示す。図３において、球状フェライト粉末を樹脂中に
分散、混合した磁性体層１の表裏両面に、比較的低い誘
電率の誘電体層２を積層し、さらにこの誘電体層２のい
ずれか一方に比較的高い誘電率の誘電体層３を積層する
ことにより基板を構成している。この基板の表裏面の少
なくても一方にグランド・パターン、配線パターンから
なる導体パターンを形成することにより積層基板を得る
ことができるが、この誘電体層２，３を本発明の複合材
料で構成することができる。また、本発明の複合磁性材
料は、プリプレグを用いる基板材料、チップ状のインダ
クタ素子材料、フィルタ等の積層電子部品材料として使
用することもできる。本発明によれば、このような基
板、電子部品を製造する際に、セラミックス粉末の充填
性が向上するから、セラミックス粉末の有する特性を有
効に発揮することができる。また、粉砕粉末のように巨
大な粒子を含むことがほとんどないため、製品製造時の
不良発生を低減することができる。具体的な例として、
セラミックス粉末を含む複合材料ワニスをガラス・クロ
スに塗布、含浸する一般的プリント基板製造工程におい
て、基板の厚さを薄くした場合にガラス・クロスと銅箔
との間に巨大粒子が入り込み、銅箔と粒子との間に樹脂
が存在しなくなることにより湿気の侵入が促進され基板
の信頼性を低下させるような不具合を防止できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】(比較例１)スラリー中の粉末の濃度を６０
ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にして第２のスラリ
ーを得た。ディスク・タイプの噴霧乾燥機を用いて第２
のスラリーから平均粒径８７μｍの顆粒粉を得た。ちな
みに、４流体方式のノズルを用いた噴霧乾燥機により得
られた顆粒粉の平均粒径が９.７μｍであるから、スプ
レー・ノズルを用いた噴霧乾燥法を適用することによ
り、微細な顆粒粉を作成することができることが判る。
以上で得られた顆粒粉を１３５０℃で１時間焼結した。
得られた焼結粉を気流粉砕機によって粉砕することによ
り、平均粒径３.５μｍ、球形度０.７１の粉末を得た。
この粉砕粉末を用いて実施例１と同様にして円板状試料
を作成し、やはり実施例１と同様に誘電率、品質係数
（Ｑ）を求めた。結果を表２に示す。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３３】（比較例２）実施例１と同様にして平均粒
径０.５μｍの粉末を構成要素とする第２のスラリーを
得た。ディスク・タイプの噴霧乾燥機を用いてこの第２
のスラリーから顆粒粉を得た。この顆粒粉の平均粒径は
８６μｍであった。またこの顆粒粉の粒子構造を観察し
たところ、中空もしくは中央が潰れた形態の顆粒粉とな
っている。噴霧乾燥法で粒径の小さい顆粒粉を得るため
には、噴霧された液滴を小さくする必要があるが、ディ
スク・タイプの噴霧乾燥機では、細かな液滴をつくるこ
とが困難なために、大きな顆粒粉となったものと推察さ
れる。逆に、実施例１および実施例２で用いたスプレー
・ノズル・タイプの噴霧乾燥機によれば、微小の液滴が
作成される結果として、ディスク・タイプの噴霧乾燥機
で得られる顆粒粉に比べて小さい粒径の顆粒粉を得るこ
とができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３４】（実施例３）モル比換算で、酸化鉄（Ｆｅ
2Ｏ3）：酸化ニッケル（ＮｉＯ）：酸化亜鉛（ＺｎＯ）
＝４９：２３：２８となる原料粉末に水を加えてボール
ミルにて１２時間混合することにより、スラリー（以
下、第１のスラリー）を得た。なお、混合に先立って、
分散剤（東亞合成社製Ａ−３０ＳＬ）を粉末の重量に対
して１％の割合で添加した。以後、実施例１と同様の工
程により平均粒径１０.３μｍの顆粒粉を得た。得られ
た顆粒粉を１１５０℃で１時間焼結することにより球状
のセラミックス粉末を得た。この粉末の平均粒径は８.
５μｍ、球形度は０.９５であった。この粉末は、磁性
フェライト粉末（球状セラミックス粉末）である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
樹脂材料との複合化に適する粒径を有し、しかも樹脂に
対する分散性、充填性に優れた球状セラミックス粉末を
得ることができる。本発明はまた、そのような球状セラ
ミックス粉末を製造する方法を提供することができる。
さらに本発明は、そのような球状セラミックス粉末と樹
脂材料との複合材料を提供することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 曽我部 智浩 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 小更 恒 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 4G004 AA02 EA01 EA02 4J002 AA001 CD051 DE116 DE136 DE186 FB086 GR02

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 セラミックス成分からなる原料粉体を含
    むスラリーをスプレー・ノズルにより噴霧して液滴を形
    成しかつ液体成分を乾燥することによりセラミックス顆
    粒粉を得る噴霧乾燥工程と、得られた前記セラミックス
    顆粒粉を焼結する焼結工程と、 を備えることを特徴とする球状セラミックス粉末の製造
    方法。
  2. 【請求項２】 前記原料粉体は、前記焼結工程を経た後
    の前記球状セラミックス粉末と同様の化合物からなるこ
    とを特徴とする請求項１に記載の球状セラミックス粉末
    の製造方法。
  3. 【請求項３】 前記原料粉体は、複数のセラミックス粉
    体の混合物からなることを特徴とする請求項１に記載の
    球状セラミックス粉末の製造方法。
  4. 【請求項４】 前記球状セラミックス粉末は、複合酸化
    物からなる誘電体材料から構成されることを特徴とする
    請求項１〜３のいずれかに記載の球状セラミックス粉末
    の製造方法。
  5. 【請求項５】 前記球状セラミックス粉末は、複合酸化
    物からなる磁性フェライト材料から構成されることを特
    徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の球状セラミッ
    クス粉末の製造方法。
  6. 【請求項６】 前記球状セラミックス粉末の平均粒径が
    １〜５０μｍであることを特徴とする請求項１〜５のい
    ずれかにの球状セラミックス粉末の製造方法。
  7. 【請求項７】 前記セラミックス顆粒粉を構成する一次
    粒子の平均粒径が１μｍ以下であることを特徴とする請
    求項１〜６のいずれかに記載の球状セラミックス粉末の
    製造方法。
  8. 【請求項８】 複数のセラミックス成分が焼結により複
    合化した粉末であって、前記粉末の平均粒径が１〜５０
    μｍ、０.８以上の球形度を備えることを特徴とする球
    状セラミックス粉末。
  9. 【請求項９】 前記粉末が、酸化物磁性材料から構成さ
    れる０.９以上の球形度を有することを特徴とする請求
    項８に記載の球状セラミックス粉末。
  10. 【請求項１０】 前記粉末が、酸化物誘電体材料から構
    成される０.９以上の球形度を有することを特徴とする
    請求項８に記載の球状セラミックス粉末。
  11. 【請求項１１】 前記粉末の平均粒径が５〜２０μｍで
    あることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載
    の球状セラミックス粉末。
  12. 【請求項１２】 磁性体または誘電体からなる酸化物球
    状粉末と、 前記酸化物球状粉末を分散、保持するバインダ樹脂と、
    からなる複合材料であって、 前記酸化物球状粉末は、平均粒径が１〜５０μｍ、０.
    ８以上の球形度を備えることを特徴とする複合材料。
  13. 【請求項１３】 前記酸化物球状粉末は、３０〜９８ｗ
    ｔ％の範囲で含有することを特徴とする請求項１２に記
    載の複合材料。
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EP02011602A EP1262466A1 (en) 2001-05-30 2002-05-28 Method for manufacturing spherical ceramic powder, and spherical ceramic powder and composite material
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CN02121727A CN1388092A (zh) 2001-05-30 2002-05-28 球状陶瓷粉末的制备方法、球状陶瓷粉末及复合材料
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009039713A (ja) * 2008-08-25 2009-02-26 Tdk Corp スラリーの製造方法
JP2009131849A (ja) * 2009-03-09 2009-06-18 Optnics Precision Co Ltd 球状超微粒子の製造方法
JP2016082149A (ja) * 2014-10-21 2016-05-16 シーアイ化成株式会社 磁性シート

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002355544A (ja) * 2001-05-30 2002-12-10 Tdk Corp 球状セラミックス粉末の製造方法、球状セラミックス粉末および複合材料
TWI291936B (ja) * 2001-05-31 2008-01-01 Tdk Corp
JP3930814B2 (ja) * 2003-01-24 2007-06-13 Ｔｄｋ株式会社 複合誘電体材料および基板
US20050253310A1 (en) * 2004-05-17 2005-11-17 Osada Giken Co., Ltd. Method for manufacturing shaped titanium oxide
KR100645629B1 (ko) * 2004-10-27 2006-11-15 삼성전기주식회사 유전체 다층코팅 분말 및 이를 이용한 복합유전체재료
CN1328027C (zh) * 2004-11-25 2007-07-25 李尚劼 聚晶金刚石喷嘴的加工方法及产品
KR100674848B1 (ko) 2005-04-01 2007-01-26 삼성전기주식회사 고유전율 금속-세라믹-폴리머 복합 유전체 및 이를 이용한임베디드 커패시터의 제조 방법
CN101208165B (zh) * 2005-05-11 2013-03-27 英孚拉玛特公司 磁性合成物及其制造和使用方法
DE102009005446A1 (de) * 2009-01-21 2010-07-22 Schott Ag Granulat, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung
CN101870588B (zh) * 2009-04-21 2012-10-31 河北勇龙邦大新材料有限公司 一种制备空心陶瓷微珠的方法与装置
CN102869687B (zh) * 2010-04-28 2015-03-18 三井化学株式会社 由4-甲基-1-戊烯系聚合物构成的树脂细粉末、含有其的组合物、以及其制造方法
CN102618090A (zh) * 2012-03-13 2012-08-01 南通宝聚颜料有限公司 一种自由流动颗粒状氧化铁黑颜料的制造方法
US9409825B2 (en) 2013-08-20 2016-08-09 Los Alamos National Security, Llc Granulation of fine powder
CN104086176A (zh) * 2013-08-30 2014-10-08 常州凡登特种材料技术有限公司 均匀复合的球状陶瓷颗粒及其制备方法
KR20150085253A (ko) * 2014-01-15 2015-07-23 삼성전기주식회사 복합 페라이트 시트와 그 제조 방법 및 이를 구비하는 전자 기기
KR102116545B1 (ko) 2015-06-30 2020-05-28 (주)아모레퍼시픽 옥 분말 입자가 다공성 고분자에 함침된 복합분체, 이를 함유하는 화장료 조성물 및 이의 제조방법
US9809720B2 (en) * 2015-07-06 2017-11-07 University Of Massachusetts Ferroelectric nanocomposite based dielectric inks for reconfigurable RF and microwave applications
JP6871235B2 (ja) * 2016-04-01 2021-05-12 デンカ株式会社 チタン酸バリウム質粉末及びその製造方法、用途
JP7038048B2 (ja) * 2016-06-14 2022-03-17 デンカ株式会社 高純度チタン酸バリウム系粉末及びその製造方法、並びに樹脂組成物及び指紋センサ
US10839992B1 (en) 2019-05-17 2020-11-17 Raytheon Company Thick film resistors having customizable resistances and methods of manufacture
KR102305296B1 (ko) * 2019-11-20 2021-09-28 한국생산기술연구원 미세플라스틱 대체가능한 천연입자 및 이의 제조 방법
CN114751733B (zh) * 2022-04-25 2023-03-21 中国振华集团云科电子有限公司 一种具备低温度系数球形陶瓷填料生产方法
CN115894003B (zh) * 2022-12-20 2023-10-24 矿冶科技集团有限公司 一种永磁铁氧体用预烧料的造球方法及应用

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3881911A (en) * 1973-11-01 1975-05-06 Gte Sylvania Inc Free flowing, sintered, refractory agglomerates
JPS61236649A (ja) 1985-04-13 1986-10-21 黒崎窯業株式会社 セラミツクス粉末とその製造方法
JPH0762674B2 (ja) 1986-03-07 1995-07-05 株式会社高研 クロマトグラフイ−用吸着剤、及びその製造方法、並びに該吸着剤を使用したクロマトグラフイ−カラム
JP2573825B2 (ja) 1986-03-31 1997-01-22 東燃株式会社 水酸アパタイト粒子集合体、その製造方法及びそのクロマトグラフイ−充填剤としての用途
JPH0717460B2 (ja) 1987-04-30 1995-03-01 住友化学工業株式会社 セラミックス顆粒の製造方法
US5205928A (en) * 1988-03-11 1993-04-27 Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha Process for the preparation of microspherical sintered bodies of hydroxyapatite and a chromatographic packing material comprising the microspherical sintered bodies of hydroxyapatite
DE3912379A1 (de) * 1988-04-15 1989-10-26 Asahi Optical Co Ltd Gesinterte kalziumphosphat-keramik und verfahren zu deren herstellung
JP2876088B2 (ja) 1990-10-18 1999-03-31 戸田工業株式会社 フェライト・樹脂複合組成物
JP3154513B2 (ja) 1991-05-28 2001-04-09 テイカ株式会社 球状チタン酸バリウム系半導体磁器材料粉末およびその製造方法
DE4118752A1 (de) * 1991-06-06 1992-12-10 Freiberg Bergakademie Sinterfaehiges keramisches spruehgranulat und verfahren zu dessen herstellung
JPH05105502A (ja) 1991-10-18 1993-04-27 Chichibu Cement Co Ltd 射出成形材料
JPH07108818B2 (ja) 1992-03-19 1995-11-22 日本碍子株式会社 セラミック焼結体の製造方法
US5252632A (en) 1992-11-19 1993-10-12 Savin Roland R Low cost cathodic and conductive coating compositions comprising lightweight hollow glass microspheres and a conductive phase
JPH06171944A (ja) 1992-12-10 1994-06-21 Tosoh Corp 酸化ジルコニウム粉末を製造する方法
JP3185998B2 (ja) * 1993-01-29 2001-07-11 戸田工業株式会社 球形導電性磁性体粒子粉末及びその製造方法
JPH06263529A (ja) 1993-03-10 1994-09-20 Chichibu Cement Co Ltd セラミックス粉末及びセラミックス焼結体の製造方法
JP3845872B2 (ja) 1993-11-25 2006-11-15 東ソー株式会社 セラミックス微小成形球体及びセラミックス微小球体の製造方法
DE19500849A1 (de) 1995-01-13 1996-07-18 Abb Research Ltd Elektrisches Bauteil
JPH08268762A (ja) 1995-03-28 1996-10-15 Sumitomo Kinzoku Electro Device:Kk 高誘電体材料の原料粉末の製造方法
JP3523410B2 (ja) 1996-03-25 2004-04-26 株式会社クラレ 歯科用複合材料
JPH11106560A (ja) 1997-09-30 1999-04-20 Ngk Insulators Ltd プラスチック・セラミック複合材
JP4230554B2 (ja) 1998-01-23 2009-02-25 電気化学工業株式会社 球状粒子の製造方法
JP2000107585A (ja) 1998-10-08 2000-04-18 Advance Co Ltd 球状セラミックスの製造方法
JP2001010867A (ja) 1999-06-21 2001-01-16 Murata Mfg Co Ltd セラミック原料造粒粉末の製造方法
JP2002355544A (ja) * 2001-05-30 2002-12-10 Tdk Corp 球状セラミックス粉末の製造方法、球状セラミックス粉末および複合材料

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009039713A (ja) * 2008-08-25 2009-02-26 Tdk Corp スラリーの製造方法
JP2009131849A (ja) * 2009-03-09 2009-06-18 Optnics Precision Co Ltd 球状超微粒子の製造方法
JP2016082149A (ja) * 2014-10-21 2016-05-16 シーアイ化成株式会社 磁性シート

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