JP2003002656A - 軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末、該軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いたグリーンシート並びに軟磁性六方晶フェライト焼結体 - Google Patents
軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末、該軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いたグリーンシート並びに軟磁性六方晶フェライト焼結体Info
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- H01F1/342—Oxides
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高い焼結密度と体積固有抵抗とを有し、且つ、
数百ＭＨｚ帯での透磁率の虚数部が十分小さく、数ＧＨ
ｚ付近の周波数において透磁率の虚数部が大きくなるよ
うな周波数特性を示すと共に、低周波から数百ＭＨｚ帯
までにおける透磁率の実数部が低下することなくほぼ一
定に保持できる周波数特性を示す軟磁性六方晶フェライ
ト焼結体を得る為に用いられる軟磁性六方晶フェライト
複合粒子粉末を得る。 【解決手段】Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型
フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉
末１００重量部に対し、炭酸バリウム粒子粉末又は炭酸
ストロンチウム粒子粉末若しくは当該両炭酸塩粒子粉末
１〜１０重量部と二酸化ケイ素粒子粉末０.５〜５重量
部とを配合したことを特徴とする軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末。
数百ＭＨｚ帯での透磁率の虚数部が十分小さく、数ＧＨ
ｚ付近の周波数において透磁率の虚数部が大きくなるよ
うな周波数特性を示すと共に、低周波から数百ＭＨｚ帯
までにおける透磁率の実数部が低下することなくほぼ一
定に保持できる周波数特性を示す軟磁性六方晶フェライ
ト焼結体を得る為に用いられる軟磁性六方晶フェライト
複合粒子粉末を得る。 【解決手段】Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型
フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉
末１００重量部に対し、炭酸バリウム粒子粉末又は炭酸
ストロンチウム粒子粉末若しくは当該両炭酸塩粒子粉末
１〜１０重量部と二酸化ケイ素粒子粉末０.５〜５重量
部とを配合したことを特徴とする軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、軟磁性六方晶フェ
ライト粒子粉末と炭酸バリウム粒子粉末又は炭酸ストロ
ンチウム粒子粉末若しくは当該両炭酸塩粒子粉末と二酸
化ケイ素粒子粉末とからなる軟磁性六方晶フェライト複
合粒子粉末を提供すると共に、該軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末を用いて成型、焼成することによって高
い焼結密度と体積固有抵抗とを有し、且つ、４００ＭＨ
ｚにおける透磁率の虚数部が１以下であり、数ＧＨｚ付
近の周波数において透磁率の虚数部が大きくなるような
周波数特性を示すと共に、低周波から数百ＭＨｚ帯まで
における透磁率の実数部が低下することなくほぼ一定に
保持できる周波数特性を示す軟磁性六方晶フェライト焼
結体を提供するものである。
ライト粒子粉末と炭酸バリウム粒子粉末又は炭酸ストロ
ンチウム粒子粉末若しくは当該両炭酸塩粒子粉末と二酸
化ケイ素粒子粉末とからなる軟磁性六方晶フェライト複
合粒子粉末を提供すると共に、該軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末を用いて成型、焼成することによって高
い焼結密度と体積固有抵抗とを有し、且つ、４００ＭＨ
ｚにおける透磁率の虚数部が１以下であり、数ＧＨｚ付
近の周波数において透磁率の虚数部が大きくなるような
周波数特性を示すと共に、低周波から数百ＭＨｚ帯まで
における透磁率の実数部が低下することなくほぼ一定に
保持できる周波数特性を示す軟磁性六方晶フェライト焼
結体を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、軟磁性立方晶スピネル型フ
ェライト焼結体は、数百ＭＨｚ帯の周波数において透磁
率の虚数部が高い値を示すことから、その磁気的損失を
利用して数百ＭＨｚ帯のノイズを減衰させるインピーダ
ンス素子及び電磁波を吸収する電波吸収体等の材料とし
て広く使用されている。また、軟磁性立方晶スピネル型
フェライト焼結体は、低周波から数十ＭＨｚまでにおけ
る透磁率の実数部がほぼ一定であることから、そのイン
ダクタンスを利用したインダクター素子の材料として広
く使用されている。
ェライト焼結体は、数百ＭＨｚ帯の周波数において透磁
率の虚数部が高い値を示すことから、その磁気的損失を
利用して数百ＭＨｚ帯のノイズを減衰させるインピーダ
ンス素子及び電磁波を吸収する電波吸収体等の材料とし
て広く使用されている。また、軟磁性立方晶スピネル型
フェライト焼結体は、低周波から数十ＭＨｚまでにおけ
る透磁率の実数部がほぼ一定であることから、そのイン
ダクタンスを利用したインダクター素子の材料として広
く使用されている。
【０００３】近年、携帯電話、ＰＨＳ等の移動体通信シ
ステム、屋内における無線ＬＡＮ、パソコンやゲーム機
等の高速デジタル機器等の普及が進んでおり、数百ＭＨ
ｚ帯の周波数を信号として利用することが急速に進めら
れようとしているが、その信号の高調波として生じる数
ＧＨｚ付近のノイズが大きな問題になってきている。従
って、数百ＭＨｚ帯の信号、電磁波には影響を与えない
で、それを越える数ＧＨｚ付近の周波数のノイズ、電磁
波を減衰、吸収するインピーダンス素子、電波吸収体が
強く望まれており、その為には数百ＭＨｚ帯における透
磁率の虚数部を小さくし、数ＧＨｚ付近における透磁率
の虚数部を大きくすることが必要である。また、数百Ｍ
Ｈｚ帯の周波数を信号として利用するには、低周波から
その周波数帯まで一定の高いインダクタンスを持ったイ
ンダクター素子を電子部品として使用する必要があり、
その為には低周波から数百ＭＨｚ帯における透磁率の実
数部が低下することなくほぼ一定に保持できることが必
要である。
ステム、屋内における無線ＬＡＮ、パソコンやゲーム機
等の高速デジタル機器等の普及が進んでおり、数百ＭＨ
ｚ帯の周波数を信号として利用することが急速に進めら
れようとしているが、その信号の高調波として生じる数
ＧＨｚ付近のノイズが大きな問題になってきている。従
って、数百ＭＨｚ帯の信号、電磁波には影響を与えない
で、それを越える数ＧＨｚ付近の周波数のノイズ、電磁
波を減衰、吸収するインピーダンス素子、電波吸収体が
強く望まれており、その為には数百ＭＨｚ帯における透
磁率の虚数部を小さくし、数ＧＨｚ付近における透磁率
の虚数部を大きくすることが必要である。また、数百Ｍ
Ｈｚ帯の周波数を信号として利用するには、低周波から
その周波数帯まで一定の高いインダクタンスを持ったイ
ンダクター素子を電子部品として使用する必要があり、
その為には低周波から数百ＭＨｚ帯における透磁率の実
数部が低下することなくほぼ一定に保持できることが必
要である。
【０００４】しかし、軟磁性立方晶スピネル型フェライ
ト焼結体にはいわゆるスヌークの限界則が存在し、数百
ＭＨｚ帯における透磁率の虚数部を小さくすることがで
きない。従って、数百ＭＨｚ帯の周波数を信号として利
用する電子機器に対して、従来の軟磁性立方晶スピネル
型フェライト焼結体をインピーダンス素子や電波吸収体
として用いた場合には、電子機器の動作に必要な信号周
波数（数百ＭＨｚ帯）が磁気的損失により減衰、吸収さ
れてしまうという問題があった。また、透磁率の実数部
も、スヌークの限界則により数百ＭＨｚ帯以上では減少
してしまう。従って、数百ＭＨｚ帯の周波数を信号とし
て利用する電子機器に対して、従来の軟磁性立方晶スピ
ネル型フェライト焼結体をインダクター素子として利用
できないという問題があった。
ト焼結体にはいわゆるスヌークの限界則が存在し、数百
ＭＨｚ帯における透磁率の虚数部を小さくすることがで
きない。従って、数百ＭＨｚ帯の周波数を信号として利
用する電子機器に対して、従来の軟磁性立方晶スピネル
型フェライト焼結体をインピーダンス素子や電波吸収体
として用いた場合には、電子機器の動作に必要な信号周
波数（数百ＭＨｚ帯）が磁気的損失により減衰、吸収さ
れてしまうという問題があった。また、透磁率の実数部
も、スヌークの限界則により数百ＭＨｚ帯以上では減少
してしまう。従って、数百ＭＨｚ帯の周波数を信号とし
て利用する電子機器に対して、従来の軟磁性立方晶スピ
ネル型フェライト焼結体をインダクター素子として利用
できないという問題があった。
【０００５】これに対して、数百ＭＨｚ帯では透磁率の
虚数部が小さく、スヌークの限界則を越えて、数ＧＨｚ
付近の周波数において透磁率の虚数部が大きい材料とし
て、Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェライ
トの結晶構造を有する軟磁性六方晶フェライト焼結体が
提案されている。即ち、軟磁性六方晶フェライト焼結体
をインピーダンス素子や電波吸収体として用いた場合に
は、数百ＭＨｚ帯の周波数を信号周波数として使用で
き、その信号周波数の高調波として生じる数ＧＨｚ付近
のノイズを減衰、吸収できることが期待される。また、
数百ＭＨｚ帯まで透磁率の実数部が低下することなくほ
ぼ一定である材料として、該軟磁性六方晶フェライト焼
結体が提案されている。即ち、軟磁性六方晶フェライト
焼結体をインダクター素子として用いた場合には、数百
ＭＨｚ帯の周波数を信号として使用することができる。
虚数部が小さく、スヌークの限界則を越えて、数ＧＨｚ
付近の周波数において透磁率の虚数部が大きい材料とし
て、Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェライ
トの結晶構造を有する軟磁性六方晶フェライト焼結体が
提案されている。即ち、軟磁性六方晶フェライト焼結体
をインピーダンス素子や電波吸収体として用いた場合に
は、数百ＭＨｚ帯の周波数を信号周波数として使用で
き、その信号周波数の高調波として生じる数ＧＨｚ付近
のノイズを減衰、吸収できることが期待される。また、
数百ＭＨｚ帯まで透磁率の実数部が低下することなくほ
ぼ一定である材料として、該軟磁性六方晶フェライト焼
結体が提案されている。即ち、軟磁性六方晶フェライト
焼結体をインダクター素子として用いた場合には、数百
ＭＨｚ帯の周波数を信号として使用することができる。
【０００６】しかし、軟磁性六方晶フェライト焼結体
は、焼結密度が高々４.９×１０3ｋｇ／ｍ3程度と低い
という欠点が存在することから、実用上は殆ど利用され
ていない。この事実は、特開２００１−３９７１８号公
報の「六方晶フェライトは高周波での透磁率は優れてい
るものの、焼成体密度が低いため機械的強度の点で不十
分となり、電子機器の表面実装部品として使いづらかっ
た。」なる記載からも明らかである。
は、焼結密度が高々４.９×１０3ｋｇ／ｍ3程度と低い
という欠点が存在することから、実用上は殆ど利用され
ていない。この事実は、特開２００１−３９７１８号公
報の「六方晶フェライトは高周波での透磁率は優れてい
るものの、焼成体密度が低いため機械的強度の点で不十
分となり、電子機器の表面実装部品として使いづらかっ
た。」なる記載からも明らかである。
【０００７】現在使用されている軟磁性立方晶スピネル
型フェライト焼結体の焼結密度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ
3以上であることから、軟磁性六方晶フェライト焼結体
についても同程度の高い焼結密度が強く要求されてい
る。また、焼結密度と透磁率との間には密接な関係があ
り、焼結密度が低いと軟磁性六方晶フェライト焼結体が
本来有している透磁率を発現できない。
型フェライト焼結体の焼結密度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ
3以上であることから、軟磁性六方晶フェライト焼結体
についても同程度の高い焼結密度が強く要求されてい
る。また、焼結密度と透磁率との間には密接な関係があ
り、焼結密度が低いと軟磁性六方晶フェライト焼結体が
本来有している透磁率を発現できない。
【０００８】次に、軟磁性六方晶フェライト焼結体は、
体積固有抵抗が高々１×１０5Ωｍと低いという欠点も
あり、絶縁不良を引き起こす原因となっている。この事
実は、前出特開２００１−３９７１８号公報の「六方晶
フェライトは・・・・。また、スピネルフェライトに比
べて比抵抗が低いため、コイル製作時に絶縁のための対
策をしなければならない場合があり、製作が面倒であ
る。」なる記載からも明らかである。
体積固有抵抗が高々１×１０5Ωｍと低いという欠点も
あり、絶縁不良を引き起こす原因となっている。この事
実は、前出特開２００１−３９７１８号公報の「六方晶
フェライトは・・・・。また、スピネルフェライトに比
べて比抵抗が低いため、コイル製作時に絶縁のための対
策をしなければならない場合があり、製作が面倒であ
る。」なる記載からも明らかである。
【０００９】現在使われている軟磁性立方晶スピネル型
フェライト焼結体(Ｎｉ−Ｚｎ系)の体積固有抵抗が１×
１０6Ωｍ以上であることから、軟磁性六方晶フェライ
ト焼結体についても同程度の高い体積固有抵抗が強く要
求されている。
フェライト焼結体(Ｎｉ−Ｚｎ系)の体積固有抵抗が１×
１０6Ωｍ以上であることから、軟磁性六方晶フェライ
ト焼結体についても同程度の高い体積固有抵抗が強く要
求されている。
【００１０】次に、軟磁性六方晶フェライト焼結体は、
上記焼結密度及び体積固有抵抗の向上と共に、前述した
通り、数百ＭＨｚ帯の信号、電磁波には影響を与えず、
それを越える数ＧＨｚ付近の周波数のノイズ、電磁波を
減衰、吸収するインピーダンス素子、電波吸収体を得る
為には、周波数４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部が
小さく、数ＧＨｚ付近における透磁率の虚数部が大きい
ことが要求されている。また、上記焼結密度及び体積固
有抵抗の向上と共に、前述した通り、数百ＭＨｚ帯まで
利用できるインダクター素子を得る為には、低周波から
数百ＭＨｚ帯までにおける透磁率の実数部が低下するこ
となくほぼ一定に保持できることが要求されている。
上記焼結密度及び体積固有抵抗の向上と共に、前述した
通り、数百ＭＨｚ帯の信号、電磁波には影響を与えず、
それを越える数ＧＨｚ付近の周波数のノイズ、電磁波を
減衰、吸収するインピーダンス素子、電波吸収体を得る
為には、周波数４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部が
小さく、数ＧＨｚ付近における透磁率の虚数部が大きい
ことが要求されている。また、上記焼結密度及び体積固
有抵抗の向上と共に、前述した通り、数百ＭＨｚ帯まで
利用できるインダクター素子を得る為には、低周波から
数百ＭＨｚ帯までにおける透磁率の実数部が低下するこ
となくほぼ一定に保持できることが要求されている。
【００１１】軟磁性六方晶フェライト焼結体の焼結密度
と体積固有抵抗とを向上させる方法が種々提案されてい
る。特開平１０−９２６２４号公報には、ＳｉＯ2とＰ
ｂＯを含有させることによって焼結密度が４.６×１０3
〜４.９×１０3ｋｇ／ｍ3であって、体積固有抵抗が１
０4Ωｍ以上である軟磁性六方晶フェライト焼結体が記
載されている。
と体積固有抵抗とを向上させる方法が種々提案されてい
る。特開平１０−９２６２４号公報には、ＳｉＯ2とＰ
ｂＯを含有させることによって焼結密度が４.６×１０3
〜４.９×１０3ｋｇ／ｍ3であって、体積固有抵抗が１
０4Ωｍ以上である軟磁性六方晶フェライト焼結体が記
載されている。
【００１２】また、特開平９−１１０４３２号公報に
は、ＳｉＯ2とＣａＯを含有させることによって、焼結
密度が４.６×１０3〜５.３×１０3ｋｇ／ｍ3であっ
て、体積固有抵抗が１×１０5〜１×１０6Ωｍである軟
磁性六方晶フェライト焼結体が記載されている。
は、ＳｉＯ2とＣａＯを含有させることによって、焼結
密度が４.６×１０3〜５.３×１０3ｋｇ／ｍ3であっ
て、体積固有抵抗が１×１０5〜１×１０6Ωｍである軟
磁性六方晶フェライト焼結体が記載されている。
【００１３】更に、前出特開２００１−３９７１８号公
報には、Ｍｎ3Ｏ4、Ｂｉ2Ｏ3及びＣｕＯを添加した軟磁
性六方晶フェライト焼結体が記載されている。
報には、Ｍｎ3Ｏ4、Ｂｉ2Ｏ3及びＣｕＯを添加した軟磁
性六方晶フェライト焼結体が記載されている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】高い焼結密度と体積固
有抵抗とを有し、且つ、数百ＭＨｚ帯での透磁率の虚数
部が十分小さく、数ＧＨｚ付近の周波数において透磁率
の虚数部が大きくなるような周波数特性を示すと共に、
低周波から数百ＭＨｚ帯までにおける透磁率の実数部が
低下することなくほぼ一定に保持できる軟磁性六方晶フ
ェライト焼結体は、現在最も要求されているところであ
るが、このような特性を有する軟磁性六方晶フェライト
焼結体は未だ得られていない。
有抵抗とを有し、且つ、数百ＭＨｚ帯での透磁率の虚数
部が十分小さく、数ＧＨｚ付近の周波数において透磁率
の虚数部が大きくなるような周波数特性を示すと共に、
低周波から数百ＭＨｚ帯までにおける透磁率の実数部が
低下することなくほぼ一定に保持できる軟磁性六方晶フ
ェライト焼結体は、現在最も要求されているところであ
るが、このような特性を有する軟磁性六方晶フェライト
焼結体は未だ得られていない。
【００１５】即ち、前出特開平１０−９２６２４号公報
記載の軟磁性六方晶フェライト焼結体は、高い焼結密度
と体積固有抵抗の両立を目指したものであるが、未だ十
分な特性を有しているとは言い難い。また、ＰｂＯを含
有する為、人体に対する毒性を慎重に考慮する必要があ
る。
記載の軟磁性六方晶フェライト焼結体は、高い焼結密度
と体積固有抵抗の両立を目指したものであるが、未だ十
分な特性を有しているとは言い難い。また、ＰｂＯを含
有する為、人体に対する毒性を慎重に考慮する必要があ
る。
【００１６】前出特開平９−１１０４３２号公報記載の
軟磁性六方晶フェライト焼結体は、同様に高い焼結密度
と体積固有抵抗の両立を目指したものであるが、特に体
積固有抵抗において未だ十分とは言い難い。
軟磁性六方晶フェライト焼結体は、同様に高い焼結密度
と体積固有抵抗の両立を目指したものであるが、特に体
積固有抵抗において未だ十分とは言い難い。
【００１７】前出特開２００１−３９７１８号公報記載
の軟磁性六方晶フェライト焼結体は、焼結密度と体積固
有抵抗の改善を図ると共に透磁率の周波数特性をも考慮
したものであるが、数百ＭＨｚ帯の透磁率の虚数部が十
分低減されているとは言い難い。
の軟磁性六方晶フェライト焼結体は、焼結密度と体積固
有抵抗の改善を図ると共に透磁率の周波数特性をも考慮
したものであるが、数百ＭＨｚ帯の透磁率の虚数部が十
分低減されているとは言い難い。
【００１８】そこで、本発明は、高い焼結密度と体積固
有抵抗とを有し、且つ、数百ＭＨｚ帯での透磁率の虚数
部が十分小さく、数ＧＨｚ付近の周波数において透磁率
の虚数部が大きくなるような周波数特性を示すと共に、
低周波から数百ＭＨｚ帯までにおける透磁率の実数部が
低下することなくほぼ一定に保持できる周波数特性を示
す軟磁性六方晶フェライト焼結体を得る為に用いられる
軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を得ることを技術
的課題とする。
有抵抗とを有し、且つ、数百ＭＨｚ帯での透磁率の虚数
部が十分小さく、数ＧＨｚ付近の周波数において透磁率
の虚数部が大きくなるような周波数特性を示すと共に、
低周波から数百ＭＨｚ帯までにおける透磁率の実数部が
低下することなくほぼ一定に保持できる周波数特性を示
す軟磁性六方晶フェライト焼結体を得る為に用いられる
軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を得ることを技術
的課題とする。
【００１９】
【課題を解決する為の手段】前記技術的課題は次の通り
の本発明によって達成できる。即ち、本発明は、Ｚ型フ
ェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェライトを主相と
する軟磁性六方晶フェライト粒子粉末１００重量部に対
し、炭酸バリウム粒子粉末又は炭酸ストロンチウム粒子
粉末若しくは当該両炭酸塩粒子粉末１〜１０重量部と二
酸化ケイ素粒子粉末０.５〜５重量部とを配合したこと
を特徴とする軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末であ
る。(発明１)
の本発明によって達成できる。即ち、本発明は、Ｚ型フ
ェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェライトを主相と
する軟磁性六方晶フェライト粒子粉末１００重量部に対
し、炭酸バリウム粒子粉末又は炭酸ストロンチウム粒子
粉末若しくは当該両炭酸塩粒子粉末１〜１０重量部と二
酸化ケイ素粒子粉末０.５〜５重量部とを配合したこと
を特徴とする軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末であ
る。(発明１)
【００２０】また、本発明は、発明１の軟磁性六方晶フ
ェライト複合粒子粉末と結合材料とを用いてシート状に
成膜してなるグリーンシートである。（発明２)
ェライト複合粒子粉末と結合材料とを用いてシート状に
成膜してなるグリーンシートである。（発明２)
【００２１】また、本発明は、発明１の軟磁性六方晶フ
ェライト複合粒子粉末を成型した後焼成してなる焼結密
度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以上であって体積固有抵抗
が１×１０6Ωｍ以上であり、４００ＭＨｚにおける透
磁率の虚数部が１以下であることを特徴とする軟磁性六
方晶フェライト焼結体である。（発明３）
ェライト複合粒子粉末を成型した後焼成してなる焼結密
度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以上であって体積固有抵抗
が１×１０6Ωｍ以上であり、４００ＭＨｚにおける透
磁率の虚数部が１以下であることを特徴とする軟磁性六
方晶フェライト焼結体である。（発明３）
【００２２】また、本発明は、発明２のグリーンシート
を積層した後焼成してなる焼結密度が５.０×１０3ｋｇ
／ｍ3以上であって体積固有抵抗が１×１０6Ωｍ以上で
あり、４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部が１以下で
あることを特徴とする軟磁性六方晶フェライト焼結体で
ある。（発明４）
を積層した後焼成してなる焼結密度が５.０×１０3ｋｇ
／ｍ3以上であって体積固有抵抗が１×１０6Ωｍ以上で
あり、４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部が１以下で
あることを特徴とする軟磁性六方晶フェライト焼結体で
ある。（発明４）
【００２３】本発明の構成をより詳しく説明すれば、次
の通りである。
の通りである。
【００２４】先ず、本発明に係る軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末について述べる。本発明に係る軟磁性六
方晶フェライト複合粒子粉末は、Ｚ型フェライト、Ｙ型
フェライト又はＷ型フェライトを主相とする軟磁性六方
晶フェライト粒子粉末１００重量部に対し、炭酸バリウ
ム粒子粉末又は炭酸ストロンチウム粒子粉末若しくは当
該両炭酸塩粒子粉末１〜１０重量部と二酸化ケイ素粒子
粉末０.５〜５重量部とを配合したものである。
ト複合粒子粉末について述べる。本発明に係る軟磁性六
方晶フェライト複合粒子粉末は、Ｚ型フェライト、Ｙ型
フェライト又はＷ型フェライトを主相とする軟磁性六方
晶フェライト粒子粉末１００重量部に対し、炭酸バリウ
ム粒子粉末又は炭酸ストロンチウム粒子粉末若しくは当
該両炭酸塩粒子粉末１〜１０重量部と二酸化ケイ素粒子
粉末０.５〜５重量部とを配合したものである。
【００２５】Ｚ型フェライトを主相とする軟磁性六方晶
フェライト粒子粉末は、組成が酸化物換算で１５〜２５
ｍｏｌ％のＡＯ（ＡはＢａ、Ｓｒ又はＢａ−Ｓｒ）、５
〜１５ｍｏｌ％のＭｅ1Ｏ（Ｍｅ1はＣｏとＮｉ、Ｚｎ，
Ｃｕ，Ｍｇ，Ｍｎから選ばれた１種又は２種以上の元素
とからなり、Ｃｏ量はＭｅ1総量に対して少なくとも３
０ｍｏｌ％である。）及び６５〜７５ｍｏｌ％のＦｅ2
Ｏ3からなることが好ましく、より好ましくは、１６〜
２２ｍｏｌ％のＡＯ、８〜１４ｍｏｌ％のＭｅ1Ｏ及び
６７〜７３ｍｏｌ％のＦｅ2Ｏ3である。組成が上記範囲
外である場合には、主相以外のＹ型フェライト及びＷ型
フェライトの生成量が多くなり、得られる軟磁性六方晶
フェライト焼結体本来の透磁率の周波数特性を実現でき
ない。
フェライト粒子粉末は、組成が酸化物換算で１５〜２５
ｍｏｌ％のＡＯ（ＡはＢａ、Ｓｒ又はＢａ−Ｓｒ）、５
〜１５ｍｏｌ％のＭｅ1Ｏ（Ｍｅ1はＣｏとＮｉ、Ｚｎ，
Ｃｕ，Ｍｇ，Ｍｎから選ばれた１種又は２種以上の元素
とからなり、Ｃｏ量はＭｅ1総量に対して少なくとも３
０ｍｏｌ％である。）及び６５〜７５ｍｏｌ％のＦｅ2
Ｏ3からなることが好ましく、より好ましくは、１６〜
２２ｍｏｌ％のＡＯ、８〜１４ｍｏｌ％のＭｅ1Ｏ及び
６７〜７３ｍｏｌ％のＦｅ2Ｏ3である。組成が上記範囲
外である場合には、主相以外のＹ型フェライト及びＷ型
フェライトの生成量が多くなり、得られる軟磁性六方晶
フェライト焼結体本来の透磁率の周波数特性を実現でき
ない。
【００２６】Ｙ型フェライトを主相とする軟磁性六方晶
フェライト粒子粉末は、組成が酸化物換算で１０〜３０
ｍｏｌ％のＡＯ（ＡはＢａ、Ｓｒ又はＢａ−Ｓｒ）、１
０〜３０ｍｏｌ％のＭｅ2Ｏ（Ｍｅ2はＮｉ、Ｚｎ、Ｃ
ｕ、Ｍｇ、Ｍｎから選ばれた１種又は２種以上の元素）
及び５５〜６５ｍｏｌ％のＦｅ2Ｏ3からなることが好ま
しく、より好ましくは、１３〜２７ｍｏｌ％のＡＯ、１
３〜２７ｍｏｌ％のＭｅ 2Ｏ及び５７〜６３ｍｏｌ％の
Ｆｅ2Ｏ3である。組成が上記範囲外である場合には、主
相以外のＺ型フェライト及びＷ型フェライトの生成量が
多くなり、得られる軟磁性六方晶フェライト焼結体本来
の透磁率の周波数特性を実現できない。
フェライト粒子粉末は、組成が酸化物換算で１０〜３０
ｍｏｌ％のＡＯ（ＡはＢａ、Ｓｒ又はＢａ−Ｓｒ）、１
０〜３０ｍｏｌ％のＭｅ2Ｏ（Ｍｅ2はＮｉ、Ｚｎ、Ｃ
ｕ、Ｍｇ、Ｍｎから選ばれた１種又は２種以上の元素）
及び５５〜６５ｍｏｌ％のＦｅ2Ｏ3からなることが好ま
しく、より好ましくは、１３〜２７ｍｏｌ％のＡＯ、１
３〜２７ｍｏｌ％のＭｅ 2Ｏ及び５７〜６３ｍｏｌ％の
Ｆｅ2Ｏ3である。組成が上記範囲外である場合には、主
相以外のＺ型フェライト及びＷ型フェライトの生成量が
多くなり、得られる軟磁性六方晶フェライト焼結体本来
の透磁率の周波数特性を実現できない。
【００２７】Ｗ型フェライトを主相とする軟磁性六方晶
フェライト粒子粉末は、組成が酸化物換算で５〜１４ｍ
ｏｌ％のＡＯ（ＡはＢａ、Ｓｒ又はＢａ−Ｓｒ）、１０
〜３０ｍｏｌ％のＭｅ3Ｏ（Ｍｅ3はＣｏとＮｉ、Ｚｎ，
Ｃｕ，Ｍｇ，Ｍｎから選ばれた１種又は２種以上の元素
とからなり、Ｃｏ量はＭｅ3総量に対して少なくとも３
０ｍｏｌ％である。）及び６５〜８０ｍｏｌ％のＦｅ2
Ｏ3からなることが好ましく、より好ましくは、７〜１
３ｍｏｌ％のＡＯ、１３〜２７ｍｏｌ％のＭｅ3Ｏ及び
６６〜７７ｍｏｌ％のＦｅ2Ｏ3である。組成が上記範囲
外である場合には、主相以外のＺ型フェライト及びＹ型
フェライトの生成量が多くなり、得られる軟磁性六方晶
フェライト焼結体本来の透磁率の周波数特性を実現でき
ない。
フェライト粒子粉末は、組成が酸化物換算で５〜１４ｍ
ｏｌ％のＡＯ（ＡはＢａ、Ｓｒ又はＢａ−Ｓｒ）、１０
〜３０ｍｏｌ％のＭｅ3Ｏ（Ｍｅ3はＣｏとＮｉ、Ｚｎ，
Ｃｕ，Ｍｇ，Ｍｎから選ばれた１種又は２種以上の元素
とからなり、Ｃｏ量はＭｅ3総量に対して少なくとも３
０ｍｏｌ％である。）及び６５〜８０ｍｏｌ％のＦｅ2
Ｏ3からなることが好ましく、より好ましくは、７〜１
３ｍｏｌ％のＡＯ、１３〜２７ｍｏｌ％のＭｅ3Ｏ及び
６６〜７７ｍｏｌ％のＦｅ2Ｏ3である。組成が上記範囲
外である場合には、主相以外のＺ型フェライト及びＹ型
フェライトの生成量が多くなり、得られる軟磁性六方晶
フェライト焼結体本来の透磁率の周波数特性を実現でき
ない。
【００２８】軟磁性六方晶フェライト粒子粉末の主相
は、Ｘ線回折により決定する。即ち、Ｚ型フェライト相
の（１ ０ １６）面の反射強度、Ｙ型フェライト相の
（１ ０１３）面の反射強度及びＷ型フェライト相の
（１ １ ６)面の反射強度のうち、最も強い反射強度を
示す相を主相とする。
は、Ｘ線回折により決定する。即ち、Ｚ型フェライト相
の（１ ０ １６）面の反射強度、Ｙ型フェライト相の
（１ ０１３）面の反射強度及びＷ型フェライト相の
（１ １ ６)面の反射強度のうち、最も強い反射強度を
示す相を主相とする。
【００２９】Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型
フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉
末における副相の生成量は、上記反射面のうち最も強い
反射強度を示す主相を１とした場合の相対強度で表さ
れ、相対強度が副相の合計で０.７以下が好ましい。相
対強度が上記範囲を越えた場合には、主相本来の透磁率
の周波数特性を実現できない。副相の生成量は、より好
ましくは副相の合計で０.６５以下である。その下限値
は０である。
フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉
末における副相の生成量は、上記反射面のうち最も強い
反射強度を示す主相を１とした場合の相対強度で表さ
れ、相対強度が副相の合計で０.７以下が好ましい。相
対強度が上記範囲を越えた場合には、主相本来の透磁率
の周波数特性を実現できない。副相の生成量は、より好
ましくは副相の合計で０.６５以下である。その下限値
は０である。
【００３０】Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型
フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉
末は、上記組成割合になるように配合した各元素の酸化
物原料、炭酸塩原料、シュウ酸塩原料及び水酸化物原料
等の原料粒子粉末の混合物を常法により、大気中におい
て１１００〜１３００℃の温度範囲で１〜２０時間仮焼
成した後粉砕することによって得ることができる。Ｚ型
フェライト、Ｙ型フェライト及びＷ型フェライトのそれ
ぞれを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉末を得
る場合の最適な仮焼成温度は、それぞれ１２５０℃、１
２００℃及び１２５０℃付近である。
フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉
末は、上記組成割合になるように配合した各元素の酸化
物原料、炭酸塩原料、シュウ酸塩原料及び水酸化物原料
等の原料粒子粉末の混合物を常法により、大気中におい
て１１００〜１３００℃の温度範囲で１〜２０時間仮焼
成した後粉砕することによって得ることができる。Ｚ型
フェライト、Ｙ型フェライト及びＷ型フェライトのそれ
ぞれを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉末を得
る場合の最適な仮焼成温度は、それぞれ１２５０℃、１
２００℃及び１２５０℃付近である。
【００３１】本発明において配合される炭酸バリウム粒
子粉末又は炭酸ストロンチウム粒子粉末は、平均粒子径
が好ましくは０.５〜５０μｍ、より好ましくは０.５〜
４０μｍであって、ＢＥＴ比表面積が好ましくは０.１
〜４０ｍ2／ｇ、より好ましくは０.１〜３０ｍ2／ｇで
ある。
子粉末又は炭酸ストロンチウム粒子粉末は、平均粒子径
が好ましくは０.５〜５０μｍ、より好ましくは０.５〜
４０μｍであって、ＢＥＴ比表面積が好ましくは０.１
〜４０ｍ2／ｇ、より好ましくは０.１〜３０ｍ2／ｇで
ある。
【００３２】炭酸バリウム等の配合量は、軟磁性六方晶
フェライト粒子粉末１００重量部に対して１〜１０重量
部、好ましくは１〜７重量部である。配合量が該範囲外
である場合は、目的とする焼結密度が５.０×１０3ｋｇ
／ｍ3以上の軟磁性六方晶フェライト焼結体を得ること
が困難となり、機械的強度の点で不十分となる。
フェライト粒子粉末１００重量部に対して１〜１０重量
部、好ましくは１〜７重量部である。配合量が該範囲外
である場合は、目的とする焼結密度が５.０×１０3ｋｇ
／ｍ3以上の軟磁性六方晶フェライト焼結体を得ること
が困難となり、機械的強度の点で不十分となる。
【００３３】本発明において配合される二酸化ケイ素粒
子粉末は、平均粒子径が好ましくは０.５〜５０μｍ、
より好ましくは１〜４０μｍである。
子粉末は、平均粒子径が好ましくは０.５〜５０μｍ、
より好ましくは１〜４０μｍである。
【００３４】二酸化ケイ素粒子粉末の配合量は、軟磁性
六方晶フェライト粒子粉末１００重量部に対し０.５〜
５重量部、より好ましくは０.７〜４重量部である。０.
５重量部未満の場合は、目的とする体積固有抵抗が１×
１０6Ωｍ以上の軟磁性六方晶フェライト焼結体を得る
ことが困難である。また、本発明に係る軟磁性六方晶フ
ェライト焼結体の４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部
は１を越え、数百ＭＨｚ帯で磁気的損失が増加する為、
その帯域の信号を利用することができない。配合量が５
重量部を越える場合は、４００ＭＨｚにおける透磁率の
虚数部は１より小さくなるが、目的とする焼結密度が
５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以上の軟磁性六方晶フェライト
焼結体を得ることが困難となり、機械的強度の点で不十
分となる。
六方晶フェライト粒子粉末１００重量部に対し０.５〜
５重量部、より好ましくは０.７〜４重量部である。０.
５重量部未満の場合は、目的とする体積固有抵抗が１×
１０6Ωｍ以上の軟磁性六方晶フェライト焼結体を得る
ことが困難である。また、本発明に係る軟磁性六方晶フ
ェライト焼結体の４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部
は１を越え、数百ＭＨｚ帯で磁気的損失が増加する為、
その帯域の信号を利用することができない。配合量が５
重量部を越える場合は、４００ＭＨｚにおける透磁率の
虚数部は１より小さくなるが、目的とする焼結密度が
５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以上の軟磁性六方晶フェライト
焼結体を得ることが困難となり、機械的強度の点で不十
分となる。
【００３５】本発明に係る軟磁性六方晶フェライト複合
粒子粉末は、平均粒子径が好ましくは０.１〜３０μ
ｍ、より好ましくは０.１〜２０μｍであって、ＢＥＴ
比表面積が好ましくは０.１〜４０ｍ2／ｇ、より好まし
くは０.５〜４０ｍ2／ｇである。磁気特性は、飽和磁化
が好ましくは２０〜６０Ａｍ2／ｋｇ、より好ましくは
２５〜５５Ａｍ2／ｋｇであって、保磁力が好ましくは
０.５０〜５０ｋＡ／ｍ、より好ましくは１.０〜３０ｋ
Ａ／ｍである。
粒子粉末は、平均粒子径が好ましくは０.１〜３０μ
ｍ、より好ましくは０.１〜２０μｍであって、ＢＥＴ
比表面積が好ましくは０.１〜４０ｍ2／ｇ、より好まし
くは０.５〜４０ｍ2／ｇである。磁気特性は、飽和磁化
が好ましくは２０〜６０Ａｍ2／ｋｇ、より好ましくは
２５〜５５Ａｍ2／ｋｇであって、保磁力が好ましくは
０.５０〜５０ｋＡ／ｍ、より好ましくは１.０〜３０ｋ
Ａ／ｍである。
【００３６】上記平均粒子径及びＢＥＴ比表面積の各特
性が上記範囲外である場合は、後述するグリーンシート
製造過程における軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末
の塗料中への均一分散が困難となり、特性にバラツキが
ある焼結体となりやすい。
性が上記範囲外である場合は、後述するグリーンシート
製造過程における軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末
の塗料中への均一分散が困難となり、特性にバラツキが
ある焼結体となりやすい。
【００３７】上記飽和磁化及び保磁力の各磁気特性が上
記範囲外である場合には、本発明の目的とする軟磁性六
方晶フェライト焼結体を得ることが困難となる。
記範囲外である場合には、本発明の目的とする軟磁性六
方晶フェライト焼結体を得ることが困難となる。
【００３８】次に、本発明に係る軟磁性六方晶フェライ
ト焼結体について述べる。軟磁性六方晶フェライト焼結
体は、用いたＺ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型
フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉
末の前記組成とほぼ同じである。組成が範囲外である場
合には、副相の生成量が多くなり、主相本来の透磁率の
周波数特性を実現できない
ト焼結体について述べる。軟磁性六方晶フェライト焼結
体は、用いたＺ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型
フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子粉
末の前記組成とほぼ同じである。組成が範囲外である場
合には、副相の生成量が多くなり、主相本来の透磁率の
周波数特性を実現できない
【００３９】本発明に係る軟磁性六方晶フェライト焼結
体は、焼結密度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以上、好まし
くは５.０×１０3〜５.３×１０3ｋｇ／ｍ3であって体
積固有抵抗が１×１０6Ωｍ以上、好ましくは１×１０6
〜５×１０9Ωｍである。
体は、焼結密度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以上、好まし
くは５.０×１０3〜５.３×１０3ｋｇ／ｍ3であって体
積固有抵抗が１×１０6Ωｍ以上、好ましくは１×１０6
〜５×１０9Ωｍである。
【００４０】焼結密度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ3未満の
場合は、機械的強度の点で不十分となる。機械的強度の
点から焼結密度は高い方が良いが、その上限は５.３×
１０3ｋｇ／ｍ3である。体積固有抵抗が１×１０6Ωｍ
未満の場合は、絶縁不良を引き起こす。絶縁不良を改善
するためには体積固有抵抗は高い方が良い。
場合は、機械的強度の点で不十分となる。機械的強度の
点から焼結密度は高い方が良いが、その上限は５.３×
１０3ｋｇ／ｍ3である。体積固有抵抗が１×１０6Ωｍ
未満の場合は、絶縁不良を引き起こす。絶縁不良を改善
するためには体積固有抵抗は高い方が良い。
【００４１】本発明に係る軟磁性六方晶フェライト焼結
体は、４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部は１以下、
好ましくは０.７以下であって、低周波から数百ＭＨｚ
帯までにおける透磁率の実数部が低下することなくほぼ
一定に保持できる。
体は、４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部は１以下、
好ましくは０.７以下であって、低周波から数百ＭＨｚ
帯までにおける透磁率の実数部が低下することなくほぼ
一定に保持できる。
【００４２】本発明に係る軟磁性六方晶フェライト焼結
体の透磁率の周波数特性について以下に具体的に説明す
る。後出実施例１で得られた軟磁性六方晶フェライト焼
結体の透磁率の周波数特性を図１に示す。図１中、細線
が透磁率の実数部（以下、μ′で示す。）であり、太線
が虚数部（以下、μ″で示す。）である。μ′は低周波
側では低下することなく一定の値を保持しているが、約
３００ＭＨｚから一旦増加した後約８００ＭＨｚで減少
を始め、約５ＧＨｚでほぼ１となる。μ″は低周波側で
は殆ど０であるが、約３００ＭＨｚから増加を始め、共
鳴周波数（ｆr＝１.４ＧＨｚ）で最大値を示した後高周
波側では次第に減少していく。
体の透磁率の周波数特性について以下に具体的に説明す
る。後出実施例１で得られた軟磁性六方晶フェライト焼
結体の透磁率の周波数特性を図１に示す。図１中、細線
が透磁率の実数部（以下、μ′で示す。）であり、太線
が虚数部（以下、μ″で示す。）である。μ′は低周波
側では低下することなく一定の値を保持しているが、約
３００ＭＨｚから一旦増加した後約８００ＭＨｚで減少
を始め、約５ＧＨｚでほぼ１となる。μ″は低周波側で
は殆ど０であるが、約３００ＭＨｚから増加を始め、共
鳴周波数（ｆr＝１.４ＧＨｚ）で最大値を示した後高周
波側では次第に減少していく。
【００４３】一方、従来から用いられている後出比較例
７で得られた軟磁性立方晶スピネル型フェライト焼結体
の場合には、図２に示す通り、μ′が約１５ＭＨｚから
一旦増加した後約５０ＭＨｚ付近から減少し始め、数Ｇ
Ｈｚでほぼ１となる。また、μ″は約２０ＭＨｚから増
加を始め、共鳴周波数（ｆr＝約１００ＭＨｚ）で最大
値を示した後高周波側では次第に減少していく。
７で得られた軟磁性立方晶スピネル型フェライト焼結体
の場合には、図２に示す通り、μ′が約１５ＭＨｚから
一旦増加した後約５０ＭＨｚ付近から減少し始め、数Ｇ
Ｈｚでほぼ１となる。また、μ″は約２０ＭＨｚから増
加を始め、共鳴周波数（ｆr＝約１００ＭＨｚ）で最大
値を示した後高周波側では次第に減少していく。
【００４４】即ち、本発明に係る軟磁性六方晶フェライ
ト焼結体のμ″のピークは、従来から用いられている軟
磁性立方晶スピネル型フェライト焼結体のそれより高周
波側にずれていることが分かる。また、μ′が低下する
ことなく一定の値を保持している周波数範囲が高周波側
に伸びていることが分かる。
ト焼結体のμ″のピークは、従来から用いられている軟
磁性立方晶スピネル型フェライト焼結体のそれより高周
波側にずれていることが分かる。また、μ′が低下する
ことなく一定の値を保持している周波数範囲が高周波側
に伸びていることが分かる。
【００４５】ここで重要なのは磁気的損失に対応する
μ″の周波数特性であって、これが大きい範囲において
インピーダンス素子がノイズを減衰させるという事実で
ある。つまり、現在利用が進められようとしている数百
ＭＨｚ帯の信号を減衰させずに通過させる為には、その
周波数帯のμ″をできるだけ小さくする必要があり、更
に、その信号の高調波として生じる数ＧＨｚ付近のノイ
ズを減衰させる為には、数ＧＨｚ付近の周波数帯でμ″
が大きくなるように、即ち、共鳴周波数が数ＧＨｚ付近
になるように透磁率の周波数特性を調節する必要があ
る。
μ″の周波数特性であって、これが大きい範囲において
インピーダンス素子がノイズを減衰させるという事実で
ある。つまり、現在利用が進められようとしている数百
ＭＨｚ帯の信号を減衰させずに通過させる為には、その
周波数帯のμ″をできるだけ小さくする必要があり、更
に、その信号の高調波として生じる数ＧＨｚ付近のノイ
ズを減衰させる為には、数ＧＨｚ付近の周波数帯でμ″
が大きくなるように、即ち、共鳴周波数が数ＧＨｚ付近
になるように透磁率の周波数特性を調節する必要があ
る。
【００４６】本発明によれば、図１に示したように４０
０ＭＨｚにおけるμ″を１以下、好ましくは０.７以下
にすることができると共に共鳴周波数を数ＧＨｚ以上に
することができ、更に共鳴周波数におけるμ″を１.０
以上、更に好ましくは１.３以上にすることができる。
０ＭＨｚにおけるμ″を１以下、好ましくは０.７以下
にすることができると共に共鳴周波数を数ＧＨｚ以上に
することができ、更に共鳴周波数におけるμ″を１.０
以上、更に好ましくは１.３以上にすることができる。
【００４７】更に、ここで重要なのはインダクタンス成
分に対応するμ′の周波数特性であって、インダクター
素子が数百ＭＨｚ帯で動作する為には、その周波数範囲
でμ′がほぼ一定であり減少しないことが必要である。
本発明によれば、図１に示したようにμ′が減少し始め
る周波数を数百ＭＨｚ以上にすることができる。
分に対応するμ′の周波数特性であって、インダクター
素子が数百ＭＨｚ帯で動作する為には、その周波数範囲
でμ′がほぼ一定であり減少しないことが必要である。
本発明によれば、図１に示したようにμ′が減少し始め
る周波数を数百ＭＨｚ以上にすることができる。
【００４８】本発明においては、透磁率の虚数部の大き
さの指標として、４００ＭＨｚ及び共鳴周波数における
透磁率の虚数部（μ″）の値で示した。また、透磁率の
実数部が低下することなく一定である周波数範囲の上限
の指標として、透磁率の実数部(μ′)が減少し始める周
波数で示した。従来の軟磁性六方晶フェライト焼結体及
び軟磁性立方晶スピネル型フェライト焼結体では４００
ＭＨｚにおけるμ″が１を越えており、数百ＭＨｚ帯に
おける磁気損失が大きいことから、これを用いたインピ
ーダンス素子では数百ＭＨｚ帯の信号を減衰させずに通
過させることはできなかった。
さの指標として、４００ＭＨｚ及び共鳴周波数における
透磁率の虚数部（μ″）の値で示した。また、透磁率の
実数部が低下することなく一定である周波数範囲の上限
の指標として、透磁率の実数部(μ′)が減少し始める周
波数で示した。従来の軟磁性六方晶フェライト焼結体及
び軟磁性立方晶スピネル型フェライト焼結体では４００
ＭＨｚにおけるμ″が１を越えており、数百ＭＨｚ帯に
おける磁気損失が大きいことから、これを用いたインピ
ーダンス素子では数百ＭＨｚ帯の信号を減衰させずに通
過させることはできなかった。
【００４９】共鳴周波数は、好ましくは１ＧＨｚ以上で
ある。１ＧＨｚ未満の場合は、数百ＭＨｚ帯の透磁率の
虚数部、即ち、磁気的損失が大きくなる為、数百ＭＨｚ
帯の信号を減衰させてしまう。
ある。１ＧＨｚ未満の場合は、数百ＭＨｚ帯の透磁率の
虚数部、即ち、磁気的損失が大きくなる為、数百ＭＨｚ
帯の信号を減衰させてしまう。
【００５０】共鳴周波数における透磁率の虚数部は、好
ましくは１.０以上、更に好ましくは１.３以上である。
１.０未満の場合は、数ＧＨｚ付近のノイズを十分に減
衰させることができない。
ましくは１.０以上、更に好ましくは１.３以上である。
１.０未満の場合は、数ＧＨｚ付近のノイズを十分に減
衰させることができない。
【００５１】透磁率の実数部が減少し始める周波数は、
好ましくは５００ＭＨｚ以上、更に好ましくは７００Ｍ
Ｈｚ以上である。５００ＭＨｚ未満の場合は、低周波か
ら数百ＭＨｚ帯まで透磁率の実数部を低下することなく
一定にすることができない。
好ましくは５００ＭＨｚ以上、更に好ましくは７００Ｍ
Ｈｚ以上である。５００ＭＨｚ未満の場合は、低周波か
ら数百ＭＨｚ帯まで透磁率の実数部を低下することなく
一定にすることができない。
【００５２】本発明に係る軟磁性六方晶フェライト焼結
体は、本発明に係る軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉
末を金型を用いて０.３×１０4〜３×１０4ｔ／ｍ2の圧
力で加圧する、所謂、粉末加圧成型法により得られた成
型体又は本発明に係る軟磁性六方晶フェライト複合粒子
粉末を含有するグリーンシートを積層して得られた、所
謂、グリーンシート法により得られた積層体を好ましく
は１１００〜１３００℃の温度範囲で１〜２０時間、好
ましくは２〜１０時間焼成することによって得ることが
できる。成型方法としては、公知のいずれの方法をも使
用することができるが、上記粉末加圧成型法や、グリー
ンシート法が好ましい。
体は、本発明に係る軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉
末を金型を用いて０.３×１０4〜３×１０4ｔ／ｍ2の圧
力で加圧する、所謂、粉末加圧成型法により得られた成
型体又は本発明に係る軟磁性六方晶フェライト複合粒子
粉末を含有するグリーンシートを積層して得られた、所
謂、グリーンシート法により得られた積層体を好ましく
は１１００〜１３００℃の温度範囲で１〜２０時間、好
ましくは２〜１０時間焼成することによって得ることが
できる。成型方法としては、公知のいずれの方法をも使
用することができるが、上記粉末加圧成型法や、グリー
ンシート法が好ましい。
【００５３】焼成温度が１１００℃未満の場合は、本発
明の目的とする焼結密度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以上
の軟磁性六方晶フェライト焼結体を得ることが困難とな
る。焼成温度が１３００℃を越える場合にも、本発明の
目的とする軟磁性六方晶フェライト焼結体が得られる
が、工業性及び経済性を考慮するとその上限は１３００
℃である。
明の目的とする焼結密度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以上
の軟磁性六方晶フェライト焼結体を得ることが困難とな
る。焼成温度が１３００℃を越える場合にも、本発明の
目的とする軟磁性六方晶フェライト焼結体が得られる
が、工業性及び経済性を考慮するとその上限は１３００
℃である。
【００５４】次に、本発明に係るグリーンシートについ
て述べる。グリーンシートとは積層チップ部品を製造す
る際の被焼成物となるもので、軟磁性六方晶フェライト
複合粒子粉末を結合材料、可塑剤及び溶剤等と混合する
ことによって塗料とし、該塗料をドクターブレード式コ
ーター等で数μｍから数百μｍの厚さに成膜した後乾燥
してなるシートである。
て述べる。グリーンシートとは積層チップ部品を製造す
る際の被焼成物となるもので、軟磁性六方晶フェライト
複合粒子粉末を結合材料、可塑剤及び溶剤等と混合する
ことによって塗料とし、該塗料をドクターブレード式コ
ーター等で数μｍから数百μｍの厚さに成膜した後乾燥
してなるシートである。
【００５５】本発明に係るグリーンシートは、Ｚ型フェ
ライト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェライトを主相とす
る軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末１００重量部と
結合材料が好ましくは２〜２０重量部、より好ましくは
４〜１５重量部と可塑剤が好ましくは０.５〜１５重量
部、より好ましくは２〜１０重量部とからなる。また、
成膜後の乾燥が不十分なことによって溶剤が残留してい
てもよい。
ライト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェライトを主相とす
る軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末１００重量部と
結合材料が好ましくは２〜２０重量部、より好ましくは
４〜１５重量部と可塑剤が好ましくは０.５〜１５重量
部、より好ましくは２〜１０重量部とからなる。また、
成膜後の乾燥が不十分なことによって溶剤が残留してい
てもよい。
【００５６】結合材料の種類は、ポリビニルブチラー
ル、ポリアクリル酸エステル、ポリメチルメタクリレー
ト、塩化ビニル、ポリメタクリル酸エステル、エチルセ
ルロース、アビエチン酸レジン等であり、ポリビニルブ
チラールが好ましい。
ル、ポリアクリル酸エステル、ポリメチルメタクリレー
ト、塩化ビニル、ポリメタクリル酸エステル、エチルセ
ルロース、アビエチン酸レジン等であり、ポリビニルブ
チラールが好ましい。
【００５７】結合材料が２重量部未満の場合は、グリー
ンシートが脆くなりやすい。強度の点からその上限値は
２０重量部で十分である。
ンシートが脆くなりやすい。強度の点からその上限値は
２０重量部で十分である。
【００５８】可塑剤の種類は、フタル酸ベンジルｎ−ブ
チル、ジブチルフタレート、ジメチルフタレート、ポリ
エチレングリコール、フタール酸エステル、ブチルステ
アレート、メチルアジテート等であり、フタル酸ベンジ
ルｎ−ブチルが好ましい。
チル、ジブチルフタレート、ジメチルフタレート、ポリ
エチレングリコール、フタール酸エステル、ブチルステ
アレート、メチルアジテート等であり、フタル酸ベンジ
ルｎ−ブチルが好ましい。
【００５９】可塑剤が０.５重量部未満の場合は、グリ
ーンシートが固くなり、ひび割れを生じやすくなる。可
塑剤が１５重量部を越える場合は、グリーンシートが軟
らかくなる。
ーンシートが固くなり、ひび割れを生じやすくなる。可
塑剤が１５重量部を越える場合は、グリーンシートが軟
らかくなる。
【００６０】本発明に係るグリーンシートの製造にあた
っては、Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェ
ライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉
末１００重量部に対して、２０〜１５０重量部の溶剤を
使用する。より好ましくは３０〜１２０重量部である。
溶剤が上記範囲外である場合は、均一なグリーンシート
が得られないので、得られる焼結体は、特性にバラツキ
があるものとなりやすい。
っては、Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェ
ライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉
末１００重量部に対して、２０〜１５０重量部の溶剤を
使用する。より好ましくは３０〜１２０重量部である。
溶剤が上記範囲外である場合は、均一なグリーンシート
が得られないので、得られる焼結体は、特性にバラツキ
があるものとなりやすい。
【００６１】グリーンシートの製造に用いる溶剤の種類
は、アセトン、エチルアルコール、ベンゼン、ブタノー
ル、エタノール、メチルエチルケトン、トルエン、プロ
ピルアルコール等であり、メチルエチルケトン、トルエ
ンが好ましい。
は、アセトン、エチルアルコール、ベンゼン、ブタノー
ル、エタノール、メチルエチルケトン、トルエン、プロ
ピルアルコール等であり、メチルエチルケトン、トルエ
ンが好ましい。
【００６２】
【発明の実施の形態】本発明の代表的な実施の形態は、
次の通りである。尚、以下の発明の実施の形態並びに後
出実施例及び比較例における軟磁性六方晶フェライト複
合粒子粉末の平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布測
定装置（Ｓｙｍｐａｔｅｃ ＧｍｂＨ製）で測定したｘ
50の値で示した。
次の通りである。尚、以下の発明の実施の形態並びに後
出実施例及び比較例における軟磁性六方晶フェライト複
合粒子粉末の平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布測
定装置（Ｓｙｍｐａｔｅｃ ＧｍｂＨ製）で測定したｘ
50の値で示した。
【００６３】ＢＥＴ比表面積はＭｏｎｏＳｏｒｂ ＭＳ
−ＩＩ（湯浅アイオニックス（株）製）を用いてＢＥＴ
法により求めた。
−ＩＩ（湯浅アイオニックス（株）製）を用いてＢＥＴ
法により求めた。
【００６４】飽和磁化と保磁力は、振動試料型磁力計Ｖ
ＳＭ−３Ｓ（東英工業（株）製）で測定し、印加磁場を
１０ｋＯｅとした時の値で示した。
ＳＭ−３Ｓ（東英工業（株）製）で測定し、印加磁場を
１０ｋＯｅとした時の値で示した。
【００６５】生成相の同定には、Ｘ線回折装置ＲＡＤ−
ＡＩＩ（理学電機（株）製）を用いた。
ＡＩＩ（理学電機（株）製）を用いた。
【００６６】焼結密度は、円柱状試料（高さ２ｍｍ×直
径２５ｍｍ）の外径寸法から求めた体積と重量から算出
した。
径２５ｍｍ）の外径寸法から求めた体積と重量から算出
した。
【００６７】体積固有抵抗は、ハイ・レジスタンス・メ
ーター４３２９Ａ（アジレント・テクノロジー（株）
製）を用いて測定した値と上記試料の外径寸法から算出
した。
ーター４３２９Ａ（アジレント・テクノロジー（株）
製）を用いて測定した値と上記試料の外径寸法から算出
した。
【００６８】透磁率の周波数特性は、サンプルホルダー
（（株）関東電子応用開発 製）に外径７ｍｍ内径３ｍ
ｍのリング状焼結体試料を挿入した後、ネットワークア
ナライザーＨＰ８７５３Ｃ（アジレント・テクノロジー
（株）製）を用いてＳパラメーターを測定し、これより
算出した。
（（株）関東電子応用開発 製）に外径７ｍｍ内径３ｍ
ｍのリング状焼結体試料を挿入した後、ネットワークア
ナライザーＨＰ８７５３Ｃ（アジレント・テクノロジー
（株）製）を用いてＳパラメーターを測定し、これより
算出した。
【００６９】〈軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末の
製造〉α−Ｆｅ2Ｏ3とＣｏＣＯ3とＢａＣＯ3とを組成が
ＢａＯ＝１８.７ｍｏｌ％、ＣｏＯ＝１１.６ｍｏｌ％、
Ｆｅ2Ｏ3＝６９.７ｍｏｌ％となるように秤量して、湿
式アトライターで１時間混合した後、濾過、乾燥した。
この混合原料粉末を大気中、１２５０℃で５時間仮焼成
した。得られた軟磁性六方晶フェライトの主相はＺ型で
あって、Ｚ型フェライト相の（１ ０ １６）面のピーク
強度１に対して、Ｙ型フェライト相の（１ ０ １３）面
のピーク強度は０.５４、Ｗ型フェライト相の（１ １
６）面のピーク強度は０であった。この軟磁性六方晶フ
ェライト１００重量部に炭酸バリウム粒子粉末１.５重
量部、二酸化ケイ素粒子粉末０.９重量部を添加した
後、湿式ボールミルで微粉砕して軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末を得た。得られた軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末は、平均粒子径が３.０μｍであり、Ｂ
ＥＴ比表面積が３.１ｍ2／ｇ、飽和磁化が４１.０Ａｍ2
／ｋｇ、保磁力が１１.１ｋＡ／ｍであった。
製造〉α−Ｆｅ2Ｏ3とＣｏＣＯ3とＢａＣＯ3とを組成が
ＢａＯ＝１８.７ｍｏｌ％、ＣｏＯ＝１１.６ｍｏｌ％、
Ｆｅ2Ｏ3＝６９.７ｍｏｌ％となるように秤量して、湿
式アトライターで１時間混合した後、濾過、乾燥した。
この混合原料粉末を大気中、１２５０℃で５時間仮焼成
した。得られた軟磁性六方晶フェライトの主相はＺ型で
あって、Ｚ型フェライト相の（１ ０ １６）面のピーク
強度１に対して、Ｙ型フェライト相の（１ ０ １３）面
のピーク強度は０.５４、Ｗ型フェライト相の（１ １
６）面のピーク強度は０であった。この軟磁性六方晶フ
ェライト１００重量部に炭酸バリウム粒子粉末１.５重
量部、二酸化ケイ素粒子粉末０.９重量部を添加した
後、湿式ボールミルで微粉砕して軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末を得た。得られた軟磁性六方晶フェライ
ト複合粒子粉末は、平均粒子径が３.０μｍであり、Ｂ
ＥＴ比表面積が３.１ｍ2／ｇ、飽和磁化が４１.０Ａｍ2
／ｋｇ、保磁力が１１.１ｋＡ／ｍであった。
【００７０】〈グリーンシート及びこれを積層したグリ
ーンシート積層体の製造〉上記軟磁性六方晶フェライト
複合粒子粉末１００重量部に対して結合材料ポリビニル
ブチラール「エスレックＢ ＢＬ−Ｓ」(商品名、積水化
学工業（株）製））７重量部と可塑剤フタル酸ベンジル
ｎ−ブチル（東京化成工業（株）製試薬)４.４重量部と
溶剤として酢酸ｎ−ブチル試薬特級（米山薬品工業
（株）製）３０重量部及びメチルエチルケトン（日本化
成品（株）製)３０重量部とを加えて、ボールミルで１
５時間混合して塗料を製造した。この塗料をドクターブ
レード式コーターを用いてＰＥＴフィルム上に塗布して
塗膜を形成した後乾燥することにより膜厚１２０μｍの
グリーンシートを得た。これを縦５ｃｍ横５ｃｍの大き
さに切断して２０枚を積層した後、０.５×１０4ｔ／ｍ
2の圧力で加圧してグリーンシート積層体を得た。得ら
れたグリーンシート積層体の厚みは１.４ｍｍであっ
た。
ーンシート積層体の製造〉上記軟磁性六方晶フェライト
複合粒子粉末１００重量部に対して結合材料ポリビニル
ブチラール「エスレックＢ ＢＬ−Ｓ」(商品名、積水化
学工業（株）製））７重量部と可塑剤フタル酸ベンジル
ｎ−ブチル（東京化成工業（株）製試薬)４.４重量部と
溶剤として酢酸ｎ−ブチル試薬特級（米山薬品工業
（株）製）３０重量部及びメチルエチルケトン（日本化
成品（株）製)３０重量部とを加えて、ボールミルで１
５時間混合して塗料を製造した。この塗料をドクターブ
レード式コーターを用いてＰＥＴフィルム上に塗布して
塗膜を形成した後乾燥することにより膜厚１２０μｍの
グリーンシートを得た。これを縦５ｃｍ横５ｃｍの大き
さに切断して２０枚を積層した後、０.５×１０4ｔ／ｍ
2の圧力で加圧してグリーンシート積層体を得た。得ら
れたグリーンシート積層体の厚みは１.４ｍｍであっ
た。
【００７１】〈軟磁性六方晶フェライト焼結体の製造〉
上記グリーンシート積層体を大気中１２５０℃で７時間
焼成して軟磁性六方晶フェライト焼結体を得た。得られ
た焼結体の密度は５.１×１０3ｋｇ／ｍ3、体積固有抵
抗は１×１０9Ωｍであり、４００ＭＨｚにおける透磁
率の実数部は５.２であって透磁率の虚数部は０.３であ
った。また、共鳴周波数は２.２ＧＨｚ、その共鳴周波
数における透磁率の虚数部は３.２、透磁率の実数部が
減少し始める周波数は９５８ＭＨｚであった。
上記グリーンシート積層体を大気中１２５０℃で７時間
焼成して軟磁性六方晶フェライト焼結体を得た。得られ
た焼結体の密度は５.１×１０3ｋｇ／ｍ3、体積固有抵
抗は１×１０9Ωｍであり、４００ＭＨｚにおける透磁
率の実数部は５.２であって透磁率の虚数部は０.３であ
った。また、共鳴周波数は２.２ＧＨｚ、その共鳴周波
数における透磁率の虚数部は３.２、透磁率の実数部が
減少し始める周波数は９５８ＭＨｚであった。
【００７２】
【作用】本発明において最も重要な点は、Ｚ型フェライ
ト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェライトを主相とする軟
磁性六方晶フェライト粒子粉末と炭酸バリウム粒子粉末
又は炭酸ストロンチウム粒子粉末若しくは当該両炭酸塩
粒子粉末と二酸化ケイ素粒子粉末とを特定の割合で配合
した軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いて軟磁
性六方晶フェライト焼結体を得た場合には、５.０×１
０3ｋｇ／ｍ3以上の高い焼結密度と１×１０6Ωｍ以上
の高い体積固有抵抗とを維持しながら、４００ＭＨｚに
おける透磁率の虚数部が１以下であって低周波から数百
ＭＨｚ帯まで透磁率の実数部が低下することなくほぼ一
定である軟磁性六方晶フェライト焼結体を得ることがで
きるという事実である。
ト、Ｙ型フェライト又はＷ型フェライトを主相とする軟
磁性六方晶フェライト粒子粉末と炭酸バリウム粒子粉末
又は炭酸ストロンチウム粒子粉末若しくは当該両炭酸塩
粒子粉末と二酸化ケイ素粒子粉末とを特定の割合で配合
した軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いて軟磁
性六方晶フェライト焼結体を得た場合には、５.０×１
０3ｋｇ／ｍ3以上の高い焼結密度と１×１０6Ωｍ以上
の高い体積固有抵抗とを維持しながら、４００ＭＨｚに
おける透磁率の虚数部が１以下であって低周波から数百
ＭＨｚ帯まで透磁率の実数部が低下することなくほぼ一
定である軟磁性六方晶フェライト焼結体を得ることがで
きるという事実である。
【００７３】高い焼結密度と体積固有抵抗とを有する軟
磁性六方晶フェライト焼結体を得ることができた理由に
ついて、本発明者は、焼成にあたってあらかじめ配合し
た特定量の炭酸塩が焼成時に結晶粒相互の焼結を促進し
て焼結密度を高めると共に、同様に焼成にあたってあら
かじめ配合した特定量の二酸化ケイ素が焼成時に結晶粒
界部分に選択的に析出して、絶縁層として機能したこと
により体積固有抵抗値を高めることができたものと考え
ている。
磁性六方晶フェライト焼結体を得ることができた理由に
ついて、本発明者は、焼成にあたってあらかじめ配合し
た特定量の炭酸塩が焼成時に結晶粒相互の焼結を促進し
て焼結密度を高めると共に、同様に焼成にあたってあら
かじめ配合した特定量の二酸化ケイ素が焼成時に結晶粒
界部分に選択的に析出して、絶縁層として機能したこと
により体積固有抵抗値を高めることができたものと考え
ている。
【００７４】４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部が１
以下である軟磁性六方晶フェライト焼結体を得ることが
できた理由について、本発明者は、結晶粒界に選択的に
析出した二酸化ケイ素が該焼結体の磁気回路を分断する
ことで反磁界が生じ、これが共鳴現象を高周波側に移動
させたことによるものと考えている。
以下である軟磁性六方晶フェライト焼結体を得ることが
できた理由について、本発明者は、結晶粒界に選択的に
析出した二酸化ケイ素が該焼結体の磁気回路を分断する
ことで反磁界が生じ、これが共鳴現象を高周波側に移動
させたことによるものと考えている。
【００７５】
【実施例】次に、実施例並びに比較例を挙げる。
実施例１〜４、７〜１０、１２〜１５ 比較例１〜７
軟磁性六方晶フェライト粒子粉末の組成、配合する炭酸
バリウム粒子粉末、炭酸ストロンチウム粒子粉末及び二
酸化ケイ素粒子粉末の平均粒子径、ＢＥＴ比表面積及び
配合量、軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いた
グリーンシートの積層時の圧力、焼成温度及び焼成時間
を種々変化させた以外は、前記発明の実施の形態と同様
にして軟磁性六方晶フェライト焼結体を製造した。この
時の主要製造条件及び諸特性を表１乃至表３に示す。な
お、比較例７は、公知の代表的な軟磁性立方晶スピネル
型フェライト焼結体である。
バリウム粒子粉末、炭酸ストロンチウム粒子粉末及び二
酸化ケイ素粒子粉末の平均粒子径、ＢＥＴ比表面積及び
配合量、軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いた
グリーンシートの積層時の圧力、焼成温度及び焼成時間
を種々変化させた以外は、前記発明の実施の形態と同様
にして軟磁性六方晶フェライト焼結体を製造した。この
時の主要製造条件及び諸特性を表１乃至表３に示す。な
お、比較例７は、公知の代表的な軟磁性立方晶スピネル
型フェライト焼結体である。
【００７６】実施例５
前記発明の実施の形態と同様にして得られた軟磁性六方
晶フェライト複合粒子粉末を金型に充填した後、１×１
０4ｔ／ｍ2の圧力で加圧して直径３０ｍｍ、厚さ２.５
ｍｍの円盤状試料を作成した。上記円盤状試料を大気中
１２５０℃で５時間焼成して軟磁性六方晶フェライト焼
結体を得た。得られた焼結体は、焼結密度が５.２×１
０3ｋｇ／ｍ3、体積固有抵抗は１×１０9Ωｃｍであ
り、４００ＭＨｚにおける透磁率の実数部は４.６であ
って透磁率の虚数部は０.２であった。また、共鳴周波
数は２.５ＧＨｚ、その共鳴周波数における透磁率の虚
数部は２.６、透磁率の実数部が減少し始める周波数は
１０６８ＭＨｚであった。
晶フェライト複合粒子粉末を金型に充填した後、１×１
０4ｔ／ｍ2の圧力で加圧して直径３０ｍｍ、厚さ２.５
ｍｍの円盤状試料を作成した。上記円盤状試料を大気中
１２５０℃で５時間焼成して軟磁性六方晶フェライト焼
結体を得た。得られた焼結体は、焼結密度が５.２×１
０3ｋｇ／ｍ3、体積固有抵抗は１×１０9Ωｃｍであ
り、４００ＭＨｚにおける透磁率の実数部は４.６であ
って透磁率の虚数部は０.２であった。また、共鳴周波
数は２.５ＧＨｚ、その共鳴周波数における透磁率の虚
数部は２.６、透磁率の実数部が減少し始める周波数は
１０６８ＭＨｚであった。
【００７７】実施例６、１１、１６、１７
軟磁性六方晶フェライト粒子粉末の組成、配合する炭酸
バリウム粒子粉末、炭酸ストロンチウム粒子粉末及び二
酸化ケイ素粒子粉末の平均粒子径、ＢＥＴ比表面積及び
配合量、成型時の圧力、焼成温度及び焼成時間を種々変
化させた以外は、上記実施例５と同様にして、軟磁性六
方晶フェライト焼結体を得た。このときの主要製造条件
及び諸特性を表１乃至表３に示す。
バリウム粒子粉末、炭酸ストロンチウム粒子粉末及び二
酸化ケイ素粒子粉末の平均粒子径、ＢＥＴ比表面積及び
配合量、成型時の圧力、焼成温度及び焼成時間を種々変
化させた以外は、上記実施例５と同様にして、軟磁性六
方晶フェライト焼結体を得た。このときの主要製造条件
及び諸特性を表１乃至表３に示す。
【００７８】
【表１】
【００７９】
【表２】
【００８０】
【表３】
【００８１】
【発明の効果】本発明に係る軟磁性六方晶フェライト複
合粒子粉末を用いた場合には、高い焼結密度と体積固有
抵抗とを有し、且つ、数百ＭＨｚ帯での透磁率の虚数部
が十分小さく、数ＧＨｚ付近の周波数において透磁率の
虚数部が大きい周波数特性を有すると共に低周波から数
百ＭＨｚ帯までにおける透磁率の実数部が低下すること
なくほぼ一定であるような周波数特性を示す軟磁性六方
晶フェライト焼結体を得ることができるので、数ＧＨｚ
付近のノイズを減衰させるインピーダンス素子や電磁波
を吸収する電波吸収体用の材料として、また、数百ＭＨ
ｚ帯の周波数を信号として使用するインダクター素子等
として好適である。
合粒子粉末を用いた場合には、高い焼結密度と体積固有
抵抗とを有し、且つ、数百ＭＨｚ帯での透磁率の虚数部
が十分小さく、数ＧＨｚ付近の周波数において透磁率の
虚数部が大きい周波数特性を有すると共に低周波から数
百ＭＨｚ帯までにおける透磁率の実数部が低下すること
なくほぼ一定であるような周波数特性を示す軟磁性六方
晶フェライト焼結体を得ることができるので、数ＧＨｚ
付近のノイズを減衰させるインピーダンス素子や電磁波
を吸収する電波吸収体用の材料として、また、数百ＭＨ
ｚ帯の周波数を信号として使用するインダクター素子等
として好適である。
【図１】本発明の実施例１で得られた軟磁性六方晶フェ
ライト焼結体の透磁率の周波数特性である。
ライト焼結体の透磁率の周波数特性である。
【図２】比較例７で得られた軟磁性立方晶スピネル型フ
ェライト焼結体の透磁率の周波数特性である。
ェライト焼結体の透磁率の周波数特性である。
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｚ型フェライト、Ｙ型フェライト又はＷ
型フェライトを主相とする軟磁性六方晶フェライト粒子
粉末１００重量部に対し、炭酸バリウム粒子粉末又は炭
酸ストロンチウム粒子粉末若しくは当該両炭酸塩粒子粉
末１〜１０重量部と二酸化ケイ素粒子粉末０.５〜５重
量部とを配合したことを特徴とする軟磁性六方晶フェラ
イト複合粒子粉末。 - 【請求項２】 請求項１記載の軟磁性六方晶フェライト
複合粒子粉末と結合材料とを用いてシート状に成膜して
なるグリーンシート。 - 【請求項３】 請求項１記載の軟磁性六方晶フェライト
複合粒子粉末を成型した後焼成してなる焼結密度が５.
０×１０3ｋｇ／ｍ3以上であって体積固有抵抗が１×１
０6Ωｍ以上であり、４００ＭＨｚにおける透磁率の虚
数部が１以下であることを特徴とする軟磁性六方晶フェ
ライト焼結体。 - 【請求項４】 請求項２記載のグリーンシートを積層し
た後焼成してなる焼結密度が５.０×１０3ｋｇ／ｍ3以
上であって体積固有抵抗が１×１０6Ωｍ以上であり、
４００ＭＨｚにおける透磁率の虚数部が１以下であるこ
とを特徴とする軟磁性六方晶フェライト焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002048968A JP4158081B2 (ja) | 2001-04-09 | 2002-02-26 | 軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末、該軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いたグリーンシート並びに軟磁性六方晶フェライト焼結体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-109790 | 2001-04-09 | ||
| JP2001109790 | 2001-04-09 | ||
| JP2002048968A JP4158081B2 (ja) | 2001-04-09 | 2002-02-26 | 軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末、該軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いたグリーンシート並びに軟磁性六方晶フェライト焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003002656A true JP2003002656A (ja) | 2003-01-08 |
| JP4158081B2 JP4158081B2 (ja) | 2008-10-01 |
Family
ID=26613284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002048968A Expired - Lifetime JP4158081B2 (ja) | 2001-04-09 | 2002-02-26 | 軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末、該軟磁性六方晶フェライト複合粒子粉末を用いたグリーンシート並びに軟磁性六方晶フェライト焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4158081B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006100701A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Chuki Seiki Kk | ノイズ除去デバイス |
| JP2006100697A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Chuki Seiki Kk | ノイズ除去デバイス |
| JP2006100700A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Chuki Seiki Kk | ノイズ除去デバイス |
| WO2006064839A1 (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-22 | Hitachi Metals, Ltd. | 六方晶フェライト並びにそれを用いたアンテナ及び通信機器 |
| EP1707536A2 (en) | 2005-03-31 | 2006-10-04 | Hitachi Metals, Ltd. | Ferrite sintered body and method of manufacturing same |
| JP2009080348A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Dowa Electronics Materials Co Ltd | 電子写真現像用キャリア芯材およびその製造方法、磁性キャリア並びに電子写真現像剤 |
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