JP2002340989A - 測定方法、検査方法及び検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 配線にプローバを立てないで済む、より簡便
な検査方法の確立、及び該検査方法を用いる検査装置の
提供。 【解決手段】 非接触にて前記回路または回路素子に電
圧を印加することで、前記回路または回路素子を動作さ
せ、前記回路または回路素子から出力された電圧を非接
触で読み取り、前記回路または回路素子の良否を判定す
ることを特徴とする検査方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置が有す
る回路または回路素子を動作させ、該回路または回路素
子の出力を読み取る測定方法と、該測定方法を用いて画
素部が正常に動作するかどうかを検査する方法に関す
る。特に、非接触型の検査方法、及びそれを用いた非接
触型の検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、絶縁表面を有する基板上に形成さ
れた半導体膜（厚さ数〜数百ｎｍ程度）を用いて薄膜ト
ランジスタ（ＴＦＴ）を構成する技術が注目されてい
る。その理由は、半導体装置の一つであるアクティブマ
トリクス型の半導体表示装置の需要が高まってきたこと
による。アクティブマトリクス型の半導体表示装置に
は、代表的には液晶ディスプレイ、ＯＬＥＤ（Organic
Light Emitting Device）ディスプレイ、ＤＭＤ（Digit
al Micromirror Device）が含まれる。

【０００３】活性層に結晶構造を有する半導体膜を用い
たＴＦＴ（結晶質ＴＦＴ）は高い移動度が得られること
から、同一基板上に機能回路を集積させて高精細な画像
表示を行うアクティブマトリクス型の半導体表示装置を
実現することが可能である。

【０００４】ところで、アクティブマトリクス型の半導
体表示装置は、様々な製造工程を経て完成する。例えば
アクティブマトリクス型の液晶ディスプレイの場合、半
導体膜の成膜とパターン形成を行なうパターン形成工程
と、カラー化を実現するためのカラーフィルタ形成工程
と、半導体を含む素子を有する素子基板と、対向電極を
有する対向基板との間に液晶を封入して液晶パネルを形
成するセル組立工程と、セル組立工程において組み立て
られた液晶パネルに、該液晶パネルを動作させるための
駆動部品やバックライトを取り付け、液晶ディスプレイ
として完成させるモジュール組み立て工程とを、主に有
している。

【０００５】そして液晶ディスプレイの種類によって多
少の違いはあるが、上記各工程には、検査工程が含まれ
る。製品として完成する前に、工程の早い段階で不良品
を見分けることができたら、そのパネルに関しては後の
工程を省略することが可能である。よって検査工程は、
コスト削減という観点から見て、非常に有効な手段であ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】パターン形成工程に含
まれる検査工程の１つに、パターン形成後の欠陥検査が
ある。

【０００７】パターン形成後の欠陥検査とは、パターン
形成した後、半導体膜、絶縁膜または配線のパターン
（以下、単にパターンと呼ぶ）の幅のばらつきによって
動作不良が生じている箇所や、ゴミまたは成膜不良によ
って、配線が断線またはショートしている箇所を検出し
たり、検査対象である回路または回路素子が正常に動作
するかどうかを特定するための検査である。

【０００８】このような欠陥検査は、主に光学式検査方
法と、プローブ検査方法とに大別される。

【０００９】光学式検査方法は、基板上に形成されたパ
ターンをＣＣＤ等で読み取り、基準となるパターンと比
較して不良箇所（欠陥）を識別する検査方法である。ま
た、プローブ検査方法は、基板側の端子に微細なピン
（プローブ）を立てて、プローブ間の電流または電圧の
大きさによって良否を判定する検査方法である。一般的
に、前者は非接触型検査方法と呼ばれ、後者は触針型検
査方法と呼ばれる。

【００１０】上記いずれの方法を用いても、素子基板の
良否を判定することが可能である。しかし、上記各検査
方法にはそれぞれ短所がある。

【００１１】光学式検査方法は、何層ものパターンの形
成が終了した後に検査を行なうと、下層に形成されたパ
ターンを識別するのが困難であるため、不良箇所を検出
し、回路または回路素子の良否を判定するのが難しい。
かといって、パターンを形成するたび毎に検査を行なう
と、検査工程自体が煩雑になり、製造工程全体にかかる
時間も長くなってしまう。また、プローブ検査方法で
は、配線またはプローブ用の端子に直接プローブを立て
るため、配線またはプローブ用の端子に傷がついて微細
なゴミが生じることがある。検査工程において生じたゴ
ミは、後の工程の歩留まりを低下させる原因になり、好
ましくない。

【００１２】上記問題に鑑み、本発明では、配線または
プローブ用の端子にプローブを立てないで済む、より簡
便な検査方法の確立、及び該検査方法を用いる検査装置
の提供を課題とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明者は、プローブを
立てなくても、電磁誘導によって素子基板の配線に起電
力を生じさせることで、該配線に電流を流すことができ
るのではないかと考えた。

【００１４】具体的には、素子基板を検査するための、
検査用の基板（検査用基板）を別途用意する。該検査用
基板は入力用の１次コイル（本明細書中において、入力
用１次コイルまたは第１の１次コイルと呼ぶ）と、出力
用の２次コイル（以下、出力用２次コイルまたは第２の
２次コイルと呼ぶ）を有している。また、検査対象であ
る素子基板は、入力用の２次コイル（以下、入力用２次
コイルまたは第１の２次コイルと呼ぶ）と、出力用の１
次コイル（以下、出力用１次コイルまたは第２の１次コ
イルと呼ぶ）を有している。

【００１５】なお、入力用１次コイル、入力用２次コイ
ル、出力用１次コイル及び出力用２次コイルは、とも
に、基板上に成膜した導電膜をパターニングすることで
形成することができる。そして、本発明において、入力
用１次コイル、入力用２次コイル、出力用１次コイル及
び出力用２次コイルは、中心に磁性体を設けて磁路とし
たコイルではなく、中心に磁性体を設けないコイルを用
いた。

【００１６】そして、検査用基板が有する入力用１次コ
イルと、素子基板が有する入力用２次コイルを一定の間
隔を空けて重ね合わせ、入力用１次コイルが有する２つ
の端子間に交流の電圧（交流電圧）を印加することで、
入力用２次コイルが有する２つの端子間に起電力を生じ
させる。

【００１７】なおこの間隔は小さいほど望ましく、入力
用１次コイルと入力用２次コイルは、間隔の制御が可能
な限り近づけたほうが良い。

【００１８】なお、本明細書においてコイルに電圧が印
加されるとは、該電圧がコイルの有する２つの端子間に
印加されることを意味する。また、本明細書においてコ
イルに信号が入力されるとは、該信号の電圧がコイルの
有する２つの端子間に印加されることを意味する。

【００１９】そして、入力用２次コイルに生じた起電力
である交流の電圧を、素子基板において整流化した後適
当に平滑化することで、素子基板が有する回路または回
路素子を駆動させるための直流の電圧（以下、電源電圧
と呼ぶ）として用いることが可能である。また、入力用
２次コイルに生じた起電力である交流の電圧の波形を、
波形整形回路等で適当に整形することで、素子基板が有
する回路または回路素子を駆動させるための電圧を有す
る信号（以下、駆動信号と呼ぶ）として用いることが可
能である。

【００２０】そして、この生成された駆動信号または電
源電圧を、素子基板上に形成された回路または回路素子
に供給する。回路または回路素子は、該駆動信号または
電源電圧によって何らかの動作を行なう。そして検査し
たい該回路または回路素子の出力を、全て素子基板上に
設けられた検査専用回路に入力する。

【００２１】なお、回路または回路素子が正常に動作す
るか否かを特定することができるのならば、該回路また
は回路素子のどの部分の電圧でも、回路または回路素子
の出力として、検査専用回路に入力することができる。

【００２２】一方、入力用２次コイルに生じた起電力で
ある交流の電圧は、検査専用回路にも入力されている。
そして検査専用回路は主に、検査対象である回路また
は回路素子の出力を信号処理し、検査対象の回路または
回路素子の動作状態を情報として有している信号（動作
情報信号）を生成する手段と、該動作情報信号を増幅
する手段と、増幅された該動作情報信号に従って、検
査専用回路に入力された交流の電圧の振幅を変調させ、
出力する手段を有している。なお本明細書において、交
流の電圧を有する信号を交流の信号と呼び、変調させら
れた交流の信号を、被変調信号と呼ぶ。

【００２３】なお、該動作情報信号を増幅する手段は
必ずしも設ける必要はない。また本明細書において、
増幅された該動作情報信号に従って、検査専用回路に入
力された交流の電圧の振幅を変調させ出力する手段を、
以下、変調回路と呼ぶ。

【００２４】検査専用回路から出力された交流の被変調
信号は、素子基板に設けられた出力用１次コイルが有す
る２つの端子のうち、一方の端子に入力される。出力用
１次コイルが有するもう一方の端子には、一定の電圧が
与えられている。この状態で、素子基板が有する出力用
１次コイルと検査用基板が有する出力用２次コイルとを
一定の間隔を空けて重ね合わせることで、出力用２次コ
イルが有する２つの端子間に起電力を生じさせる。

【００２５】なおこの間隔は小さいほど望ましく、出力
用１次コイルと出力用２次コイルは、間隔の制御が可能
な限り近づけたほうが良い。

【００２６】出力用２次コイルの一方の端子には一定の
電圧が与えられている。そして、出力用２次コイルのも
う一方の端子における電圧の値は、被変調信号の電圧に
よって定まる。よって、出力用２次コイルのもう一方の
端子における電圧の値から、検査対象の回路または回路
素子が、正常に動作するか否かを特定することができ
る。

【００２７】なお、検査専用回路に入力される交流の電
圧の周波数を高めると、検査専用回路から出力用１次コ
イルの端子に入力される被変調信号の周波数も高くな
る。コイルのインピーダンスは、巻き数、サイズ等のコ
イルの設計や、コイルに入力される信号の周波数等、様
々な要素によって決まる。そのため、検査専用回路に入
力される変調前の交流の電圧の周波数の値は、コイルの
インピーダンスの値を左右する他の要素との兼ね合いで
決めるのが望ましい。

【００２８】なお、検査対象の回路または回路素子の動
作状態によって、動作情報信号に直流の成分が含まれて
いる場合がある。動作情報信号に直流の成分が含まれて
いる場合でも、動作情報信号による変調によって生成さ
れた交流の被変調信号を出力用１次コイルの端子に入力
することで、良否の情報を有する起電力を出力用２次コ
イルの端子間に生じさせることができる。

【００２９】なお、必ずしも画素の動作状態を良品と不
良品の２つに選り分けるのではなく、動作状態によって
複数のランクに選り分けるようにしても良い。

【００３０】なお、入力用１次コイルと、出力用２次コ
イルは、必ずしも同じ１つの検査用基板上に設けなくて
も良い。それぞれ異なる基板上に形成していても良い。

【００３１】なお、出力用１次コイル及び出力用２次コ
イルを設けずに、回路または回路素子が駆動することで
生じる微弱な電磁波、または電界をモニターし、多数の
回路または回路素子の中から、正常に動作していない箇
所を検出することが可能である。

【００３２】なお、この場合、電磁波または電界が有す
るあらゆる情報をモニターし、利用することができる。
具体的に、電磁波または電界が有する情報として、周波
数、位相、強度、時間など、様々な次元において収集す
ることが可能である。本発明においては、多数の回路ま
たは回路素子の中から、正常に動作していない箇所を検
出することが可能であるのならば、電磁波または電界が
有する情報のうち、どのような情報でも利用することが
可能である。

【００３３】なお回路または回路素子において生じる微
弱な電磁波、または電界のモニターの仕方は、公知の方
法を用いることができる。

【００３４】本発明は上記構成によって、配線に直接プ
ローブを立てなくても不良箇所を検出し、回路または回
路素子の良否を判定することができるので、プローブを
立てることで生じた微細なゴミにより、後の工程の歩留
まりを低下させるのを防ぐことができる。なおかつ、光
学式検査方法と異なり、１回の検査工程で全てのパター
ン形成工程の良否を判断することができるので、検査工
程がより簡便化される。

【００３５】

【発明の実施の形態】図１（Ａ）に、本発明の検査を行
なうための検査基板の上面図を示す。また、図１（Ｂ）
に、検査される素子基板の上面図を示す。なお本実施の
形態では、液晶ディスプレイが有する素子基板を例にと
って、本発明の検査方法について説明するが、本発明の
検査方法は、液晶ディスプレイに限って用いることがで
きるわけではなく、半導体を用いて形成された半導体装
置であるならば、どれでも用いることが可能である。

【００３６】図１（Ａ）に示した検査基板は、基板１０
０上に、入力用１次コイル形成部１０１、出力用２次コ
イル形成部１０２、外部入力用バッファ１０３、外部出
力用バッファ１０４、コネクター接続部１０５が設けら
れている。なお本明細書において検査基板とは、基板１
００と、基板１００上に形成された回路または回路素子
全てを含んでいる。

【００３７】なお、検査基板が有する入力用１次コイル
形成部１０１と出力用２次コイル形成部１０２の数及び
配置は、図１（Ａ）に示した構成に限定されない。入力
用１次コイル形成部１０１と出力用２次コイル形成部１
０２の数及び配置は、設計者が任意に設定することが可
能である。

【００３８】図１（Ｂ）に示した素子基板は、基板１１
０上に、信号線駆動回路１１１、走査線駆動回路１１
２、画素部１１３、引きまわし配線１１４、コネクター
接続部１１５、波形整形回路または整流回路１１６、入
力用２次コイル形成部１１７、出力用１次コイル形成部
１１８、検査専用回路１１９、コイル用配線１２０が設
けられている。なお本明細書において素子基板とは、基
板１１０と、基板１１０上に形成された回路または回路
素子全てを含んでいる。なお、引きまわし配線１１４
は、素子基板が有する画素部と駆動回路に駆動信号や電
源電圧を供給するための配線である。

【００３９】なお、素子基板が有する入力用２次コイル
形成部１１７と出力用１次コイル形成部１１８の数及び
配置は、図１（Ｂ）に示した構成に限定されない。入力
用２次コイル形成部１１７と出力用１次コイル形成部１
１８の数及び配置は、設計者が任意に設定することが可
能である。

【００４０】コネクター接続部１１５には、検査工程の
後の工程において、ＦＰＣまたはＴＡＢ等が接続され
る。なお、素子基板は検査工程終了後、コイル用配線１
２０が物理的及び電気的に切り離されるように、点線Ａ
−Ａ’において切断される。

【００４１】次に、検査工程における素子基板と検査基
板の動作について説明する。なお検査工程における信号
の流れを分かり易くするために、図１で示した素子基板
と検査基板の構成を、図２にブロック図で示し、図１及
び図２を参照して説明する。

【００４２】検査基板２０４において、信号源２０１ま
たは交流電源２０２から、コネクター接続部１０５に接
続されるコネクターを介して、外部入力用バッファ１０
３に検査用の交流の信号が入力される。検査用の交流の
信号は、外部入力用バッファ１０３において緩衝増幅さ
れ、入力用１次コイル形成部１０１に入力される。

【００４３】なお、図１及び図２では、入力された交流
の信号を、外部入力用バッファ１０３において緩衝増幅
してから、入力用１次コイル形成部１０１に入力する
が、本発明はこの構成に限定されない。外部入力用バッ
ファ１０３を設けずに、直接交流の信号を入力用１次コ
イル形成部１０１に入力しても良い。

【００４４】入力用１次コイル形成部１０１には、複数
の入力用１次コイルが形成されている。各入力用１次コ
イルの２つの端子間に、交流の信号が印加される。

【００４５】一方、素子基板２０５が有する入力用２次
コイル形成部１１７には、入力用１次コイル形成部１０
１が有する複数の入力用１次コイルに対応した複数の入
力用２次コイルが形成されている。入力用１次コイルに
交流の信号が入力されると、電磁誘導により、各入力用
２次コイルが有する２つの端子間に起電力である交流の
電圧が生じる。

【００４６】入力用２次コイルにおいて発生した交流の
電圧は、波形整形回路１１６ａまたは整流回路１１６ｂ
に供給される。波形整形回路１１６ａまたは整流回路１
１６ｂでは、該交流の電圧を整形または整流化し、駆動
信号または電源電圧を生成する。

【００４７】生成された駆動信号または電源電圧は、コ
イル用配線１２０を介して引きまわし配線１１４に入力
される。入力された駆動信号または電源電圧等は、引き
まわし配線１１４を介して信号線駆動回路１１１、走査
線駆動回路１１２、画素部１１３に供給される。

【００４８】なお画素部１１３には複数の画素が形成さ
れており、各画素には画素電極が形成されている。な
お、信号線駆動回路及び走査線駆動回路は、図１（Ａ）
及び図２に示した数に限定されない。

【００４９】そして、信号線駆動回路１１１、走査線駆
動回路１１２、画素部１１３が有する各回路または回路
素子の出力が、検査専用回路１１９に入力される。

【００５０】なお画素部１１３においては、例えばトラ
ンジスタの各端子の電圧や画素電極の電圧を、回路また
は回路素子の出力として検査専用回路１１９に入力する
ことができる。ただし全ての画素において、回路または
回路素子の出力を検査専用回路１１９に入力する必要は
なく、任意に選択した画素においてのみ、回路または回
路素子の出力を検査専用回路１１９に入力するようにし
ても良い。また、画素部１１３に実際の表示には用いな
い検査専用の画素（ダミー画素）を設け、検査専用の画
素において回路または回路素子の出力を検査専用回路１
１９に入力するようにしても良い。これは画素部１１３
に限られず、素子基板が有する全ての回路または回路素
子の出力を、検査専用回路１１９に入力する必要はな
く、回路または回路素子のいくつかを選択し、その出力
を検査専用回路１１９に入力するようにしても良い。ま
た、実際の駆動には用いない検査専用の回路または回路
素子を形成し、該検査専用の回路または回路素子の出力
を検査専用回路１１９に入力するようにしても良い。

【００５１】検査専用回路１１９は、入力された回路ま
たは回路素子の出力を信号処理し、検査対象の回路また
は回路素子の動作状態を情報として有している信号（動
作情報信号）を生成する。そして該動作情報信号の振幅
を増幅すし、変調回路１２１に入力する。なお、動作情
報信号は必ずしも増幅する必要はなく、この場合、直接
変調回路１２１に入力する。

【００５２】一方、検査専用回路１１９には、入力用２
次コイルにおいて生成された交流の電圧が入力されてい
る。該交流の信号は、検査専用回路１１９が有する変調
回路１２１に入力される。

【００５３】そして、検査専用回路１１９は、変調回路
１２１において入力された交流の電圧の振幅を、入力さ
れた該動作情報信号に従って変調させ、被変調信号とし
て出力用１次コイル形成部１１８に入力する。

【００５４】出力用１次コイル形成部１１８に入力され
た被変調信号の電圧は、具体的には、出力用１次コイル
形成部１１８が有する複数の出力用１次コイルの、一方
の端子に入力される。複数の出力用１次コイルが有する
もう一方の端子には、一定の電圧が与えられている。

【００５５】一方、検査基板２０４が有する出力用２次
コイル形成部１０２には、出力用１次コイル形成部１０
２が有する複数の出力用１次コイルに対応した複数の出
力用２次コイルが形成されている。出力用１次コイルの
２つの端子間に交流の電圧が入力されると、電磁誘導に
より、各出力用２次コイルが有する２つの端子間に起電
力である交流の電圧が生じる。出力用２次コイルが有す
る２つの端子間に生じる交流の電圧は、回路または回路
素子の動作状態を情報として有している。

【００５６】出力用２次コイルの一方の端子には一定の
電圧が与えられている。そして、出力用２次コイルのも
う一方の端子における電圧は、外部出力用バッファ１０
４において増幅され、検査部２０３に入力される。

【００５７】なお、外部出力用バッファ１０４は必ずし
も設ける必要はなく、出力用２次コイルのもう一方の端
子における電圧を、増幅せずに直接検査部２０３に入力
するようにしても良い。

【００５８】検査部２０３では、回路または回路素子の
動作状態を情報として有する交流の電圧から、回路また
は回路素子の良否を判定したり、不良箇所の位置を突き
止めることができる。

【００５９】なお、検査専用回路に入力される交流の電
圧の周波数を高めると、検査専用回路から出力用１次コ
イルの端子に入力される被変調信号の周波数も高くな
る。コイルのインピーダンスは、巻き数、サイズ等のコ
イルの設計や、コイルに入力される信号の周波数等、様
々な要素によって決まる。そのため、検査専用回路に入
力される変調前の交流の電圧の周波数の値は、コイルの
インピーダンスの値を左右する他の要素との兼ね合いで
決めるのが望ましい。

【００６０】なお、検査対象の回路または回路素子の動
作状態によって、動作情報信号に直流の成分が含まれて
いる場合がある。動作情報信号に直流の成分が含まれて
いる場合でも、動作情報信号による変調によって生成さ
れた交流の被変調信号を出力用１次コイルの端子に入力
することで、良否の情報を有する起電力を出力用２次コ
イルの端子間に生じさせることができる。

【００６１】なお、入力用１次コイルと、出力用２次コ
イルは、必ずしも同じ１つの検査用基板上に設けなくて
も良い。それぞれ異なる基板上に形成していても良い。

【００６２】また、図１及び図２では、複数の入力用１
次コイルが形成されている部分を入力用１次コイル形成
部とし、複数の出力用２次コイルが形成されている部分
を出力用２次コイル形成部として、区別しているが、本
発明の検査基板はこの構成に限定されない。複数の入力
用１次コイルと複数の出力用２次コイルが混ざるように
配置されている場合、複数の入力用１次コイルが形成さ
れている部分と、複数の出力用２次コイルが形成されて
いる部分を区別する必要はない。

【００６３】なお、駆動信号または電源電圧等が信号線
駆動回路１１１、走査線駆動回路１１２、画素部１１３
に入力されると、信号線駆動回路１１１、走査線駆動回
路１１２及び画素部１１３が有する各回路または回路素
子において、電磁波または電界が生じる。出力用１次コ
イル及び出力用２次コイルを設けずに、回路または回路
素子が駆動することで生じる微弱な電磁波、または電界
をモニターし、多数の回路または回路素子の中から、正
常に動作していない箇所を検出することも可能である。

【００６４】正常に動作していない回路または回路素子
において生じる電界及び電磁波の強さは、正常に動作し
ている回路または回路素子において生じる電界及び電磁
波の強さと異なる。よって、各回路または回路素子にお
いて生じた電磁波及び電界の強度をモニターすること
で、検査部２０３において良否を判定したり、不良箇所
の位置を突き止めることができる。

【００６５】出力用１次コイル及び出力用２次コイルを
設けない場合、図２では、検査専用回路１１９からの出
力を、所定の端子（パッド）に入力する。そして、該パ
ッドにおける電界または電磁波の強度を測定し、該測定
値を検査部２０３に入力することで、検査部２０３にお
いて良否を判定したり、欠陥箇所の位置を検出すること
ができる。

【００６６】なお、電磁波及び電界をモニターする方法
は、回路または回路素子の良否を判定することができる
程度の感度を有しているならば、どのような方法を用い
ても良い。

【００６７】次に、入力用１次コイル、入力用２次コイ
ル、出力用１次コイル及び出力用２次コイル（以下、単
にコイルと総称する）の詳しい構成について説明する。

【００６８】図３にコイルの拡大図を示す。図３（Ａ）
に示したコイルは、曲線を描いて渦を巻いた状態になっ
ており、コイルの両端にはコイル用端子３０１、３０２
が形成されている。また、図３（Ｂ）に示したコイルは
矩形を描いて渦を巻いた状態になっており、コイルの両
端にはコイル用端子３０３、３０４が形成されている。

【００６９】なお、本発明で用いるコイルは、コイルが
有する配線全体が同一平面上に形成され、且つコイルが
有する配線が渦を巻いていれば良い。よって、コイルが
形成されている平面に対して垂直の方向から見たとき
に、コイルの有する配線が曲線を描いていても、角のあ
る形を描いていても良い。

【００７０】また、コイルの巻数、線幅及び基板上に占
める面積は、設計者が適宜設定することができる。

【００７１】次に、素子基板と検査基板とを重ね合わせ
た様子を、図４（Ａ）に示す。ただし、図１（Ｂ）及び
図２に示した素子基板が、図３（Ａ）に示したコイルを
入力用２次コイル、出力用１次コイルとして有し、同じ
く図１（Ａ）及び図２に示した検査基板が、図３（Ａ）
に示したコイルを入力用１次コイル、出力用２次コイル
として有する場合について示す。なお２０６は、検査基
板２０４と、信号源、交流電源及び検査部とを接続する
コネクターである。

【００７２】図４（Ａ）に示すとおり、検査基板２０４
が有する入力用１次コイル形成部１０１と、素子基板２
０５が有する入力用２次コイル形成部１１７は、一定の
間隔を空けて重なっている。なおこの間隔は小さいほど
望ましく、入力用１次コイル形成部１０１と、素子基板
２０５が有する入力用２次コイル形成部１１７は、間隔
の制御が可能な限り近づけたほうが良い。

【００７３】また、検査基板２０４が有する出力用２次
コイル形成部１０２と、素子基板２０５が有する出力用
１次コイル形成部１１８は、一定の間隔を空けて重なっ
ている。なおこの間隔は小さいほど望ましく、出力用２
次コイル形成部１０２と、出力用１次コイル形成部１１
８は、間隔の制御が可能な限り近づけたほうが良い。

【００７４】なお、検査基板２０４と素子基板２０５の
間隔は、両基板を固定することで保つようにしても良
い。また、素子基板２０５と検査基板２０４のいずれか
一方を固定し、検査基板２０４と素子基板２０５の間に
一定の流量または圧力の流体を用いることで、間隔を保
つようにしても良い。なお流体として、代表的には気体
または液体を用いることができる。またその他に、粘性
を有するゲルなどの流体を用いることも可能である。

【００７５】入力用１次コイル形成部１０１と入力用２
次コイル形成部１１７とが重なっている部分の拡大図
を、図４（Ｂ）に示す。２０８は入力用１次コイルであ
り、２０７は入力用２次コイルを示している。

【００７６】入力用１次コイル２０８と入力用２次コイ
ル２０７は、配線の渦の巻く方向が同一になっている
が、本発明はこの構成に限定されない。１次コイルと２
次コイルの渦の巻く方向が逆であっても良い。

【００７７】また１次コイルと、２次コイルの間の間隔
（Ｌ_gap）も設計者が適宜設定することができる。

【００７８】出力用１次コイル形成部１１８の出力用１
次コイルと、出力用２次コイル形成部１０２の出力用２
次コイルも、図４（Ｂ）に示した入力用１次コイル２０
８と入力用２次コイル２０７と同様に重ねることで、電
磁結合させることができる。

【００７９】次に、図２に示した波形整形回路１１６ａ
の詳しい構成について説明する。

【００８０】図５に、図１及び図２で示した信号源２０
１、入力用１次コイル形成部１０１、入力用２次コイル
形成部１１７、波形整形回路１１６ａの接続の様子を示
す。入力用１次コイル形成部１０１には、複数の入力用
１次コイル２０８が設けられている。入力用２次コイル
形成部１１７には、複数の入力用２次コイル２０７が設
けられている。

【００８１】各入力用１次コイル２０８には、信号源２
０１から検査用の交流の信号が入力されている。具体的
には、信号源２０１から検査用の交流の信号の電圧が、
各入力用１次コイル２０８が有する２つの端子間に印加
される。入力用１次コイル２０８に交流の信号が入力さ
れると、対応する入力用２次コイル２０７に起電力であ
る交流の電圧が生じ、該交流の電圧が波形整形回路１１
６ａに印加される。

【００８２】波形整形回路１１６ａは、時間的に変化す
る量、すなわち電圧や電流等の波形を形成したり、整形
したりするために用いる電子回路である。図５では、抵
抗５０１、５０２、コンデンサ５０３を有し、各回路素
子を組み合わせて積分型波形整形回路１１６ａを構成し
ている。むろん波形整形回路は図５に示した構成に限ら
れない。また、電源回路と同様に、ダイオードを用いた
検波回路を使用し、波形整形を行なっても良い。

【００８３】本発明で用いる波形整形回路１１６ａは、
入力された交流の起電力から、具体的にはクロック信号
（ＣＬＫ）、スタートパルス信号（ＳＰ）、ビデオ信号
（Ｖｉｄｅｏ Ｓｉｇｎａｌｓ）を生成し、出力する。

【００８４】なお、波形整形回路１１６ａでは、上述し
た信号に限定されず、任意の波形の信号を生成すること
が可能である。波形整形回路１１６ａで生成される信号
は、回路または回路素子の動作状態を確認することがで
きる信号であれば良い。

【００８５】波形整形回路１１６ａから出力された信号
は、後段の回路（図１及び図２では、信号線駆動回路１
１１、走査線駆動回路１１２、画素部１１３に入力され
る。

【００８６】次に、図２に示した整流回路１１６ｂの詳
しい構成について説明する。

【００８７】図６に、図１及び図２で示した交流電源２
０２、入力用１次コイル形成部１０１、入力用２次コイ
ル形成部１１７、整流回路１１６ｂの接続の様子を示
す。入力用１次コイル形成部１０１には、複数の入力用
１次コイル２０８が設けられている。入力用２次コイル
形成部１１７には、複数の入力用２次コイル２０７が設
けられている。

【００８８】各入力用１次コイル２０８には、交流電源
２０２から検査用の交流の信号が入力されている。入力
用１次コイル２０８に交流の信号が入力されると、対応
する入力用２次コイル２０７に起電力である交流の電圧
が生じ、該交流の電圧が整流回路１１６ｂに印加され
る。

【００８９】なお、本発明において整流回路とは、供給
された交流の電圧から直流の電源電圧を生成する回路を
意味する。なお直流の電源電圧とは、回路または回路素
子に与えられる、一定の高さに保たれた電圧を意味す
る。

【００９０】図６で示した整流回路１１６ｂでは、ダイ
オード６０１と、コンデンサ６０２と、抵抗６０３とを
有している。ダイオード６０１は入力された交流の電圧
を整流化し、直流の電圧に変換する。

【００９１】図７（Ａ）に、ダイオード６０１において
整流化される前の、交流の電圧の時間変化を示す。ま
た、図７（Ｂ）に、整流化された後の電圧の時間変化を
示す。図７（Ａ）のグラフと図７（Ｂ）のグラフを比較
してわかるように、整流化された後は、半周期毎に、電
圧が０または一方の極性を有する値をとる、いわゆる脈
流の電圧になっている。

【００９２】図７（Ｂ）に示した脈流の電圧は、電源電
圧として用いることが難しい。そこで通常では、コンデ
ンサにおいて電荷を蓄えることによって、脈流を平滑化
して直流の電圧に変換している。しかし、薄膜の半導体
を用いて、脈流を十分に平滑化させることができる大容
量のコンデンサを形成するには、コンデンサ自体の面積
を非常に大きくする必要があり、現実的ではない。そこ
で、本発明では、整流化した後に位相の異なる脈流の電
圧を合成（加算）し、電圧を平滑化する。上記構成によ
り、コンデンサの容量が小さくても脈流を十分に平滑化
させることができ、さらには、コンデンサを積極的に設
けなくとも、脈流を十分に平滑化させることができる。

【００９３】図６では４つの１次コイルに、それぞれ位
相の異なる交流の信号を入力することで、４つのダイオ
ード６０１から位相の異なる４つの脈流の電圧を出力す
るようにする。そして、上記４つの脈流の電圧が加算さ
れて、高さがほぼ一定に保たれた直流の電源電圧が生成
され、後段の回路に出力される。

【００９４】なお図６では、４つのダイオード６０１か
ら出力される、位相の異なる４つの脈流の信号を加算す
ることで、電源電圧を生成していたが、本発明はこの構
成に限定されない。位相分割の数はこれに限定されず、
整流回路からの出力を、電源電圧として用いることがで
きるぐらい平滑化することが可能であれば、位相分割の
数は幾つでも良い。

【００９５】図８に、複数の整流化された信号を加算し
することで得られる、電源電圧の時間変化を示す。図８
（Ａ）は、４つの位相の異なる脈流の電圧を加算するこ
とで、１つの電源電圧が生成されている例を示してい
る。

【００９６】なお本発明の整流回路において生成される
電圧は、複数の脈流を加算して生成されるため、直流以
外の成分であるリプルが存在している。リプルとは電圧
の最も高い電圧と最も低い電圧との差に相当する。リプ
ルが小さければ小さいほど、整流回路において生成され
る電圧は直流に近づき、電源電圧として用いやすくな
る。

【００９７】図８（Ｂ）に、８つの位相の異なる脈流の
電圧を加算することで得られる、電源電圧の時間変化を
示す。図８（Ａ）に示した電源電圧の時間変化と比較し
て、リプルが小さくなっていることがわかる。

【００９８】図８（Ｃ）に、１６の位相の異なる脈流の
電圧を加算することで得られる、電源電圧の時間変化を
示す。図８（Ｂ）に示した電源電圧の時間変化と比較し
て、リプルがさらに小さくなっていることがわかる。

【００９９】このように、多くの位相の互いに異なる脈
流を加算することで、電源電圧のリプルが小さくなり、
より直流化されることがわかる。よって、位相分割の数
が多ければ多いほど、整流回路から出力される電源電圧
が平滑化されやすい。また、コンデンサ６０２の容量が
大きければ大きいほど、整流回路から出力される電源電
圧が平滑化されやすい。

【０１００】整流回路１１６ｂにおいて生成された電源
電圧は、端子６１０、６１１から出力される。具体的に
は、端子６１０からグラウンドに近い電圧が出力され、
端子６１１からは正の極性を有する電源電圧が出力され
る。なお、ダイオードの陽極と陰極を逆に接続すること
で、出力される電源電圧の極性を逆にすることができ
る。端子６１０、６１１に接続されているダイオード６
０２は、端子６１２、６１３に接続されているダイオー
ド６０１に対して、陽極と陰極が逆に接続されている。
よって、端子６１２からグラウンドに近い電圧が出力さ
れ、端子６１３からは負の極性を有する電源電圧が出力
される。

【０１０１】なお、素子基板上には様々な回路または回
路素子が形成されており、各回路または回路素子の種類
または用途によって、回路または回路素子に供給するべ
き電源電圧の高さが異なる。図６に示した整流回路で
は、入力する交流の信号の振幅を調整することで、各端
子にに入力される電圧の高さを調整することができる。
さらに、回路または回路素子によって接続する端子を変
えることで、回路または回路素子に供給される電源電圧
の高さを変えることができる。

【０１０２】本発明で用いる整流回路は、図６に示した
半波整流回路に限定されない。本発明で用いる整流回路
は、入力された交流の信号から直流の電源電圧を生成す
ることができる回路であれば良い。

【０１０３】図１８に、図６で示した以外の構成を有す
る整流回路の回路図を示す。図１８（Ａ）に示した整流
回路は倍電圧全波整流回路９０１であり、２つのダイオ
ード９０２、９０３を有している。また図１８（Ａ）に
示した倍電圧全波整流回路は、コンデンサ９０４、９０
５を有している。なおコンデンサの位置及びその数は、
図１８（Ａ）に示したものに限定されない。

【０１０４】ダイオード９０２のカソードと、ダイオー
ド９０３のアノードは、共に入力用２次コイルの端子の
１つに接続されている。倍電圧全波整流回路９０１を複
数設け、出力を加算することによって、図６に示した半
波整流回路に比べて２倍の直流電圧を得ることができ
る。

【０１０５】図１８（Ｂ）に示した整流回路はブリッジ
整流回路９１１であり、４つのダイオード９１２、９１
３、９１４、９１５を有している。４つのダイオード９
１２、９１３、９１４、９１５はブリッジ回路を形成し
ている。また図１８（Ｂ）に示したブリッジ整流回路
は、コンデンサ９１６を有している。なおコンデンサの
位置及びその数は、図１８（Ｂ）に示したものに限定さ
れない。

【０１０６】次に、図２に示した検査専用回路１１９の
詳しい構成について説明する。

【０１０７】図９に、検査専用回路１１９の構成を示
す。検査専用回路１１９は、検査対象である回路または
回路素子の出力を信号処理し、検査対象の回路または回
路素子の動作状態を情報として有している信号（動作情
報信号）を生成する手段を有している。本実施の形態で
は、上記手段としてＡ／Ｄ変換回路２２３と、データフ
ォーマット部２２４を用いる。

【０１０８】信号線駆動回路１１１、走査線駆動回路１
１２、画素部１１３が有する回路または回路素子からの
アナログの出力は、Ａ／Ｄ変換回路２２３においてデジ
タル信号に変換される。デジタル信号はデータフォーマ
ット部２２４に入力される。なお、回路または回路素子
からの出力が、アナログではなくデジタル信号である場
合、該デジタル信号を直接データフォーマット部２２４
に入力する。

【０１０９】なお、本実施の形態では、回路または回路
素子から出力される信号を全てデジタルに変換し、デー
タフォーマット部２２４においてデジタルの信号を用い
て処理を行なっている。しかし本発明はこの構成に限定
されない。回路または回路素子から出力される信号を全
てアナログに変換し、データフォーマット部２２４にお
いてアナログの信号を処理するようにしても良い。

【０１１０】データフォーマット部２２４では、回路ま
たは回路素子に対応する入力されたデジタル信号を演算
処理し、動作情報信号を生成する。動作情報信号とは、
検査対象の回路または回路素子の動作状態を情報として
有する信号である。なお動作情報信号は、具体的には、
パラレルに入力されたデジタル信号を一旦記憶し、順に
読み出すことによってシリアルに変換された信号であっ
ても良いし、パラレルに入力されたデジタル信号の電圧
を所定のタイミングに従って順に出力することで得られ
る信号であっても良い。また、検査対象となる回路また
は回路素子の出力が、全て同じ電圧を有するデジタル信
号であるときと、１つでも異なる電圧を有するデジタル
信号があるときとで、データフォーマット部２２４から
出力される動作情報信号の電圧を変えるようにしても良
い。いずれにしても、動作情報信号から検査対象である
回路または回路素子の良否、さらには不良箇所の位置を
把握することができれば良い。

【０１１１】データフォーマット部２２４から出力され
る動作情報信号は、バッファ２２２において増幅され、
変調回路１２１に入力される。なおバッファ２２２を設
けずに、データフォーマット部２２４からの出力を直接
変調回路１２１に入力するようにしても良い。

【０１１２】一方、各入力用１次コイル２０８には、交
流電源２０２から検査用の交流の信号が入力されてい
る。入力用１次コイル２０８に交流の信号が入力される
と、対応する入力用２次コイル２０７に起電力である交
流の電圧が生じ、該交流の電圧が変調回路１２１に印加
される。

【０１１３】変調回路１２１は、入力用２次コイル２０
７から入力された交流の電圧の振幅を、データフォーマ
ット部２２４またはバッファ２２２から入力された動作
情報信号に従って変調させる手段を有している。図９で
は、上記手段としてトランジスタ２２０、２２１を有し
ているが、本発明はこの構成に限定されない。変調回路
１２１は、入力用２次コイル２０７から入力された交流
の電圧の振幅を、データフォーマット部２２４またはバ
ッファ２２２から入力された動作情報信号に従って変調
させることができれば、どのような構成を有していても
良い。

【０１１４】図９に示した変調回路１２１は、バッファ
２２２の出力が、トランジスタ２２０及び２２１のゲー
ト電極に入力されている。トランジスタ２２０のソース
領域とドレイン領域は、一方は入力用２次コイル２０７
が有する第１の端子に接続されており、もう一方は出力
用１次コイル２１０の第１の端子に接続されている。ト
ランジスタ２２１のソース領域とドレイン領域は、一方
は出力用１次コイル２１０の第１の端子に接続されてお
り、もう一方は一定の電圧が与えられている。なお、こ
の一定の電圧はグラウンドの電圧であっても良い。

【０１１５】上記構成により、入力用２次コイル２０７
から出力された交流の電圧が、動作情報信号によって変
調され、被変調信号として出力用１次コイル２１０の第
１の端子に入力される。なお、本実施の形態では、動作
情報信号によって、入力用２次コイル２０７から出力さ
れた交流の電圧がスイッチングされ、被変調信号として
出力用１次コイル２１０の第１の端子に入力されてい
る。

【０１１６】また、入力用２次コイル２０７と、出力用
１次コイル２１０がそれぞれ有する第２の端子には、共
に同じ一定の電圧が与えられている。なおこの電圧は、
グラウンドの電圧であっても良い。

【０１１７】出力用１次コイル２１０と、出力用２次コ
イル２１１とが電磁結合すると、出力用１次コイル２１
１の２つの端子間に起電力である交流の電圧が生じる。
該交流の電圧は、検査部２０３に入力される。

【０１１８】検査部２０３では、出力用２次コイル２１
１から入力された交流の電圧から、検査対象の回路また
は回路素子が、正常に動作するか否かを特定することが
できる。

【０１１９】なお、検査専用回路に入力される交流の電
圧の周波数を高めると、検査専用回路から出力用１次コ
イルの端子に入力される被変調信号の周波数も高くな
る。コイルのインピーダンスは、巻き数、サイズ等のコ
イルの設計や、コイルに入力される信号の周波数など、
様々な要素によって決まる。そのため、検査専用回路に
入力される変調前の交流の電圧の周波数の値は、コイル
のインピーダンスの値を左右する他の要素との兼ね合い
で決めるのが望ましい。

【０１２０】なお、検査対象の回路または回路素子の動
作状態によって、動作情報信号に直流の成分が含まれて
いる場合がある。動作情報信号に直流の成分が含まれて
いる場合でも、動作情報信号による変調によって生成さ
れた交流の被変調信号を出力用１次コイルの端子に入力
することで、良否の情報を有する起電力を出力用２次コ
イルの端子間に生じさせることができる。

【０１２１】本実施の形態では、駆動回路である信号線
駆動回路と走査線駆動回路を、素子基板が有している例
について説明したが、本発明で検査する素子基板はこれ
に限定されない。素子基板が画素部のみを有している場
合でも、本発明の検査方法を用いて検査することが可能
である。また、ＴＥＧと称される単体素子または該単体
素子を複合化した評価回路においても、本発明の検査方
法及び検査装置を用いて動作状態を確認することが可能
である。

【０１２２】また、本実施の形態では液晶ディスプレイ
が有する素子基板の検査方法について説明したが、液晶
ディスプレイ以外の半導体表示装置においても、本実施
の形態で示した検査方法を用いて検査することが可能で
ある。また半導体表示装置に限られず、基板上に形成さ
れた半導体の特性を利用した半導体装置であれば、本発
明の検査方法を用いて検査することが可能である。な
お、半導体装置には、ガラス基板上に成膜された半導体
薄膜を用いた半導体装置であっても良いし、単結晶のシ
リコン基板に形成された半導体装置であっても良い。

【０１２３】ただし、半導体装置の種類及び規格に合わ
せて、コイルの数及び設計を適宜設定する必要がある。
また、入力用１次コイル形成部に入力する検査用の交流
の信号の波形、周波数及び振幅も、半導体装置の種類及
び規格に合わせて適宜設定する必要がある。

【０１２４】本発明は上記構成によって、配線に直接プ
ローブを立てなくても良否を判定することができるの
で、プローブを立てることで生じた微細なゴミにより、
後の工程の歩留まりを低下させるのを防ぐことができ
る。なおかつ、光学式検査方法と異なり、１回の検査工
程で全てのパターン形成工程の良否を判断することがで
きるので、検査工程がより簡便化される。

【０１２５】

【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。

【０１２６】（実施例１）本実施例では、出力用１次コ
イル及び出力用２次コイルを設けずに、回路または回路
素子が駆動することで生じる微弱な電磁波、または電界
をモニターし、多数の回路または回路素子の中から、正
常に動作していない箇所を検出する例について説明す
る。

【０１２７】図１０に、本実施例の素子基板と検査基板
の構成を示す。図１０に示した素子基板４５５は、検査
専用回路４１９を有している。検査専用回路４１９は、
検査対象である回路または回路素子の出力を信号処理
し、検査対象の回路または回路素子の動作状態を情報と
して有している信号（動作情報信号）を生成する手段を
有している。本実施例では、上記手段としてＡ／Ｄ変換
回路４７３と、データフォーマット部４７４を用いる。

【０１２８】本実施例において、素子基板４５５は信号
線駆動回路４１１、走査線駆動回路４１２、画素部４１
３を有している。そして、信号線駆動回路４１１、走査
線駆動回路４１２、画素部４１３が有する回路または回
路素子からのアナログの出力は、Ａ／Ｄ変換回路４７３
においてデジタル信号に変換される。デジタル信号はデ
ータフォーマット部４７４に入力される。なお、回路ま
たは回路素子からの出力が、アナログではなくデジタル
信号である場合、該デジタル信号を直接データフォーマ
ット部４７４に入力する。

【０１２９】なお、本実施例では、回路または回路素子
から出力される信号を全てデジタルに変換し、データフ
ォーマット部４７４においてデジタルの信号を処理して
いる。しかし本発明はこの構成に限定されない。回路ま
たは回路素子から出力される信号をアナログに変換し、
データフォーマット部４７４においてアナログの信号を
処理しても良い。

【０１３０】データフォーマット部４７４では、入力さ
れた回路または回路素子に対応する全てのデジタル信号
を演算処理し、検査対象の回路または回路素子の動作状
態を情報として有している動作情報信号を生成する。

【０１３１】データフォーマット部４７４から出力され
る動作情報信号は、バッファ４７２において増幅され、
変調回路４２１に入力される。なおバッファ４７２を設
けずに、データフォーマット部４７４からの出力を直接
変調回路４２１に入力するようにしても良い。

【０１３２】一方、検査基板４５４が有する各入力用１
次コイル４５８には、交流電源４５２から検査用の交流
の信号が入力されている。入力用１次コイル４５８に交
流の信号が入力されると、対応する素子基板４５５が有
する入力用２次コイル４５７に起電力である交流の電圧
が生じ、該交流の電圧が変調回路４２１に印加される。

【０１３３】変調回路４２１は、入力用２次コイル４５
７から入力された交流の電圧の振幅を、データフォーマ
ット部４７４またはバッファ４７２から入力された動作
情報信号に従って変調させる手段を有している。図９で
は、上記手段としてトランジスタ４７０、４７１を有し
ているが、本発明はこの構成に限定されない。変調回路
４２１は、入力用２次コイル４５７から入力された交流
の電圧の振幅を、データフォーマット部４７４またはバ
ッファ４７２から入力された動作情報信号に従って変調
させることができれば、どのような構成を有していても
良い。

【０１３４】図９に示した変調回路４２１は、バッファ
４７２の出力が、トランジスタ４７０及び４７１のゲー
ト電極に入力されている。トランジスタ４７０のソース
領域とドレイン領域は、一方は入力用２次コイル４５７
が有する第１の端子に接続されており、もう一方は、素
子基板４５５が有する出力用パッド４５８に接続されて
いる。トランジスタ４７１のソース領域とドレイン領域
は、一方は出力用パッド４５８に接続されており、もう
一方は一定の電圧が与えられている。なお、この一定の
電圧はグラウンドの電圧であっても良い。

【０１３５】また、入力用２次コイル４５７が有する第
２の端子には、一定の電圧が与えられている。なおこの
電圧は、グラウンドの電圧であっても良い。

【０１３６】上記構成により、入力用２次コイル４５７
から出力された交流の電圧が、動作情報信号によって変
調され、被変調信号として出力用パッド４５８に入力さ
れる。

【０１３７】出力用パッド４５８において、微弱な電磁
波または電界が生じている。検査基板４５４及び素子基
板４５５とは別途設けられた測定部４６０において、該
電磁波または電界をモニターし、データとして検査部４
５３に入力する。検査部４５３では、該データから、検
査対象の回路または回路素子が、正常に動作するか否か
を特定することができる。

【０１３８】なお、この場合、電磁波または電界が有す
るあらゆる情報をモニターし、利用することができる。
具体的に、電磁波または電界が有する情報として、周波
数、位相、強度、時間など、様々な次元において収集す
ることが可能である。本発明においては、多数の回路ま
たは回路素子の中から、正常に動作していない箇所を検
出することが可能であるのならば、電磁波または電界が
有する情報のうち、どのような情報でも利用することが
可能である。

【０１３９】なお回路または回路素子において生じる微
弱な電磁波、または電界のモニターの仕方は、公知の方
法を用いることができる。本実施例では、検査工程にお
いて回路または回路素子において生じる電界を、電気光
学効果を利用して検出する例について説明する。具体的
に本実施例では、ポッケルス・セルを用いて測定する例
について説明する。

【０１４０】ポッケルス・セルとは、電気光学効果の１
つであるポッケルス効果を用いた電気光学素子の１つで
ある。なお電気光学素子とは、電界がかかると屈折率が
変化する電気光学効果を利用した素子である。この性質
を利用し、結晶に交流電圧やパルス電圧を加えて、光の
変調やシャッター、円偏光の発生や検出に用いることが
できる。

【０１４１】ポッケルス・セルは、第１電極、第２電
極、強誘電体結晶であるポッケルス結晶を有している。
第１電極と第２電極の間にポッケルス結晶が挟まれてい
る。第１電極及び第２電極は、光を透過する導電性の材
料で形成されている。

【０１４２】第１電極には一定の電圧が印加されてい
る。そして、第１電極及び第２電極は、素子基板と並行
に、なおかつ第２電極と出力用パッド４５８が重なるよ
うに配置されている。なお、第２電極は素子基板４５５
と接するように配置してもよいし、一定の間隔を空けて
配置するようにしても良い。また、第２電極と素子基板
４５５の間に、緩衝材となるものを挟むようにしても良
い。

【０１４３】出力用パッド４５８から発せられる電界に
よって、ポッケルスセルの出力用パッド４５８と重なる
部分において光の屈折率が変化する。この屈折率は出力
用パッド４５８から発せられる電界の強度によって変化
する。よって、ポッケルスセルにおける光の屈折率をモ
ニターすることで、出力用パッド４５８から発せられる
電界の強度を測定することができる。

【０１４４】具体的には、ポッケルスセルを透過する光
のうち、素子基板に対して垂直な方向における光を、偏
光ビームスプリッターなどの光学系を用いて分離し、そ
の強度をモニターすることで、ポッケルスセルの屈折率
を算出し、該屈折率からポッケルスセルに印加された電
圧の大きさを求めることができる。そして、ポッケルス
セルに印加された電圧の大きさから、不良箇所を検出す
ることが可能である。

【０１４５】なお、複数回にわたるモニターの結果に何
らかの演算処理を施し、良否を判定するようにしても良
い。

【０１４６】また、検査対象である回路の出力を検査専
用回路に入力し、該出力用パッドにおいて生じる電磁波
または電界の強度を、電気光学素子を用いて測定するこ
とで、検査対象である回路または回路素子において、い
ちいちポッケルス・セルを用いてモニターする必要がな
くなり、検査工程を簡便化及び迅速化することができ
る。

【０１４７】なお。ポッケルス結晶として、主に、ＮＨ
₄Ｈ₂ＰＯ₄、ＢａＴｉＯ₃、ＫＨ₂ＰＯ₄（ＫＨＰ）、ＫＤ
₂ＰＯ₄（ＫＤＰ）、ＬｉＮｂＯ₃、ＺｎＯなどの結晶を
用いることができる。しかし本実施例で用いることがで
きるポッケルス結晶は上述したものに限定されない。ポ
ッケルス効果を有する結晶であれば良い。

【０１４８】また本実施例では、ポッケルス・セルを用
いたが、電界の大きさを感知するための電気光学素子は
これに限定されない。電圧の印加により、その光学的特
性が変化するという現象を利用した電気光学素子であれ
ば、本発明の検査方法または検査装置に用いることが可
能である。よって、液晶などを用いることも可能であ
る。

【０１４９】なお、本実施例において、検査専用回路に
入力される交流の電圧の周波数を高めると、検査専用回
路から出力用パッドに入力される被変調信号の周波数も
高くなる。

【０１５０】（実施例２）本実施例では、検査用の駆動
信号及び電源電圧について、液晶ディスプレイとＯＬＥ
Ｄディスプレイの場合を例にとって、より詳しく説明す
る。

【０１５１】１次コイルと２次コイルの数は、素子基板
の画素部と駆動回路の構造によって変わってくるため、
各素子基板の規格に合わせて数を設定することが肝要で
ある。

【０１５２】図１１に、一般的な液晶ディスプレイの、
素子基板の構成を示す。図１１に示した素子基板は、信
号線駆動回路７００、走査線駆動回路７０１、画素部７
０２を有している。

【０１５３】画素部７０２には、複数の信号線と複数の
走査線が形成されており、信号線と走査線で囲まれた領
域が画素に相当する。なお、図１１では複数の画素のう
ち、１つの信号線７０３と、１つの走査線７０４とを有
する画素のみを代表的に示した。各画素はスイッチング
素子となる画素ＴＦＴと、液晶セルの画素電極７０６を
有している。

【０１５４】画素ＴＦＴ７０５のゲート電極は走査線７
０４に接続されている。そして画素ＴＦＴ７０５のソー
ス領域とドレイン領域は、一方は信号線７０３に、もう
一方は画素電極７０６に接続されている。

【０１５５】信号線駆動回路７００は、シフトレジスタ
７１０、レベルシフタ７１１、アナログスイッチ７１２
を有している。シフトレジスタ７１０、レベルシフタ７
１１及びアナログスイッチ７１２には、電源電圧（Ｐｏ
ｗｅｒ ｓｕｐｐｌｙ）が与えられている。また、シフ
トレジスタ７１０には信号線駆動回路用のクロック信号
（Ｓ−ＣＬＫ）とスタートパルス信号（Ｓ−ＳＰ）が与
えられている。アナログスイッチ７１２にはビデオ信号
（Ｖｉｄｅｏ ｓｉｇｎａｌｓ）が与えられている。

【０１５６】シフトレジスタ７１０にクロック信号（Ｓ
−ＣＬＫ）とスタートパルス信号（Ｓ−ＳＰ）が入力さ
れると、ビデオ信号のサンプリングのタイミングを決定
するサンプリング信号が生成され、レベルシフタ７１１
に入力される。サンプリング信号は、レベルシフタ７１
１においてその電圧の振幅を大きくされ、アナログスイ
ッチ７１２に入力される。アナログスイッチ７１２で
は、入力されたサンプリング信号に同期して、入力され
たビデオ信号をサンプリングし、信号線７０３に入力す
る。

【０１５７】一方、走査線駆動回路は、シフトレジスタ
７２１と、バッファ７２２を有している。シフトレジス
タ７２１、バッファ７２２には、電源電圧（Ｐｏｗｅｒ
ｓｕｐｐｌｙ）が与えられている。また、シフトレジ
スタ７２１には走査線駆動回路用のクロック信号（Ｇ−
ＣＬＫ）とスタートパルス信号（Ｇ−ＳＰ）が与えられ
ている。

【０１５８】シフトレジスタ７２１にクロック信号（Ｇ
−ＣＬＫ）とスタートパルス信号（Ｇ−ＳＰ）が入力さ
れると、走査線の選択のタイミングを決定する選択信号
が生成され、バッファ７２２に入力される。バッファ７
２２に入力された選択信号は、緩衝増幅されて走査線７
０４に入力される。

【０１５９】走査線７０４が選択されると、選択された
走査線７０４にゲート電極が接続された画素ＴＦＴ７０
５がオンになる。そして、信号線に入力されたサンプリ
ングされたビデオ信号が、オンになっている画素ＴＦＴ
７０５を介して、画素電極７０６に入力される。

【０１６０】このように、信号線駆動回路７００と、走
査線駆動回路７０１と、画素部７０２が動作したとき
に、各回路または回路素子の出力（Ｅｎｄ Ｓｉｇｎａ
ｌｓ）が検査専用回路７３０に入力される。そして検査
専用回路において、各回路または回路素子の出力から動
作情報信号が生成され、該動作情報信号によって被変調
信号が生成される。そして、該被変調信号が出力用１次
コイルに入力されることによって出力用２次コイルに生
じた交流の電圧が、検査部に入力され、検査部におい
て、各回路または回路素子の動作の良否の状態が確認さ
れる。なお、信号線駆動回路７００と、走査線駆動回路
７０１と、画素部７０２が動作したときに、各回路また
は回路素子において発生する電界または電磁波を何らか
の手段を用いてモニターすることで、各回路または回路
素子の状態の良否を判定することもできる。

【０１６１】例えば、シフトレジスタ７１０が、複数の
フリップフロップを用いて形成されている場合、Ｓ−Ｃ
ＬＫに同期して、最初のフリップフロップに与えられて
記憶された電圧が、順に次の段のフリップフロップに送
られ記憶される。このように、複数のフリップフロップ
が順に動作する。そして各フリップフロップが動作する
ことで得られるサンプリング信号は、そのパルスの出現
するタイミングが順にずれていく。前段のフリップフロ
ップが正常に動作しないと、その後段のフリップフロッ
プも正常に正常に動作しなくなる。よってこの場合、最
終段のフリップフロップが動作することで得られたサン
プリング信号を、出力（Ｅｎｄ Ｓｉｇｎａｌｓ）とし
て用いることができる。シフトレジスタが有するフリッ
プフロップのいずれか１つが、不良箇所を有するするた
めに正常に動作しないときの出力は、全てのフリップフ
ロップが正常に動作するときとの出力と、その電圧の波
形が異なる。

【０１６２】図１１に示した素子基板の場合、Ｓ−ＣＬ
Ｋ、Ｓ−ＳＰ、Ｇ−ＣＬＫ、Ｇ−ＳＰ及びビデオ信号
を、検査用の駆動信号として各回路に入力している。な
お、検査用の駆動信号は、上述した信号に限定されな
い。駆動に関わる信号ならば、検査用の駆動信号として
用いることが可能である。例えば、上述した信号の他
に、走査線の走査方向を切りかえるタイミングを決定す
る信号や、走査線への選択信号の入力方向を切りかえる
信号などを入力しても良い。ただし、検査したい回路に
おいて、回路または回路素子の良否を判定できるような
信号を入力することが肝要である。

【０１６３】また、素子基板が有する全ての回路を検査
するのではなく、その中の一部の回路を検査対象とする
場合、該回路の状態の良否を判定することが可能である
ならば、上述した全ての駆動信号を入力する必要はな
い。例えば、信号線駆動回路７００が有するシフトレジ
スタ７１０のみを検査対象とするとき、検査用の駆動信
号であるＳ−ＣＬＫ、Ｓ−ＳＰと、シフトレジスタ７１
０用の検査用の電源電圧のみを、波形整形回路と整流回
路において生成し、シフトレジスタ７１０に入力すれば
良い。

【０１６４】次に、図１２に、一般的なＯＬＥＤディス
プレイの、素子基板の構成を示す。なお、図１１ではデ
ジタルのビデオ信号を用いて画像を表示するＯＬＥＤデ
ィスプレイの駆動回路を例に説明する。図１２に示した
素子基板は、信号線駆動回路８００、走査線駆動回路８
０１、画素部８０２を有している。

【０１６５】画素部８０２には、複数の信号線と、複数
の走査線と、複数の電源線が形成されており、信号線と
走査線と電源線とで囲まれた領域が画素に相当する。な
お、図１２では複数の画素のうち、１つの信号線８０７
と、１つの走査線８０９と、１つの電源線８０８を有す
る画素のみを代表的に示した。各画素はスイッチング素
子となるスイッチング用ＴＦＴ８０３と、駆動用ＴＦＴ
８０４と、保持容量８０５と、ＯＬＥＤの画素電極８０
６を有している。

【０１６６】スイッチング用ＴＦＴ８０３のゲート電極
は走査線８０９に接続されている。そしてスイッチング
用ＴＦＴ８０３のソース領域とドレイン領域は、一方は
信号線８０７に、もう一方は駆動用ＴＦＴ８０４のゲー
ト電極に接続されている。

【０１６７】駆動用ＴＦＴ８０４のソース領域とドレイ
ン領域は、一方は電源線８０８に、もう一方は画素電極
８０６に接続されている。そして、駆動用ＴＦＴ８０４
のゲート電極と電源線８０８とで保持容量８０５が形成
されている。なお保持容量８０５は必ずしも形成する必
要はない。

【０１６８】信号線駆動回路８００は、シフトレジスタ
８１０、第１ラッチ８１１、第２ラッチ８１２を有して
いる。シフトレジスタ８１０、第１ラッチ８１１及び第
２ラッチ８１２には、それぞれ電源電圧（Ｐｏｗｅｒ
ｓｕｐｐｌｙ）が与えられている。また、シフトレジス
タ８１０には信号線駆動回路用のクロック信号（Ｓ−Ｃ
ＬＫ）とスタートパルス信号（Ｓ−ＳＰ）が与えられて
いる。第１ラッチ８１１にはラッチのタイミングを決定
するラッチ信号（Ｌａｔｃｈ ｓｉｇｎａｌｓ）とビデ
オ信号（Ｖｉｄｅｏ ｓｉｇｎａｌｓ）が与えられてい
る。

【０１６９】シフトレジスタ８１０にクロック信号（Ｓ
−ＣＬＫ）とスタートパルス信号（Ｓ−ＳＰ）が入力さ
れると、ビデオ信号のサンプリングのタイミングを決定
するサンプリング信号が生成され、第１ラッチ８１１に
入力される。

【０１７０】なお、シフトレジスタ８１０からのサンプ
リング信号を、バッファ等によって緩衝増幅してから、
第１ラッチ８１１に入力するようにしても良い。サンプ
リング信号が入力される配線には、多くの回路あるいは
回路素子が接続されているために負荷容量（寄生容量）
が大きい。この負荷容量が大きいために生ずるタイミン
グ信号の立ち上がりまたは立ち下がりの”鈍り”を防ぐ
ために、このバッファは有効である。

【０１７１】第１ラッチ８１１は複数のステージのラッ
チを有している。第１ラッチ８１１では、入力されたサ
ンプリング信号に同期して、入力されたビデオ信号をサ
ンプリングし、各ステージのラッチに順に記憶してい
く。

【０１７２】第１ラッチ８１１の全てのステージのラッ
チにビデオ信号の書き込みが一通り終了するまでの時間
を、ライン期間と呼ぶ。実際には、上記ライン期間に水
平帰線期間が加えられた期間をライン期間に含むことが
ある。

【０１７３】１ライン期間が終了すると、第２ラッチ８
１２にラッチ信号が入力される。この瞬間、第１ラッチ
８１１に書き込まれ保持されているビデオ信号は、第２
ラッチ８１２に一斉に送出され、第２ラッチ８１２の全
ステージのラッチに書き込まれ、保持される。

【０１７４】ビデオ信号を第２ラッチ８１２に送出し終
えた第１ラッチ８１１には、シフトレジスタ８１０から
のサンプリング信号に基づき、ビデオ信号の書き込みが
順次行われる。

【０１７５】この２順目の１ライン期間中には、第２ラ
ッチ８１２に書き込まれ、保持されているビデオ信号が
ソース信号線に入力される。

【０１７６】一方、走査線駆動回路は、シフトレジスタ
８２１と、バッファ８２２を有している。シフトレジス
タ８２２、バッファ８２２には、電源電圧（Ｐｏｗｅｒ
ｓｕｐｐｌｙ）が与えられている。また、シフトレジ
スタ８２１には走査線駆動回路用のクロック信号（Ｇ−
ＣＬＫ）とスタートパルス信号（Ｇ−ＳＰ）が与えられ
ている。

【０１７７】シフトレジスタ８２１にクロック信号（Ｇ
−ＣＬＫ）とスタートパルス信号（Ｇ−ＳＰ）が入力さ
れると、走査線の選択のタイミングを決定する選択信号
が生成され、バッファ８２２に入力される。バッファ８
２２に入力された選択信号は、緩衝増幅されて走査線８
０９に入力される。

【０１７８】走査線８０９が選択されると、選択された
走査線８０９にゲート電極が接続されたスイッチング用
ＴＦＴ８０３がオンになる。そして、信号線に入力され
たビデオ信号が、オンになっているスイッチング用ＴＦ
Ｔ８０３を介して、駆動用ＴＦＴ８０４のゲート電極に
入力される。

【０１７９】駆動用ＴＦＴ８０４は、ゲート電極に入力
されたビデオ信号の有する１または０の情報に基づい
て、そのスイッチングが制御される。駆動用ＴＦＴ８０
４がオンのときに、電源線の電位が画素電極に与えられ
る。駆動用ＴＦＴ８０４がオフのとき、電源線の電位が
画素電極に与えられない。

【０１８０】このように、信号線駆動回路８００と、走
査線駆動回路８０１と、画素部８０２が動作したとき
に、各回路または回路素子の出力（Ｅｎｄ Ｓｉｇｎａ
ｌｓ）が検査専用回路８３０に入力される。そして検査
専用回路において、各回路または回路素子の出力から動
作情報信号が生成され、該動作情報信号によって被変調
信号が生成される。そして、該被変調信号が出力用１次
コイルに入力されることによって出力用２次コイルに生
じた交流の電圧が、検査部に入力され、検査部におい
て、各回路または回路素子の動作の良否の状態が確認さ
れる。なお、信号線駆動回路８００と、走査線駆動回路
８０１と、画素部８０２が動作したときに、各回路また
は回路素子において発生する電界または電磁波を何らか
の手段を用いてモニターすることで、各回路または回路
素子の状態の良否を判定することもできる。

【０１８１】図１２に示した素子基板の場合、Ｓ−ＣＬ
Ｋ、Ｓ−ＳＰ、Ｇ−ＣＬＫ、Ｇ−ＳＰ、ラッチ信号及び
ビデオ信号を、検査用の駆動信号として各回路に入力し
ている。なお、検査用の駆動信号は、上述した信号に限
定されない。駆動に関わる信号ならば、検査用の駆動信
号として用いることが可能である。例えば、上述した信
号の他に、走査線の走査方向を切りかえるタイミングを
決定する信号や、走査線への選択信号の入力方向を切り
かえる信号などを入力しても良い。ただし、検査したい
回路において、回路または回路素子の良否を判定できる
ような信号を入力することが肝要である。

【０１８２】また、素子基板が有する回路を全て検査す
るのではなく、その中の一部の回路を検査対象とする場
合、該一部の回路のみを動作させるような駆動信号のみ
を入力すれば良く、上述した駆動信号を全て入力する必
要はない。例えば、信号線駆動回路８００が有するシフ
トレジスタ８１０のみを検査対象とするとき、検査用の
駆動信号であるＳ−ＣＬＫ、Ｓ−ＳＰと、シフトレジス
タ８１０用の検査用の電源電圧のみを、波形整形回路と
整流回路において生成し、シフトレジスタ８１０に入力
すれば良い。

【０１８３】なお電源電圧を、位相の異なる複数の脈流
の信号を加算して生成している場合、加算する脈流の信
号の数によっても１次コイルの数は変わってくる。

【０１８４】なお本発明の検査装置及び検査方法は、図
１１及び図１２に示した構造を有する素子基板に限定す
るわけではない。本発明の検査装置及び検査方法は、非
接触にて駆動信号と電源電圧を入力することで、各回路
または回路素子の出力から動作情報信号を生成すること
ができる半導体装置であれば良く、あらゆる種類及び規
格の半導体装置に用いることが可能である。

【０１８５】本実施例は、実施例１と自由に組み合わせ
て実施することが可能である。

【０１８６】（実施例３）本実施例では、大型の素子基
板を用いて複数の表示用の基板を形成する場合におい
て、検査終了後の基板の切断について説明する。

【０１８７】図１３に、本実施例の、切断前の大型の素
子基板の上面図を示す。１００１は画素部、１００２は
走査線駆動回路、１００３は信号線駆動回路である。ま
た１００４で示した領域には、複数の入力用２次コイル
と、複数の出力用１次コイル、波形整形回路、整流回
路、検査専用回路等の、検査工程のときのみ用い、検査
工程終了後は用いない回路または回路素子が形成されて
いる。

【０１８８】図１３において、点線で示すラインにおい
て素子基板を切断することで、１つの素子基板から９つ
の表示用の基板が形成される。なお、本実施例では、１
つの基板から９つの表示用の基板を形成している例につ
いて示しているが、本実施例はこの数に限定されない。

【０１８９】なお切断の際に、引きまわし配線とコイル
用配線とが物理的及び電気的に切り離されるように切断
され、破壊されている。そして図１３では、領域１００
４が、素子基板の切断後、表示用には用いない基板の方
に設けられている。

【０１９０】素子基板である大型基板の切断の仕方につ
いて、図１３とは異なる例について説明する。１１０１
は画素部、１１０２は走査線駆動回路、１１０３は信号
線駆動回路である。また１１０４で示した領域には、複
数の入力用２次コイルと、複数の出力用１次コイル、波
形整形回路、整流回路、検査専用回路等の、検査工程の
ときのみ用い、検査工程終了後は用いない回路または回
路素子が形成されている。

【０１９１】図１４において、点線で示すラインにおい
て素子基板を切断することで、１つの素子基板から９つ
の表示用の基板が形成される。なお、本実施例では、１
つの基板から９つの表示用の基板を形成している例につ
いて示しているが、本実施例はこの数に限定されない。

【０１９２】なお切断の際に、引きまわし配線とコイル
用配線とが物理的及び電気的に切り離されるように切断
され、破壊されている。そして図１４では、領域１１０
４が、基板の切断ライン上に設けられており、検査終了
後に切断され、破壊される。検査終了後、領域１１０４
に形成されている回路または回路素子は不要であるの
で、完成した半導体装置の動作に何ら支障はきたさな
い。

【０１９３】なお、波形整形回路または整流回路も、切
断後、半導体装置に用いられる方の基板に残されていて
も良いし、半導体装置には用いない方の基板上に形成さ
れていても良い。また、切断後、破壊されていても良
い。

【０１９４】本実施例は、実施例１または２の構成と自
由に組み合わせて実施することが可能である。

【０１９５】（実施例４）本実施例では、本発明の検査
工程の順序について、フローチャートを用いて説明す
る。

【０１９６】図１５に、本発明の検査工程のフローチャ
ートを示す。まず、検査前の作製工程が終了した後、検
査用の電源電圧または駆動信号を検査対象の回路または
回路素子に入力する。

【０１９７】そして、検査用の電源電圧または駆動信号
を入力することで検査対象である回路または回路素子を
動作させて、その出力を検査専用回路に入力し、検査専
用回路において動作情報信号を生成する。

【０１９８】そして、検査専用回路に入力された交流の
信号の振幅を該動作情報信号に従って変調することで、
被変調信号を生成し、出力用１次コイルに入力する。そ
して、出力用１次コイルと出力用２次コイルを電磁結合
させ、出力用２次コイルにおいて生じた交流の電圧を検
査部に入力する。

【０１９９】検査部に入力された該交流の信号から、検
査部において良否と、さらには不良箇所の位置を特定す
ることができる。具体的には、正常に動作している回路
素子を用いた場合に検査部に入力される交流の信号の振
幅と、実際に検査する回路素子を用いた場合に検査部に
入力される交流の信号の振幅とを比較する。なおこのと
き、同じ回路または回路素子どうしで、検査部に入力さ
れる交流の信号の振幅を比較するようにしても良いし、
シミュレーションにより算出された理論値から導出した
振幅の値と、実際の測定によって得られた振幅の値とを
比較するようにしても良い。

【０２００】そして比較した結果、検査部に入力される
交流の信号の電圧の振幅が著しく異なった場合、その異
なる振幅に対応する回路または回路素子を、不良箇所と
判断する。

【０２０１】よって、回路または回路素子の動作状態
と、さらには不良箇所の位置を同時に特定することも可
能となる。なおこのとき、回路または回路素子の良否の
判断基準は、本発明を実施する者が適宜設定することが
可能であり、不良箇所が１つでも存在した場合に不良と
判断することも可能であるし、ある一定の数の不良箇所
が存在した場合に不良と判断することも可能である。

【０２０２】良と判断された場合は、検査が終了したも
のとみなされ、検査工程後の作製工程が開始される。

【０２０３】不良と判断された場合、工程からはずし製
品として完成させない（ロットアウト）か、不良の原因
を特定するかが選択される。なお、１つの大型基板から
複数の製品を作製しようとする場合は、基板切断後に良
品と不良品を選り分け、不良品はロットアウトとなる。

【０２０４】不良の原因を特定し、修復（リペア）が可
能だと判断された場合、リペア後、再び本発明の検査工
程を行ない、上述した動作を繰り返すことができる。逆
にリペアが不可能だと判断された場合、そこでロットア
ウトとなる。

【０２０５】本実施例は、実施例１〜３の構成と自由に
組み合わせて実施することが可能である。

【０２０６】（実施例５）本実施例では、本発明で用い
るコイルと、該コイルが有する端子と配線（コイル用配
線）との接続について、詳しく説明する。

【０２０７】図１６（Ａ）では、絶縁表面上にコイル１
６０１が形成され、該コイル１６０１を覆って前期絶縁
表面上に層間絶縁膜１６０３を形成している。そして、
該層間絶縁膜にコンタクトホールを形成して、層間絶縁
膜上に、コンタクトホールを介してコイル１６０１と接
続するように、コイル用配線１６０２を形成している。

【０２０８】図１６（Ｂ）は、図１６（Ａ）の破線Ｃ−
Ｃ’における断面図である。

【０２０９】図１６（Ｃ）では、絶縁表面上にコイル用
配線１６１２が形成され、該コイル用配線１６１２を覆
って前期絶縁表面上に層間絶縁膜１６１３を形成してい
る。そして、該層間絶縁膜にコンタクトホールを形成し
て、層間絶縁膜上に、コンタクトホールを介してコイル
用配線１６１２と接続するように、コイル１６１１を形
成している。

【０２１０】図１６（Ｄ）は、図１６（Ｃ）の破線Ｄ−
Ｄ’における断面図である。

【０２１１】なお本発明において用いられるコイルの作
製方法は、上述した方法に限定されない。絶縁膜をパタ
ーニングすることで渦状の溝を形成し、該溝を覆って導
電性を有する膜を前記絶縁膜上に形成する。その後、前
記導電性の膜を、前記絶縁膜が露出するまでエッチング
またはＣＭＰ法を用いて研磨することで、前記溝におい
てのみ導電性の膜が残るようにする。この溝において残
った導電性の膜をコイルとして用いることも可能であ
る。

【０２１２】本実施例は、実施例１〜４の構成と自由に
組み合わせて実施することが可能である。

【０２１３】（実施例６）本実施例では、本発明の検査
方法を用いて検査を行なうための、検査装置の構成につ
いて説明する。

【０２１４】図１７に本発明の検査基板のブロック図を
示す。図１７に示した本発明の検査装置１７００は、信
号源または交流電源１７０２と、入力用１次コイル１７
２０と、出力用２次コイル１７２１とを有している。さ
らに、入力用１次コイル１７２０と素子基板１７０３が
有する入力用２次コイル１７２２を、また出力用２次コ
イル１７２１と素子基板１７０３が有する出力用１次コ
イル１７２３を、それぞれ一定の間隔をおいて重ね合わ
せることのできる手段（基板固定手段１７０４）を有し
ている。さらに、素子基板１７０３において生成された
被変調信号によって、出力用２次コイル１７２１におい
て生成された交流の電圧から、良否を判定する手段（検
査部１７０５）を有している。

【０２１５】なお、本実施例では信号源または交流電源
１７０２を検査装置１７０の一部とみなしたが、本発明
の検査装置は、信号源または交流電源１７０２を含んで
いなくとも良い。

【０２１６】信号源または交流電源１７０２において生
成される交流の信号は、検査基板１７０１が有する外部
入力用バッファ１７０６に入力される。入力された交流
の信号は、外部入力用バッファ１７０６において増幅ま
たは緩衝増幅され、検査基板１７０１が有する入力用１
次コイル１７２０に入力される。

【０２１７】一方、検査基板１７０１と素子基板１７０
３は、入力用１次コイル１７２０と、入力用２次コイル
１７２２とが一定の間隔をおいて重なるように、基板固
定手段１７０４によってその位置が定められる。

【０２１８】そして、入力用２次コイル１７２２におい
て生じた交流の電圧により生成された電源電圧または駆
動信号が、素子基板１７０３が有する回路または回路素
子１７１２に入力される。なお素子基板１７０３が有す
る、電源電圧または駆動信号を生成する回路について
は、発明の実施の形態において既に詳しく述べているの
で、ここでは説明を省略する。

【０２１９】回路または回路素子１７１２からの出力
は、検査専用回路１７３０に入力される。検査専用回路
１７３０は変調回路１７３１を有している。検査専用回
路１７３０は、回路または回路素子１７１２からの出力
から動作情報信号を生成し、変調回路１７３１に入力す
る。

【０２２０】一方、入力用２次コイル１７２２において
生じた交流の電圧は、変調回路１７３１に入力される。
変調回路１７３１では、入力された交流の電圧を動作情
報信号によって変調することで、被変調信号を生成す
る。生成された被変調信号は、出力用１次コイル１７２
３に入力される。

【０２２１】一方、検査基板１７０１と素子基板１７０
３は、出力用１次コイル１７２３と、出力用２次コイル
１７２１とが一定の間隔をおいて重なるように、基板固
定手段１７０４によってその位置が定められる。

【０２２２】そして、出力用１次コイル１７２３におい
て交流の電圧が生じる。該交流の電圧は、外部出力用バ
ッファ１７３２において増幅または緩衝増幅され、検査
部１７０５に入力される。

【０２２３】そして、検査部１７０５では、検査部１７
０５に入力された交流の電圧を数値化し、データ（測定
値）として検査部１７０５が有する演算部１７０９に送
る。

【０２２４】演算部１７０９では、入力された測定値を
もとに、良否を判定する。具体的な例を挙げると、正常
に動作している回路素子を用いた場合に検査部に入力さ
れる交流の信号をメモリー等に記憶しておき、実際に検
査する回路素子を用いた場合に検査部に入力される交流
の信号の振幅と比較する。また、同じ回路または回路素
子どうしで、検査部に入力される交流の信号の振幅を比
較するようにしても良いし、シミュレーションにより算
出された理論値から導出した振幅の値と、実際の測定に
よって得られた振幅の値とを比較するようにしても良
い。

【０２２５】なお、上述した比較の方法はほんの一例で
あり、本発明はこれに限定されない。検査部に入力され
る交流の信号の振幅が、正常な回路素子を用いた場合に
検査部に入力される交流の信号の振幅と比べて、著しく
異なっている回路素子を検出することができれば良い。

【０２２６】そして比較した結果、検査部に入力される
交流の信号の電圧の振幅が著しく異なった場合、その異
なる振幅に対応する回路または回路素子を、不良と判断
する。なお実際には、正常の回路の場合でも、検査部に
入力される交流の信号の電圧の振幅は、ある一定の周期
ごとに変化している場合が多い。その場合、周期毎に振
幅の平均値を求め、その周期毎の平均値を正常な回路素
子のものと比較するようにしても良い。比較の仕方は、
どのような方法を用いても良い。

【０２２７】なお、回路または回路素子において生じる
電界または電磁波をモニターし、良否を判定する場合、
出力用１次コイル１７２３、出力用２次コイル１７２
１、外部出力用バッファ１７３２は設ける必要はない。
そして、この場合、素子基板１７０３に出力用パッドを
設け、変調回路１７２３から出力される被変調信号を、
出力用パッドに入力する。

【０２２８】そして、検査装置において測定部を設け、
該出力用パッドにおいて生じた電磁波または電界を、該
測定部においてモニターし、データとして検査部１７０
５が有する演算部１７０９に送る。演算部１７０９で
は、入力されたデータをもとに、回路または回路素子の
動作の状態、さらには不良箇所の位置を特定する。

【０２２９】本実施例は、実施例１〜５の構成と自由に
組み合わせて実施することが可能である。

【０２３０】

【発明の効果】本発明は上記構成によって、配線または
端子に直接プローブを立てなくても、検査対象の回路ま
たは回路素子の動作の良否を判定することができるの
で、プローブを立てることで生じた微細なゴミにより、
後の工程の歩留まりを低下させるのを防ぐことができ
る。なおかつ、光学式検査方法と異なり、１回の検査工
程で全てのパターン形成工程の良否を判断することがで
きるので、検査工程がより簡便化される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 検査基板と素子基板の上面図。

【図２】 検査基板と素子基板のブロック図。

【図３】 コイル拡大図。

【図４】 検査時における検査基板と素子基板の斜視
図。

【図５】 波形整形回路の回路図。

【図６】 整流回路の回路図。

【図７】 交流から整流化されて脈流となった信号の経
時変化。

【図８】 脈流の加算により生成された直流の信号の経
時変化。

【図９】 検査専用回路の回路図。

【図１０】 出力用パッドを有する検査専用回路の回路
図。

【図１１】 液晶ディスプレイの素子基板のブロック
図。

【図１２】 ＯＬＥＤディスプレイの素子基板のブロッ
ク図。

【図１３】 大型の素子基板の上面図。

【図１４】 大型の素子基板の上面図。

【図１５】 本発明の検査工程の流れを示すフローチャ
ート。

【図１６】 コイルの上面図及び断面図。

【図１７】 検査装置のブロック図。

【図１８】 整流回路の回路図。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｌ ４Ｍ１０６

Claims (30)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回路または回路素子の測定方法であって、 非接触にて前記回路または回路素子に電圧を印加するこ
   とで、前記回路または回路素子を動作させ、 前記回路または回路素子から出力された電圧を非接触で
   読み取る測定方法。
2. 【請求項２】請求項１において、前記測定方法により読
   み取られた前記回路または回路素子から出力された電圧
   を用い、前記回路または回路素子の動作状態を検査する
   検査方法。
3. 【請求項３】回路または回路素子の測定方法であって、 非接触にて前記回路または回路素子に電圧を印加するこ
   とで、前記回路または回路素子を動作させ、 前記回路または回路素子から出力された電圧を用いて、
   交流電圧を変調することで、被変調信号を生成し、 前記被変調信号の電圧を非接触で読み取る測定方法。
4. 【請求項４】請求項３において、前記測定方法により読
   み取られた前記被変調信号の電圧を用い、前記回路また
   は回路素子の動作状態を検査する検査方法。
5. 【請求項５】回路または回路素子の測定方法であって、 非接触にて前記回路または回路素子に電圧を印加するこ
   とで、前記回路または回路素子を動作させ、 前記回路または回路素子から出力された電圧を非接触で
   読み取り、 前記回路または回路素子の動作状態を検査する検査方
   法。
6. 【請求項６】回路または回路素子の測定方法であって、 非接触にて前記回路または回路素子に電圧を印加するこ
   とで、前記回路または回路素子を動作させ、 前記回路または回路素子から出力された電圧を用いて、
   交流電圧を変調することで、被変調信号を生成し、 前記被変調信号の電圧を非接触で読み取り、 前記回路または回路素子の動作状態を検査する検査方
   法。
7. 【請求項７】回路または回路素子の検査方法であって、 第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を
   印加し、 前記第１のコイルと第２のコイルとを、一定の間隔をお
   いて重ね合わせ、 前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の
   交流電圧から、前記回路または回路素子を動作させる信
   号を生成し、 前記信号を前記回路または回路素子に入力することで、
   前記回路または回路素子を動作させ、 前記回路または回路素子から出力された電圧を用いて、
   第３の交流電圧を変調することで、被変調信号を生成
   し、 前記被変調信号の電圧を、第３のコイルが有する２つの
   端子間に印加し、 前記第３のコイルと、第４のコイルとを、一定の間隔を
   おいて重ね合わせ、 前記第４のコイルが有する２つの端子間に生じた第４の
   交流電圧から、前記回路または回路素子の動作状態を検
   査することを特徴とする検査方法。
8. 【請求項８】回路または回路素子の検査方法であって、 第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を
   印加し、 前記第１のコイルと第２のコイルとを、一定の間隔をお
   いて重ね合わせ、 前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の
   交流電圧を、整流化またはその電圧の波形を整形して前
   記回路または回路素子に印加することで、前記回路また
   は回路素子を動作させ、 前記回路または回路素子から出力された電圧を用いて、
   第３の交流電圧を変調することで、被変調信号を生成
   し、 前記被変調信号の電圧を、第３のコイルが有する２つの
   端子間に印加し、 前記第３のコイルと、第４のコイルとを、一定の間隔を
   おいて重ね合わせ、 前記第４のコイルが有する２つの端子間に生じた第４の
   交流電圧から、前記回路または回路素子の動作状態を検
   査することを特徴とする検査方法。
9. 【請求項９】請求項７または請求項８において、 前記第３の交流電圧の周波数は、前記第１の交流電圧の
   周波数よりも高いことを特徴とする検査方法。
10. 【請求項１０】回路または回路素子の検査方法であっ
    て、 複数の第１のコイルがそれぞれ有する２つの端子間に、
    位相の異なる第１の交流電圧を印加し、前記複数の第１
    のコイルと複数の第２のコイルとをそれぞれ一定の間隔
    をおいて重ね合わせることで、前記複数の第２のコイル
    がそれぞれ有する２つの端子間に位相の異なる交流電圧
    を生じさせ、 前記複数の第２のコイルが有する２つの端子間に生じた
    位相の異なる交流電圧を、整流化した後加算すること
    で、直流の電圧を生成し、 第３のコイルが有する２つの端子間に第２の交流電圧を
    印加し、前記第３のコイルと、第４のコイルとをそれぞ
    れ一定の間隔をおいて重ね合わせることで、前記第４の
    コイルが有する２つの端子間に交流電圧を生じさせ、 前記直流の電圧を前記回路または回路素子に印加するこ
    とで、前記回路または回路素子から出力される電圧によ
    って、前記第４のコイルが有する２つの端子間に生じた
    交流電圧を変調し、 前記変調された交流電圧を第５のコイルが有する２つの
    端子間に印加し、前記第５のコイルと第６のコイルとを
    一定の間隔をおいて重ね合わせることで、前記第６のコ
    イルが有する２つの端子間に交流電圧を生じさせ、 前記第６のコイルにおいて生じた交流電圧から、前記回
    路または回路素子の動作状態を検査することを特徴とす
    る検査方法。
11. 【請求項１１】請求項１０において、 前記複数の第１のコイル、前記第３のコイル及び前記第
    ６のコイルは第１の絶縁表面上に形成されており、 前記回路または回路素子、前記複数の第２のコイル、前
    記第４のコイル及び前記第５のコイルは第２の絶縁表面
    上に形成されていることを特徴とする検査方法。
12. 【請求項１２】請求項１０または請求項１１において、 前記第２の交流電圧の周波数は、前記第１の交流電圧の
    周波数よりも高いことを特徴とする検査方法。
13. 【請求項１３】請求項１０乃至請求項１２のいずれか１
    項において、 前記複数の第１のコイル、前記複数の第２のコイル、前
    記第３のコイル、前記第４のコイル、前記第５のコイル
    及び前記第６のコイルが有する配線は、それぞれ同一平
    面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを
    特徴とする検査方法。
14. 【請求項１４】回路または回路素子の検査方法であっ
    て、 複数の第１のコイルがそれぞれ有する２つの端子間に、
    位相の異なる第１の交流電圧を印加し、前記複数の第１
    のコイルと複数の第２のコイルとをそれぞれ一定の間隔
    をおいて重ね合わせることで、前記複数の第２のコイル
    がそれぞれ有する２つの端子間に位相の異なる交流電圧
    を生じさせ、 前記複数の第２のコイルが有する２つの端子間に生じた
    位相の異なる交流電圧を、整流化した後加算すること
    で、直流の電圧を生成し、 第３のコイルが有する２つの端子間に、第２の交流電圧
    を印加し、前記第３のコイルと第４のコイルとをそれぞ
    れ一定の間隔をおいて重ね合わせることで、前記第４の
    コイルがそれぞれ有する２つの端子間に交流電圧を生じ
    させ、 前記第４のコイルが有する２つの端子間に生じた交流電
    圧の波形を整形することで、前記回路または回路素子を
    駆動させるための電圧を生成し、 第５のコイルが有する２つの端子間に第３の交流電圧を
    印加し、前記第５のコイルと、第６のコイルとをそれぞ
    れ一定の間隔をおいて重ね合わせることで、前記第６の
    コイルが有する２つの端子間に交流電圧を生じさせ、 前記直流の電圧及び前記回路または回路素子を駆動させ
    るための電圧を前記回路または回路素子に印加すること
    で、前記回路または回路素子から出力される電圧によっ
    て、前記第６のコイルが有する２つの端子間に生じた交
    流電圧を変調し、 前記変調された交流電圧を第７のコイルが有する２つの
    端子間に印加し、前記第７のコイルと第８のコイルとを
    一定の間隔をおいて重ね合わせることで、前記第８のコ
    イルが有する２つの端子間に交流電圧を生じさせ、 前記第８のコイルにおいて生じた交流電圧から、前記回
    路または回路素子の動作状態を検査することを特徴とす
    る検査方法。
15. 【請求項１５】請求項１４において、 前記複数の第１のコイル、前記第３のコイル、前記第５
    のコイル及び前記第８のコイルは第１の絶縁表面上に形
    成されており、 前記回路または回路素子、前記複数の第２のコイル、前
    記第４のコイル、前記第６のコイル及び前記第７のコイ
    ルは第２の絶縁表面上に形成されていることを特徴とす
    る検査方法。
16. 【請求項１６】請求項１４または請求項１５において、 前記第３の交流電圧の周波数は、前記第１の交流電圧ま
    たは前記第２の交流電圧の周波数よりも高いことを特徴
    とする検査方法。
17. 【請求項１７】請求項１４乃至請求項１６のいずれか１
    項において、 前記複数の第１のコイル、前記複数の第２のコイル、前
    記第３のコイル、前記第４のコイル、前記第５のコイ
    ル、前記第６のコイル、前記第７のコイル及び前記第８
    のコイルが有する配線は、それぞれ同一平面上に形成さ
    れ、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検
    査方法。
18. 【請求項１８】回路または回路素子の検査方法であっ
    て、 第１のコイルが有する２つの端子間に、第１の交流電圧
    を印加し、前記第１のコイルと第２のコイルとをそれぞ
    れ一定の間隔をおいて重ね合わせることで、前記第２の
    コイルがそれぞれ有する２つの端子間に交流電圧を生じ
    させ、 前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた交流電
    圧の波形を整形することで、前記回路または回路素子を
    駆動させるための電圧を生成し、 第３のコイルが有する２つの端子間に第２の交流電圧を
    印加し、前記第３のコイルと、第４のコイルとをそれぞ
    れ一定の間隔をおいて重ね合わせることで、前記第４の
    コイルが有する２つの端子間に交流電圧を生じさせ、 前記回路または回路素子を駆動させるための電圧を前記
    回路または回路素子に印加することで、前記回路または
    回路素子から出力される電圧によって、前記第４のコイ
    ルが有する２つの端子間に生じた交流電圧を変調し、 前記変調された交流電圧を第５のコイルが有する２つの
    端子間に印加し、前記第５のコイルと第６のコイルとを
    一定の間隔をおいて重ね合わせることで、前記第６のコ
    イルが有する２つの端子間に交流電圧を生じさせ、 前記第６のコイルにおいて生じた交流電圧から、前記回
    路または回路素子の動作状態を検査することを特徴とす
    る検査方法。
19. 【請求項１９】請求項１８において、 前記第１のコイル、前記第３のコイル及び前記第６のコ
    イルは第１の絶縁表面上に形成されており、 前記回路または回路素子、前記第２のコイル、前記第４
    のコイル及び前記第５のコイルは第２の絶縁表面上に形
    成されていることを特徴とする検査方法。
20. 【請求項２０】請求項１８または請求項１９において、 前記第２の交流電圧の周波数は、前記第１の交流電圧の
    周波数よりも高いことを特徴とする検査方法。
21. 【請求項２１】請求項１８乃至請求項２０のいずれか１
    項において、 前記第１のコイル、前記第２のコイル、前記第３のコイ
    ル、前記第４のコイル、前記第５のコイル及び前記第６
    のコイルが有する配線は、それぞれ同一平面上に形成さ
    れ、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検
    査方法。
22. 【請求項２２】請求項１１、請求項１５または請求項１
    ９において、 前記第１の絶縁表面と前記第２の絶縁表面の間隔は、前
    記第１の絶縁表面と前記第２の絶縁表面の間に流体を流
    すことで制御していることを特徴とする検査方法。
23. 【請求項２３】素子基板が有する回路または回路素子の
    検査装置であって、 第１の１次コイルと、 第２の２次コイルと、 前記第１の１次コイルと、前記素子基板が有する第１の
    ２次コイルとを、一定の間隔をおいて重ね合わせる手段
    と、 前記第２の２次コイルと、前記素子基板が有する第２の
    １次コイルとを、一定の間隔をおいて重ね合わせる手段
    と、 前記第１の１次コイルが有する２つの端子間に交流電圧
    を印加する手段と、 前記第２の２次コイルが有する２つの端子間に生じた交
    流電圧から、前記回路または回路素子の動作状態を検査
    する手段と、を有することを特徴とする検査装置。
24. 【請求項２４】素子基板が有する回路または回路素子の
    検査装置であって、 第１の１次コイルと、 第２の２次コイルと、 前記第１の１次コイルと、前記素子基板が有する第１の
    ２次コイルとを、一定の間隔をおいて重ね合わせる手段
    と、 前記第２の２次コイルと、前記素子基板が有する第２の
    １次コイルとを、一定の間隔をおいて重ね合わせる手段
    と、 前記第１の１次コイルが有する２つの端子間に交流電圧
    を印加する手段と、 前記第２の２次コイルが有する２つの端子間に生じた交
    流電圧を増幅または緩衝増幅する手段と、 前記増幅または緩衝増幅された交流電圧から、前記回路
    または回路素子の動作状態を検査する手段と、を有する
    ことを特徴とする検査装置。
25. 【請求項２５】素子基板が有する回路または回路素子の
    検査装置であって、 第１の１次コイルと、 第２の２次コイルと、 前記第１の１次コイルと、前記素子基板が有する第１の
    ２次コイルとを、一定の間隔をおいて重ね合わせる手段
    と、 前記第２の２次コイルと、前記素子基板が有する第２の
    １次コイルとを、一定の間隔をおいて重ね合わせる手段
    と、 前記第１の１次コイルが有する２つの端子間に交流電圧
    を印加する手段と、 前記第２の２次コイルが有する２つの端子間に生じた交
    流電圧から、前記回路または回路素子の動作状態を検査
    する手段と、を有し、 前記第２の２次コイルが有する２つの端子間に生じた交
    流電圧は、前記回路または回路素子の動作状態または不
    良箇所の位置を情報として有していることを特徴とする
    検査装置。
26. 【請求項２６】素子基板が有する回路または回路素子の
    検査装置であって、 第１の１次コイルと、 第２の２次コイルと、 前記第１の１次コイルと、前記素子基板が有する第１の
    ２次コイルとを、一定の間隔をおいて重ね合わせる手段
    と、 前記第２の２次コイルと、前記素子基板が有する第２の
    １次コイルとを、一定の間隔をおいて重ね合わせる手段
    と、 前記第１の１次コイルが有する２つの端子間に交流電圧
    を印加する手段と、 前記第２の２次コイルが有する２つの端子間に生じた交
    流電圧を増幅または緩衝増幅する手段と、 前記増幅または緩衝増幅された交流電圧から、前記回路
    または回路素子の動作状態を検査する手段と、 を有し、 前記増幅または緩衝増幅された交流電圧は、前記回路ま
    たは回路素子の動作状態または不良箇所の位置を情報と
    して有していることを特徴とする検査装置。
27. 【請求項２７】請求項２３乃至請求項２６のいずれか１
    項において、 前記第１の１次コイルと、前記第１の２次コイルとの間
    の間隔を、前記第１の１次コイルと、前記第１の２次コ
    イルとの間に流体を流すことで制御していることを特徴
    とする検査装置。
28. 【請求項２８】請求項２３乃至請求項２７のいずれか１
    項において、 前記第２の１次コイルと、前記第２の２次コイルとの間
    の間隔を、前記第２の１次コイルと、前記第２の２次コ
    イルとの間に気体または液体を流すことで制御している
    ことを特徴とする検査装置。
29. 【請求項２９】請求項２３乃至請求項２８のいずれか１
    項において、 前記第１の１次コイルが有する配線は、同一平面上に形
    成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とす
    る検査装置。
30. 【請求項３０】請求項２３乃至請求項２９のいずれか１
    項において、 前記第２の２次コイルが有する配線は、同一平面上に形
    成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とす
    る検査装置。