KR20070103849A - 기판 전극의 단선 및 합선 검사방법 및 검사장치 - Google Patents

기판 전극의 단선 및 합선 검사방법 및 검사장치 Download PDF

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KR20070103849A
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Abstract

본 발명은 액정변조기를 써서 기판의 전극이 단선 및 합선되었는지를 검사하는 방법 및 장치에 관한 것으로서, 검사방법은, 기판에 형성된 전극을 홀수 번째 전극 집단과 짝수 번째 전극 집단으로 나누는 단계와, 상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단을 각각 연결하는 단계와, 상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 서로 반대 극성을 갖는 교류 전압을 걸어주는 단계와, 상기 액정변조기 내에 포함되고, 소정의 교류전압이 입력되는 공통전극과, 상기 홀수 번째 전극 집단의 전극 및 상기 짝수 번째 전극 집단의 전극 사이에 걸리는 전압차로 인하여 상기 액정변조기의 광특성 차이를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
기판, 액정 변조기, 기판 단선, 기판 합선

Description

기판 전극의 단선 및 합선 검사방법 및 검사장치 {APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING OPEN AND SHORT DEFECTS OF ELECTRODES ON SUBSTRATE}
도 1은 종래 기술에 따른 기판 전극의 단선 및 합선 검사방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다.
도 2는 도 1의 단면도이다.
도 3은 기판 위에 놓인, 본 발명에 따른, 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 위치를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 3의 C-C선을 따라 자른 검사장치의 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른, 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 액정변조기의 단면도이다.
도 6은 기판 위에 설치되는 액정변조기와 기판 전극의 위치를 나타내는 단면도이다.
도 7은 기판의 전극 위에 놓인, 본 발명에 따른, 단차방식의 기판 전극과 액정변조기의 공통전극의 위치를 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 합선 검사장치의 제1 실시예의 단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른, 단차방식의 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 제2 실시예의 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른, 순차방식의 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 개략도이다.
도 11은 기판의 전극 위에 놓인, 본 발명에 따른, 다차방식의 액정변조기 공통전극과 기판 전극의 모양을 보여주는 평면도이다.
도 12는 다차방식의 검사장치이다.
도 13은 본 발명에 따른 검사장치에 인가되는 전압의 파형이다.
도 14는 인가전압에 따른 액정변조기의 반사율을 나타낸 그래프이다.
도 15는 인가전압에 액정변조기의 등가회로이다.
<도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명>
1: 기판 2: 전극
3: 유리판 4-1, 4-2: 검사침(probe)
10: 하판 11-1: 홀수 번째 전극
11-2: 짝수 번째 전극
12-1: 홀수 번째 전극 집단 연결부
12-2: 짝수 번째 전극 집단 연결부
13: 유리판 21: 하부기판
22: 유전체 반사막 23: 액정층
24: 상부기판 25: 공통전극
25-1: 공통전극 26: 위상판
27: 편광판 28: 검광판
30: 선광원 30-1: 면광원
50: 빔검출기 60: 빔분할기
70: 렌즈 100: 액정변조기
100-1: 제1 액정변조기 100-2: 제2 액정변조기
100-3: 제3 액정변조기 100-4: 제4 액정변조기
110: 액정변조기
본 발명은 기판의 전극의 연결 상태를 검사하는 기술에 관한 것으로서, 좀 더 상세하게는 액정변조기를 써서 기판의 전극이 단선 및 합선되었는지를 검사하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로 표시장치에는 액정표시소자와 플라즈마 표시소자 그리고 EL(Electro Luminance) 소자가 있다. 최근들어 널리 사용되고 있는 액정표시장치는 영상을 표시하는 기판, 기판에 빛을 공급하는 백라이트, 및 백라이트와 기판에 전원을 공급하고 제어하는 구동부로 이루어진다.
기판은 상판, 하판 및 이들 사이에 위치한 액정층으로 이루어진다. 액정층을 중심으로 서로 마주보는 상판과 하판의 표면에는 공통전극과 화소전극 및 복수개의 박막 트랜지스터(thin film transistor (TFT)) 배열이 형성되어 있다. 이들 전극과 TFT는 이미지를 표시하기 위한, 색상의 최소 단위로서 화소를 이룬다. 따라서 구동 부로부터 출력되는 신호에 따라 이들 전극과 TFT가 동작함으로써, 기판은 화소단위로 표시되는 색상에 의하여 소정의 영상이 표시된다.
이와 같이 기판이 영상을 표시하기 위해서는 각 화소를 이루는 전극들이 정확하게 구동해야만 한다. 이를 위하여, 기판은 액정표시장치에 장착되기 전에 각 전극의 전기적으로 결함을 가지고 있는 지에 대한 검사과정을 거친다. 종래 기술에 따른, 기판 전극을 검사하는 기술을 도면과 함께 좀 더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 전극의 단선 및 합선 검사방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이고, 도 2는 도 1의 단면도이다.
종래 기술에 따른 기판 전극의 검사방법은, 도 1에 나타낸 것과 같이, 유리판(3)을 마련한 후, 그 위에 전극(2)을 형성한다. 이와 같이 만들어진 기판(1)은, 도 2에 나타내 것과 같이, 검사침 (probe)(4-1; 4-2)이 하나의 전극(2)의 양쪽 끝에 전기적으로 직접 접촉된 다음에, 그 검사침(4-1; 4-2)을 통하여 그 전극(2)에 전류가 흐름으로써 극 전극의 전기적인 상태가 검사되는 과정을 거친다.
그러나 종래의, 기판 전극의 단선 및 합선 검사방법은 전극에 전류를 흘려주기 위하여 검사침(4-1; 4-2)이 기판 전극에 전기적으로 직접 접촉되어야만 하기 때문에 검사침을 높은 정밀도로 조절해야 하는 문제점을 가지고 있다.
또한, 종래의 검사방법은, 검사침과 전극이 물리적으로 접촉되기 때문에 전극과 검사침이 마모되는 문제점이 있을 뿐만 아니라 검사과장이 진행됨에 따라 마모된 검사침과 전극이 전기적으로 접촉되지 않는 문제점을 가지고 있다.
아울러, 종래의 검사방법은 전기적으로 결함이 있는 전극을 검출했다고 해도 결함을 가지고 있는 전극에서 그 결함의 발생 위치를 검출해 낼 수 없는 문제점을 가지고 있다.
게다가, 종래의 검사방법은 검사침과 전극을 정확하게 접촉시켜야 하기 때문에, 종래의 검사장치는 검사침이 높은 정밀도로 움직일 수 있도록 만들어져야 하고, 그에 따라 검사장치는 가격은 비싸다는 문제점을 가지고 있다.
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 기판의 전극에 물리적인 접촉없이 전극의 단선 및 합선과 같은, 전극의 전기적인 결함을 정확하고 빠르게 검출해 낼 수 있는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법 및 검사장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 기판의 전극에 물리적인 접촉없이 단선 및 합선과 같은, 전극의 전기적인 결함을 검출하고, 그 전기적인 결함을 가지고 있는 전극에서 그 전기적인 결함의 위치를 정확하고 빠르게 검출해 낼 수 있는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법 및 검사장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 기판의 전극에 물리적인 접촉없이 복 수개의 전극의 단선 및 합선과 같은, 전극의 전기적인 결함을 정확하고 빠르게 검출해 낼 수 있는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법 및 검사장치를 제공하는 데에 있다.
이를 위하여, 본 발명에 따른 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법은 기판에 형성된 전극을 홀수 번째 전극 집단과 짝수 번째 전극 집단으로 나누는 단계와, 상 기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단을 각각 연결하는 단계와, 상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 서로 반대 극성을 갖는 교류 전압을 걸어주는 단계와, 상기 액정변조기 내에 포함되고, 소정의 교류전압이 입력되는 공통전극과, 상기 홀수 번째 전극 집단의 전극 및 상기 짝수 번째 전극 집단의 전극 사이에 걸리는 전압차로 인하여 상기 액정변조기의 광특성 차이를 측정하는 단계를 포함하여 실시함으로써 달성된다.
본 발명에 따른 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치는 기판 기판의 하판에 형성된, 홀수 번째 전극 집단과 짝수 번째 전극 집단으로 나뉘어지고 각각 연결된 전극을 검사하기 위하여, 상기 홀수 번째 전극 집단의 전극과 짝수 번째 전극 집단의 전극으로부터 위쪽으로 소정의 거리만큼 떨어진 곳에 위치하고, 상기 홀수 번째 전극 집단의 전극에 위치하는 제1 액정변조기와 상기 짝수 번째 전극 집단의 전극에 위치하는 제2 액정변조기를 포함하는 액정변조기와, 빛을 생성하는 광원과, 상기 광원으로부터 생성되어 나온 빛의 경로를 바꾸어 상기 액정변조기로 입사시켜 주는 빔분할기와, 상기 액정변조기로부터 반사되고 상기 빔분할기를 거친 빛을 검출하는 빔검출기를 포함하여 실시함으로써 달성된다.
도면과 함께 본 발명을 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 3은 기판 위에 놓인, 본 발명에 따른, 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 위치를 나타내는 평면도이고, 도 4는 도 3의 C-C선을 따라 자른 단면도이다.
먼저, 도 3에 나타낸 것과 같이, 하판(10)의 유리판(13)에 형성된 전극들 을 그 길이 방향에 대하여 수직방향으로 홀수 번째 전극(11-1)의 집단과 짝수 번째 전극(11-2)의 집단으로 나누어, 홀수 번째 전극(11-1) 집단은 홀수 번째 전극 집단 연결부(12-1)에 의하여 서로 연결하고, 짝수 번째 전극(11-2) 집단은 짝수 번째 전극 집단 연결부(12-2)에 의하여 서로 연결한다.
그 다음에, 도 4에 나타낸 것과 같이, 기판의 하판(10)에 형성된 전극들로부터 그 수직방향으로 위쪽으로 소정의 거리(d)만큼 떨어진 곳에 액정변조기(100)가 위치된다.
액정변조기(100)는 홀수 번째 전극(11-1)의 끝부분(B)(도 3참조)에 위치하는 제1 액정변조기(100-1)와 짝수 번째 전극(11-2)의 끝부분(A)(도 3참조)에 위치하는 제2 액정변조기(100-2)로 이루어진다. 이와 같이 기판 위에 설치되는 액정변조기(100)를 도 5와 함께 좀 더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발에 따른, 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 액정변조기의 단면도로서, 제1 액정변조기(100-1)와 제2 액정변조기(100-2)는 그 구조가 같기 때문에, 짝수 번째 전극 끝에 위치하는 제2 액정변조기(100-2)를 바탕으로 그 구조를 설명하면 다음과 같다.
제2 액정변조기(100-2)는 하부 기판(21), 상부 기판(24), 하부 기판(21)과 상부 기판(24) 사이에 형성된 액정층(23), 하부 기판 (21)의 위에 형성된 유전체 반사막(22), 하부 기판(21)을 마주보는 상부 기판(24)에 형성된 공통전극(25), 공통전극(25)이 형성된 상부 기판(25)의 반대쪽 면에 형성된 위상판(26), 위상판(26)의 바깥쪽에 설치된 편광판(27)으로 이루어진다.
여기서, 액정층(23)에 포함된 액정의 모드는 TN형이다.
이와 같이 구성되는 액정변조기는 기판 위에서 적절한 위치에 설치되어야 한다. 즉, 기판 위에 설치되는 액정 변조기의 위치를 도 6과 함께 설명하면 다음과 같다.
제2 액정변조기 (100-2)는, 그 하부 기판(21)의 아랫 면이, 예를 들어, 기판의 홀수 전극 (11-1)으로부터 위쪽으로 x만큼 떨어진 위치에 있고, 그 변조기 공통전극(25)가 제2 전극의 끝을 벗어나지 않는 위치, 즉 홀수 전극 집단 연결부(12-1)로부터 W만큼 떨어진 위치에 있도록 설치된다. 여기서, x는 W보다 작다.
도 7은 기판의 전극 위에 놓인, 본 발명에 따른, 단차방식의 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 제1 실시예의 평면도이고, 도 8은 본 발명의 합선 검사장치의 제1의 실시예이다.
도 7에 나타낸 것과 같이, 본 발명에 따른 단차방식의 검사장치의 제1 실시예에서, 액정변조기의 공통전극(25)은 그 폭(s)이 홀수 번째 전극 및 짝수번째 전극의 폭(t) 보다 크게 형성된다. 액정변조기의 공통전극의 폭이 검사전극의 폭보다 작으면 광학정렬이 어렵고, 너무 크면 현재 전극을 검사하는지 알기가 어려우므로 공통전극의 폭(s)이 검사전극의 폭보다 대략 1.5배 정도가 되게 한다.
단차방식의 검사장치의 제1 실시예는, 도 8에 나타낸 것과 같이, 기판 전극(11)에서 소정의 거리 떨어진 곳에 위치하는 액정변조기(100), 빛을 생성하는 선광원(30), 선광원(30)으로부터 생성되어 나온 빛의 경로를 바꾸어 액정변조기(100)로 입사시켜 주는 빔분할기(60), 액정변조기(100)로부터 반사되고 빔분할기(60)를 거친 빛을 검출하는 빔검출기(50)으로 구성된다.
도 13 및 도 14를 참조하여, 도 3내지 도 8과 같이 구성된 본 발명의 제1실시예에 따른 단차방식의 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
기판과 액정변조기 사이의 떨어진 거리(x)가 일정하다고 가정하면, 액정변조기의 공통전극과 검사전극 사이에 걸리는 전압에 따라서 액정변조기를 지나온 반사 빛의 강도가 달라진다. 즉, 도 14에 나타낸 것과 같이, 액정변조기의 반사율은 인가전압에 따라 달라진다. 도 5의 액정변조기는, 반사형 액정표시소자와 같이, 액정층에 걸리는 전압에 따라 반사광이 달라진다. 이때, 액정층에 걸리는 전압은, 도 15에 나타낸 것과 같이, 등가회로로부터 구할 수 있다.
공통전극에 걸리는 전압이 Vb이고, 검사전극에 걸리는 전압이 Vp라면, 액정층과 공기층(x)에 각각 걸리는 전압은 각각의 축적용량(capacitance)의 역에 비례하여 걸린다.
도 13(a)는 제1 액정변조기에 걸리는 전압이고, 도 13(b)는 제2 액정변조기에 걸리는 전압이고, 도 13(c)는 홀수번째 검사전극에 걸리는 전압이고, 도 13(d)는 짝수번째 검사전극에 걸리는 전압이다.
제1 액정변조기의 액정층에 걸리는 전압은 짝수번째 검사전극에서 최대 차이가 나고, 제2 액정변조기의 액정층에 걸리는 전압은 홀수번째 검사전극에서 최대 차이가 난다. 검사전극이 단락이 되었으면 액정변조기가 그 전극 위에 있을 때, 액정층에는 0V의 전압이 걸리고, 전극에 이상이 없을 때에는 공통전극과 검사전극의 전압의 차이가 액정층과 공기층에 걸리게 된다. 따라서 검사전극이 서로 합선이 된 경우에는 검사전극의 전압이 달라져 액정변조기의 반사율이 달라지고, 이로부터 검사전극의 전압을 구할 수 있기 때문에 전극의 단락과 합선이 검출된다. 즉, 액정변조기에 걸리는 전압과 검사전극에 걸리는 전압을 달리하면 전극의 불량을 검사할 수 있다.
도 9는 본 발명에 따른, 단차방식의 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 제2 실시예의 단면도이다.
단차방식의 검사장치의 제2 실시예는 기판 전극(11)에서 소정의 거리 떨어진 곳에 위치하는 액정변조기(100), 빛을 생성하는 선광원(30), 선광원(30)으로부터 생성되어 나온 빛의 경로를 바꾸어 액정변조기(100)로 입사시켜주는 빔분할기(60), 선광원(30)과 빔분할기(60) 사이에 위치하여 선광원(30)으로부터 나온 빛의 편광상태를 바꿔주는 편광판(27)과, 빔분할기(60)를 거쳐서 액정변조기(100)로부터 반사된 빛이 검출하는 빔검출기(50), 빔분할기(60)과 빔검출기(50) 사이에 위치하여 빛의 위상을 바꿔주는 위상판(26) 및 검광판(28)으로 구성된다.
도 9의 제2 실시예는 도 8의 제1실시예의 변형예로서, 도 8의 제1실시예에서 검광판과 위상판을 액정변조기에 부착하거나 빔검출기 앞에 위치시킴으로써 도 9의 제2 실시예가 구현된다.
도 10은 본 발명에 따른, 순차방식의 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 개략도이다.
기판의 기판(13) 위에 소정의 거리만큼 떨어진 위치에서, 홀수 번째 전극에 위치하는 제1 액정변조기(100-1)와, 짝수 번째 전극에 위치하는 제2 액정변조기(100-2)와, 홀수 번째 전극의 길이 방향으로 이동하며 전극의 결함을 검출하는 제3 액정변조기(100-3)와, 짝수 번째 전극의 길이 방향으로 이동하며 전극의 결함을 검출하는 제4 액정변조기(100-4)로 구성된다.
한편, 이와 같이 구성되는 액정변조기는 도 8 및 도 9에 나타낸 광학시스템과 함께 설치되기 때문에 동일하다. 도 10의 검사장치는 도 9의 검사장치와 달리, 전극의 단락과 합선이 되는 위치를 알아내는 제3 액정변조기와 제4 액정변조기가 추가되어 있다.
단락이 되는 부분에서는 검사전극에 걸리는 전압파형이 달라지고, 합선이 된 부분에서는 전압파형과 전극의 모양이 달라지기 때문에, 반사광의 차이가 달라진다. 따라서 그 달라지는 반사광을 검출함으로써 전극의 불량 위치가 정확하게 찾아진다.
도 11은 기판의 전극 위에 놓인, 본 발명에 따른, 다차방식의 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치의 평면도이고, 도 12는 도 11의 E-E 선을 따라 자른 단면도이다.
도 12에 나타낸 것과 같이, 본 발명에 따른 다차방식의 검사장치는 기판 전극(11)으로부터 소정의 거리 만큼 떨어진 위치에서 기판 홀수 번째 전극과 짝수 번째 전극을 동시에 검사할 수 있는 액정변조기(110)와, 평면광을 생성하는 면광원(30-1)과, 면광원(30-1)으로부터 나온 빛의 경로를 바꾸어 액정변조기(110)에 입사시켜 주는 빔분할기(60)와, 액정변조기(110)로부터 반사된 다음 빔분할기(60)를 거친 빛을 모으는 렌즈(70)와, 렌즈(70)가 모은 빛을 검출하는 빔검출기(50-1)로 구성된다.
여기서, 액정변조기(110)는, 도 11에 나타낸 것과 같이, 홀수 번째 전극과 짝수 번째 전극을 함께 덮을 수 있을 정도의 넓이를 갖는 공통전극(25-1)을 갖는다.
도 11과 도12와 같이 구성된, 본 발명에 따른, 다차방식 검사장치의 동작방법은, 앞서 설명한 단차방식의 검사장치의 동작방법과 비슷하기 때문에, 그 상세한 설명은 생략한다. 다만, 다차방식의 검사장치는 전극의 검출을 일정면적을 한번에 검출하므로 도면에 나타낸 것과 같이 선광원과 면광원을 필요로 하고, 또한 여러 개의 검출기를 필요로 한다. 아울러, 다차방식의 검사장치는 영역 전하겹합소자 카메라(Area CCD) 또는 선형 전하결합소자 카메라(Linear CCD)를 더 필요로 한다.
지금까지 설명한, 본 발명에 따른 기판 전극의 단선 및 합선을 검사하는 방법 및 장치의 실시예는 액정표시소자 기판의 전극을 예로 들었지만, 플라즈마 표시소자 그리고 유기 EL(Electro Luminance) 소자와 같은 표시소자의 기판 전극에 대해서도 적용할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 전극의 단선 및 합선을 검사하는 방법 및 장치의 실시예에서는 홀수번째 전극과 짝수번째 전극에 구형파의 교류전압을 인가하여 액정변조기의 광학특성을 측정하였지만, 홀수 번째 전극과 짝수 번째 전극에 진폭이 다르고 극성이 다른 직류전압을 인가하여 액정변조기의 광학특성을 측정할 수도 있다.
본 발명에 따른 기판 전극의 단선 및 합선을 검사하는 방법 및 장치는 기판의 전극에 물리적인 접촉없이 전극의 단선 및 합선과 같은, 전극의 전기적인 결함을 정확하고 빠르게 검출해 낼 수 있다.
또한, 전기적인 결함을 가지고 있는 전극에서 그 전기적인 결함의 위치를 정확하고 빠르게 검출해 낼 수 있다.
아울러, 본 발명에 따른 기판 전극의 단선 및 합선을 검사하는 방법 및 장치는 기판의 전극에 물리적인 접촉없이 복 수개의 전극의 단선 및 합선과 같은, 전극의 전기적인 결함을 정확하고 빠르게 검출해 낼 수 있다.

Claims (21)

  1. 기판에 형성된 전극을 홀수 번째 전극 집단과 짝수 번째 전극 집단으로 나누는 단계와,
    상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단을 각각 연결하는 단계와,
    상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 서로 다른 파형의 전압을 걸어주는 단계와,
    상기 액정변조기 내에 포함되고, 소정의 전압이 입력되는 공통전극과, 상기 홀수 번째 전극 집단의 전극 및 상기 짝수 번째 전극 집단의 전극 사이에 걸리는 전압차로 인하여 상기 액정변조기의 광특성 차이를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 광특성 차이를 측정하는 단계는
    상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단 중에서 검사 대상이 되는 전극으로부터 위쪽으로 소정의 거리만큼 떨어진 곳에 액정변조기를 위치시키는 단계와,
    외부로부터 상기 액정변조기에 빔(beam)을 입사시키는 단계와,
    상기 공통전극과 상기 검사대상의 전극 사이에 걸리는 전압차로 인하여, 상기 입사빔이 그 특성이 변하고 상기 액정변조기에 포함된 유전체 반사막으로부터 반사되는 단계와,
    상기 입사빔과 상기 반사빔의 특성 차이를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광특성 차이를 측정하는 단계는
    상기 홀수 번째 전극 집단 중에 하나의 전극과 상기 짝수 번째 전극 집단 중에서 하나의 전극에 대하여 반사빔과 입사빔의 특성 차이를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 광특성 차이를 측정하는 단계는
    상기 검사대상의 전극의 길이 방향에 대하여 반사빔과 입사빔의 특성 차이를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  5. 제 1 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광특성 차이를 측정하는 단계는
    상기 홀수 번째 전극 집단 중에 복수개의 전극과 상기 짝수 번째 전극 집단 중에서 복수개의 전극에 대하여 반사빔과 입사빔의 특성 차이를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 광특성 차이를 측정하는 단계는
    상기 검사대상의 전극의 길이 방향에 대하여 반사빔과 입사빔의 특성 차이를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 공통전극에 입력되는 교류전압은
    상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 입력되는 교류전압의 위상과 같은 위상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 액정변조기의 공통전극에 걸리는 교류전압은
    상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 입력되는 교류전압의 진폭과 다른 진폭을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 입력되는 전압은
    진폭이 다르고 극성이 다른 직류전압인 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사방법.
  10. 기판 기판의 하판에 형성된, 홀수 번째 전극 집단과 짝수 번째 전극 집단으로 나뉘어지고 각각 연결된 전극을 검사하기 위하여, 상기 홀수 번째 전극 집단의 전극과 짝수 번째 전극 집단의 전극으로부터 위쪽으로 소정의 거리만큼 떨어진 곳 에 위치하고, 상기 홀수 번째 전극 집단의 전극에 위치하는 제1 액정변조기와 상기 짝수 번째 전극 집단의 전극에 위치하는 제2 액정변조기를 포함하는 액정변조기와,
    빛을 생성하는 광원과,
    상기 광원으로부터 생성되어 나온 빛의 경로를 바꾸어 상기 액정변조기로 입사시켜 주는 빔분할기와,
    상기 액정변조기로부터 반사되고 상기 빔분할기를 거친 빛을 검출하는 빔검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 액정변조기는
    하부 기판,
    상부 기판,
    상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 형성된 액정층,
    상기 하부 기판의 위에 형성된 유전체 반사막,
    상기 하부 기판을 마주보는 상기 상부 기판에 형성된 공통전극,
    상기 공통전극이 형성된 상기 상부 기판의 반대쪽 면에 형성된 위상판,
    상기 위상판의 바깥쪽에 설치된 편광판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  12. 제 10 또는 제 11 항에 있어서, 상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단은
    극성이 서로 반대인 교류전압을 입력하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 액정변조기의 공통전극은
    상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 입력되는 교류전압의 위상과 같은 위상을 갖는 교류전압을 입력하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 액정변조기의 공통전극에 걸리는 교류전압은
    상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 입력되는 교류전압의 진폭과 다른 진폭을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  15. 제 10 항에 있어서, 상기 액정층은
    TN형 모드의 액정인 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 광원과 상기 빔분할기 사이에는 편광판이 더 포함되고,
    상기 빔분할기와 상기 빔검출기 사이에는 검광판 및 위상판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 액정변조기의 공통전극은
    검사대상의 전극의 폭보다 0.5배에서 1.2배의 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  18. 제 10 항에 있어서, 상기 액정변조기는,
    상기 홀수 번째 전극 집단의 전극의 길이방향으로 이동하는 제3 액정변조기와,
    상기 짝수 번째 전극 집단의 전극의 길이방향으로 이동하는 제4 액정변조기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  19. 제 10 항에 있어서, 상기 액정변조기는
    상기 홀수 번째 전극 집단 중에 복수개의 전극과 상기 짝수 번째 전극 집단 중에서 복수개의 전극의 위치에 동시에 걸쳐 위치하고,
    여기서, 상기 광원은 면광원인 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  20. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 홀수 번째 전극 집단과 상기 짝수 번째 전극 집단에 입력되는 전압은
    진폭이 다르고 극성이 다른 직류전압인 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
  21. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 전극은
    액정표시소자의 기판에 있는 전극, 플라즈마 표시소자의 전극, 유기 EL 소자의 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 전극의 단락 및 합선 검사장치.
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