KR20200133079A - 표시 장치 및 표시 장치의 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 개시는 표시 장치 및 표시 장치의 검사 방법에 관한 것이다. 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치는 복수의 화소 및 복수의 데이터선을 포함하는 표시 영역, 그리고 상기 표시 영역의 주위에 위치하고 검사부를 포함하는 비표시 영역을 포함하고, 상기 복수의 데이터선 중 제1 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제1 검사선을 포함하고, 상기 복수의 데이터선 중 상기 제1 데이터선과 제1방향으로 이웃한 제2 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제2 검사선을 포함하고, 상기 제1 검사선은 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 연장되어 있고, 상기 제2 검사선은 상기 제2방향으로 연장된 제1부분, 상기 제1부분에서 상기 제1 검사선을 향해 꺾인 후 상기 제1 검사선을 향해 연장된 제2부분, 그리고 상기 제2부분에서 꺾여 상기 제1 검사선에 나란하게 연장된 제3부분을 포함하고, 상기 제1 검사선의 끝부분과 상기 제2 검사선의 끝부분은 상기 제2방향으로 이격되어 있다.

Description

표시 장치 및 표시 장치의 검사 방법{DISPLAY DEVICE AND INSPECTOIN METHOD OF DISPLAY DEVICE}

본 개시는 표시 장치 및 표시 장치의 검사 방법에 관한 것이다.

액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display, OLED display) 등의 표시 장치는 영상을 표시할 수 있는 표시 영역, 그리고 영상을 표시하지 않는 비표시 영역을 포함하는 표시 패널을 포함한다. 표시 영역에는 복수의 화소와 복수의 신호선이 위치한다. 한 화소는 신호선과 연결된 박막 트랜지스터를 포함하는 화소 회로 및 화소 회로와 연결된 표시부를 포함할 수 있다. 복수의 신호선은 데이터 신호를 전달하는 복수의 데이터선 및 게이트 신호를 전달하는 복수의 게이트선을 포함한다. 복수의 신호선은 비표시 영역으로 연장되어 신호를 인가받을 수 있다.

이러한 표시 장치의 제조 방법은, 기판 위에 데이터선을 형성한 후에 데이터선의 끊김(open)이나 단락(short) 여부를 검사하는 데이터선 검사 단계를 포함한다.

본 기재는 고해상도의 표시 장치의 데이터선에 대한 빠르고 정확한 검사가 가능한 표시 장치 및 표시 장치에 대한 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치는 복수의 화소 및 복수의 데이터선을 포함하는 표시 영역, 그리고 상기 표시 영역의 주위에 위치하고 검사부를 포함하는 비표시 영역을 포함하고, 상기 복수의 데이터선 중 제1 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제1 검사선을 포함하고, 상기 복수의 데이터선 중 상기 제1 데이터선과 제1방향으로 이웃한 제2 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제2 검사선을 포함하고, 상기 제1 검사선은 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 연장되어 있고, 상기 제2 검사선은 상기 제2방향으로 연장된 제1부분, 상기 제1부분에서 상기 제1 검사선을 향해 꺾인 후 상기 제1 검사선을 향해 연장된 제2부분, 그리고 상기 제2부분에서 꺾여 상기 제1 검사선에 나란하게 연장된 제3부분을 포함하고, 상기 제1 검사선의 끝부분과 상기 제2 검사선의 끝부분은 상기 제2방향으로 이격되어 있다.

본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치는 복수의 화소 및 복수의 데이터선을 포함하는 표시 영역, 그리고 상기 표시 영역의 주위에 위치하고 검사부를 포함하는 비표시 영역을 포함하고, 상기 복수의 데이터선은 제1방향으로 반복 배치되어 있는 복수의 그룹으로 나뉘고, 상기 복수의 그룹 각각은 제1 데이터선 및 제2 데이터선을 포함하고, 상기 제1 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제1 검사선을 포함하고, 상기 제2 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제2 검사선을 포함하고, 상기 제1 검사선은 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 연장되어 있고, 상기 제2 검사선은 상기 제1 검사선을 향해 꺾인 부분을 포함하고, 상기 제1 검사선의 끝부분과 상기 제2 검사선의 끝부분은 상기 제2방향으로 이격되어 있다.

본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 방법은 복수의 화소 및 복수의 데이터선을 포함하는 표시 영역, 그리고 상기 표시 영역의 주위에 위치하고 검사부를 포함하는 비표시 영역을 포함하고, 상기 검사부는 서로 인접한 제1 검사 영역 및 제2 검사 영역을 포함하고, 상기 복수의 데이터선은 제1방향으로 반복 배치되어 있는 복수의 그룹으로 나뉘고, 상기 복수의 그룹 각각은 제1 데이터선 및 제2 데이터선을 포함하고, 상기 제1 데이터선은 상기 제1 검사 영역 및 상기 제2 검사 영역에 위치하는 제1 검사선을 포함하고, 상기 제2 데이터선은 상기 제1 검사 영역에 위치하고 상기 제2 검사 영역에는 위치하지 않는 제2 검사선을 포함하는 표시 장치에서, 상기 제1 검사 영역에서 상기 제1방향으로 스캐닝하며 상기 제1 검사선 및 상기 제2 검사선에 제1 입력 신호를 인가하는 단계, 상기 제2 검사 영역에서 상기 제1방향으로 스캐닝하며 상기 제1 검사선에 제2 입력 신호를 인가하는 단계, 그리고 상기 복수의 데이터선의 전위를 측정하여 얻은 출력 신호를 통해 불량인 데이터선을 검출하는 단계를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면 고해상도의 표시 장치의 데이터선에 대한 빠르고 정확한 검사가 가능하다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 평면 배치도이고,
도 2는 도 1에 도시한 표시 장치의 검사부의 일부를 도시하고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선을 검사하기 위한 검사 장치 및 센서 장치를 나타낸 도면이고,
도 4는 도 3에 도시한 검사 장치의 검사 핀 및 센서 패드의 하면을 도시하고,
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부의 일부를 도시하고,
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 데이터선이 정상인 경우 출력되는 신호의 파형도이고,
도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 5에 도시한 이웃한 데이터선 중 좌측의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이고,
도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 5에 도시한 이웃한 데이터선 중 우측의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이고,
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 5에 도시한 이웃한 데이터선 중 좌측의 데이터선이 끊겼을 때 출력되는 신호의 파형도이고,
도 10은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 5에 도시한 이웃한 데이터선 중 우측의 데이터선이 끊겼을 때 출력되는 신호의 파형도이고,
도 11은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부의 일부를 도시하고,
도 12는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 데이터선이 정상인 경우 출력되는 신호의 파형도이고,
도 13은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 11에 도시한 이웃한 데이터선 중 좌측의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이고,
도 14는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 11에 도시한 이웃한 데이터선 중 중간의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이고,
도 15는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 11에 도시한 이웃한 데이터선 중 우측의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이고,
도 16은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부의 일부를 도시하고,
도 17은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 평면 배치도이고,
도 18은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부를 도시하고,
도 19는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부 및 패드부의 일부를 도시한다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.

층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

명세서 전체에서, 평면 뷰(in a plan view)는 서로 교차하는 두 방향(예를 들어, 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2))에 평행한 면을 관찰하는 뷰를 의미하고(평면상이라고도 표현함), 단면 뷰(in a cross-sectional view)는 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2)에 평행한 면에 수직인 방향(예를 들어, 제3방향(DR3))으로 자른 면을 관찰하는 뷰를 의미한다. 또한, 두 구성 요소가 중첩한다고 할 때는 다른 언급이 없는 한 두 구성 요소가 제3방향(DR3)으로(예를 들어, 기판의 윗면에 수직인 방향으로) 중첩하는 것을 의미한다.

먼저 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 평면 배치도이고, 도 2는 도 1에 도시한 표시 장치의 검사부의 일부를 도시한다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치(1000)는 영상을 표시할 수 있는 영역인 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 주위에 위치하며 영상을 표시하지 않는 영역인 비표시 영역(NDA)을 포함한다.

표시 영역(DA)에는 복수의 신호선 및 복수의 신호선에 연결되어 있는 복수의 화소(PX)를 포함한다. 복수의 신호선은 게이트 신호를 전달할 수 있는 복수의 게이트선(121) 및 데이터 신호를 전달할 수 있는 복수의 데이터선(171)을 포함할 수 있다.

각 게이트선(121)은 제1방향(DR1)으로 길게 연장되어 있고, 각 데이터선(171)은 제2방향(DR2)으로 길게 연장되어 복수의 게이트선(121)과 교차할 수 있다. 복수의 게이트선(121)은 제2방향(DR2)으로 차례대로 배열되어 있고, 복수의 데이터선(171)은 제1방향(DR1)으로 차례대로 배열되어 있을 수 있다.

각 화소(PX)는 영상을 표시하는 단위로서, 게이트선(121) 및 데이터선(171)에 연결되어 있는 적어도 하나의 박막 트랜지스터를 포함하는 화소 회로부 및 화소 회로부와 연결되어 있으며 빛을 내보낼 수 있는 표시부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 표시 장치(1000)가 액정 표시 장치인 경우 표시부는 두 전기장 생성 전극 및 두 전기장 생성 전극 사이에 위치하는 액정층을 포함할 수 있고, 표시 장치(1000)가 발광 표시 장치인 경우 표시부는 화소 전극과 공통 전극 및 그 사이에 위치하는 발광층을 포함할 수 있다.

비표시 영역(NDA)에는 게이트 신호를 생성할 수 있는 게이트 구동부(400a, 400b) 및 검사부(TPD)가 위치할 수 있다.

게이트 구동부(400a, 400b)는 복수의 게이트선(121)과 연결되어 게이트선(121)에 게이트 신호를 인가할 수 있다. 게이트 신호는 화소(PX)의 화소 회로부가 포함하는 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 게이트 온 전압과 게이트 오프 전압을 전달할 수 있다. 게이트 구동부(400a, 400b)는 표시 영역(DA)에 위치하는 박막 트랜지스터와 같은 공정에서 함께 형성될 수 있다. 도 1에 도시한 바와 같이 표시 영역(DA)을 기준으로 좌우 양측에 각각 게이트 구동부(400a, 400b)가 위치할 수도 있고, 두 게이트 구동부(400a, 400b) 중 하나는 생략될 수도 있다.

검사부(TPD)는 표시 영역(DA)에 위치하는 신호선의 불량 여부를 검사하기 위한 부분으로서, 예를 들어 표시 영역(DA)을 기준으로 위 및/또는 아래에 위치할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 도 1은 검사부(TPD)가 표시 영역(DA)을 기준으로 아래의 일측에 위치하는 예를 도시한다. 본 기재에서는 검사부(TPD)가 복수의 데이터선(171)의 불량 여부를 검사하기 위한 것을 예로 들어 설명하나, 이에 한정되지 않고 게이트선(121) 등의 다른 신호선에 대한 불량 여부를 검사하기 위한 부분으로 구성될 수도 있다.

복수의 데이터선(171)은 표시 영역(DA)의 제1 가장자리(BL1)의 바깥쪽에 위치하는 비표시 영역(NDA)으로 연장되어 검사부(TPD)에 위치하는 부분을 포함한다. 검사부(TPD)에 위치하는 각 데이터선(171)은 확장부(172a, 172b) 및 확장부(172a, 172b)에 연결되어 있는 검사선(173a, 173b)을 포함한다.

복수의 데이터선(171)의 확장부들(172a, 172b)은 도 1에 도시한 바와 같이 복수의 행에 교대로 위치하여 있을 수 있다. 각 행은 제1방향(DR1)으로 연장되어 있다. 예를 들어, 복수의 데이터선(171)의 확장부들(172a, 172b)이 두 개의 행에 교대로 위치할 수 있고, 이 경우 이웃한 두 데이터선(171)의 확장부(172a, 172b)는 제1방향(DR1)으로 어긋나게 배치되어 있을 수 있다. 이와 달리, 복수의 데이터선(171)의 확장부들(172a, 172b)은 한 행에 일렬로 배치되어 있을 수도 있고, 세 개 이상의 행에 교대로 배치되어 있을 수도 있다.

각 확장부(172a, 172b)의 형태는 대략 직사각형일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 데이터선(171)의 확장부(172a, 172b)는 생략될 수도 있다.

복수의 데이터선(171)은 제1방향(DR1)을 따라 반복되어 배치되어 있는 복수의 그룹(UT)으로 나뉠 수 있다. 각 그룹(UT)은 두 개 이상의 데이터선(171)을 포함하고, 각 그룹(UT)의 데이터선들(171)의 검사선들(173a, 173b)은 서로 다른 형태를 가질 수 있다.

도 1 및 도 2는 각 그룹(UT)이 이웃한 두 개의 데이터선(171)을 포함하는 예를 도시한다. 각 그룹(UT)이 포함하는 두 개의 데이터선(171) 중 한 데이터선(171)은 제1 확장부(172a), 그리고 제1 확장부(172a)에 연결된 제1 검사선(173a)을 포함하고, 다른 한 데이터선(171)은 제2 확장부(172b), 그리고 제2 확장부(172b)에 연결된 제2 검사선(173b)을 포함할 수 있다.

도 2를 참조하면, 한 실시예에 따른 검사부(TPD)는 확장부(172a, 172b)가 배열되어 있는 영역의 아래쪽에 위치하는 제1 검사 영역(TA), 그리고 제1 검사 영역(TA) 아래쪽에 위치하며 제1 검사 영역(TA)과 제2방향(DR2)으로 인접한 제2 검사 영역(TB)을 포함할 수 있다. 즉, 확장부(172a, 172b)는 표시 영역(DA)의 제1 가장자리(BL1)와 제1 검사 영역(TA) 사이에 위치할 수 있다.

제1 검사선(173a)은 제1 확장부(172a)로부터 대략 제2방향(DR2)으로 연장되어 제1 검사 영역(TA) 및 제2 검사 영역(TB)까지 연장되어 있다. 따라서 제1 검사선(173a)은 제2 검사 영역(TB)의 하단 부근에 위치하는 끝부분을 포함할 수 있다.

제2 검사선(173b)은, 제2 확장부(172b)의 아래로 대략 제2방향(DR2)으로 연장된 제1부분(71b), 제1부분(71b)에서 제1 검사선(173a) 쪽으로 꺾인 후 제1 검사선(173a)을 향해 연장된 제2부분(72b), 그리고 제2부분(72b)에서 다시 제2방향(DR2)을 향해 꺾인 후 연장된 제3부분(73b)을 포함할 수 있다. 제2부분(72b)은 도 2에 도시한 바와 같이 대체로 제1방향(DR1)에 나란하게 연장될 수도 있고 이와 달리 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2)에 비스듬한 방향으로 연장될 수도 있다. 제3부분(73b)은 제1 검사 영역(TA)에서 제1 검사선(173a)에 대략 나란하게 연장되어 있을 수 있다. 제2 검사선(173b)은 제2 검사 영역(TB)에는 위치하지 않고, 제1 검사 영역(TA)과 제2 검사 영역(TB)의 경계 부근에 위치하는 끝부분을 포함할 수 있다.

즉, 각 그룹(UT)에서 제1 검사선(173a)의 끝부분과 제2 검사선(173b)의 끝부분은 제1방향(DR1)으로 정렬되어 있지 않고 제2방향(DR2)으로 이격되어 있다. 따라서 제1 검사 영역(TA)에는 각 그룹(UT)이 포함하는 검사선들(173a, 173b)이 모두 위치하고, 제2 검사 영역(TB)에는 하나의 검사선(173a)만이 위치할 수 있다.

제1 검사선(173a)과 제2 검사선(173b)은 제1방향(DR1)을 따라 교대로 배열되어 있을 수 있다. 이 경우, 홀수 번째 데이터선(171)은 제1 검사선(173a)을 포함하고, 짝수 번째 데이터선(171)은 제2 검사선(173b)을 포함할 수 있다.

제1 검사선(173a)의 길이와 제2 검사선(173b)의 길이는 서로 같을 수도 있다.

이웃한 두 그룹(UT) 중 좌측의 그룹(UT)의 우측 가장자리에 위치하는 제2 검사선(173b)과 우측의 그룹(UT)의 좌측 가장자리에 위치하는 제1 검사선(173a) 사이의 간격(D1)은, 특히 고해상도의 표시 장치(1000)의 표시 영역(DA)에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격(D2)보다 클 수 있다. 즉, 제1 검사 영역(TA)에서 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 검사선(173a, 173b) 사이의 간격(D1)은 표시 영역(DA)에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격(D2)보다 클 수 있다.

제2 검사 영역(TB)에서는 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 개의 제1 검사선(173a) 사이의 간격(D3)이 표시 영역(DA)에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격(D2)보다 클 수 있고, 대략 간격(D2)의 두 배일 수 있다.

한 그룹(UT)에 위치하는 검사선들(173a, 173b) 중 좌우 가장자리에 위치하는 두 검사선(173a, 173b)의 바깥쪽 두 가장자리 사이의 간격(D4)은 표시 영역(DA)에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격(D2)보다 작을 수 있다.

확장부(172a, 172b)와 검사선(173a, 173b)은 기판 위의 서로 동일한 도전층에 위치하고 동일한 물질을 포함할 수 있다. 또한, 확장부(172a, 172b)와 검사선(173a, 173b)은 표시 영역(DA)에 위치하는 데이터선(171)과 동일한 도전층에 위치하고 동일한 물질을 포함할 수도 있고, 데이터선(171)과 다른 도전층에 위치할 수도 있다.

각 그룹(UT)에 위치하는 검사선들(173a, 173b)의 배열 순서는 도시한 바와 다를 수도 있다.

그러면, 앞에서 설명한 도 1 및 도 2와 함께 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정에서 데이터선을 검사하기 위한 검사 방법을 설명한다.

도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선을 검사하기 위한 검사 장치 및 센서 장치를 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3에 도시한 검사 장치의 검사 핀 및 센서 패드의 하면을 도시한다.

도 3을 참조하면, 표시 장치의 기판(110) 위에 복수의 데이터선(171)을 형성하고 도시하지 않았으나 기판(110) 위에 앞에서 설명한 게이트선(121), 화소 회로부, 그리고 표시부 등을 형성한 후 데이터선(171)의 불량 여부에 대한 검사를 진행할 수 있다.

데이터선(171)이 제2방향(DR2)으로 연장되어 있을 때 데이터선(171)에 대한 검사 시 검사 장치(500)가 복수의 데이터선(171)의 검사선들(173a, 173b)을 제1방향(DR1)으로 스캔하여 불량 데이터선(171)의 위치를 검출할 수 있다. 복수의 데이터선(171)의 검사선들(173a, 173b)을 스캐닝하면서 검사 장치(500)는 교류 신호인 입력 신호를 검사 핀(501)을 통해 데이터선(171)의 검사선(173a, 173b)에 인가할 수 있다.

검사 장치(500)의 스캐닝과 동시에 복수의 데이터선(171)의 검사하고자 하는 부분을 제1방향(DR1)으로 스캐닝하는 센서 장치(600)가 복수의 데이터선(171)의 전위를 측정하여 출력 신호를 생성할 수 있다. 센서 장치(600)의 도전성인 센서 패드(601)는 비접촉 방식으로 데이터선(171)의 검사하고자 하는 부분의 전위를 측정할 수 있다. 검사 장치(500)가 전위를 측정하는 데이터선(171)의 부분은, 확장부(172a, 172b) 및 검사선(173a, 173b)이 위치하지 않는 데이터선(171)의 다른 부분으로서, 예를 들어 도 1에 도시한 표시 영역(DA)의 제1 가장자리(BL1)와 마주하는 반대쪽 제2 가장자리(BL2) 부근에 위치하는 데이터선(171)의 부분일 수도 있고, 제2 가장자리(BL2)의 바깥쪽에 위치하는 비표시 영역(NDA)으로 연장된 데이터선(171)의 부분일 수도 있다.

도 2 및 도 4를 참조하면, 제1 검사 영역(TA)에서 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 검사선(173a, 173b) 사이의 간격(D1), 그리고 제2 검사 영역(TB)에서 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 개의 제1 검사선(173a) 사이의 간격(D3)은 모두 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)보다 크다. 따라서, 데이터선(171)의 검사 시 검사 장치(500)는 이웃한 두 그룹(UT)을 서로 구분하여 입력 신호를 인가할 수 있고, 어느 그룹의 데이터선(171)에 불량이 있는지 검출하는 게 가능하다.

또한, 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)은 한 그룹(UT)에 위치하는 검사선들(173a, 173b) 중 좌우 가장자리에 위치하는 두 검사선(173a, 173b)의 바깥쪽 두 가장자리 사이의 간격(D4)보다 크다. 즉, 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)은 한 그룹(UT)의 제1 검사 영역(TA)에 위치하는 전체 검사선들(173a, 173b)의 좌우 가장자리 사이의 간격(D4)보다 크다. 따라서, 데이터선(171)의 검사 시 검사 장치(500)는 한 그룹(UT)에 위치하는 복수의 검사선(173a, 173b)을 구분하지 않고 동시에 하나의 입력 신호를 인가할 수 있고, 결국 한 그룹(UT)에 속하는 모든 검사선(173a, 173b)을 하나의 검사선인 것처럼 입력 신호를 인가할 수 있다.

즉, 검사 장치(500)가 한 그룹(UT)를 스캐닝할 때 검사 핀(501)과 해당 그룹(UT)의 모든 검사선들(173a, 173b)은 서로 단락되고 해당 그룹(UT)의 검사선들(173a, 173b)에 동시에 입력 신호가 인가될 수 있다.

본 발명의 한 실시예에 따른 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)이 대략 50 마이크로미터인 경우를 예로 들면, 제1 검사 영역(TA)에서 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 검사선(173a, 173b) 사이의 간격(D1) 및 제2 검사 영역(TB)에서 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 개의 제1 검사선(173a) 사이의 간격(D3) 각각은 대략 50 마이크로미터보다 클 수 있다. 또한, 한 그룹(UT)에 위치하는 검사선들(173a, 173b) 중 좌우 가장자리에 위치하는 두 검사선(173a, 173b)의 바깥쪽 두 가장자리 사이의 간격(D4)은 대략 50 마이크로미터 이하일 수 있다.

또한, 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)은 표시 영역(DA)에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격(D2)보다 클 수 있다.

도 4를 참조하면, 한 실시예에 따른 센서 장치(600)의 센서 패드(601)의 제1방향(DR1)의 폭(Ws)은 센서 장치(600)가 전위를 측정하는 부분에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격보다 크거나 같을 수도 있고 작을 수도 있다. 만약. 센서 패드(601)의 제1방향(DR1)의 폭(Ws)이 전위를 측정하는 부분에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격보다 크거나 같은 경우에는, 데이터선(171)에 대한 검사 시 센서 장치(600)는 각 데이터선(171)을 구별하여 불량 데이터선(171)을 검출하지 못하고 이웃한 두 개 이상의 데이터선(171)에 대한 하나의 전위를 검출할 수 있다. 따라서 센서 장치(600)는 불량 데이터선(171)이 위치하는 영역을 검출 할 수 있고, 불량 데이터선(171)을 검출하기 위해 확장부(172a, 172b)에 각각 검사 핀을 접촉하며 전압을 인가하여 불량 데이터선(171)을 검출하는 단계를 이후에 수행할 수 있다.

본 기재에서는 설명과 이해의 편의를 위해 센서 패드(601)의 제1방향(DR1)의 폭(Ws)이 검출하고자 하는 이웃한 데이터선(171) 사이의 간격보다 작아서 이웃한 데이터선(171) 사이도 구분하여 불량 여부를 검출할 수 있는 것으로 설명하도록 한다.

이제, 앞에서 설명한 도면들과 함께 도 5 내지 도 12를 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선에 대한 구체적인 검사 방법을 설명한다.

도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부의 일부를 도시하고, 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 데이터선이 정상인 경우 출력되는 신호의 파형도이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 방법은, 앞에서 설명한 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같은 검사부(TPD)의 제1 검사 영역(TA)에 대해 제1방향(DR1)으로 스캐닝하여 입력 신호(A1)를 검사선(173a, 173b)에 인가하는 제1 스캔 검사(TA Scan), 그리고 제2 검사 영역(TB)에 대해 제1방향(DR1)으로 스캐닝하여 입력 신호(A2)를 제1 검사선(173a)에 인가하는 제2 스캔 검사(TB Scan) 검사를 포함한다.

제1 스캔 검사(TA Scan) 및 제2 스캔 검사(TB Scan)는 앞에서 설명한 검사 장치(500)에 의해 수행될 수 있다. 제1 스캔 검사(TA Scan) 및 제2 스캔 검사(TB Scan)의 순서는 바뀔 수도 있다.

제1 스캔 검사(TA Scan) 및 제2 스캔 검사(TB Scan) 각각에서는, 앞에서 설명한 도 3에 도시한 센서 장치(600)를 이용해 데이터선(171)의 전위를 측정하여 출력 신호(C)를 얻을 수 있다. 아래의 설명에서는 출력 신호(C)에 대한 이해를 돕기 위해 데이터선(171)의 검사선(173a, 173b)에 입력 신호(A1, A2)를 입력하였을 때 각 데이터선(171)의 전위를 나타내는 신호(B1, B2)도 함께 살펴본다. 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)를 합친 출력 신호로서 실제 검출될 수 있는 신호이다.

도 6을 참조하여 검사되는 데이터선들(171)이 모두 정상인 경우의 출력 신호의 파형에 대해 설명한다.

먼저, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 데이터선들(171)의 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)에 교류 신호인 입력 신호(A1)를 인가한다. 입력 신호(A1)의 저레벨은 0으로 나타내고 고레벨은 제1레벨(FL)로 나타낸다. 앞에서 설명한 바와 같이, 검사 장치(500)가 한 그룹(UT)를 스캐닝할 때 검사 핀(501)과 해당 그룹(UT)의 모든 검사선들(173a, 173b)은 서로 단락되고 해당 그룹(UT)의 검사선들(173a, 173b)에 동시에 입력 신호(A1)가 인가될 수 있다.

그러면 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1) 및 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 각각 제1레벨(FL)보다 낮은 제2레벨(HL)을 가질 수 있다. 저항, 누설 전류 등의 전압 강하 등의 요소가 없다고 가정하면 제2레벨(HL)은 예를 들어 제1레벨(FL)의 대략 반(half)일 수 있다. 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 레벨로서 대략 제1레벨(FL)일 수 있다.

본 기재에서 저항, 누설 전류 등에 의한 전압 강하 등의 요소가 없다고 가정하여 설명하지만, 출력 신호(C)의 전압 레벨이 입력 신호(A1)의 제1레벨(FL)과 같은 것으로 도시하지만, 출력 신호(C)의 전압 레벨은 제1레벨(FL)과 다를 수도 있다. 또한, 앞에서 설명한 바와 같이 제2레벨(HL)은 제1레벨(FL)의 대략 반(half)일 수 있지만 이보다 낮을 수도 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 데이터선들(171)의 제1 검사선(173a)에 입력 신호(A2)를 인가한다. 입력 신호(A2)는 제1 스캔 검사(TA Scan)에서의 입력 신호(A1)와 같을 수 있다. 제2 스캔 검사(TB Scan)에서는 제2 검사선(173b)에 입력 신호(A2)가 인가되지 않으므로 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 제1레벨(FL)과 같을 수 있다. 따라서 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 레벨로서 대략 제1레벨(FL)일 수 있다.

이제, 도 6에 도시한 정상 파형을 바탕으로 도 7을 참조하여, 도 5에 도시한 두 데이터선(171) 중 좌측의 데이터선(171)에 단락 불량, 예를 들어 게이트선(121)과 같은 다른 도전층과 단락된 불량이 생기고 우측의 데이터선(171)은 정상인 경우에 대해 설명한다.

도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 5에 도시한 이웃한 데이터선 중 좌측의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이다.

도 7을 참조하면, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 데이터선들(171)의 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)에 입력 신호(A1)를 인가하면, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에(도 7에서 신호(B1)의 왼쪽에서 두 번째 펄스임) 제2레벨(HL)보다 낮은 레벨(SL1A)을 가지고, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 도 6의 정상 파형과 같이 대략 제2레벨(HL)을 가질 수 있다. 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 결과로서 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 제2레벨(HL)보다 높은 레벨(STL1)을 가질 수 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 데이터선들(171)의 제1 검사선(173a)에 입력 신호(A2)를 인가하면, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에(도 7에서 신호(B1)의 왼쪽에서 두 번째 펄스임) 제1레벨(FL)보다 낮은 레벨(SL1B)을 가질 수 있다. 따라서 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 결과로서 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 0보다 큰 레벨(SL1B)을 가질 수 있다.

여기서 제2 스캔 검사(TB Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(SL1B)은 제1 스캔 검사(TA Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(STL1)보다 전위차(dV1)만큼 작을 수 있다. 전위차(dV1)는 0보다 크다.

다음, 도 6에 도시한 정상 파형을 바탕으로 도 8을 참조하여, 도 5에 도시한 두 데이터선(171) 중 우측의 데이터선(171)에 불량, 예를 들어 게이트선(121)과 같은 다른 도전층과 단락된 불량이 생기고 좌측의 데이터선(171)은 정상인 경우에 대해 설명한다.

도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 5에 도시한 이웃한 데이터선 중 우측의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이다.

도 8을 참조하면, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 데이터선들(171)의 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)에 입력 신호(A1)를 인가하면, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 도 6의 정상 파형과 같이 제2레벨(HL)을 가지고, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에(도 8에서 신호(B2)의 왼쪽에서 두 번째 펄스임) 제2레벨(HL)보다 낮은 레벨(SL2)을 가질 수 있다. 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 결과로서 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 제2레벨(HL)보다 높은 레벨(STL2)을 가질 수 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 데이터선들(171)의 제1 검사선(173a)에 입력 신호(A2)를 인가하면, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 도 6의 정상 파형과 같이 대략 제1레벨(FL)을 가질 수 있다. 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 결과로서 도 6의 정상 파형과 같이 대략 대략 제1레벨(FL)을 가질 수 있다.

여기서 제2 스캔 검사(TB Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨인 제1레벨(FL)은 제1 스캔 검사(TA Scan)에서의 출력 신호(C)의 불량 데이터선(171)에 대응하는 전압 레벨(STL2)보다 전위차(dV2)만큼 클 수 있다. 전위차(dV2)는 0보다 크다.

본 실시예에 따른 표시 장치에 따르면, 검사부(TPD)에 위치하는 검사선(173a, 173b)들은 두 개씩 그룹(UT)을 이루고, 각 그룹(UT)에 대해 제1 검사 영역(TA)과 제2 검사 영역(TB)에 위치하는 검사선(173a, 173b)의 수를 다르게 구성한다. 이러한 표시 장치에 대해 앞에서 설명한 바와 같이 데이터선에 대한 검사를 하여 검출된 제1 및 제2 스캔 검사(TA Scan, TB scan)에 대한 출력 신호(C)를 보면, 도 5에 도시한 이웃한 두 데이터선(171) 중 좌측 데이터선(171)이 불량인 경우인 도 7의 출력 신호(C)의 파형과 도 5에 도시한 이웃한 두 데이터선(171) 중 우측 데이터선(171)이 불량인 경우인 도 8의 출력 신호(C)의 파형이 서로 구분된다. 또한, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨과 제2 스캔 검사(TB Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨 사이의 전위차(dV1, dV2)를 통해 어느 쪽 데이터선(171)에 불량이 생겼는지 검출할 수 있다.

따라서, 제1 검사 영역(TA) 및 제2 검사 영역(TB)에 대한 제1 스캔 검사(TA Scan) 및 제2 스캔 검사(TB Scan)를 통해 얻어진 출력 신호(C)의 파형 및/또는 전위차(dV1, dV2)에 대한 정보를 가지고 도 5에 도시한 이웃한 두 데이터선(171) 중 어느 데이터선(171)이 불량인지에 대해 빠르고 정확하게 검사할 수 있다.

고해상도의 표시 장치에서 데이터선(171) 사이의 간격이 더 좁아지고 따라서 검사부(TPD)에서도 이웃한 데이터선(171) 사이의 간격도 좁아진 경우, 만약 검사선들(173a, 173b)이 모두 제2방향(DR2)으로 동일하게 연장되어 있다면, 이웃한 검사선(173a, 173b) 사이의 간격은 표시 영역(DA)에서 이웃한 데이터선(171) 사이의 간격과 같거나 작을 것이다. 그러면, 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)이 이웃한 검사선(173a, 173b) 사이의 간격보다 큰 경우가 생기고, 이웃한 두 데이터선(171) 중 어느 데이터선(171)에 단락과 같은 불량이 있는지 구분하여 검출할 수가 없다.

그러나 본 실시예에 따르면, 고해상도 표시 장치에서 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)이 표시 영역(DA)에서 이웃한 데이터선(171) 사이의 간격보다 큰 경우에도, 제1 검사 영역(TA)과 제2 검사 영역(TB) 각각 대한 제1 스캔 검사(TA Scan) 및 제2 스캔 검사(TB Scan)를 통해 얻어진 출력 신호(C)의 파형 및/또는 전위차(dV1, dV2)에 대한 정보를 가지고 어느 데이터선(171)이 불량인지에 대해 빠르고 정확히 검사할 수 있어, 표시 장치의 수율이 떨어지는 것을 방지할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제1 스캔 검사(TA Scan)를 통해서 어느 그룹(UT)에 불량 데이터선(171)이 있는지 확인이 가능하고, 제2 스캔 검사(TB Scan)을 통해서는 각 그룹(UT)의 어느 데이터선(171)에 불량이 있는지 확인이 가능하다.

다음, 도 6에 도시한 정상 파형을 바탕으로 도 9 및 도 10을 참조하여, 도 5에 도시한 두 데이터선(171) 중 좌측의 데이터선(171)에 불량, 예를 들어 끊김(open) 불량이 생기고 우측의 데이터선(171)은 정상인 경우(도 9), 그리고 도 5에 도시한 두 데이터선(171) 중 우측의 데이터선(171)에 끊김 불량이 생기고 좌측의 데이터선(171)은 정상인 경우(도 10)에 대해 설명한다.

도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 5에 도시한 이웃한 데이터선 중 좌측의 데이터선이 끊겼을 때 출력되는 신호의 파형도이고, 도 10은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 5에 도시한 이웃한 데이터선 중 우측의 데이터선이 끊겼을 때 출력되는 신호의 파형도이다.

먼저 도 9를 참조하면, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 데이터선들(171)의 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)에 입력 신호(A1)를 인가하면, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 끊어진 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에(도 9에서 신호(B1)의 왼쪽에서 두 번째 펄스임) 0 레벨을 가지고, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 도 6의 정상 파형과 같이 대략 제2레벨(HL)을 가질 수 있다. 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 결과로서 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮으며 0보다 큰 대략 제2레벨(HL)을 가질 수 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 데이터선들(171)의 제1 검사선(173a)에 입력 신호(A2)를 인가하면, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 끊어진 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에(도 9에서 신호(B1)의 왼쪽에서 두 번째 펄스임) 대략 0 레벨을 가질 수 있다. 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 결과로서 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 대략 0 레벨을 가질 수 있다.

다음 도 10을 참조하면, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 데이터선들(171)의 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)에 입력 신호(A1)를 인가하면, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 도 6의 정상 파형과 같이 대략 제2레벨(HL)을 가지고, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 끊어진 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에(도 10에서 신호(B2)의 왼쪽에서 두 번째 펄스임) 대략 0 레벨을 가질 수 있다. 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 결과로서 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 0보다 큰 대략 제2레벨(HL)을 가질 수 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 데이터선들(171)의 제1 검사선(173a)에 입력 신호(A2)를 인가하면, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 도 6의 정상 파형과 같이 대략 제1레벨(FL)을 가질 수 있다. 센서 장치(600)의 센서 패드(601)에 의해 검출되는 출력 신호(C)는 두 신호(B1, B2)의 전위를 더한 결과로서 도 6의 정상 파형과 같이 대략 제1레벨(FL)을 가질 수 있다.

제1 및 제2 스캔 검사(TA Scan, TB scan)에 대한 출력 신호(C)를 보면, 도 5에 도시한 이웃한 두 데이터선(171) 중 좌측 데이터선(171)이 끊긴 불량인 경우인 도 9의 출력 신호(C)의 파형과 우측 데이터선(171)이 끊긴 불량인 경우인 도 10의 출력 신호(C)의 파형이 서로 구분될 수 있다. 또한, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨에 비해 제2 스캔 검사(TB Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨이 높은지 또는 낮은지를 통해 어느 쪽 데이터선(171)에 불량이 생겼는지 검사할 수 있다.

또한, 제1 스캔 검사(TA Scan)의 출력 신호(C)와 제2 스캔 검사(TB Scan)의 출력 신호(C)의 비정상 레벨의 차이가 대략 제2레벨(HL)인 경우, 해당 펄스에 대응하는 데이터선(171)에 끊긴 불량이 있는 것으로 판단할 수 있다.

이와 같이 본 발명의 실시예에 따르면, 불량인 데이터선(171)의 위치를 검출할 수 있을 뿐 아니라 출력 신호(C)의 파형을 분석하여 데이터선(171)의 불량 원인도 검사할 수 있다. 예를 들어, 데이터선(171)이 다른 데이터선(171)과 단락된 경우에는 도 7 내지 도 10에 도시한 바와 같이 데이터선(171)이 다른 도전층과 단락되거나 끊긴 불량에 의한 출력 신호(C)와 다른 파형의 출력 신호가 검출될 수 있다.

이제, 앞에서 설명한 도면들과 함께 도 11을 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치에 대하여 설명한다.

도 11은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부의 일부를 도시한다.

도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치는 앞에서 설명한 도 1, 도 2 및 도 5에 도시한 실시예와 대부분 동일하나 검사부(TPD)의 형태가 다를 수 있다. 여기서는 앞에서 설명한 실시예와 동일한 구성 요소에 대한 동일한 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명한다.

구체적으로, 검사부(TPD)에 위치하는 각 데이터선(171)은 하나의 확장부(172a, 172b, 172c) 및 확장부(172a, 172b, 172c)에 연결되어 있는 하나의 검사선(173a, 173b, 173c)을 포함할 수 있다.

복수의 데이터선(171)의 확장부들(172a, 172b, 172c)은 세 개 이상의 행에 교대로 위치할 수 있다. 도 11은 복수의 데이터선(171)의 확장부들(172a, 172b, 172c)이 세 개의 행에 교대로 위치하는 예를 도시한다. 이 경우, 이웃한 세 데이터선(171)의 확장부들(172a, 172b, 172c)은 제1방향(DR1)으로 어긋나게 배치되어 있을 수 있다.

도 11은 각 그룹(UT)이 이웃한 세 개의 데이터선(171)을 포함하는 예를 도시한다. 각 그룹(UT)이 포함하는 데이터선(171) 중 한 데이터선(171)은 제1 확장부(172a), 그리고 제1 확장부(172a)에 연결된 제1 검사선(173a)을 포함하고, 다른 한 데이터선(171)은 제2 확장부(172b), 그리고 제2 확장부(172b)에 연결된 제2 검사선(173b)을 포함하고, 나머지 한 데이터선(171)은 제3 확장부(172c), 그리고 제3 확장부(172c)에 연결된 제3 검사선(173c)을 포함할 수 있다.

한 실시예에 따른 검사부(TPD)는 확장부(172a, 172b, 172c)가 배열되어 있는 영역의 아래쪽에 차례대로 위치하는 제1 검사 영역(TA), 제2 검사 영역(TB), 그리고 제3 검사 영역(TC)을 포함할 수 있다.

제1 검사선(173a)은 대략 제2방향(DR2)으로 연장되어 제1 검사 영역(TA) 및 제2 검사 영역(TB)을 지나 제3 검사 영역(TC)의 하단까지 연장되어 있다. 따라서 제1 검사선(173a)은 제3 검사 영역(TC)의 하단 부근에 위치하는 끝부분을 포함할 수 있다.

제2 검사선(173b)은 제2 확장부(172b) 아래에서 제1 검사선(173a) 쪽으로 꺾인 후 다시 제2방향(DR2)을 향해 꺾인 부분을 포함할 수 있다. 제2방향(DR2)을 향해 꺾인 제2 검사선(173b)은 대략 제2방향(DR2)으로 연장되어 제2 검사 영역(TB)까지 연장되어 있다. 제2 검사선(173b)은 제3 검사 영역(TC)에는 위치하지 않고, 제2 검사 영역(TB)과 제3 검사 영역(TC)의 경계선 부근에 위치하는 끝부분을 포함할 수 있다.

제3 검사선(173c)은 제3 확장부(172c) 아래에서 제2 검사선(173b) 쪽으로 꺾인 후 다시 제2방향(DR2)을 향해 꺾인 부분을 포함할 수 있다. 제2방향(DR2)을 향해 꺾인 제3 검사선(173c)은 대략 제2방향(DR2)으로 연장되어 제3 검사 영역(TC)까지 연장되어 있다. 제3 검사선(173c)은 제2 및 제3 검사 영역(TB, TC)에는 위치하지 않고, 제1 검사 영역(TA)과 제2 검사 영역(TB)의 경계선 부근에 위치하는 끝부분을 포함할 수 있다.

따라서, 제1 검사 영역(TA)에는 각 그룹(UT)이 포함하는 세 검사선(173a, 173b, 173c)이 모두 위치하고, 제2 검사 영역(TB)에는 두 검사선(173a, 173b)만이 위치하고, 제3 검사 영역(TC)에는 한 검사선(173a)만 위치할 수 있다.

제1 검사선(173a)의 길이, 제2 검사선(173b)의 길이, 그리고 제3 검사선(173c)의 길이는 서로 같을 수도 있다.

이러한 검사선들(173a, 173b, 173c)은 제1방향(DR1)을 따라 교대로 배열되어 있을 수 있다. 이 경우, 좌측부터 (3k-2)번째(k는 자연수, 이후 동일) 데이터선(171)은 제1 검사선(173a)을 포함하고, (3k-1)번째 데이터선(171)은 제2 검사선(173b)을 포함하고, 3k번째(k는 자연수, 이후 동일) 데이터선(171)은 제3 검사선(173c)을 포함할 수 있다.

이웃한 두 그룹(UT) 중 좌측의 그룹(UT)의 우측 가장자리에 위치하는 제3 검사선(173c)과 우측의 그룹(UT)의 좌측 가장자리에 위치하는 제1 검사선(173a) 사이의 간격(D5)은, 표시 영역(DA)에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격보다 클 수 있다. 즉, 제1 검사 영역(TA)에서 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 검사선(173a, 173c) 사이의 간격(D5)은 표시 영역(DA)에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격보다 클 수 있다.

제3 검사 영역(TC)에서는 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 개의 제1 검사선(173a) 사이의 간격(D6)아 표시 영역(DA)에서 이웃한 두 데이터선(171) 사이의 간격보다 클 수 있다.

제1 검사 영역(TA)에서 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 검사선(173a, 173c) 사이의 간격(D5), 그리고 제3 검사 영역(TC)에서는 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 개의 제1 검사선(173a) 사이의 간격(D6)은 모두 앞에서 설명한 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)보다 클 수 있다. 따라서, 데이터선(171)의 검사 시 검사 장치(500)는 이웃한 두 그룹(UT)을 서로 구분하여 입력 신호를 인가할 수 있고, 어느 그룹의 데이터선(171)에 불량이 있는지 검사하는 게 가능하다.

또한, 제1 검사 영역(TA)에서 한 그룹(UT)에 위치하는 검사선들(173a, 173b, 173c) 중 좌우 가장자리에 위치하는 두 검사선(173a, 173c)의 바깥쪽 두 가장자리 사이의 간격(D7)은 앞에서 설명한 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)보다 작을 수 있다. 즉, 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)은 한 그룹(UT)에 대해 제1 검사 영역(TA)에 위치하는 전체 검사선들(173a, 173b, 173c)의 좌우 가장자리 사이의 간격(D7)보다 클 수 있다. 따라서, 데이터선(171)의 검사 시 검사 장치(500)는 한 그룹(UT)에 위치하는 복수의 검사선(173a, 173b, 173c)을 구분하지 않고 동시에 하나의 입력 신호를 인가할 수 있고, 결국 한 그룹(UT)에 속하는 모든 검사선(173a, 173b, 173c)을 하나의 검사선인 것처럼 입력 신호를 인가할 수 있다.

각 그룹(UT)에 위치하는 검사선들(173a, 173b, 173c)의 순서는 도시한 바와 같이 일정할 수도 있고, 이와 다르게 배치될 수도 있다.

그러면, 도 11과 함께 도 12 내지 도 15를 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선에 대한 검사 방법을 설명한다.

먼저 도 11 및 도 12를 참조하여 검사되는 데이터선들(171)이 모두 정상인 경우의 출력 신호의 파형에 대해 설명한다.

도 12는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 데이터선이 정상인 경우 출력되는 신호의 파형도이다.

제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 검사선들(173a, 173b, 173c)에 입력 신호(A1)를 인가하면, 데이터선(171)의 신호(B1, B2, B3)는 각각 제1레벨(FL)보다 낮은 제3레벨(TL)을 가질 수 있다. 제3레벨(TL)은 예를 들어 제1레벨(FL)의 대략 1/3일 수 있다. 각 그룹(UT)의 출력 신호(C)는 신호들(B1, B2, B3)의 전위를 더한 레벨로서 대략 제1레벨(FL)일 수 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 검사선들(173a, 173b)에 입력 신호(A2)를 인가하면, 제3 검사선(173c)에 입력 신호(A2)가 인가되지 않으므로 제3 검사선(173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B3)는 0이고, 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1, B2)는 대략 제2레벨(HL)과 같을 수 있다. 출력 신호(C)는 신호들(B1, B2, B3)의 전위를 더한 레벨로서 대략 제1레벨(FL)일 수 있다.

다음, 제3 스캔 검사(TC scan)에서 제3 검사 영역(TC)의 검사선들(173a)에 입력 신호(A3)를 인가하면, 제2 및 제3 검사선(173b, 173c)에 입력 신호(A3)가 인가되지 않으므로 제2 및 제3 검사선(173b, 173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2, B3)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 대략 제1레벨(FL)과 같을 수 있다. 출력 신호(C)는 신호들(B1, B2, B3)의 전위를 더한 레벨로서 대략 제1레벨(FL)일 수 있다.

다음, 도 12에 도시한 정상 파형을 바탕으로 도 13 내지 도 15를 참조하여, 도 11에 도시한 한 그룹(UT)의 데이터선(171) 중 좌측, 중앙, 그리고 우측의 데이터선(171)이 각각 다른 도전층과 단락된 불량이 생긴 경우에 대해 설명한다.

도 13은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 11에 도시한 이웃한 데이터선 중 좌측의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이고, 도 14는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 11에 도시한 이웃한 데이터선 중 중간의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이고, 도 15는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선의 검사 단계에서 입력되는 신호 및 도 11에 도시한 이웃한 데이터선 중 우측의 데이터선이 다른 도전층의 신호선과 단락되었을 때 출력되는 신호의 파형도이다.

도 13을 참조하면, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 검사선들(173a, 173b, 173c)에 입력 신호(A1)를 인가하면, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제3레벨(TL)보다 낮은 레벨(SL3A)을 가지고, 제2 및 제3 검사선(173b, 173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2, B3)는 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다. 출력 신호(C)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 제2레벨(HL)보다 높은 레벨(STL3A)을 가질 수 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)에 입력 신호(A2)를 인가하면, 제3 검사선(173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B3)는 0이고, 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1. B2)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제2레벨(HL)보다 낮은 레벨(SL3B)을 가질 수 있다. 출력 신호(C)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 제2레벨(HL)보다 높은 레벨(STL3B)을 가질 수 있다.

다음, 제3 스캔 검사(TC scan)에서 제3 검사 영역(TC)의 제1 검사선(173a)에 입력 신호(A3)를 인가하면, 제2 및 제3 검사선(173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2, B3)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮은 레벨(SL3C)을 가질 수 있다. 출력 신호(C)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 0보다 높은 레벨(SL3C)을 가질 수 있다.

여기서 제2 스캔 검사(TB Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(STL3B)은 제1 스캔 검사(TA Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(STL3A)보다 전위차(dV3)만큼 작고, 제3 스캔 검사(TC scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(SL3C)은 제2 스캔 검사(TB Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(STL3B)보다 전위차(dV4)만큼 작을 수 있다. 전위차(dV3, dV4)는 0보다 크다.

다음 도 14를 참조하면, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 검사선들(173a, 173b, 173c)에 입력 신호(A1)를 인가하면, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제3레벨(TL)보다 낮은 레벨(SL4A)을 가지고, 제1 및 제3 검사선(173a, 173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1, B3)는 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다. 출력 신호(C)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 제2레벨(HL)보다 높은 레벨(STL4A)을 가질 수 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 데이터선들(171)의 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)에 입력 신호(A2)를 인가하면, 제3 검사선(173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B3)는 0이고, 제2 검사선(173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제2레벨(HL)보다 낮은 레벨(SL4B)을 가지고. 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다. 출력 신호(C)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 제2레벨(HL)보다 높은 레벨(STL4B)을 가질 수 있다.

다음, 제3 스캔 검사(TC scan)에서 제3 검사 영역(TC)의 데이터선들(171)의 제1 검사선(173a)에 입력 신호(A3)를 인가하면, 제2 및 제3 검사선(173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2, B3)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다. 출력 신호(C)도 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다.

여기서 제2 스캔 검사(TB Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(STL4B)은 제1 스캔 검사(TA Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(STL4A)보다 전위차(dV5)만큼 작고, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨(STL4A)은 제3 스캔 검사(TC scan)에서의 출력 신호(C)의 전압 레벨인 제1레벨(FL)보다 작을 수 있다. 전위차(dV5)는 0보다 크다.

다음 도 15를 참조하면, 제1 스캔 검사(TA Scan)에서 제1 검사 영역(TA)의 검사선들(173a, 173b, 173c)에 입력 신호(A1)를 인가하면, 제3 검사선(173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B3)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제3레벨(TL)보다 낮은 레벨(SL5A)을 가지고, 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1, B2)는 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다. 출력 신호(C)는 불량 데이터선(171)이 스캔되는 타이밍에 제1레벨(FL)보다 낮고 제2레벨(HL)보다 높은 레벨(STL5A)을 가질 수 있다.

다음, 제2 스캔 검사(TB Scan)에서 제2 검사 영역(TB)의 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)에 입력 신호(A2)를 인가하면, 제3 검사선(173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B3)는 0이고, 제1 및 제2 검사선(173a, 173b)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1, B2)는 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다. 출력 신호(C)는 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다.

다음, 제3 스캔 검사(TC scan)에서 제3 검사 영역(TC)의 제1 검사선(173a)에 입력 신호(A3)를 인가하면, 제2 및 제3 검사선(173c)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B2, B3)는 0이고, 제1 검사선(173a)을 포함하는 데이터선(171)의 신호(B1)는 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다. 출력 신호(C)도 도 12의 정상 파형과 같을 수 있다.

이와 같이, 세 검사 영역(TA, TB, TC)에 대한 세 번의 스캔 검사(TA Scan, TB scan, TC scan)를 통해 얻어진 출력 신호(C)의 파형 및/또는 전위차(dV3, dV4, dV5)에 대한 정보를 가지고 어느 데이터선(171)이 불량인지에 대해 검사할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제1 스캔 검사(TA Scan)를 통해서 어느 그룹(UT)에 불량 데이터선(171)이 있는지 확인이 가능하고, 제2 스캔 검사(TB Scan) 및 제3 스캔 검사(TC Scan)을 통해서는 각 그룹(UT)의 어느 데이터선(171)에 불량이 있는지 확인이 가능하다.

도 11에 도시한 실시예에 따른 표시 장치의 데이터선(171)이 다른 데이터선(171)과 단락되거나 끊어진 불량 등에 대해서도 출력 신호(C)의 파형 및/또는 전위차에 대한 정보를 가지고 어느 데이터선(171)이 불량인지에 대해 검사할 수 있고, 불량 원인에 대해서도 검사할 수 있다.

다음, 도 16을 참조하여 도 11에 도시한 실시예를 더 확장하여 설명한다.

도 16은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부의 일부를 도시한다.

도 16을 참조하면, 제1방향(DR1)으로 반복적으로 배열되어 있는 복수의 그룹(UT) 각각은 n개(n은 2 이상의 자연수)의 데이터선(171)을 포함할 수 있다. 데이터선 검사 영역은 앞에서 설명한 제1 검사 영역(TA) 및 제2 검사 영역(TB)을 포함하는 n개의 검사 영역(T1, T2, ??, Tn)을 포함할 수 있다. 각 그룹(UT)에 위치하는 n개의 데이터선(171)이 포함하는 n개의 검사선들(173(1), ??, 173(n-1), 173n)은 각각 순서대로 n개의 검사 영역(T1, T2, ??, Tn) 각각의 하단까지 연장되어 있을 수 있다. 즉, 제1 검사선(173(1))은 n번째 검사 영역(Tn)의 하단까지 연장되어 있고, (n-1)번째 검사선(173(n-1))은 제2 검사 영역(T2)의 하단까지 연장되어 있고, n번째 검사선(173n))은 제1 검사 영역(T1)의 하단까지 연장되어 있을 수 있다. 따라서, 제1 검사 영역(T1)에는 n개의 검사선(173(1), ??, 173(n-1), 173n)이 위치하고, 제2 검사 영역(T2)에는 (n-1)개의 검사선(173(1), ??, 173(n-1))이 위치하고, n번째 검사 영역(Tn)에는 1개의 검사선(173(1))위치할 수 있다.

제1 검사 영역(T1)에서 이웃한 두 그룹(UT)에 각각 위치하며 서로 마주하는 두 검사선(173n, 173(1)) 사이의 간격(D8)은 앞에서 설명한 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)보다 크다. 따라서, 데이터선(171)의 검사 시 검사 장치(500)는 이웃한 두 그룹(UT)을 서로 구분하여 입력 신호를 인가할 수 있고, 어느 그룹의 데이터선(171)에 불량이 있는지 검사하는 게 가능하다.

또한, 검사 장치(500)의 검사 핀(501)의 제1방향(DR1)의 폭(Wt)은 제1 검사 영역(T1)에서 한 그룹(UT)에 위치하는 검사선들(173(1), ??, 173(n-1), 173n) 중 좌우 가장자리에 위치하는 두 검사선(173(1), 173n)의 바깥쪽 두 가장자리 사이의 간격(D9)보다 크다. 따라서, 데이터선(171)의 검사 시 검사 장치(500)는 한 그룹(UT)에 위치하는 복수의 검사선(173(1), ??, 173(n-1), 173n)을 구분하지 않고 동시에 하나의 입력 신호를 인가할 수 있고, 결국 한 그룹(UT)에 속하는 모든 검사선(173(1), ??, 173(n-1), 173n)을 하나의 검사선인 것처럼 입력 신호를 인가할 수 있다.

데이터선(171)의 불량 여부에 대한 검사 시, 앞에서 설명한 바와 같은 검사 장치(500)는 n개의 검사 영역(T1, T2, ??, Tn)에 대해 차례대로 입력 신호를 스캐닝하며 인가하고 센서 장치(600)를 통해 얻은 출력 신호를 통해 불량 데이터선(171)을 검출할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제1 검사 영역(T1)에 대한 스캔 검사를 통해서 어느 그룹(UT)에 불량 데이터선(171)이 있는지 또는 없는지에 대한 확인이 가능하고, 나머지 검사 영역(T2, ??, Tn)에 대한 스캔 검사는 구체적으로 어느 데이터선(171)에 불량이 있는지 확인이 가능하다.

각 그룹(UT)에 위치하는 검사선(173(1), ??, 173(n-1), 173n)의 순서는 도시한 바와 다르게 배치될 수도 있다.

다음 도 17을 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치에 대하여 설명한다.

도 17은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 평면 배치도이다.

도 17을 참조하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치(1000a)는 앞에서 설명한 도 1 및 도 2에 도시한 표시 장치(1000)와 대부분 동일하나, 표시 영역(DA)을 기준으로 아래 및 위에 각각 위치하여 서로 마주하는 제1 검사부(TPDa) 및 제2 검사부(TPDb)를 포함할 수 있다. 제1 검사부(TPDa)는 표시 영역(DA)의 제1 가장자리(BL1) 바깥쪽에 위치할 수 있고, 제2 검사부(TPDb)는 표시 영역(DA)의 제2 가장자리(BL2) 바깥쪽에 위치할 수 있다.

복수의 데이터선(171) 중 일부는 표시 영역(DA)의 제1 가장자리(BL1)의 바깥쪽에 위치하는 비표시 영역(NDA)으로 연장되어 제1 검사부(TPDa)에 위치하는 확장부(172a1, 172b1) 및 확장부(172a1, 172b1)에 연결되어 있는 검사선(173a1, 173b1)을 포함할 수 있다. 복수의 데이터선(171) 중 나머지는 표시 영역(DA)의 제2 가장자리(BL2)의 바깥쪽에 위치하는 비표시 영역(NDA)으로 연장되어 제2 검사부(TPDb)에 위치하는 확장부(172a2, 172b2) 및 확장부(172a2, 172b2)에 연결되어 있는 검사선(173a2, 173b2)을 포함할 수 있다.

제1 검사부(TPDa)에 위치하는 검사선(173a1, 173b1)을 포함하는 데이터선(171)은 예를 들어 좌측부터 홀수 번째 데이터선(171)일 수 있고, 제2 검사부(TPDb)에 위치하는 검사선(173a2, 173b2)을 포함하는 데이터선(171)은 예를 들어 좌측부터 짝수 번째 데이터선(171)일 수 있다. 또는 이와 반대일 수도 있다.

제1 검사부(TPDa)에 위치하는 복수의 데이터선(171)은 제1방향(DR1)으로 반복하여 배치되어 있는 복수의 그룹(UTa)으로 나뉘고, 제2 검사부(TPDb)에 위치하는 복수의 데이터선(171)은 제1방향(DR1)으로 반복하여 배치되어 있는 복수의 그룹(UTb)으로 나뉠 수 있다. 각 그룹(UTa, UTb)은 두 개 이상의 데이터선(171)을 포함하고, 각 그룹(UTa, UTb)의 데이터선들(171)의 검사선들(173a1, 173b1, 173a2, 173b2)은 앞에서 설명한 여러 실시예와 같은 형태를 가질 수 있다. 앞에서 설명한 실시예의 여러 특징들이 동일하게 적용될 수 있으므로 동일한 설명은 생략한다.

이러한 표시 장치(1000a)의 데이터선(171)의 불량 여부 검사를 위해, 앞에서 설명한 바와 같은 데이터선 검사 방법을 제1 검사부(TPDa) 및 제2 검사부(TPDb) 각각에 대해 실시하여 불량 데이터선(171)을 검출할 수 있다.

다음, 앞에서 설명한 도면들과 함께 도 18을 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치에 대하여 설명한다.

도 18은 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부를 도시한다.

도 18을 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치는 앞에서 설명한 실시예와 대부분 동일하나 검사부(TPD)의 제2 검사선(173b)의 형태가 다를 수 있다. 구체적으로, 제2 검사선(173b)의 제2부분(72b)이 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2)에 비스듬한 방향으로 연장될 수 있다.

다음, 도 19를 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치에 대하여 설명한다.

도 19는 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사부 및 패드부의 일부를 도시한다.

본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치가 포함하는 복수의 데이터선(171)은 앞에서 설명한 실시예와 같은 확장부(172a, 172b) 및 검사선(173a, 173b)과 연결되어 있는 배선부(174)를 더 포함할 수 있다. 배선부(174)는 검사부(TPD)에서 대략 제2방향(DR2)으로 연장되다가 이웃한 배선부(174)의 간격이 점차 좁아지는 팬아웃부(FO)를 거쳐 패드부(PAD)에 위치하는 끝부분(179)을 포함할 수 있다. 즉, 패드부(PAD)와 표시 영역(DA)의 가장자리 사이에 본 발명의 한 실시예에 따른 검사부(TPD)가 위치할 수 있다. 끝부분(179)에는 데이터선(171)에 데이터 신호를 인가할 수 있는 가요성 인쇄 회로 필름 또는 구동 회로 칩 등이 접속되어 있을 수 있다.

검사부(TPD)에서 배선부(174)는 확장부(172a, 172b) 및 검사선(173a, 173b)과 다른 도전층에 위치할 수 있다. 배선부(174)는 표시 영역(DA)의 가장자리 부근에서 확장부(172a, 172b)와 전기적으로 연결되어 있을 수 있다. 검사부(TPD)에서 확장부(172a, 172b) 및 검사선(173a, 173b)의 적어도 일부는 배선부(174)와 평면상 중첩할 수 있다.

도 19에 도시한 실시예에서는 데이터선(171)의 확장부(172a, 172b) 및 검사선(172a, 173b)이 패드부(PAD)와 표시 영역(DA)의 사이에 위치하는 경우에 대한 것이다. 그러나, 앞에서 설명한 여러 실시예에 따른 데이터선(171)의 확장부(172a, 172b, 172c) 및 검사선(172a, 173b, 173c)의 위치가 이에 한정되는 것은 아니고, 패드부(PAD)가 위치하지 않는 쪽의 비표시 영역(NDA)에 위치할 수도 있다.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

110: 기판
121: 게이트선
171: 데이터선
172a, 172b, 172c, 172a1, 172b1, 172a2, 172b2: 확장부
173a, 173b, 173c, 173a1, 173b1, 173a2, 173b2: 검사선
400a, 400b: 게이트 구동부
500: 검사 장치
501: 검사 핀
600: 센서 장치
601: 센서 패드
1000, 1000a: 표시 장치
TA, TB, TC: 검사 영역
TPD, TPDa,TPDb: 검사부
UT, UTa, UTb: 그룹

Claims (20)

1. 복수의 화소 및 복수의 데이터선을 포함하는 표시 영역, 그리고
   상기 표시 영역의 주위에 위치하고 검사부를 포함하는 비표시 영역
   을 포함하고,
   상기 복수의 데이터선 중 제1 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제1 검사선을 포함하고,
   상기 복수의 데이터선 중 상기 제1 데이터선과 제1방향으로 이웃한 제2 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제2 검사선을 포함하고,
   상기 제1 검사선은 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 연장되어 있고,
   상기 제2 검사선은 상기 제2방향으로 연장된 제1부분, 상기 제1부분에서 상기 제1 검사선을 향해 꺾인 후 상기 제1 검사선을 향해 연장된 제2부분, 그리고 상기 제2부분에서 꺾여 상기 제1 검사선에 나란하게 연장된 제3부분을 포함하고,
   상기 제1 검사선의 끝부분과 상기 제2 검사선의 끝부분은 상기 제2방향으로 이격되어 있는
   표시 장치.
2. 제1항에서,
   상기 검사부는, 상기 제2방향으로 인접한 제1 검사 영역 및 제2 검사 영역을 포함하고,
   상기 제1 검사 영역에는 상기 제1 검사선 및 상기 제2 검사선이 모두 위치하고,
   상기 제2 검사 영역에는 상기 제1 검사선은 위치하고 상기 제2 검사선은 위치하지 않는
   표시 장치.
3. 제2항에서,
   상기 제1 데이터선은, 상기 제1 검사 영역과 상기 표시 영역 사이에 위치하며 상기 제1 검사선과 연결되어 있는 제1 확장부를 포함하고,
   상기 제2 데이터선은, 상기 제1 검사 영역과 상기 표시 영역 사이에 위치하며 상기 제2 검사선과 연결되어 있는 제2 확장부를 포함하는
   표시 장치.
4. 제3항에서,
   상기 제1 확장부와 상기 제2 확장부는 상기 제1방향으로 엇갈려 위치하는 표시 장치.
5. 제2항에서,
   상기 제1 검사선 및 상기 제2 검사선의 바깥쪽 두 가장자리 사이의 간격은 상기 복수의 데이터선 중 상기 표시 영역에서 이웃한 두 데이터선 사이의 간격보다 작은 표시 장치.
6. 복수의 화소 및 복수의 데이터선을 포함하는 표시 영역, 그리고
   상기 표시 영역의 주위에 위치하고 검사부를 포함하는 비표시 영역
   을 포함하고,
   상기 복수의 데이터선은 제1방향으로 반복 배치되어 있는 복수의 그룹으로 나뉘고,
   상기 복수의 그룹 각각은 제1 데이터선 및 제2 데이터선을 포함하고,
   상기 제1 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제1 검사선을 포함하고,
   상기 제2 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제2 검사선을 포함하고,
   상기 제1 검사선은 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 연장되어 있고,
   상기 제2 검사선은 상기 제1 검사선을 향해 꺾인 부분을 포함하고,
   상기 제1 검사선의 끝부분과 상기 제2 검사선의 끝부분은 상기 제2방향으로 이격되어 있는
   표시 장치.
7. 제6항에서,
   상기 검사부는, 상기 제2방향으로 인접한 제1 검사 영역 및 제2 검사 영역을 포함하고,
   상기 제1 검사 영역에는 상기 제1 검사선 및 상기 제2 검사선이 모두 위치하고,
   상기 제2 검사 영역에는 상기 제1 검사선은 위치하고 상기 제2 검사선은 위치하지 않는
   표시 장치.
8. 제7항에서,
   상기 제1 데이터선은, 상기 제1 검사 영역과 상기 표시 영역 사이에 위치하며 상기 제1 검사선과 연결되어 있는 제1 확장부를 포함하고,
   상기 제2 데이터선은, 상기 제1 검사 영역과 상기 표시 영역 사이에 위치하며 상기 제2 검사선과 연결되어 있는 제2 확장부를 포함하는
   표시 장치.
9. 제8항에서,
   상기 제1 확장부와 상기 제2 확장부는 상기 제1방향으로 엇갈려 위치하는 표시 장치.
10. 제7항에서,
    상기 복수의 그룹 중 한 그룹이 포함하는 상기 제1 검사선 및 상기 제2 검사선의 바깥쪽 두 가장자리 사이의 간격은 상기 복수의 데이터선 중 상기 표시 영역에서 이웃한 두 데이터선 사이의 간격보다 작은 표시 장치.
11. 제10항에서,
    상기 복수의 그룹은 이웃한 제1그룹 및 제2그룹을 포함하고,
    상기 제1그룹이 포함하는 상기 제2 검사선과 상기 제2그룹이 포함하는 상기 제1 검사선 사이의 간격은 상기 복수의 데이터선 중 상기 표시 영역에서 이웃한 두 데이터선 사이의 간격보다 큰 표시 장치.
12. 제11항에서,
    상기 제1그룹이 포함하는 상기 제2 검사선과 상기 제2그룹이 포함하는 상기 제1 검사선 사이의 간격은 50 마이크로미터보다 큰 표시 장치.
13. 제6항에서,
    상기 제2 검사선은, 상기 제2방향으로 연장된 제1부분, 상기 제1부분에서 상기 제1 검사선을 향해 꺾인 후 상기 제1 검사선을 향해 연장된 제2부분, 그리고 상기 제2부분에서 꺾여 상기 제1 검사선에 나란하게 연장된 제3부분을 포함하는 표시 장치.
14. 제6항에서,
    상기 복수의 그룹 각각은 상기 제2 데이터선에 이웃한 제3 데이터선을 더 포함하고,
    상기 제3 데이터선은 상기 검사부에 위치하는 제3 검사선을 포함하고,
    상기 제3 검사선은 상기 제2 검사선을 향해 꺾인 부분을 포함하고,
    상기 제3 검사선의 끝부분과 상기 제2 검사선의 끝부분은 상기 제2방향으로 이격되어 있는
    표시 장치.
15. 제14항에서,
    상기 검사부는, 상기 제2방향으로 인접한 제1 검사 영역, 제2 검사 영역 및 제3 검사 영역을 포함하고,
    상기 제1 검사 영역에는 상기 제1 검사선, 상기 제2 검사선 및 제3 검사선이 모두 위치하고,
    상기 제2 검사 영역에는 상기 제1 검사선 및 상기 제2 검사선은 위치하고 상기 제3 검사선은 위치하지 않고,
    상기 제3 검사 영역에는 상기 제1 검사선은 위치하고 상기 제2 검사선 및 상기 제3 검사선은 위치하지 않는
    표시 장치.
16. 복수의 화소 및 복수의 데이터선을 포함하는 표시 영역, 그리고 상기 표시 영역의 주위에 위치하고 검사부를 포함하는 비표시 영역을 포함하고, 상기 검사부는 서로 인접한 제1 검사 영역 및 제2 검사 영역을 포함하고, 상기 복수의 데이터선은 제1방향으로 반복 배치되어 있는 복수의 그룹으로 나뉘고, 상기 복수의 그룹 각각은 제1 데이터선 및 제2 데이터선을 포함하고, 상기 제1 데이터선은 상기 제1 검사 영역 및 상기 제2 검사 영역에 위치하는 제1 검사선을 포함하고, 상기 제2 데이터선은 상기 제1 검사 영역에 위치하고 상기 제2 검사 영역에는 위치하지 않는 제2 검사선을 포함하는 표시 장치에서,
    상기 제1 검사 영역에서 상기 제1방향으로 스캐닝하며 상기 제1 검사선 및 상기 제2 검사선에 제1 입력 신호를 인가하는 단계,
    상기 제2 검사 영역에서 상기 제1방향으로 스캐닝하며 상기 제1 검사선에 제2 입력 신호를 인가하는 단계, 그리고
    상기 복수의 데이터선의 전위를 측정하여 얻은 출력 신호를 통해 불량인 데이터선을 검출하는 단계
    를 포함하는 표시 장치의 검사 방법.
17. 제16항에서,
    상기 복수의 그룹 중 한 그룹이 포함하는 상기 제1 검사선과 상기 제2 검사선의 바깥쪽 두 가장자리 사이의 간격은, 상기 제1 입력 신호를 인가하는 단계 및 상기 제2 입력 신호를 인가하는 단계에서 사용되는 검사 장치의 검사 핀의 상기 제1방향의 폭보다 작은 표시 장치의 검사 방법.
18. 제17항에서,
    상기 복수의 그룹은 이웃한 제1그룹 및 제2그룹을 포함하고,
    상기 제1그룹이 포함하는 상기 제2 검사선과 상기 제2그룹이 포함하는 상기 제1 검사선 사이의 간격은, 상기 검사 핀의 상기 제1방향의 폭보다 큰 표시 장치의 검사 방법.
19. 제16항에서,
    상기 출력 신호는,
    상기 제1 검사 영역에 상기 제1 입력 신호를 인가하는 것에 대응하여 검출된 제1 출력 신호, 그리고
    상기 제2 검사 영역에 상기 제2 입력 신호를 인가하는 것에 대응하여 검출된 제2 출력 신호를
    포함하는 표시 장치의 검사 방법.
20. 제19항에서,
    상기 제1 데이터선이 불량인 경우 검출된 상기 제1 및 제2 출력 신호의 파형은 상기 제2 데이터선이 불량인 경우 검출된 상기 제1 및 제2 출력 신호의 파형과 다른 표시 장치의 검사 방법.

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