KR20150005375A - 검사 장치와, 이를 이용한 배선 및 원장 검사 방법 - Google Patents

검사 장치와, 이를 이용한 배선 및 원장 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 검사 장치는 복수의 데이터 선 각각에 연결된 복수의 역다중화 스위치를 포함하는 표시 장치의 검사 장치에 있어서, 상기 복수의 역다중화 스위치에 복수의 배선을 통해 연결되어 있는 복수의 제어 스위치를 포함하는 원장 검사 장치, 그리고 상기 복수의 제어 스위치에 연결되어 있는 패드에 상기 복수의 배선의 불량을 검출하기 위한 배선 검사 신호를 공급하는 배선 검사 장치를 포함하며, 상기 배선 검사 장치는, 상기 패드에 배선 검사 신호를 제공하여 복수의 배선 중 복수의 제1 배선의 불량을 검출한 후, 상기 복수의 배선 중 나머지 복수의 제2 배선의 불량을 검출하고, 상기 복수의 제1 배선 및 상기 복수의 제2 배선은, 상기 복수의 역다중화 스위치의 아래에 서로 교대로 배치되어, 상기 복수의 역다중화 스위치로 전송되는 신호의 경로를 형성한다.

Description

검사 장치와, 이를 이용한 배선 및 원장 검사 방법{TESTING DEVICE, AND TESTING METHOD FOR THE LINE AND ONE SHEET USING THE TESTING DEVICE}
본 발명은 검사 장치와, 이를 이용한 배선 및 원장 검사 방법에 관한 것이다.
다수개의 유기 발광 표시 장치(OLED)의 표시 패널들은 하나의 기판(이하, 원장 기판) 상에서 형성된 후, 스크라이빙(scribing)되어 개개의 패널들로 분리된다. 디스플레이 패널들은 원장 기판에서 절단, 분리되기 전에, 원장 기판 상태에서 표시 패널 단위의 점등이나 표시 패널 단위의 검사 공정 또는 에이징(aging) 검사 공정 등을 진행한다.
즉, 액티브 매트릭스(active matrix) 방식의 표시 패널은 공정 진행 후 원장 기판 상태에서 색을 내는 유기 발광 소자가 증착되기 전에 회로부를 검사한다.종래에는 원장 기판에 대한 전기적 검사가 없었으며, 비주얼(Visual) 검사를 통해 불량을 감지하여 검사가 부정확하였다. 최근에는 원장 기판에 대한 검사가 도입되었으며, COG(Chip on glass) 범프(Bump)에 직접적인 접촉(Contact)을 통해 전기적인 원장 기판 검사가 수행된다. 그러나 COG 패드의 손상으로 인해 표시 패널의 불량을 유발하였다.
그리고, 범프의 아래에 다중화(MUX) 회로를 구현하고, 다중화 회로에 연결되는 COG 패드를 만들어 원장 기판을 검사하였으나, 구동 IC의 출력을 전달하는 스파이더(Spider) 배선을 검사하는 경로와 겹치는 문제가 있다.
본 발명은 원장 검사와 스파이더 배선 검사를 수행할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 양태에 따른 검사 장치는 복수의 데이터 선 각각에 연결된 복수의 역다중화 스위치를 포함하는 표시 장치의 검사 장치에 있어서, 상기 복수의 역다중화 스위치에 복수의 배선을 통해 연결되어 있는 복수의 제어 스위치를 포함하는 원장 검사 장치, 그리고 상기 복수의 제어 스위치에 연결되어 있는 패드에 상기 복수의 배선의 불량을 검출하기 위한 배선 검사 신호를 공급하는 배선 검사 장치를 포함하며, 상기 배선 검사 장치는, 상기 패드에 배선 검사 신호를 제공하여 복수의 배선 중 복수의 제1 배선의 불량을 검출한 후, 상기 복수의 배선 중 나머지 복수의 제2 배선의 불량을 검출하고, 상기 복수의 제1 배선 및 상기 복수의 제2 배선은, 상기 복수의 역다중화 스위치의 아래에 서로 교대로 배치되어, 상기 복수의 역다중화 스위치로 전송되는 신호의 경로를 형성한다.
상기 배선 검사 장치는, 상기 배선 검사 신호를 제공하는 테스트 데이터 라인, 그리고 상기 배선 검사 신호가 상기 패드에 전달되도록 테스트 스위치를 온/오프 하는 테스트 게이트 신호를 제공하는 테스트 게이트 라인을 포함할 수 있다.
상기 원장 검사 장치는, 상기 복수의 제어 스위치에 각각 접속되고, 대응하는 제어 스위치에 전압을 인가하여 상기 복수의 제어 스위치를 온/오프하는 스위칭 구동부를 포함하며, 상기 스위칭 구동부는, 상기 배선 검사 시에, 상기 복수의 제1 배선에 대응하는 복수의 제1 제어 스위치와 상기 복수의 제2 배선에 대응하는 복수의 제2 제어 스위치를 교대로 온/오프 시킬 수 있다.상기 복수의 제1 제어 스위치와 상기 복수의 제2 제어 스위치는 서로 교대로 배치될 수 있다.
상기 배선 검사는, 상기 테스트 스위치가 온 상태일 때, 상기 제1 제어 스위치를 온 시키고, 상기 제2 제어 스위치를 오프 시켜, 상기 제1 제어 스위치에 상기 배선 검사 신호를 기입하고, 상기 제1 제어 스위치에 대응하는 배선의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 상기 제1 배선의 불량을 검출할 수 있다.
상기 배선 검사는, 상기 테스트 스위치가 온 상태일 때, 상기 제1 제어 스위치를 오프 시키고, 상기 제2 제어 스위치를 온 시켜, 상기 제2 제어 스위치에 상기 배선 검사 신호를 기입하고, 상기 제2 제어 스위치에 대응하는 배선의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 상기 제2 배선의 불량을 검출할 수 있다.
상기 복수의 제어 스위치는, 상기 복수의 제1 배선 중 대응하는 제1 배선에 연결되는 제1 제어 스위치, 그리고 상기 복수의 제2 배선 중 대응하는 제2 배선에 연결되는 제2 제어 스위치를 포함하며, 원장 검사 시에는, 상기 제1 제어 스위치가 턴 온 되어 있는 동안, 상기 제1 배선에 연결된 역다중화 스위치들이 순차적으로 턴 온 되고, 상기 제2 제어 스위치가 턴 온 되어 있는 동안, 상기 제2 배선에 연결된 역다중화 스위치들이 순차적으로 턴 온 될 수 있다.
상기 제1 제어 스위치와 상기 제2 제어 스위치는, 상기 복수의 제1 배선 중 하나의 제1 배선에 연결되어 있는 제1 제어 스위치와 상기 복수의 제2 배선 중 상기 하나의 제1 배선에 인접한 제2 배선에 연결되어 있는 제2 제어 스위치가 서로 인접할 수 있다.
본 발명의 일 양태에 따른 배선 검사 방법은 검사 장치가 표시 장치의 배선의 불량을 검사하는 배선 검사 방법에 있어서, 테스트 스위치를 턴 온 시켜 원장 검사 장치의 패드에 배선 검사 신호를 제공하는 단계, 제1 배선에 연결된 제1 제어 스위치 및 제2 배선에 연결된 제2 제어 스위치 중 어느 하나만 턴 온 시키는 단계, 그리고 상기 제1 제어 스위치 및 상기 제2 제어 스위치 중 턴 온 된 제어 스위치의 배선과 연결된 데이터 선의 화소열이 발광하는 상태에 따라 배선의 불량 여부를 검출하는 단계를 포함한다.
상기 제1 제어 스위치가 턴 온 상태일 때, 상기 제2 제어 스위치를 오프 시켜, 상기 제1 제어 스위치에만 상기 배선 검사 신호를 기입하고, 상기 제1 제어 스위치에 대응하는 배선의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 상기 제1 배선의 불량을 검출할 수 있다.
상기 제2 제어 스위치가 턴 온 상태일 때, 상기 제1 제어 스위치를 오프 시켜, 상기 제2 제어 스위치에만 상기 배선 검사 신호를 기입하고, 상기 제2 제어 스위치에 대응하는 배선의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 상기 제2 배선의 불량을 검출할 수 있다.
상기 배선 검사 신호는, 블랙 데이터를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 양태에 따른 원장 검사 방법은 검사 장치가 표시 장치의 불량을 검사하는 원장 검사 방법에 있어서, 배선 검사 장치의 테스트 스위치를 턴 오프 시키는 단계, 원장 검사 장치의 패드에 프로브로 검사 데이터를 공급하는 단계, 제n 배선과 연결된 상기 원장 검사 장치의 제n 제어 스위치를 턴 온시키는 단계, 상기 제n 배선과 연결된 복수의 역다중화 스위치를 순차적으로 턴 온 시키는 단계, 그리고 상기 제1 내지 제3 스위치에 연결된 화소열의 발광 상태에 따라 불량을 검출하는 단계를 포함한다.
상기 원장 검사 방법은 제n+1 배선과 연결된 원장 검사 장치의 제n+1 제어 스위치를 턴 온시키는 단계, 그리고 상기 제n+1 배선과 연결된 복수의 역다중화 스위치를 순차적으로 턴 온 시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 검사 신호는, 블랙 데이터를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면 스파이더 배선의 테스트 데이터 라인의 수를 줄이고, 수율을 향상시킬 수 있는 환경을 제공한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 검사 장치를 포함하는 표시 장치의 회로 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 한 실시 예에 따른 화소를 나타낸 도면이다.
도 3은 제1 배선의 불량을 검출하기 위한 검사 장치의 동작에 따른 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 제2 배선의 불량을 검출하기 위한 검사 장치의 동작에 따른 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 단락 배선이 발생한 경우 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 개방 배선이 발생한 경우 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
도 7은 원장 검사를 위한 검사 장치의 동작에 따른 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 배선 검사 과정을 간략히 도시한 흐름도이다.
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 원장 검사 과정을 간략히 도시한 흐름도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 검사 장치와, 이를 이용한 배선 및 원장 검사 방법을 설명한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 검사 장치를 포함하는 표시 장치의 회로 구성을 도시한 도면이다. 본 발명은 설명의 편의를 위해서 표시 패널의 일부분 즉, 8개의 스파이더 배선(L1-L8)에 연결된 3행에 배열되어 있는 복수의 화소만을 도시하였다. 또한, 역다중화부, 원장 검사 장치, 및 배선 검사 장치도 스파이더 배선(L1-L8)에 연결된 부분만이 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 표시 장치는 원장 검사 장치(100), 배선 검사 장치(200) 및 표시부(300)를 포함한다.
우선, 표시부(300)는 복수의 화소가 배열된 복수의 화소열과 각각의 화소열에 연결되는 역다중화부(310)를 포함한다.
역다중화부(310)는 복수의 배선 및 복수의 데이터 선 사이에서, 복수의 데이터 선을 대응하는 복수의 배선에 연결한다. 역다중화부(310)는 복수의 데이터 선 각각에 연결된 복수의 역다중화 스위치를 포함한다.
배선은 5 내지 10마이크로미터(um) 간격으로 거미줄처럼 구성된 스파이더(Spider) 배선(이하, 배선)으로, 공정 진행 후 이물질 등으로 인해 단락(short) 이나 개방(open) 불량이 자주 발생한다.
원장 검사 장치(100)는 배선에 연결된 역다중화부(310) 또는 복수의 화소의 불량을 검출한다.
배선 검사 장치(200)는 원장 검사 장치(100)의 패드(110)와 연결되어 배선의 불량을 검출한다. 배선 검사 장치(200)는 원장 검사 장치(100)의 패드(110)에 배선 검사 신호를 제공하여 제1 배선(L1, L3, L5, L7)의 불량을 검출한 후, 인접한 제2 배선(L2, L4, L6, L8)의 불량을 검출한다. 여기서, 제1 배선(L1, L3, L5, L7) 및 제2 배선(L2, L4, L6, L8)은 표시부(300)의 역다중화부(310)의 아래에서 서로 교대로 배치되고, 역다중화부(310)로 전송되는 신호의 경로를 형성한다.
원장 검사 장치(100)는 스위칭 구동부 (120) 및 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H) 를 포함한다.
스위칭 구동부(120)는 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H)에 접속되고, 대응하는 제어 스위치에 전압을 인가하여 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H)를 온/오프 한다.
배선 검사 장치(200)의 배선 검사 시에는 스위칭 구동부(120)가 복수의 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)와 복수의 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)를 교대로 온/오프 시킨다.
여기서, 복수의 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)는 서로 인접하지 않는다. 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H) 중 복수의 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)를 제외한 나머지가 복수의 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)이다. 이 때, 복수의 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)도 서로 인접하지 않는다.
예를 들어, 복수의 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)는 홀수 번째의 스위치이고, 복수의 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)는 짝수 번째의 스위치이다.
그리고, 스위칭 구동부(120)는 원장 검사 장치(100)의 원장 검사 시에 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H)가 개별적으로 온/오프 되도록 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H)에 전압을 인가할 수 있다.
복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H)는 패드(110)와 배선(L1~L8) 사이에 배치된다. 배선 검사 신호 또는 원장 검사 신호는 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H)를 통해 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H) 중 대응하는 제어 스위치에 연결된 배선(L1-L8)으로 전달된다.
배선 검사 장치(200)는 테스트 구동부(220), 테스트 데이터 라인(TD), 테스트 게이트 라인(TG) 및 테스트 스위치(TS)를 포함한다.
테스트 구동부(220)는 테스트 데이터 라인(TD)에 배선을 검사하기 위한 배선 검사 신호를 공급한다.
그리고, 테스트 데이터 라인(TD)은 배선 검사 신호를 원장 검사 장치의 패드(110)에 제공한다. 테스트 게이트 라인(TG)은 테스트 스위치(TS)의 게이트 전극과 연결되며, 테스트 스위치(TS)에 테스트 게이트 신호를 인가한다.
테스트 구동부(220)는 테스트 게이트 라인(TG)에 테스트 게이트 신호를 제공해 테스트 스위치(TS)를 온/오프 시킴으로써, 테스트 데이터 라인(TD)의 배선 검사 신호를 원장 검사 장치의 패드(110)에 전달한다.
테스트 스위치(TS)의 게이트 전극은 테스트 게이트 라인(TG)에 연결되어 테스트 게이트 신호가 제공된다. 그리고, 소스 전극은 테스트 데이터 라인(TD)에 연결되고, 드레인 전극이 패드(110)에 연결되어, 배선 검사 신호를 패드(110)로 전달한다.
즉, 배선 검사 장치(200)는 원장 검사 장치(100)의 패드(110)에 연결되어 있고, 한 개의 테스트 게이트 신호에 따라 한 개의 배선 검사 신호를 패드(110)로 전달한다.
따라서, 본 발명의 배선 검사 장치(210)는 하나의 테스트 게이트 라인(TG)과하나의 테스트 데이터 라인(TD)을 통해 배선을 검사할 수 있는 환경을 제공한다.
표시부(300)는 복수의 화소가 배열된 복수의 화소열과 각각의 화소열과 연결된 역다중화부(310)를 포함한다.
역다중화부(310)는 복수의 배선(L1-L8)과 복수의 데이터 선 사이에 연결되어 있다. 복수의 배선(L1-L8)은 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H)에 연결되어 있고, 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H)에 입력되는 배선 감사 신호 또는 원장 검사 신호를 복수의 역다중화 스위치(SW1-SW3)에 각각 전달한다.
복수의 역다중화 스위치(SW1-SW3)는 제어선(CLA-CLC)에 의해 온/오프 되어 복수의 배선(L1-L8)에서 전달된 배선 감사 신호 또는 원장 검사 신호를 복수의 화소열로 전달한다.
도 2는 본 발명의 한 실시 예에 따른 부화소를 나타낸 도면이다. 본 발명의 실시 예가 이에 한정되는 것은 아니다. 도 1에 도시된 바와 같이, 화소(PX)는 R, G, B 색상을 나타내는 세 개의 부화소(SPX)로 구성되어 있다. 도 3에서는 부화소(SPX)의 일 예가 도시되어 있다.
도 2에 도시된 부화소는 i 번째 스캔 라인(Si) 및 j 번째 데이터 라인(Dj)에 연결된 화소인 것으로 가정한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 부화소는 스위칭 트랜지스터(스위칭 TR), 구동 트랜지스터(구동 TR), 커패시터(Cst) 및 유기 발광 소자(OLED)를 포함한다.
스위칭 트랜지스터(스위칭 TR)는 스캔 라인에 연결되어 있는 게이트 전극, 데이터 라인에 연결되어 있는 제1 전극 및 구동 트랜지스터(구동 TR)의 게이트 전극에 연결되어 있는 제2 전극을 포함한다.
구동 트랜지스터(구동 TR)는 전압(ELVDD)에 연결되어 있는 소스 전극, 유기 발광 소자의 애노드 전극에 연결되어 있는 드레인 전극, 및 스위칭 트랜지스터(스위칭 TR)에 연결되어 있는 게이트 전극을 포함한다.
커패시터(Cst)는 구동 트랜지스터(구동 TR)의 게이트 전극 및 소스 전극 사이에 연결되어 있고, 유기 발광 소자(OLED)의 캐소드 전극은 전압(ELVSS)에 연결되어 있다.
스캔 라인을 통해 전달되는 스캔 신호가 로우 레벨일 때, 스위칭 트랜지스터(스위칭 TR)가 턴 온 되고, 데이터 라인을 통해 전달되는 데이터 신호에 의해 커패시터(Cst)가 충전된다.
커패시터(Cst)에 의해 구동 트랜지스터(구동 TR)의 게이트 전압은 다음 스캔시까지 일정하게 유지되고, 구동 트랜지스터(구동 TR)의 게이트-소스 전압 차에 따르는 구동 전류가 발생한다. 유기 발광 소자(OLED)는 구동 전류에 따라 발광한다.
역다중화부(310)는 복수의 배선(L1-L8)를 통해 전달되는 복수의 데이터 신호들을 복수의 스위치를 통해 대응하는 복수의 데이터 선에 전달한다. 역다중화부(310)는 복수의 역다중화 스위치(sw1, sw2, sw3) 및 제어 선(CLA, CLB, CLC)를 포함한다.
복수의 배선(L1-L8)의 불량 여부를 검사할 때, 복수의 역다중화 스위치(sw1, sw2, sw3)는 모두 턴 온 상태로 제어된다. 그리고, 역다중화부(310)의 불량 여부와 같은 원장 검사를 할 때는 복수의 역다중화 스위치(sw1, sw2, sw3)가 개별적으로 턴 온 상태로 제어된다.
도 3은 제1 배선(L1, L3, L5, L7)의 불량을 검출하기 위한 검사 장치의 동작에 따른 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이며, 도 4는 제2 배선(L2, L4, L6, L8)의 불량을 검출하기 위한 검사 장치의 동작에 따른 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
먼저, 배선 검사를 진행하기 전에 표시 패널의 모든 화소는 풀-화이트에 계조의 발광 상태로 초기화 된다. 이는 배선 검사를 위한 초기화의 일 예로, 풀-화이트 계조가 아닌 다른 계조도 가능한다. 예를 들어, 검사 대상 배선에 블랙 계조 데이터가 기입될 때, 다른 계조는 블랙 계조와 구분될 수 있는 상위 계조 이면 된다.
배선 검사 장치(200)의 테스트 게이트(TG)가 온 상태 일 때, 원장 검사 장치(100)의 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)을 온 시키고, 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)를 오프 시킨다.
도 3를 참고하면, 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)가 연결된 제1 배선(L1, L3, L5, L7)에는 블랙 데이터가 기입된다. 복수의 배선(L1-L8) 중 단락 또는 개방된 배선이 없는 경우, 제1 배선(L1, L3, L5, L7)과 역다중화 스위치를 통해 연결된 화소열의 화소들은 블랙으로 표시된다. 제2 배선(L2, L4, L6, L8)과 역다중화 스위치를 통해 연결된 화소열의 화소들은 화이트로 표시된다.
이하, 복수의 배선(L1-L8) 중 단락 또는 개방된 배선이 없는 상태를 정상 상태라 한다.
다음으로, 배선 검사 장치(200)의 테스트 게이트(TG)가 온 상태 일 때, 원장 검사 장치(100)의 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)를 온 시키고, 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)를 오프 시킨다.
도 4를 참고하면, 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)가 연결된 제1 배선(L1, L3, L5, L7)에는 블랙 데이터가 기입된다. 그리고, 제2 배선(L2, L4, L6, L8)과 복수의 역다중화 스위치를 통해 연결된 화소열의 화소들은 블랙으로 표시된다. 제1 배선(L1, L3, L5, L7)과 복수의 역다중화 스위치를 통해 연결된 화소열의 화소들은 화이트로 표시된다.
예를 들어, 블랙 데이터가 기입된 x부분의 배선 L13과 그와 인접한 y부분의 배선 L21 사이에 단락(short)이 발생한 경우 블랙 데이터가 기입되지 않은 y부분의 배선 L21에 연결된 라인(320)이 블랙으로 표시된다.
또한, 오프 된 제어 스위치(CS_B)에 연결된 라인은 화이트로 표시되는데, 배선 L2가 개방(open)된 경우에도 배선 L2에 연결된 세 개의 화소 열은 화이트로 표시된다. 그러면, 오프된 제어 스위치(CS_B)에 연결된 y부분의 배선 L21의 개방 여부를 알 수 없다.
따라서 본 발명의 실시 예에서는 배선의 개방 상태를 검사하기 위해, 도 3 및 도 4와 같이 교대로 제1 배선(L1, L3, L5, L7)과 제2 배선(L2, L4, L6, L8)의 온/오프 상태를 바꾼다.
본 발명의 검사 장치는 도 3 및 도 4와 같은 표시 상태를 통해 배선(L1-L8)의 정상 상태를 감지할 수 있다.
이하, 도 6등을 참조하여 배선에 단락 또는 개방이 발생한 비정상 상태의 표시 상태를 설명한다.
도 5는 단락 배선이 발생한 경우 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
x부분의 배선 L13과 y부분의 배선 L21에 단락이 발생한 경우에는, 제1 배선(L1, L3, L5, L7)을 검사할 때, y부분의 배선 L21에 연결된 스위치(sw1)에 연결된 화소열의 화소들에 블랙 데이터가 기입된다.
따라서, 도 5에 도시된 바와 같이, 제어 스위치(CS_B)가 오프된 상태에서도 y부분의 배선 L21에 블랙 데이터가 기입되고, 화소열(320)의 화소들이 블랙으로 표시된다. 그러면, 단락으로 인한 배선 불량을 감지할 수 있다.
도 6은 개방 배선이 발생한 경우 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
제1 배선(L1, L3, L5, L7)의 불량을 검사할 때, y부분의 배선 L21이 개방된 경우에는, 배선 L21의 스위치(sw1)와 연결된 화소열(320)의 화소들이 화이트로 표시되어 y부분의 배선 L21의 개방 여부를 알 수 없다.
그리고, 제2 배선(L2, L4, L6, L8)의 불량을 검사할 때, y부분의 배선 L21의 스위치(sw1)가 연결된 화소열의 화소에 블랙 데이터를 기입한다. 그러나, y부분의 배선 L21이 개방되어 있으므로, 이와 연결된 화소열에는 블랙 데이터가 기입되지 않는다.
따라서, 도 6에 도시된 바와 같이, 제어 스위치(CS_B)가 온 된 상태에서도 y부분의 배선 L21에 블랙 데이터가 기입되지 않고, 배선 L21의 스위치(sw1)에 연결된 화소열의 화소가 화이트로 표시된다. 그러므로, 본 발명은 y부분의 배선 L21의 개방으로 인한 배선 불량을 감지할 수 있다.
도 7은 원장 검사를 위한 검사 장치의 동작에 따른 표시 장치의 표시 상태를 도시한 도면이다.
먼저, 원장 검사를 진행하기 전에 표시 패널의 모든 화소는 풀-화이트에 계조의 발광 상태로 초기화 된다. 이는 원장 검사를 위한 초기화의 일 예로, 풀-화이트 계조가 아닌 다른 계조도 가능한다. 예를 들어, 검사 대상 배선에 블랙 계조 데이터가 기입될 때, 다른 계조는 블랙 계조와 구분될 수 있는 상위 계조 이면 된다.
본 발명의 검사 장치는 원장 검사 시에 배선 검사 장치(200)의 테스트 게이트(TS)를 오프 시키고, 원장 검사 장치(100)의 복수의 제어 스위치(CS_A-CS_H) 및 이와 연결된 복수의 역다중화 스위치(sw1, sw2, sw3)를 순차적으로 턴 온 시킨다.
예를 들어, 도 7과 같이, 제어 스위치(CS_C)를 온 시키고, 배선 L3과 연결된 역다중화 스위치(sw2)를 턴 온 시켜 데이터를 기입한다. 도 8은 배선 L3과 연결되고, 배선 L3의 역다중화 스위치(sw2)와 연결된 화소열(330)의 화소가 블랙으로 표시됨을 보여준다.
도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 배선 검사 과정을 간략히 도시한 흐름도이다.
검사 장치가 표시 장치의 배선의 불량을 검사하는 배선 검사 방법은 테스트 게이트 라인(TG)에 게이트 제어 신호를 제공하여 배선 검사 장치(200)의 테스트 스위치(TS)를 턴 온 시킨다(S100).
테스트 스위치(TS)가 턴 온 되면, 테스트 게이트 라인(TD)의 배선 검사 신호가 원장 검사 장치의 패드(110)에 제공된다(S110).
그리고, 검사 장치는 제1 배선(L1, L3, L5, L7)에 연결된 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)를 턴 온 시키고, 제2 배선(L2, L4, L6, L8)에 연결된 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)를 오프 시킨다(S120).
제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)가 턴 온 상태일 때, 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)에만 배선 검사 신호를 기입되며, 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)에 대응하는 제1 배선(L1, L3, L5, L7)의 데이터 선에 연결된 화소의 발광 상태를 통해 제1 배선(L1, L3, L5, L7)의 불량을 검출한다(S130).
또한, 검사 장치는 제2 배선(L2, L4, L6, L8)에 연결된 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)를 턴 온 시키고, 제1 배선(L1, L3, L5, L7)에 연결된 제1 제어 스위치(CS_A, CS_C, CS_E, CS_G)를 오프 시킨다(S120).
마찬가지로, 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)가 턴 온 상태일 때, 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)에만 배선 검사 신호를 기입되며, 제2 제어 스위치(CS_B, CS_D, CS_F, CS_H)에 대응하는 제2 배선(L2, L4, L6, L8)의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 제2 배선(L2, L4, L6, L8)의 불량을 검출한다(S130).
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 원장 검사 과정을 간략히 도시한 흐름도이다.
검사 장치가 표시 장치의 불량을 검사하는 원장 검사 방법은 배선 검사 장치(200)의 테스트 스위치(TS)를 오프 시키고, 원장 검사 장치의 패드(110)에 프로브로 검사 데이터를 공급한다.
검사 장치는 제n 배선과 연결된 원장 검사 장치(100)의 제n 제어 스위치를 턴 온 시키고(S200), 상기 제n 배선과 연결된 복수의 역다중화 스위치(sw1-sw3)를 순차적으로 턴 온 시킨다(S210).
그리고, 검사 장치는 순차적으로 턴 온 된 복수의 역다중화 스위치(sw1-sw3)에 연결된 화소열의 발광 상태에 보고 표시 장치의 불량을 감지한다(S220, S230).
또한, 제n+1 배선과 연결된 원장 검사 장치(100)의 제n+1 제어 스위치를 턴 온시키고, 제n+1 배선과 연결된 복수의 역다중화 스위치(sw1-sw3)를 순차적으로 턴 온 시킨다. 검사 장치는 제n+1 배선과 연결된 복수의 역다중화 스위치(sw1-sw3)에 연결된 화소열의 발광 상태에 보고 표시 장치의 불량을 감지한다.
이와 같이, 본 발명은 배선 검사 장치와 원장 검사 장치를 하나의 회로로 구성함으로써, 스파이더 배선의 검사를 위한 테스트 데이터 라인의 수를 줄이고, 수율을 향상시킬 수 있는 환경을 제공한다.
이상에서 설명한 본 발명의 실시예는 장치 및 방법을 통해서만 구현이 되는 것은 아니며, 본 발명의 실시예의 구성에 대응하는 기능을 실현하는 프로그램 또는 그 프로그램이 기록된 기록 매체를 통해 구현될 수도 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 원장 검사 장치 110: 패드
120: 스위칭 구동부 200: 배선 검사 장치
220: 테스트 구동부 300: 표시부
310: 역다중화부

Claims (15)

  1. 복수의 데이터 선 각각에 연결된 복수의 역다중화 스위치를 포함하는 표시 장치의 검사 장치에 있어서,
    상기 복수의 역다중화 스위치에 복수의 배선을 통해 연결되어 있는 복수의 제어 스위치를 포함하는 원장 검사 장치, 그리고
    상기 복수의 제어 스위치에 연결되어 있는 패드에 상기 복수의 배선의 불량을 검출하기 위한 배선 검사 신호를 공급하는 배선 검사 장치를 포함하며,
    상기 배선 검사 장치는, 상기 패드에 배선 검사 신호를 제공하여 복수의 배선 중 복수의 제1 배선의 불량을 검출한 후, 상기 복수의 배선 중 나머지 복수의 제2 배선의 불량을 검출하고,
    상기 복수의 제1 배선 및 상기 복수의 제2 배선은, 상기 복수의 역다중화 스위치의 아래에 서로 교대로 배치되어, 상기 복수의 역다중화 스위치로 전송되는 신호의 경로를 형성하는 검사 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 배선 검사 장치는,
    상기 배선 검사 신호를 제공하는 테스트 데이터 라인, 그리고
    상기 배선 검사 신호가 상기 패드에 전달되도록 테스트 스위치를 온/오프 하는 테스트 게이트 신호를 제공하는 테스트 게이트 라인
    을 포함하는 검사 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 원장 검사 장치는,
    상기 복수의 제어 스위치에 각각 접속되고, 대응하는 제어 스위치에 전압을 인가하여 상기 복수의 제어 스위치를 온/오프하는 스위칭 구동부
    를 포함하며,
    상기 스위칭 구동부는,
    상기 배선 검사 시에, 상기 복수의 제1 배선에 대응하는 복수의 제1 제어 스위치와 상기 복수의 제2 배선에 대응하는 복수의 제2 제어 스위치를 교대로 온/오프 시키는 검사 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 복수의 제1 제어 스위치와 상기 복수의 제2 제어 스위치는 서로 교대로 배치되어 있는 검사 장치.
  5. 제3항에서,
    상기 배선 검사는,
    상기 테스트 스위치가 온 상태일 때,
    상기 제1 제어 스위치를 온 시키고, 상기 제2 제어 스위치를 오프 시켜, 상기 제1 제어 스위치에 상기 배선 검사 신호를 기입하고,
    상기 제1 제어 스위치에 대응하는 배선의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 상기 제1 배선의 불량을 검출하는 검사 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 배선 검사는,
    상기 테스트 스위치가 온 상태일 때,
    상기 제1 제어 스위치를 오프 시키고, 상기 제2 제어 스위치를 온 시켜, 상기 제2 제어 스위치에 상기 배선 검사 신호를 기입하고,
    상기 제2 제어 스위치에 대응하는 배선의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 상기 제2 배선의 불량을 검출하는 검사 장치.
  7. 제1항에서,
    상기 복수의 제어 스위치는,
    상기 복수의 제1 배선 중 대응하는 제1 배선에 연결되는 제1 제어 스위치, 그리고
    상기 복수의 제2 배선 중 대응하는 제2 배선에 연결되는 제2 제어 스위치를 포함하며,
    원장 검사 시에는,
    상기 제1 제어 스위치가 턴 온 되어 있는 동안, 상기 제1 배선에 연결된 역다중화 스위치들이 순차적으로 턴 온 되고, 상기 제2 제어 스위치가 턴 온 되어 있는 동안, 상기 제2 배선에 연결된 역다중화 스위치들이 순차적으로 턴 온 되는 검사 장치.
  8. 제7항에서,
    상기 제1 제어 스위치와 상기 제2 제어 스위치는,
    상기 복수의 제1 배선 중 하나의 제1 배선에 연결되어 있는 제1 제어 스위치와 상기 복수의 제2 배선 중 상기 하나의 제1 배선에 인접한 제2 배선에 연결되어 있는 제2 제어 스위치가 서로 인접한 검사 장치.
  9. 검사 장치가 표시 장치의 배선의 불량을 검사하는 배선 검사 방법에 있어서,
    테스트 스위치를 턴 온 시켜 원장 검사 장치의 패드에 배선 검사 신호를 제공하는 단계,
    제1 배선에 연결된 제1 제어 스위치 및 제2 배선에 연결된 제2 제어 스위치 중 어느 하나만 턴 온 시키는 단계, 그리고
    상기 제1 제어 스위치 및 상기 제2 제어 스위치 중 턴 온 된 제어 스위치의 배선과 연결된 데이터 선의 화소열이 발광하는 상태에 따라 배선의 불량 여부를 검출하는 단계를 포함하는 배선 검사 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 제1 제어 스위치가 턴 온 상태일 때,
    상기 제2 제어 스위치를 오프 시켜, 상기 제1 제어 스위치에만 상기 배선 검사 신호를 기입하고, 상기 제1 제어 스위치에 대응하는 배선의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 상기 제1 배선의 불량을 검출하는 배선 검사 방법.
  11. 제9항에서,
    상기 제2 제어 스위치가 턴 온 상태일 때,
    상기 제1 제어 스위치를 오프 시켜, 상기 제2 제어 스위치에만 상기 배선 검사 신호를 기입하고, 상기 제2 제어 스위치에 대응하는 배선의 데이터 선에 연결된 복수의 화소의 발광 상태를 통해 상기 제2 배선의 불량을 검출하는 배선 검사 방법.
  12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에서,
    상기 배선 검사 신호는, 블랙 데이터를 포함하는 배선 검사 방법.
  13. 검사 장치가 표시 장치의 불량을 검사하는 원장 검사 방법에 있어서,
    배선 검사 장치의 테스트 스위치를 턴 오프 시키는 단계,
    원장 검사 장치의 패드에 프로브로 검사 데이터를 공급하는 단계,
    제n 배선과 연결된 상기 원장 검사 장치의 제n 제어 스위치를 턴 온시키는 단계,
    상기 제n 배선과 연결된 복수의 역다중화 스위치를 순차적으로 턴 온 시키는 단계, 그리고
    상기 복수의 역다중화 스위치에 연결된 화소열의 발광 상태에 따라 불량을 검출하는 단계를 포함하는 원장 검사 방법.
  14. 제13항에서,
    제n+1 배선과 연결된 원장 검사 장치의 제n+1 제어 스위치를 턴 온시키는 단계, 그리고
    상기 제n+1 배선과 연결된 복수의 역다중화 스위치를 순차적으로 턴 온 시키는 단계를 더 포함하는 원장 검사 방법.
  15. 제13항 또는 제14항에서,
    상기 검사 신호는, 블랙 데이터를 포함하는 원장 검사 방법.
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