JP2002080209A - 精製過酸化水素水の製造方法 - Google Patents
精製過酸化水素水の製造方法Info
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- C01B15/01—Hydrogen peroxide
- C01B15/013—Separation; Purification; Concentration
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- C01B15/0135—Purification by solid ion-exchangers or solid chelating agents
Abstract
(57)【要約】
【課題】精製時に気泡が精製塔内に滞留することがな
く、また圧力や温度が上昇することなく、安全かつ効率
よく過酸化水素水とイオン交換樹脂などとの接触を行う
ことが可能な精製過酸化水素水の製造方法を提供する。 【解決手段】不純物を含む原料過酸化水素水を、イオン
交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精
製塔を使用して精製する方法において、精製塔に供給さ
れる原料過酸化水素水の流量を感知する流量センサに基
づいて、原料過酸化水素水の供給ポンプの出力をコント
ロールすることにより、原料過酸化水素水の流量を一定
に保ちながら、原料過酸化水素水とイオン交換樹脂、キ
レート樹脂または吸着樹脂との接触を行い、過酸化水素
水を精製することを特徴とする精製過酸化水素水の製造
方法。
く、また圧力や温度が上昇することなく、安全かつ効率
よく過酸化水素水とイオン交換樹脂などとの接触を行う
ことが可能な精製過酸化水素水の製造方法を提供する。 【解決手段】不純物を含む原料過酸化水素水を、イオン
交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精
製塔を使用して精製する方法において、精製塔に供給さ
れる原料過酸化水素水の流量を感知する流量センサに基
づいて、原料過酸化水素水の供給ポンプの出力をコント
ロールすることにより、原料過酸化水素水の流量を一定
に保ちながら、原料過酸化水素水とイオン交換樹脂、キ
レート樹脂または吸着樹脂との接触を行い、過酸化水素
水を精製することを特徴とする精製過酸化水素水の製造
方法。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は精製過酸化水素水の製造方
法、特に、過酸化水素水中に含まれる不純物を、再現性
よく除去することが可能な高純度過酸化水素水の製造方
法、ならびにそのための精製過酸化水素水の製造装置に
関する。
法、特に、過酸化水素水中に含まれる不純物を、再現性
よく除去することが可能な高純度過酸化水素水の製造方
法、ならびにそのための精製過酸化水素水の製造装置に
関する。
【０００２】
【発明の技術的背景】過酸化水素水は、紙、パルプの漂
白、化学研磨液等の多くの分野で広く利用されている
が、近年、シリコンウエハの洗浄剤や半導体工程の洗浄
剤などの電子工業分野における利用が増大し、これにと
もない、過酸化水素水中の種々の不純物を極力低減した
高純度な品質が要求されている。
白、化学研磨液等の多くの分野で広く利用されている
が、近年、シリコンウエハの洗浄剤や半導体工程の洗浄
剤などの電子工業分野における利用が増大し、これにと
もない、過酸化水素水中の種々の不純物を極力低減した
高純度な品質が要求されている。
【０００３】ところで一般に、過酸化水素は、現在で
は、主にアントラキノン法により製造されている。その
製造方法は、まず、２−アルキルアントラキノンなどの
アントラキノン誘導体を、水不溶性の溶媒中で水素化触
媒の存在下で水素化してアントラヒドロキノンとし、触
媒を除去した後、空気により酸化することによって２−
アルキルアントラキノンを再生するとともに、このとき
生成する過酸化水素を水で抽出することによって過酸化
水素含有水溶液を得る方法である。この方法をアントラ
キノン自動酸化法という。このアントラキノン自動酸化
法によって製造された過酸化水素水中には、装置材質な
どに起因するＡｌ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎａ、Ｓｉなどの無機
イオン・化合物不純物が含まれている。このため、過酸
化水素水は、使用される品質要求に応じて、これらの不
純物を除去して、より高純度に精製する操作が行われて
いる。
は、主にアントラキノン法により製造されている。その
製造方法は、まず、２−アルキルアントラキノンなどの
アントラキノン誘導体を、水不溶性の溶媒中で水素化触
媒の存在下で水素化してアントラヒドロキノンとし、触
媒を除去した後、空気により酸化することによって２−
アルキルアントラキノンを再生するとともに、このとき
生成する過酸化水素を水で抽出することによって過酸化
水素含有水溶液を得る方法である。この方法をアントラ
キノン自動酸化法という。このアントラキノン自動酸化
法によって製造された過酸化水素水中には、装置材質な
どに起因するＡｌ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎａ、Ｓｉなどの無機
イオン・化合物不純物が含まれている。このため、過酸
化水素水は、使用される品質要求に応じて、これらの不
純物を除去して、より高純度に精製する操作が行われて
いる。
【０００４】特に、前記した電子工業分野では、過酸化
水素水も極めて高純度のものが要求され、過酸化水素水
中の有機不純物を１０ｐｐｍ以下、金属イオン不純物を
１ｐｐｂ以下とすることが要求されている。通常、過酸
化水素水溶液中の不純物の除去方法としては、一般的に
イオン交換樹脂、キレート樹脂、吸着樹脂等による処理
が知られており、これらの樹脂等を用いて不純物の除去
処理を工業的に実施する場合には、操作性に優れた除去
効率の高い連続通液法（カラム法）が一般的に使用され
ている。
水素水も極めて高純度のものが要求され、過酸化水素水
中の有機不純物を１０ｐｐｍ以下、金属イオン不純物を
１ｐｐｂ以下とすることが要求されている。通常、過酸
化水素水溶液中の不純物の除去方法としては、一般的に
イオン交換樹脂、キレート樹脂、吸着樹脂等による処理
が知られており、これらの樹脂等を用いて不純物の除去
処理を工業的に実施する場合には、操作性に優れた除去
効率の高い連続通液法（カラム法）が一般的に使用され
ている。
【０００５】過酸化水素水をカラム法で精製する場合に
は、過酸化水素の特有の性質として自己分解により泡が
発生し、この泡が樹脂の周りに付着するため精製効率、
すなわち不純物の除去効率が低下してしまうという問題
点があった。このような問題を解決すべく、たとえば特
開平9-77504号公報には、イオン交換樹脂塔の上部に圧
力を加えることによって、過酸化水素の分解によって生
じる泡の溶解度を上げて、精製塔から泡を排除すること
が開示されている。
は、過酸化水素の特有の性質として自己分解により泡が
発生し、この泡が樹脂の周りに付着するため精製効率、
すなわち不純物の除去効率が低下してしまうという問題
点があった。このような問題を解決すべく、たとえば特
開平9-77504号公報には、イオン交換樹脂塔の上部に圧
力を加えることによって、過酸化水素の分解によって生
じる泡の溶解度を上げて、精製塔から泡を排除すること
が開示されている。
【０００６】しかしながら、この特開平9-77504号公報
に記載された方法では、精製された過酸化水素中の金属
イオン不純物レベルが１ppbと必ずしも充分ではなく、
また品質の再現性が悪いという問題があった。また運転
時間が長時間になるとイオン交換樹脂塔内に気泡がたま
り、その結果、イオン交換樹脂と過酸化水素水との接触
面積が小さくなったり、イオン交換樹脂の完全吸着バン
ド（不純物イオン吸着が終了した部分）や交換バンド
（イオン交換が行われている部分）が乱れたり、充分な
不純物除去ができないことがあり、さらには過酸化水素
水が通りにくくなって、イオン交換樹脂塔内の圧力が上
昇したり、温度が上昇するなどの問題を引き起こすこと
があった。
に記載された方法では、精製された過酸化水素中の金属
イオン不純物レベルが１ppbと必ずしも充分ではなく、
また品質の再現性が悪いという問題があった。また運転
時間が長時間になるとイオン交換樹脂塔内に気泡がたま
り、その結果、イオン交換樹脂と過酸化水素水との接触
面積が小さくなったり、イオン交換樹脂の完全吸着バン
ド（不純物イオン吸着が終了した部分）や交換バンド
（イオン交換が行われている部分）が乱れたり、充分な
不純物除去ができないことがあり、さらには過酸化水素
水が通りにくくなって、イオン交換樹脂塔内の圧力が上
昇したり、温度が上昇するなどの問題を引き起こすこと
があった。
【０００７】このような情況のもと、本発明者らは、前
記問題点を解決すべく鋭意検討したところ、精製塔に供
給される原料過酸化水素水の流量を感知する流量センサ
に基づいて、原料過酸化水素水の供給ポンプの出力をコ
ントロールすることにより、原料過酸化水素水の流量を
一定に保ちながら、原料過酸化水素水とイオン交換樹脂
との接触を行い、過酸化水素水を精製すれば、過酸化水
素水中の不純物をｐｐｔオーダー（１０12分の１）まで
除去することが可能であり、しかも、この精製方法は、
不純物除去レベルの再現性が非常に高く、しかも精製時
に圧力および温度が上昇することがなく、安全に過酸化
水素水を精製できることを見出して、本発明を完成する
に至った。
記問題点を解決すべく鋭意検討したところ、精製塔に供
給される原料過酸化水素水の流量を感知する流量センサ
に基づいて、原料過酸化水素水の供給ポンプの出力をコ
ントロールすることにより、原料過酸化水素水の流量を
一定に保ちながら、原料過酸化水素水とイオン交換樹脂
との接触を行い、過酸化水素水を精製すれば、過酸化水
素水中の不純物をｐｐｔオーダー（１０12分の１）まで
除去することが可能であり、しかも、この精製方法は、
不純物除去レベルの再現性が非常に高く、しかも精製時
に圧力および温度が上昇することがなく、安全に過酸化
水素水を精製できることを見出して、本発明を完成する
に至った。
【０００８】本発明のように精製塔に流入させる過酸化
水素水の流量を一定に保ちながら、過酸化水素水とイオ
ン交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂とを接触させ
て過酸化水素水を精製すると、精製塔内のイオン交換樹
脂などに気泡が付着し難く、気泡が滞留することなく、
また完全吸着バンドやイオン交換バンドが乱れにくく、
しかも過酸化水素水が精製塔を通りやすく、過酸化水素
水の精製効率も優れている。
水素水の流量を一定に保ちながら、過酸化水素水とイオ
ン交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂とを接触させ
て過酸化水素水を精製すると、精製塔内のイオン交換樹
脂などに気泡が付着し難く、気泡が滞留することなく、
また完全吸着バンドやイオン交換バンドが乱れにくく、
しかも過酸化水素水が精製塔を通りやすく、過酸化水素
水の精製効率も優れている。
【０００９】
【発明の目的】本発明は、精製時にイオン交換バンドが
乱れることなく、また気泡が精製塔内に滞留することが
なく、また圧力や温度が上昇することなく、安全かつ効
率よく過酸化水素水とイオン交換樹脂などとの接触を行
うことが可能な精製過酸化水素水の製造方法、ならびに
そのための精製過酸化水素水の製造装置を提供すること
を目的としている。
乱れることなく、また気泡が精製塔内に滞留することが
なく、また圧力や温度が上昇することなく、安全かつ効
率よく過酸化水素水とイオン交換樹脂などとの接触を行
うことが可能な精製過酸化水素水の製造方法、ならびに
そのための精製過酸化水素水の製造装置を提供すること
を目的としている。
【００１０】
【発明の概要】本発明に係る精製過酸化水素水の製造方
法は、不純物を含む過酸化水素水を、イオン交換樹脂、
キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精製塔を使用
して精製する方法において、インバータ制御により、精
製塔に流入する過酸化水素水の流量を一定に保ちなが
ら、過酸化水素水とイオン交換樹脂、キレート樹脂また
は吸着樹脂との接触を行い、過酸化水素水を精製するこ
とを特徴としている。
法は、不純物を含む過酸化水素水を、イオン交換樹脂、
キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精製塔を使用
して精製する方法において、インバータ制御により、精
製塔に流入する過酸化水素水の流量を一定に保ちなが
ら、過酸化水素水とイオン交換樹脂、キレート樹脂また
は吸着樹脂との接触を行い、過酸化水素水を精製するこ
とを特徴としている。
【００１１】また、本発明の精製過酸化水素水の製造装
置は、不純物を含む原料過酸化水素水を、イオン交換樹
脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精製塔を
使用して、イオン交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹
脂との接触を行い、過酸化水素水を精製する精製過酸化
水素水の製造装置であって、前記精製塔に原料過酸化水
素水を供給する供給ポンプと、前記供給ポンプを介し
て、精製塔に供給される原料過酸化水素水の流量を感知
する流量センサと、前記流量センサの検知結果に基づい
て、原料過酸化水素水の供給ポンプの出力を、精製塔に
供給される原料過酸化水素水の流量を一定に保つように
制御するように構成された流量制御装置とを備えること
を特徴とする。
置は、不純物を含む原料過酸化水素水を、イオン交換樹
脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精製塔を
使用して、イオン交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹
脂との接触を行い、過酸化水素水を精製する精製過酸化
水素水の製造装置であって、前記精製塔に原料過酸化水
素水を供給する供給ポンプと、前記供給ポンプを介し
て、精製塔に供給される原料過酸化水素水の流量を感知
する流量センサと、前記流量センサの検知結果に基づい
て、原料過酸化水素水の供給ポンプの出力を、精製塔に
供給される原料過酸化水素水の流量を一定に保つように
制御するように構成された流量制御装置とを備えること
を特徴とする。
【００１２】このように、過酸化水素水の流量を一定に
保つようにコントロールすると、イオン交換樹脂が充填
された精製塔内にガスが滞留することがなく、イオン交
換バンドの乱れもなく、不純物イオン吸着層（イオン交
換バンド）は流速に垂直かつシャープに形成され、処理
効率が低下することがない。精製塔に流入させる過酸化
水素水の流量は、５〜４０Hr-1の空間速度であることが
好ましい。また、過酸化水素水の流量の変動範囲は、±
２．５％以内に制御されていることが望ましい。
保つようにコントロールすると、イオン交換樹脂が充填
された精製塔内にガスが滞留することがなく、イオン交
換バンドの乱れもなく、不純物イオン吸着層（イオン交
換バンド）は流速に垂直かつシャープに形成され、処理
効率が低下することがない。精製塔に流入させる過酸化
水素水の流量は、５〜４０Hr-1の空間速度であることが
好ましい。また、過酸化水素水の流量の変動範囲は、±
２．５％以内に制御されていることが望ましい。
【００１３】本発明に係る精製過酸化水素水の精製方法
では、過酸化水素水との接液部はフッ素樹脂から構成さ
れることが好ましい。
では、過酸化水素水との接液部はフッ素樹脂から構成さ
れることが好ましい。
【００１４】
【発明の具体的説明】以下、本発明に係る精製過酸化水
素水の精製方法について具体的に説明する。なお、本明
細書中において、％、ppm、ppbおよびpptは、いずれも
重量％、重量ppm、重量ppbおよび重量pptを示す。本発
明では、不純物を含む過酸化水素水を、イオン交換樹
脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精製塔を
使用して精製するに際して、インバータ制御により、精
製塔に流入する過酸化水素水の流量を一定に保ちなが
ら、過酸化水素水を精製する。
素水の精製方法について具体的に説明する。なお、本明
細書中において、％、ppm、ppbおよびpptは、いずれも
重量％、重量ppm、重量ppbおよび重量pptを示す。本発
明では、不純物を含む過酸化水素水を、イオン交換樹
脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精製塔を
使用して精製するに際して、インバータ制御により、精
製塔に流入する過酸化水素水の流量を一定に保ちなが
ら、過酸化水素水を精製する。
【００１５】このような本発明を、図１のフロー図を用
いて詳述する。図１は、本発明に係る精製過酸化水素水
の一実施例を示すフロー図であり、図１中、符号１１お
よび１３はライン、１２は精製塔、１４は送液ポンプ、
１５はインバータ、１６は流量センサ、１７は圧力セン
サ、１８は温度センサ、１９は水位センサを示す。過酸
化水素水溶液は、送液ポンプ１４により、ライン１１を
通って精製塔１２に入る。精製塔１２によりイオン交換
樹脂と接触された過酸化水素水は、ライン１３より抜き
出されたのち、過酸化水素水はさらに他の精製塔に導入
されて、イオン交換樹脂と接触され、タンクに採取さ
れ、濃度調整、製品検査ののち、貯蔵され、充填、出荷
される。
いて詳述する。図１は、本発明に係る精製過酸化水素水
の一実施例を示すフロー図であり、図１中、符号１１お
よび１３はライン、１２は精製塔、１４は送液ポンプ、
１５はインバータ、１６は流量センサ、１７は圧力セン
サ、１８は温度センサ、１９は水位センサを示す。過酸
化水素水溶液は、送液ポンプ１４により、ライン１１を
通って精製塔１２に入る。精製塔１２によりイオン交換
樹脂と接触された過酸化水素水は、ライン１３より抜き
出されたのち、過酸化水素水はさらに他の精製塔に導入
されて、イオン交換樹脂と接触され、タンクに採取さ
れ、濃度調整、製品検査ののち、貯蔵され、充填、出荷
される。
【００１６】本発明で使用される過酸化水素水として
は、アントラキノン自動酸化法、水素と酸素を直接反応
させる直接合成法など、公知の製造法によって製造され
たものが使用される。この過酸化水素水中には、通常、
金属イオン不純物が、数ppbから数十ppmのオーダーで含
まれている。不純物としては、Ａｇ、Ａｌ、Ａｓ、Ａ
ｕ、Ｂ、Ｂａ、Ｂｅ、Ｂｉ、Ｃａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、
Ｆｅ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｉｎ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｏ、Ｎ
ａ、Ｎｂ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｓｂ、Ｓｒ、Ｔ
ａ、Ｔｉ、Ｔｌ、Ｖ、Ｚｎ、Ｚｒなどの金属イオン不純
物、酸化ケイ素系不純物、有機不純物が挙げられる。こ
の不純物は、たとえばアントラキノン法により過酸化水
素水を製造する際に使用される触媒などの残渣、アント
ラキノン分解物、過酸化水素水製造に使用される溶媒、
製造時（抽出、蒸留、希釈）に使用される水、空気中に
浮遊している成分、製造設備の材質に由来する。
は、アントラキノン自動酸化法、水素と酸素を直接反応
させる直接合成法など、公知の製造法によって製造され
たものが使用される。この過酸化水素水中には、通常、
金属イオン不純物が、数ppbから数十ppmのオーダーで含
まれている。不純物としては、Ａｇ、Ａｌ、Ａｓ、Ａ
ｕ、Ｂ、Ｂａ、Ｂｅ、Ｂｉ、Ｃａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、
Ｆｅ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｉｎ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｏ、Ｎ
ａ、Ｎｂ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｓｂ、Ｓｒ、Ｔ
ａ、Ｔｉ、Ｔｌ、Ｖ、Ｚｎ、Ｚｒなどの金属イオン不純
物、酸化ケイ素系不純物、有機不純物が挙げられる。こ
の不純物は、たとえばアントラキノン法により過酸化水
素水を製造する際に使用される触媒などの残渣、アント
ラキノン分解物、過酸化水素水製造に使用される溶媒、
製造時（抽出、蒸留、希釈）に使用される水、空気中に
浮遊している成分、製造設備の材質に由来する。
【００１７】本発明では、このような過酸化水素水がラ
イン１１を通って精製塔１２に導入されるが、ライン１
１には流量センサ１６が設けられており、流量センサに
よる信号をインバータ１５によって感知し、送液ポンプ
の出力を制御するよって過酸化水素水の流量が一定とな
るように制御される。流量センサ１６としては、渦式、
パドル式、電磁式、超音波式などから適宜選択される。
これらの流量センサは、いずれも流速、流量を測定し、
信号をインバータにフィードバックして、送液ポンプの
出力を制御するようになっている。これらのうち、流量
センサとして、渦式、パドル式のものが望ましい。
イン１１を通って精製塔１２に導入されるが、ライン１
１には流量センサ１６が設けられており、流量センサに
よる信号をインバータ１５によって感知し、送液ポンプ
の出力を制御するよって過酸化水素水の流量が一定とな
るように制御される。流量センサ１６としては、渦式、
パドル式、電磁式、超音波式などから適宜選択される。
これらの流量センサは、いずれも流速、流量を測定し、
信号をインバータにフィードバックして、送液ポンプの
出力を制御するようになっている。これらのうち、流量
センサとして、渦式、パドル式のものが望ましい。
【００１８】本発明では、精製塔に流入させる過酸化水
素水の流量を一定となるように制御しているので、発生
した気泡がイオン交換樹脂などに付着して、塔内に滞留
することもなくなり、その結果、長時間にわたり過酸化
水素水とイオン交換樹脂などとの接触面積が減少するこ
ともなく、完全吸着バンドや交換バンドが乱れることも
なく、その結果、不純物除去効率を良好に長時間維持す
ることができる。
素水の流量を一定となるように制御しているので、発生
した気泡がイオン交換樹脂などに付着して、塔内に滞留
することもなくなり、その結果、長時間にわたり過酸化
水素水とイオン交換樹脂などとの接触面積が減少するこ
ともなく、完全吸着バンドや交換バンドが乱れることも
なく、その結果、不純物除去効率を良好に長時間維持す
ることができる。
【００１９】本発明では過酸化水素水が精製塔１２を通
液する空間速度（ＳＶ）が、５〜４０Ｈｒ-1好ましくは
１０〜３０Ｈｒ-1の範囲にあることが望ましい。また、
過酸化水素水の流量の変動範囲が、±２．５％以内に制
御されていることが好ましい。このような流量に制御す
ることによって、より一層、気泡が精製塔内に滞留する
ことなく押出され、除去される。
液する空間速度（ＳＶ）が、５〜４０Ｈｒ-1好ましくは
１０〜３０Ｈｒ-1の範囲にあることが望ましい。また、
過酸化水素水の流量の変動範囲が、±２．５％以内に制
御されていることが好ましい。このような流量に制御す
ることによって、より一層、気泡が精製塔内に滞留する
ことなく押出され、除去される。
【００２０】精製塔１２に導入される過酸化水素水は、
精製塔内部のセンターノズル（図示せず）から、下方に
均等に流される。精製塔内のイオン交換樹脂、キレート
樹脂または吸着樹脂は、精製塔内容積の４０〜８０％、
好ましくは４５〜７５％の体積で充填されていることが
望ましい。このような精製塔には、図１に示したよう
に、上下に一定間隔離間して、通常水位センサ１９が設
けられており、イオン交換樹脂などが乾燥しないよう水
位が保たれている。水位センサには光電方式、静電容量
方式のものがあり、このうち静電容量方式のものが望ま
しい。この水位センサ１９では、液の存在の有無を信号
として感知する。そして、水位センサの下限以下に液が
下がった時、すなわち、下方に配置された水位センサ１
９によって液面が検知された場合には、精製塔１９内部
の圧力が上昇しすぎているので、別途図示しない水位制
御装置によって制御されて、精製塔上部のエアー抜きバ
ルブ２０が開き、かつ精製塔下部のバルブが閉まり、精
製塔内部の圧力をエアー抜きバルブ２０を介して逃がす
ことによって、液面を復帰させる。逆に、水位センサの
上限で液面を感知したときには、すなわち、上方に配置
された水位センサ１９によって液面が検知された場合に
は、精製塔１９内部の圧力が下降しすぎているので、別
途図示しない水位制御装置によって制御されて、精製塔
上部エアー抜きバルブ２０が閉まり、かつ精製塔下部の
バルブが開き、通常状態に戻る。
精製塔内部のセンターノズル（図示せず）から、下方に
均等に流される。精製塔内のイオン交換樹脂、キレート
樹脂または吸着樹脂は、精製塔内容積の４０〜８０％、
好ましくは４５〜７５％の体積で充填されていることが
望ましい。このような精製塔には、図１に示したよう
に、上下に一定間隔離間して、通常水位センサ１９が設
けられており、イオン交換樹脂などが乾燥しないよう水
位が保たれている。水位センサには光電方式、静電容量
方式のものがあり、このうち静電容量方式のものが望ま
しい。この水位センサ１９では、液の存在の有無を信号
として感知する。そして、水位センサの下限以下に液が
下がった時、すなわち、下方に配置された水位センサ１
９によって液面が検知された場合には、精製塔１９内部
の圧力が上昇しすぎているので、別途図示しない水位制
御装置によって制御されて、精製塔上部のエアー抜きバ
ルブ２０が開き、かつ精製塔下部のバルブが閉まり、精
製塔内部の圧力をエアー抜きバルブ２０を介して逃がす
ことによって、液面を復帰させる。逆に、水位センサの
上限で液面を感知したときには、すなわち、上方に配置
された水位センサ１９によって液面が検知された場合に
は、精製塔１９内部の圧力が下降しすぎているので、別
途図示しない水位制御装置によって制御されて、精製塔
上部エアー抜きバルブ２０が閉まり、かつ精製塔下部の
バルブが開き、通常状態に戻る。
【００２１】本発明では、送液用の配管および精製塔内
壁がフッ素樹脂から構成されることが好ましい。すなわ
ち過酸化水素水との接液部がフッ素樹脂で構成されるこ
とが好ましい。接液部が、フッ素樹脂で構成されている
と、これらの構成部材からの不純物の混入を抑制するこ
とができる。なお、従来このような装置の材質として
は、硬質ガラス、石英、塩化ビニール樹脂、アクリル樹
脂、ＦＲＰ、ウレタンライニングなどを施した鋼が使用
されていたが、これらの材質から、過酸化水素水中に不
純物が混入してしまうことがあった。
壁がフッ素樹脂から構成されることが好ましい。すなわ
ち過酸化水素水との接液部がフッ素樹脂で構成されるこ
とが好ましい。接液部が、フッ素樹脂で構成されている
と、これらの構成部材からの不純物の混入を抑制するこ
とができる。なお、従来このような装置の材質として
は、硬質ガラス、石英、塩化ビニール樹脂、アクリル樹
脂、ＦＲＰ、ウレタンライニングなどを施した鋼が使用
されていたが、これらの材質から、過酸化水素水中に不
純物が混入してしまうことがあった。
【００２２】接液部をフッ素樹脂で構成する具体的な方
法は、たとえば、部材そのものをフッ素樹脂からなるも
のにしたり、ステンレスなどにフッ素樹脂をライニング
またはコーティングする方法が挙げられる。フッ素樹脂
としては、通常、ポリテトラフルオロエチレン樹脂（Ｐ
ＴＦＥ）と四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニ
ルエーテル共重合樹脂（ＰＦＡ）が金属の溶出がなく、
過酸化水素に対し安定で劣化することもないので好適で
ある。また、近年の加工技術の進歩によりこれらのフッ
素樹脂は、ステンレスを母材としたライニングまたはコ
ーティングが可能となり、大型ライニング（コーティン
グ）容器、大型ライニング（コーティング）塔、機器、
配管等が製作されており、加圧または減圧下の条件でも
問題なく使用されている。また、これ以外のフッ素樹脂
としては、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重
合樹脂（ＦＥＰ）、ポリトリフルオロクロロエチレン樹
脂（ＰＣＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−エチレン
共重合体（ＥＴＦＥ）なども使用することができる。
法は、たとえば、部材そのものをフッ素樹脂からなるも
のにしたり、ステンレスなどにフッ素樹脂をライニング
またはコーティングする方法が挙げられる。フッ素樹脂
としては、通常、ポリテトラフルオロエチレン樹脂（Ｐ
ＴＦＥ）と四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニ
ルエーテル共重合樹脂（ＰＦＡ）が金属の溶出がなく、
過酸化水素に対し安定で劣化することもないので好適で
ある。また、近年の加工技術の進歩によりこれらのフッ
素樹脂は、ステンレスを母材としたライニングまたはコ
ーティングが可能となり、大型ライニング（コーティン
グ）容器、大型ライニング（コーティング）塔、機器、
配管等が製作されており、加圧または減圧下の条件でも
問題なく使用されている。また、これ以外のフッ素樹脂
としては、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重
合樹脂（ＦＥＰ）、ポリトリフルオロクロロエチレン樹
脂（ＰＣＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−エチレン
共重合体（ＥＴＦＥ）なども使用することができる。
【００２３】特に、精製塔１２内壁がフッ素樹脂で製作
されていると、内壁面近傍の過酸化水素水がフッ素樹脂
の撥水性の性質により中心方向にはじかれ、内壁面での
短絡（すなわち、内壁面に沿っての短絡）が生じにく
く、すなわちイオン交換樹脂などと接触していない過酸
化水素水が通過することなく、不純物除去を効率よく行
うことができる。
されていると、内壁面近傍の過酸化水素水がフッ素樹脂
の撥水性の性質により中心方向にはじかれ、内壁面での
短絡（すなわち、内壁面に沿っての短絡）が生じにく
く、すなわちイオン交換樹脂などと接触していない過酸
化水素水が通過することなく、不純物除去を効率よく行
うことができる。
【００２４】このような精製塔１２には、イオン交換樹
脂、キレート樹脂または吸着樹脂の種類に応じて前段に
冷却用の熱交換器を有していてもよく、熱交換器もフッ
素樹脂より構成されたものが望ましい。またこのような
精製塔１２は、０．３ＭＰａ/cm2程度の耐圧性を有する
ものが望ましい。精製塔１２には圧力センサ１７が設け
られ、必要に応じてガス抜きなど操作が行われる。
脂、キレート樹脂または吸着樹脂の種類に応じて前段に
冷却用の熱交換器を有していてもよく、熱交換器もフッ
素樹脂より構成されたものが望ましい。またこのような
精製塔１２は、０．３ＭＰａ/cm2程度の耐圧性を有する
ものが望ましい。精製塔１２には圧力センサ１７が設け
られ、必要に応じてガス抜きなど操作が行われる。
【００２５】圧力センサとしてはダイヤフラム式のもの
が使用され、圧力の変化をダイヤフラムが受圧部に伝え
て信号化する。具体的には、圧力が上昇すると、たとえ
ばアニオン樹脂精製塔で０．２ＭＰａを越えた場合は、
過酸化水素の分解が起きている可能性が高く、この圧力
上昇を圧力センサ１７が感知し、別途図示しない圧力制
御装置によって制御されて、ポンプ１４を停止し、かつ
精製塔上部のエアー抜きバルブ２０が開き、冷却超純水
が精製塔へ供給されて精製過酸化水素水の製造を停止す
るようになっている。
が使用され、圧力の変化をダイヤフラムが受圧部に伝え
て信号化する。具体的には、圧力が上昇すると、たとえ
ばアニオン樹脂精製塔で０．２ＭＰａを越えた場合は、
過酸化水素の分解が起きている可能性が高く、この圧力
上昇を圧力センサ１７が感知し、別途図示しない圧力制
御装置によって制御されて、ポンプ１４を停止し、かつ
精製塔上部のエアー抜きバルブ２０が開き、冷却超純水
が精製塔へ供給されて精製過酸化水素水の製造を停止す
るようになっている。
【００２６】また精製塔１２には、温度センサ１８が設
けられており、過酸化水素水の処理に伴う発熱を感知
し、冷却するようになっている。このような温度センサ
には熱伝対方式、測温抵抗体方式のものがあり、温度に
よって起電力や抵抗値が変化し、これを信号化する。た
とえば精製塔内の温度が所定の温度を越えると、過酸化
水素水が分解し始めているので、このような塔内温度の
上昇を温度センサ１８が感知し、別途図示しない温度制
御装置によって制御されて、ポンプ１４を停止し、かつ
精製塔上部エアー抜きバルブ２０が開き、冷却超純水が
精製塔へ供給されて精製過酸化水素水の製造を停止する
ようになっている。
けられており、過酸化水素水の処理に伴う発熱を感知
し、冷却するようになっている。このような温度センサ
には熱伝対方式、測温抵抗体方式のものがあり、温度に
よって起電力や抵抗値が変化し、これを信号化する。た
とえば精製塔内の温度が所定の温度を越えると、過酸化
水素水が分解し始めているので、このような塔内温度の
上昇を温度センサ１８が感知し、別途図示しない温度制
御装置によって制御されて、ポンプ１４を停止し、かつ
精製塔上部エアー抜きバルブ２０が開き、冷却超純水が
精製塔へ供給されて精製過酸化水素水の製造を停止する
ようになっている。
【００２７】精製塔１２の下部には、ストレーナー（図
示せず）が設けられている。このストレーナーは、図示
しないフィルターと、このフィルターの下面に配置され
た図２に示されるようなフランジ３０とから構成されて
いる。このフランジ３０には、その中心部分に上下に貫
通した液抜き口３２をそなえており、この液抜き口３２
から、一定間隔離間して同心円上に形成された複数の略
円環状状の開口溝３４が形成されている。これらの開口
溝３４は、半径方向に一定角度離間して、中心の液抜き
口３２と連通する連通開口溝３６が形成されている。
示せず）が設けられている。このストレーナーは、図示
しないフィルターと、このフィルターの下面に配置され
た図２に示されるようなフランジ３０とから構成されて
いる。このフランジ３０には、その中心部分に上下に貫
通した液抜き口３２をそなえており、この液抜き口３２
から、一定間隔離間して同心円上に形成された複数の略
円環状状の開口溝３４が形成されている。これらの開口
溝３４は、半径方向に一定角度離間して、中心の液抜き
口３２と連通する連通開口溝３６が形成されている。
【００２８】これによって、フィルターを通過した過酸
化水素水は、これらの開口溝３４，連通開口溝３６を介
して、略層状流で、液抜き口３２を介して外部に排出さ
れることになる。なお、この場合、上記、開口溝３４、
３６の溝の間隙、離間角度、溝深さなどは適宜変更可能
であり、特に限定されるものではない。
化水素水は、これらの開口溝３４，連通開口溝３６を介
して、略層状流で、液抜き口３２を介して外部に排出さ
れることになる。なお、この場合、上記、開口溝３４、
３６の溝の間隙、離間角度、溝深さなどは適宜変更可能
であり、特に限定されるものではない。
【００２９】このフィルターとフランジの開口部の総空
孔率は５０〜７０％、好ましくは５５〜６５％のものが
望ましい。このような総空孔率を有していると過酸化水
素水を層流で、精製塔内を通液させることできるので、
イオン交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂と過酸化
水素水とを均一に接触させることができる。このストレ
ーナーによって、イオン交換樹脂、キレート樹脂または
吸着樹脂と精製された過酸化水素水とが分離される。
孔率は５０〜７０％、好ましくは５５〜６５％のものが
望ましい。このような総空孔率を有していると過酸化水
素水を層流で、精製塔内を通液させることできるので、
イオン交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂と過酸化
水素水とを均一に接触させることができる。このストレ
ーナーによって、イオン交換樹脂、キレート樹脂または
吸着樹脂と精製された過酸化水素水とが分離される。
【００３０】本発明において精製塔内には、目的に応じ
て、アニオン交換樹脂、カチオン交換樹脂などのイオン
交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填される。
また、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混床も
使用することができる。イオン交換樹脂を充填する場
合、単床で使用することが望ましい。本発明で使用され
るカチオン交換樹脂としては、強酸性カチオン交換樹脂
として公知のＨ+型カチオン交換樹脂が使用される。強
酸性カチオン交換樹脂の種類としては、一般にはスチレ
ン−ジビニルベンゼン架橋共重合体にスルホン酸基を導
入した網目状分子構造からなる強酸性カチオン交換樹脂
が好ましい。このようなＨ+型強酸性カチオン交換樹脂
としては、たとえばＰＫ２１６、ＳＫ１Ｂ、ＩＲ−１２
０Ｂなどが使用される。
て、アニオン交換樹脂、カチオン交換樹脂などのイオン
交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填される。
また、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混床も
使用することができる。イオン交換樹脂を充填する場
合、単床で使用することが望ましい。本発明で使用され
るカチオン交換樹脂としては、強酸性カチオン交換樹脂
として公知のＨ+型カチオン交換樹脂が使用される。強
酸性カチオン交換樹脂の種類としては、一般にはスチレ
ン−ジビニルベンゼン架橋共重合体にスルホン酸基を導
入した網目状分子構造からなる強酸性カチオン交換樹脂
が好ましい。このようなＨ+型強酸性カチオン交換樹脂
としては、たとえばＰＫ２１６、ＳＫ１Ｂ、ＩＲ−１２
０Ｂなどが使用される。
【００３１】Ｈ+型カチオン交換樹脂は、上記カチオン
交換樹脂を下降流の無機酸水溶液（再生剤）で処理した
のち、上昇流の超純水で洗浄する操作を一工程とし、そ
の工程を２回以上繰り返すことによって再生されたもの
が好ましい。本発明では、再生剤水溶液の下降流通液
と、超純水の上昇流通液を２回以上、好ましくは２〜１
２回繰り返すことによって再生されたものが好ましい。
交換樹脂を下降流の無機酸水溶液（再生剤）で処理した
のち、上昇流の超純水で洗浄する操作を一工程とし、そ
の工程を２回以上繰り返すことによって再生されたもの
が好ましい。本発明では、再生剤水溶液の下降流通液
と、超純水の上昇流通液を２回以上、好ましくは２〜１
２回繰り返すことによって再生されたものが好ましい。
【００３２】通常、カチオン交換樹脂と再生剤水溶液と
の接触は、再生剤水溶液を通液したのち、押出し、超純
水で水洗することによって行われるが、本発明では、特
に２回以上、再生剤通液・超純水水洗のサイクルを繰り
返すことが望ましい。このように無機酸水溶液-超純水
通液を繰り返すことで、効率よく均一に再生でき、さら
にカチオン交換樹脂が収縮・膨潤するため、交換樹脂の
内部まで洗浄できる。
の接触は、再生剤水溶液を通液したのち、押出し、超純
水で水洗することによって行われるが、本発明では、特
に２回以上、再生剤通液・超純水水洗のサイクルを繰り
返すことが望ましい。このように無機酸水溶液-超純水
通液を繰り返すことで、効率よく均一に再生でき、さら
にカチオン交換樹脂が収縮・膨潤するため、交換樹脂の
内部まで洗浄できる。
【００３３】無機酸としては、硫酸、塩酸などの公知の
無機酸が使用される。再生剤水溶液中の無機酸濃度とし
ては、５〜１５重量％の範囲にあるものが好適に使用さ
れる。このような再生剤の使用量は、処理するカチオン
交換樹脂の樹脂量（体積）の３倍以上、好ましくは４〜
１２倍の範囲にあることが好ましい。再生剤水溶液中の
無機酸濃度としては、５〜１５重量％好ましくは５〜１
２重量％の範囲にあるものが好適に使用される。このよ
うな再生剤の使用量は、処理するカチオン交換樹脂の樹
脂量（体積）の３倍以上、好ましくは４〜１２倍の範囲
にあることが望ましい。
無機酸が使用される。再生剤水溶液中の無機酸濃度とし
ては、５〜１５重量％の範囲にあるものが好適に使用さ
れる。このような再生剤の使用量は、処理するカチオン
交換樹脂の樹脂量（体積）の３倍以上、好ましくは４〜
１２倍の範囲にあることが好ましい。再生剤水溶液中の
無機酸濃度としては、５〜１５重量％好ましくは５〜１
２重量％の範囲にあるものが好適に使用される。このよ
うな再生剤の使用量は、処理するカチオン交換樹脂の樹
脂量（体積）の３倍以上、好ましくは４〜１２倍の範囲
にあることが望ましい。
【００３４】このような再生剤の通液は、通常ＳＶ（空
間速度）＝１〜５Hr-1、ＢＶ（BedVolume イオン交換
樹脂の体積の何倍量を処理したかを表す。単位はＬ／Ｌ
-Ｒ）＝０．５〜１Ｌ／Ｌ-Ｒの下降流で行い、次いでＳ
Ｖ＝１０〜３０Hr-1、ＢＶ＝０．１〜０．５Ｌ／Ｌ-Ｒ
の超純水上昇流を通液して洗浄する。また、再生剤およ
び超純水通液後、さらに超純水の下降流および超純水の
上昇流の通液を一工程とする超純水洗浄を、４回〜９回
繰り返し行い、再生後のイオン交換樹脂をさらに洗浄す
る。超純水の上昇流通液は、ＳＶ＝１０〜３０Hr-1、Ｂ
Ｖ＝３〜５Ｌ／Ｌ-Ｒで行い、下降流通液は、ＳＶ＝１
０〜３０Hr-1、ＢＶ＝３〜５Ｌ／Ｌ-Ｒで行うことが望
ましい。また、樹脂量に対し、３０〜６０倍の体積の超
純水で洗浄することが望ましい。
間速度）＝１〜５Hr-1、ＢＶ（BedVolume イオン交換
樹脂の体積の何倍量を処理したかを表す。単位はＬ／Ｌ
-Ｒ）＝０．５〜１Ｌ／Ｌ-Ｒの下降流で行い、次いでＳ
Ｖ＝１０〜３０Hr-1、ＢＶ＝０．１〜０．５Ｌ／Ｌ-Ｒ
の超純水上昇流を通液して洗浄する。また、再生剤およ
び超純水通液後、さらに超純水の下降流および超純水の
上昇流の通液を一工程とする超純水洗浄を、４回〜９回
繰り返し行い、再生後のイオン交換樹脂をさらに洗浄す
る。超純水の上昇流通液は、ＳＶ＝１０〜３０Hr-1、Ｂ
Ｖ＝３〜５Ｌ／Ｌ-Ｒで行い、下降流通液は、ＳＶ＝１
０〜３０Hr-1、ＢＶ＝３〜５Ｌ／Ｌ-Ｒで行うことが望
ましい。また、樹脂量に対し、３０〜６０倍の体積の超
純水で洗浄することが望ましい。
【００３５】本発明で使用されるアニオン交換樹脂とし
ては、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型、水酸化物
イオン型、フッ化物イオン型等を用いることも可能であ
り、これら以外のイオン型のものを使用してもよい。こ
のようなアニオン交換樹脂は、一般にはスチレン−ジビ
ニルベンゼン架橋共重合体をクロロメチル化後、アミノ
化をトリメチルアミン、ジメチルエタノールアミンで行
い４級化して得られる強塩基性樹脂、スチレン−ジビニ
ルベンゼン架橋共重合体で第１ないし第３級アミンを交
換基とする弱塩基性樹脂、アクリル酸系架橋重合体で第
３級アミンを交換基とする樹脂、ピリジル基または置換
ピリジル基を有するポリマーからなるピリジン系アニオ
ン交換樹脂などが使用される。このうち、第４級アンモ
ニウム基を有する強塩基性アニオン交換樹脂が好ましく
使用される。このような第４級アンモニウム基のアニオ
ン交換樹脂としては、多くの種類のものが市販されてい
る。たとえばダイヤイオンのＰＡシリーズ（たとえばＰ
Ａ３１６、ＰＡ４１６）、ＳＡシリーズ（たとえばＳＡ
１０Ａ、ＳＡ２０Ａ）、アンバーライトのＩＲＡシリー
ズ（たとえばＩＲＡ−４００、ＩＲＡ−４１０、ＩＲＡ
−９００、ＩＲＡ−９０４）が代表例として挙げられ
る。これらの樹脂は一般に塩化物イオン型で上市されて
いる。
ては、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型、水酸化物
イオン型、フッ化物イオン型等を用いることも可能であ
り、これら以外のイオン型のものを使用してもよい。こ
のようなアニオン交換樹脂は、一般にはスチレン−ジビ
ニルベンゼン架橋共重合体をクロロメチル化後、アミノ
化をトリメチルアミン、ジメチルエタノールアミンで行
い４級化して得られる強塩基性樹脂、スチレン−ジビニ
ルベンゼン架橋共重合体で第１ないし第３級アミンを交
換基とする弱塩基性樹脂、アクリル酸系架橋重合体で第
３級アミンを交換基とする樹脂、ピリジル基または置換
ピリジル基を有するポリマーからなるピリジン系アニオ
ン交換樹脂などが使用される。このうち、第４級アンモ
ニウム基を有する強塩基性アニオン交換樹脂が好ましく
使用される。このような第４級アンモニウム基のアニオ
ン交換樹脂としては、多くの種類のものが市販されてい
る。たとえばダイヤイオンのＰＡシリーズ（たとえばＰ
Ａ３１６、ＰＡ４１６）、ＳＡシリーズ（たとえばＳＡ
１０Ａ、ＳＡ２０Ａ）、アンバーライトのＩＲＡシリー
ズ（たとえばＩＲＡ−４００、ＩＲＡ−４１０、ＩＲＡ
−９００、ＩＲＡ−９０４）が代表例として挙げられ
る。これらの樹脂は一般に塩化物イオン型で上市されて
いる。
【００３６】アニオン交換樹脂の再生剤は、目的とする
イオン型により適宜選択されるが、炭酸イオンおよび炭
酸水素イオン型のアニオン交換樹脂の場合、炭酸ナトリ
ウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カ
リウムなどの公知の炭酸イオンまたは炭酸水素塩が再生
剤として使用される。また水酸化物イオン型のアニオン
交換樹脂の場合、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムな
どの強アルカリが再生剤として使用される。フッ化物イ
オン型のアニオン交換樹脂の場合、フッ化ナトリウム、
フッ化カリウム、フッ化アンモニウムが再生剤として使
用される。
イオン型により適宜選択されるが、炭酸イオンおよび炭
酸水素イオン型のアニオン交換樹脂の場合、炭酸ナトリ
ウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カ
リウムなどの公知の炭酸イオンまたは炭酸水素塩が再生
剤として使用される。また水酸化物イオン型のアニオン
交換樹脂の場合、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムな
どの強アルカリが再生剤として使用される。フッ化物イ
オン型のアニオン交換樹脂の場合、フッ化ナトリウム、
フッ化カリウム、フッ化アンモニウムが再生剤として使
用される。
【００３７】アニオン交換樹脂は、上記アニオン交換樹
脂を下降流の再生剤で処理したのち、上昇流の超純水で
洗浄する操作を一工程とし、その工程を２回以上繰り返
すことによって再生されたものが好ましい。本発明で
は、再生剤水溶液の下降流通液と、超純水の上昇通液を
２回以上、好ましくは２回〜１２回繰り返すことによっ
て再生されたものが好ましい。通常、アニオン交換樹脂
と再生剤水溶液との接触は、再生剤水溶液を通液したの
ち、押出し、超純水で水洗することによって行われる
が、本発明では、特に２回以上、再生剤通液・超純水水
洗のサイクルを繰り返すことが望ましい。このように再
生剤水溶液-超純水通液を繰り返すことで、効率よく均
一に再生でき、さらにアニオン交換樹脂が収縮・膨潤す
るため、交換樹脂の内部まで洗浄できる。
脂を下降流の再生剤で処理したのち、上昇流の超純水で
洗浄する操作を一工程とし、その工程を２回以上繰り返
すことによって再生されたものが好ましい。本発明で
は、再生剤水溶液の下降流通液と、超純水の上昇通液を
２回以上、好ましくは２回〜１２回繰り返すことによっ
て再生されたものが好ましい。通常、アニオン交換樹脂
と再生剤水溶液との接触は、再生剤水溶液を通液したの
ち、押出し、超純水で水洗することによって行われる
が、本発明では、特に２回以上、再生剤通液・超純水水
洗のサイクルを繰り返すことが望ましい。このように再
生剤水溶液-超純水通液を繰り返すことで、効率よく均
一に再生でき、さらにアニオン交換樹脂が収縮・膨潤す
るため、交換樹脂の内部まで洗浄できる。
【００３８】再生剤水溶液中の塩濃度としては、水酸化
物イオン型では２〜１０重量％好ましくは２〜８重量
％、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型では５〜１５
重量％好ましくは５〜１２重量％、フッ化物イオン型で
は１〜４重量％好ましくは２〜４重量％の範囲にあるも
のが好適に使用される。このような再生剤水溶液の使用
量は、処理するアニオン交換樹脂の樹脂量（体積）の３
倍以上、好ましくは４〜１２倍の範囲にあることが好ま
しい。
物イオン型では２〜１０重量％好ましくは２〜８重量
％、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型では５〜１５
重量％好ましくは５〜１２重量％、フッ化物イオン型で
は１〜４重量％好ましくは２〜４重量％の範囲にあるも
のが好適に使用される。このような再生剤水溶液の使用
量は、処理するアニオン交換樹脂の樹脂量（体積）の３
倍以上、好ましくは４〜１２倍の範囲にあることが好ま
しい。
【００３９】このような再生剤の通液は、通常ＳＶ（空
間速度）＝１〜５Hr-1、ＢＶ＝０．５〜１Ｌ／Ｌ-Ｒの
下降流で行い、次いでＳＶ＝１０〜３０Hr-1、ＢＶ＝
０．１〜０．５Ｌ／Ｌ-Ｒの超純水上昇流を通液して洗
浄する。また、再生剤および超純水通液後、さらに超純
水の下降流および超純水の上昇流の通液を一工程とする
超純水洗浄を４回〜９回繰り返し行い、再生後のイオン
交換樹脂をさらに洗浄する。超純水の上昇流通液は、Ｓ
Ｖ＝１０〜３０Hr-1、ＢＶ＝３〜５Ｌ／Ｌ-Ｒで行い、
下降流通液は、ＳＶ＝１０〜３０Hr-1、ＢＶ＝３〜５Ｌ
／Ｌ-Ｒで行うことが望ましい。また、樹脂量に対し、
３０〜６０倍の体積の超純水で洗浄することが望まし
い。
間速度）＝１〜５Hr-1、ＢＶ＝０．５〜１Ｌ／Ｌ-Ｒの
下降流で行い、次いでＳＶ＝１０〜３０Hr-1、ＢＶ＝
０．１〜０．５Ｌ／Ｌ-Ｒの超純水上昇流を通液して洗
浄する。また、再生剤および超純水通液後、さらに超純
水の下降流および超純水の上昇流の通液を一工程とする
超純水洗浄を４回〜９回繰り返し行い、再生後のイオン
交換樹脂をさらに洗浄する。超純水の上昇流通液は、Ｓ
Ｖ＝１０〜３０Hr-1、ＢＶ＝３〜５Ｌ／Ｌ-Ｒで行い、
下降流通液は、ＳＶ＝１０〜３０Hr-1、ＢＶ＝３〜５Ｌ
／Ｌ-Ｒで行うことが望ましい。また、樹脂量に対し、
３０〜６０倍の体積の超純水で洗浄することが望まし
い。
【００４０】このようなアニオン交換樹脂と過酸化水素
水との接触は、樹脂の酸化劣化と安全上の面から、低温
で行うことが好ましい。特に、前段で、Ｈ+型カチオン
交換樹脂で処理された過酸化水素水中には、過酸化水素
の解離によって生じる以上のＨ+が含まれていることが
あり、このＨ+とアニオン交換基のＣＯ3 2-またはＨＣＯ
3 -が中和反応して、発熱することがある。このため、ア
ニオン交換樹脂で過酸化水素水を処理する場合には、５
℃以下の低温に冷却しておくことが望ましい。
水との接触は、樹脂の酸化劣化と安全上の面から、低温
で行うことが好ましい。特に、前段で、Ｈ+型カチオン
交換樹脂で処理された過酸化水素水中には、過酸化水素
の解離によって生じる以上のＨ+が含まれていることが
あり、このＨ+とアニオン交換基のＣＯ3 2-またはＨＣＯ
3 -が中和反応して、発熱することがある。このため、ア
ニオン交換樹脂で過酸化水素水を処理する場合には、５
℃以下の低温に冷却しておくことが望ましい。
【００４１】本発明に係る製造方法では、原料過酸化水
素水を精製する際に、このようなイオン交換樹脂を充填
したイオン交換樹脂塔を複数個組み合わせて使用するこ
とが好ましい。好ましいイオン交換樹脂塔の組み合わせ
てとしては、 1)カチオン交換樹脂塔→アニオン交換樹脂塔 2)カチオン交換樹脂塔→アニオン交換樹脂塔→カチオン
交換樹脂塔 3)アニオン交換樹脂塔→カチオン交換樹脂塔 などが例示される。
素水を精製する際に、このようなイオン交換樹脂を充填
したイオン交換樹脂塔を複数個組み合わせて使用するこ
とが好ましい。好ましいイオン交換樹脂塔の組み合わせ
てとしては、 1)カチオン交換樹脂塔→アニオン交換樹脂塔 2)カチオン交換樹脂塔→アニオン交換樹脂塔→カチオン
交換樹脂塔 3)アニオン交換樹脂塔→カチオン交換樹脂塔 などが例示される。
【００４２】このうち、カチオン交換樹脂塔→アニオン
交換樹脂塔→カチオン交換樹脂塔の組み合わせが好適で
あり、とくに、Ｈ+型カチオン交換樹脂塔→フッ化物型
アニオン交換樹脂塔→炭酸または重炭酸型アニオン交換
樹脂塔→カチオン交換樹脂塔の組み合わせで、原料過酸
化水素処理を行うと不純物を極めて高度に除去できる。
交換樹脂塔→カチオン交換樹脂塔の組み合わせが好適で
あり、とくに、Ｈ+型カチオン交換樹脂塔→フッ化物型
アニオン交換樹脂塔→炭酸または重炭酸型アニオン交換
樹脂塔→カチオン交換樹脂塔の組み合わせで、原料過酸
化水素処理を行うと不純物を極めて高度に除去できる。
【００４３】このように複数のイオン交換塔を組み合わ
せる場合、送液ポンプ１４は、最初の過酸化水素水が通
液されるイオン交換塔の前に配置してあればよい。しか
しながら、各交換塔について、上記のような流量セン
サ、流量制御装置を設けてもよい。このように原料過酸
化水素水とカチオン交換樹脂とを接触させたのち、アニ
オン交換樹脂と接触させ、さらにカチオン交換樹脂と接
触させることによって、アニオン交換樹脂中に不純物と
して含まれる微量のＮａ+、Ｋ+、Ａｌ3+などが除去でき
るので、極めて高レベル（pptないしサブpptオーダー）
まで金属イオン不純物を除去できる。また、フッ化物型
アニオン交換樹脂を使用すると、過酸化水素水中に含ま
れる酸化ケイ素系不純物を除去することができる。な
お、アニオン交換樹脂として炭酸イオン型または炭酸水
素イオン型アニオン交換樹脂を使用すると、除去される
べきＮａ+、Ｋ+、Ａｌ3+などのカウンターイオンは炭酸
イオンまたは炭酸水素イオンであり、これらはカチオン
交換後、二酸化炭素となって揮散し、過酸化水素水中に
は残存しないため望ましい。
せる場合、送液ポンプ１４は、最初の過酸化水素水が通
液されるイオン交換塔の前に配置してあればよい。しか
しながら、各交換塔について、上記のような流量セン
サ、流量制御装置を設けてもよい。このように原料過酸
化水素水とカチオン交換樹脂とを接触させたのち、アニ
オン交換樹脂と接触させ、さらにカチオン交換樹脂と接
触させることによって、アニオン交換樹脂中に不純物と
して含まれる微量のＮａ+、Ｋ+、Ａｌ3+などが除去でき
るので、極めて高レベル（pptないしサブpptオーダー）
まで金属イオン不純物を除去できる。また、フッ化物型
アニオン交換樹脂を使用すると、過酸化水素水中に含ま
れる酸化ケイ素系不純物を除去することができる。な
お、アニオン交換樹脂として炭酸イオン型または炭酸水
素イオン型アニオン交換樹脂を使用すると、除去される
べきＮａ+、Ｋ+、Ａｌ3+などのカウンターイオンは炭酸
イオンまたは炭酸水素イオンであり、これらはカチオン
交換後、二酸化炭素となって揮散し、過酸化水素水中に
は残存しないため望ましい。
【００４４】また、上記イオン交換樹脂の代わりに、精
製塔内にキレート樹脂、吸着樹脂を充填すれば、原料過
酸化水素水中の鉄イオンやＡｌイオン、有機不純物など
のイオン交換樹脂では除去効率の低い不純物を高度に除
去することもできる。キレート樹脂としては、イミノジ
酢酸型、ポリアミン型、ホスホン酸型など、金属イオン
に対してキレート力をもつ樹脂であればいずれも使用で
きるが、特に好ましいのはホスホン酸型キレート樹脂で
ある。ホスホン酸型のキレート樹脂はホスホン酸基を有
する官能基を導入したキレート樹脂であり、窒素原子に
メチレン基を介してホスホン酸基の結合した基［-N(CH2
PO3H2)n（ｎは１または２を表す。）］を有するイミノ
メチレンホスホン酸型キレート樹脂またはイミノジ（メ
チレンホスホン酸）型キレート樹脂が特に好ましい。ホ
スホン酸型のキレート樹脂は、通常、ホスホン酸基が遊
離酸の形で用いられるが、アンモニウム塩等の塩の形で
使用することもできる。ホスホン酸型のキレート樹脂は
長時間、過酸化水素水溶液の精製に使用しても劣化が少
ないので、実用上特に好ましい。
製塔内にキレート樹脂、吸着樹脂を充填すれば、原料過
酸化水素水中の鉄イオンやＡｌイオン、有機不純物など
のイオン交換樹脂では除去効率の低い不純物を高度に除
去することもできる。キレート樹脂としては、イミノジ
酢酸型、ポリアミン型、ホスホン酸型など、金属イオン
に対してキレート力をもつ樹脂であればいずれも使用で
きるが、特に好ましいのはホスホン酸型キレート樹脂で
ある。ホスホン酸型のキレート樹脂はホスホン酸基を有
する官能基を導入したキレート樹脂であり、窒素原子に
メチレン基を介してホスホン酸基の結合した基［-N(CH2
PO3H2)n（ｎは１または２を表す。）］を有するイミノ
メチレンホスホン酸型キレート樹脂またはイミノジ（メ
チレンホスホン酸）型キレート樹脂が特に好ましい。ホ
スホン酸型のキレート樹脂は、通常、ホスホン酸基が遊
離酸の形で用いられるが、アンモニウム塩等の塩の形で
使用することもできる。ホスホン酸型のキレート樹脂は
長時間、過酸化水素水溶液の精製に使用しても劣化が少
ないので、実用上特に好ましい。
【００４５】吸着樹脂としてはイオン交換能を有してい
ない多孔質樹脂が使用される。このような多孔質樹脂と
しては、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体からなり
交換基を有していないものが使用される。多孔質樹脂
は、約200〜約900m2/g、より好ましくは400〜900m2/g
（乾燥樹脂基準）の比表面積（BET法（N2）を有するも
のが望ましく、また連続した多孔として、水銀圧入法に
よる測定評価で、約0.6〜約1.2ml/g、好ましくは0.7〜
1.1ml/gの細孔容積（乾燥樹脂基準）を有するものが望
ましい。このような多孔質樹脂としては、スチレンを重
合し、ジビニルベンゼンで架橋して網目状分子構造を持
つような樹脂が使用される。このような吸着樹脂として
はRohm & Haas社のアンバーライトXAD-2、XAD-4など、
また三菱化学社のHP10、HP20、HP21、HP30、HP40、HP50、SP80
0、SP900などが挙げられる。
ない多孔質樹脂が使用される。このような多孔質樹脂と
しては、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体からなり
交換基を有していないものが使用される。多孔質樹脂
は、約200〜約900m2/g、より好ましくは400〜900m2/g
（乾燥樹脂基準）の比表面積（BET法（N2）を有するも
のが望ましく、また連続した多孔として、水銀圧入法に
よる測定評価で、約0.6〜約1.2ml/g、好ましくは0.7〜
1.1ml/gの細孔容積（乾燥樹脂基準）を有するものが望
ましい。このような多孔質樹脂としては、スチレンを重
合し、ジビニルベンゼンで架橋して網目状分子構造を持
つような樹脂が使用される。このような吸着樹脂として
はRohm & Haas社のアンバーライトXAD-2、XAD-4など、
また三菱化学社のHP10、HP20、HP21、HP30、HP40、HP50、SP80
0、SP900などが挙げられる。
【００４６】また吸着樹脂としては、ハロゲンを含有す
る多孔性樹脂も使用することができる。ハロゲン含有多
孔性樹脂としては、たとえば、スチレン、ビニルトルエ
ン等の芳香族モノビニルモノマーとジビニルベンゼン、
トリビニルベンゼン等の芳香族ポリビニルモノマーとの
架橋重合体のハロゲン化物、モノクロルスチレン、モノ
ブロムスチレン等のハロゲン化芳香族モノビニルモノマ
ーと芳香族ポリビニルモノマーとの架橋重合体、ハロゲ
ン化芳香族モノビルモノマー、芳香族モノビニルモノマ
ーおよび芳香族ポリビニルモノマーの架橋重合体が好適
に用いられる。このようなハロゲン含有多孔性樹脂とし
ては、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体のハロゲン
化物が特に好適に使用され、たとえば商品名『セパビー
ズ SP207』（臭素化されたスチレン−ジビニルベンゼン
の共重合体であり比重約1.2を示す）が挙げられる。ま
た、吸着樹脂として、芳香族モノビニルモノマーと芳香
族ポリビニルモノマーとの架橋重合体に、水酸基、クロ
ルアルキル基あるいは水酸化アルキル基などの親水性基
を導入したものも用いることができる。クロルアルキル
基は−(ＣＨ2)nＣｌで表され、水酸化アルキル基は、−
(ＣＨ2)nＯＨで表される。直鎖が長くなると親水性が弱
くなるため、実際にはｎ＝１〜５のものが好ましい。こ
れらの樹脂は市販品として入手が可能である。たとえば
商品名「ボファチット ＥＰ６３」（バイエル社製）な
どが知られている。
る多孔性樹脂も使用することができる。ハロゲン含有多
孔性樹脂としては、たとえば、スチレン、ビニルトルエ
ン等の芳香族モノビニルモノマーとジビニルベンゼン、
トリビニルベンゼン等の芳香族ポリビニルモノマーとの
架橋重合体のハロゲン化物、モノクロルスチレン、モノ
ブロムスチレン等のハロゲン化芳香族モノビニルモノマ
ーと芳香族ポリビニルモノマーとの架橋重合体、ハロゲ
ン化芳香族モノビルモノマー、芳香族モノビニルモノマ
ーおよび芳香族ポリビニルモノマーの架橋重合体が好適
に用いられる。このようなハロゲン含有多孔性樹脂とし
ては、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体のハロゲン
化物が特に好適に使用され、たとえば商品名『セパビー
ズ SP207』（臭素化されたスチレン−ジビニルベンゼン
の共重合体であり比重約1.2を示す）が挙げられる。ま
た、吸着樹脂として、芳香族モノビニルモノマーと芳香
族ポリビニルモノマーとの架橋重合体に、水酸基、クロ
ルアルキル基あるいは水酸化アルキル基などの親水性基
を導入したものも用いることができる。クロルアルキル
基は−(ＣＨ2)nＣｌで表され、水酸化アルキル基は、−
(ＣＨ2)nＯＨで表される。直鎖が長くなると親水性が弱
くなるため、実際にはｎ＝１〜５のものが好ましい。こ
れらの樹脂は市販品として入手が可能である。たとえば
商品名「ボファチット ＥＰ６３」（バイエル社製）な
どが知られている。
【００４７】このような処理工程を行うことによって、
過酸化水素水中に含まれる有機不純物などの不純物（Ｔ
ＯＣ）をより高度に除去することができる。このような
キレート樹脂、吸着樹脂による処理工程と、上記イオン
交換樹脂による処理工程を組み合わせれば、原料過酸化
水素水中に含まれる不純物をより高度に除去することが
できる。
過酸化水素水中に含まれる有機不純物などの不純物（Ｔ
ＯＣ）をより高度に除去することができる。このような
キレート樹脂、吸着樹脂による処理工程と、上記イオン
交換樹脂による処理工程を組み合わせれば、原料過酸化
水素水中に含まれる不純物をより高度に除去することが
できる。
【００４８】本発明に係る精製過酸化水素の製造方法で
は、上記のような精製塔を単独で使用しても、組み合わ
せてもよい。精製塔の組み合わせとしては、たとえば、
吸着樹脂塔（吸着樹脂が充填された精製塔）で原料過酸
化水素水を処理したのち、キレート樹脂塔（キレート樹
脂が充填された精製塔）で処理し、さらにイオン交換樹
脂塔（イオン交換樹脂が充填された精製塔）で処理した
り、イオン交換樹脂塔で処理したものを、吸着樹脂塔で
処理したのち、キレート樹脂塔で処理してもよい。とく
に、吸着樹脂塔（吸着樹脂が充填された精製塔）で原料
過酸化水素水を処理したのち、キレート樹脂塔（キレー
ト樹脂が充填された精製塔）で処理し、さらにイオン交
換樹脂塔（イオン交換樹脂が充填された精製塔）で処理
したり、イオン交換樹脂塔で処理したものを、吸着樹脂
塔で処理したのち、キレート樹脂塔で処理してもよい。
特に好ましくは、吸着樹脂塔→Ｈ+型カチオン交換樹脂
塔→フッ化物型アニオン交換樹脂塔→炭酸または重炭酸
型アニオン交換樹脂塔→カチオン交換樹脂塔の組み合わ
せで処理すれば、過酸化水素水中の不純物レベルを極め
て少なくすることができる。
は、上記のような精製塔を単独で使用しても、組み合わ
せてもよい。精製塔の組み合わせとしては、たとえば、
吸着樹脂塔（吸着樹脂が充填された精製塔）で原料過酸
化水素水を処理したのち、キレート樹脂塔（キレート樹
脂が充填された精製塔）で処理し、さらにイオン交換樹
脂塔（イオン交換樹脂が充填された精製塔）で処理した
り、イオン交換樹脂塔で処理したものを、吸着樹脂塔で
処理したのち、キレート樹脂塔で処理してもよい。とく
に、吸着樹脂塔（吸着樹脂が充填された精製塔）で原料
過酸化水素水を処理したのち、キレート樹脂塔（キレー
ト樹脂が充填された精製塔）で処理し、さらにイオン交
換樹脂塔（イオン交換樹脂が充填された精製塔）で処理
したり、イオン交換樹脂塔で処理したものを、吸着樹脂
塔で処理したのち、キレート樹脂塔で処理してもよい。
特に好ましくは、吸着樹脂塔→Ｈ+型カチオン交換樹脂
塔→フッ化物型アニオン交換樹脂塔→炭酸または重炭酸
型アニオン交換樹脂塔→カチオン交換樹脂塔の組み合わ
せで処理すれば、過酸化水素水中の不純物レベルを極め
て少なくすることができる。
【００４９】このようにキレート樹脂塔、吸着樹脂塔と
イオン交換塔とを組み合わせる場合、送液ポンプ１４
は、個々の精製塔の前に設けてもよく、また最初の過酸
化水素水が通液される処理交換塔の前にのみ配置しても
よい。特に好ましくは吸着樹脂塔の前およびイオン交換
樹脂塔の前に配置しておくことが望ましく、具体的に吸
着樹脂塔→Ｈ+型カチオン交換樹脂塔→フッ化物型アニ
オン交換樹脂塔→炭酸または重炭酸型アニオン交換樹脂
塔→カチオン交換樹脂塔の組み合わせで処理する場合、
送液ポンプは、過酸化水素水を吸着樹脂塔に導入する
時、および吸着樹脂塔で処理された過酸化水素水をＨ+
型カチオン交換樹脂塔に導入する時に配置されることが
望ましい。
イオン交換塔とを組み合わせる場合、送液ポンプ１４
は、個々の精製塔の前に設けてもよく、また最初の過酸
化水素水が通液される処理交換塔の前にのみ配置しても
よい。特に好ましくは吸着樹脂塔の前およびイオン交換
樹脂塔の前に配置しておくことが望ましく、具体的に吸
着樹脂塔→Ｈ+型カチオン交換樹脂塔→フッ化物型アニ
オン交換樹脂塔→炭酸または重炭酸型アニオン交換樹脂
塔→カチオン交換樹脂塔の組み合わせで処理する場合、
送液ポンプは、過酸化水素水を吸着樹脂塔に導入する
時、および吸着樹脂塔で処理された過酸化水素水をＨ+
型カチオン交換樹脂塔に導入する時に配置されることが
望ましい。
【００５０】本発明では、上記した精製塔による精製操
作に先立ち、原料過酸化水素水に凝集化剤を添加したの
ち、精密フィルターで濾過し、過酸化水素水中に含まれ
る不溶性金属イオン不純物を固形分不純物として除去し
ておくことが望ましい。このような濾過処理は、イオン
交換樹脂で過酸化水素水を処理する前に行うことが望ま
しい。なお、吸着樹脂塔による処理が行われている場
合、濾過処理は、前記吸着樹脂塔によって処理する前に
行っても、吸着樹脂塔による処理後に行ってもよいが、
特に好ましくは吸着樹脂塔による処理の前に、濾過処理
すると、極めて効率よく不純物を除去できるので望まし
い。
作に先立ち、原料過酸化水素水に凝集化剤を添加したの
ち、精密フィルターで濾過し、過酸化水素水中に含まれ
る不溶性金属イオン不純物を固形分不純物として除去し
ておくことが望ましい。このような濾過処理は、イオン
交換樹脂で過酸化水素水を処理する前に行うことが望ま
しい。なお、吸着樹脂塔による処理が行われている場
合、濾過処理は、前記吸着樹脂塔によって処理する前に
行っても、吸着樹脂塔による処理後に行ってもよいが、
特に好ましくは吸着樹脂塔による処理の前に、濾過処理
すると、極めて効率よく不純物を除去できるので望まし
い。
【００５１】このような不溶性金属イオン不純物も、溶
解性の金属イオン不純物と同様に製造時に使用される
水、空気中に浮遊している成分、製造設備の材質に由来
する。凝集化剤は、過酸化水素中の不溶性金属イオン不
純物を凝集させて濾過可能とするために添加されるもの
であり、通常、リン系化合物が使用される。リン系化合
物としては、リン酸、ポリリン酸、酸性ピロリン酸ナト
リウム、アミノトリ(メチレンホスホン酸)およびその
塩、エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)およ
びその塩からなる群から選ばれる少なくとも一種のリン
系化合物が好適に使用される。
解性の金属イオン不純物と同様に製造時に使用される
水、空気中に浮遊している成分、製造設備の材質に由来
する。凝集化剤は、過酸化水素中の不溶性金属イオン不
純物を凝集させて濾過可能とするために添加されるもの
であり、通常、リン系化合物が使用される。リン系化合
物としては、リン酸、ポリリン酸、酸性ピロリン酸ナト
リウム、アミノトリ(メチレンホスホン酸)およびその
塩、エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)およ
びその塩からなる群から選ばれる少なくとも一種のリン
系化合物が好適に使用される。
【００５２】リン系化合物を添加したのち、通常、１日
以上、好ましくは１日〜５日間熟成することが望まし
い。熟成は撹拌条件下であっても非撹拌条件下であって
もよい。この熟成によって、金属イオン不純物が濾過可
能な程度まで凝集・成長する。濾過に使用される精密フ
ィルターの平均孔径は０．２μｍ以下好ましくは０．１
μｍ以下であることが好ましい。このような精密フィル
ターを構成する材質としては、過酸化水素水に溶出する
成分が含まれていなければ特に制限されるものではない
が、フッ素樹脂、ポリエチレンやポリプロピレンなどの
ポリオレフィン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリカーボネ
ート樹脂などからなるものが使用される。このうち特
に、フッ素樹脂からなるものが好ましい。
以上、好ましくは１日〜５日間熟成することが望まし
い。熟成は撹拌条件下であっても非撹拌条件下であって
もよい。この熟成によって、金属イオン不純物が濾過可
能な程度まで凝集・成長する。濾過に使用される精密フ
ィルターの平均孔径は０．２μｍ以下好ましくは０．１
μｍ以下であることが好ましい。このような精密フィル
ターを構成する材質としては、過酸化水素水に溶出する
成分が含まれていなければ特に制限されるものではない
が、フッ素樹脂、ポリエチレンやポリプロピレンなどの
ポリオレフィン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリカーボネ
ート樹脂などからなるものが使用される。このうち特
に、フッ素樹脂からなるものが好ましい。
【００５３】こうして得られた過酸化水素水は、さらに
必要に応じて、超純水を加えて過酸化水素濃度を調製し
てもよい。使用される超純水としては、不純物が高度に
除去されたものが好適に使用される。以上のような操作
によって、不純物の濃度がpptないしサブpptオーダーま
で除去された高純度精製過酸化水素水を製造することが
できる。
必要に応じて、超純水を加えて過酸化水素濃度を調製し
てもよい。使用される超純水としては、不純物が高度に
除去されたものが好適に使用される。以上のような操作
によって、不純物の濃度がpptないしサブpptオーダーま
で除去された高純度精製過酸化水素水を製造することが
できる。
【００５４】また、本発明では、公知の方法により、予
め有機不純物を高度に除去された原料過酸化水素水を用
いてもよく、また本発明による製造方法によって得られ
た高純度過酸化水素水をさらに、公知の方法を用いて、
有機不純物を除去してもよい。有機不純物を除去する公
知の方法としては、蒸留したり、限外濾過膜、逆浸透膜
等を使用する方法が挙げられる。これらの方法と本発明
の方法とを組み合わせることで、極めて不純物の少ない
精製過酸化水素水を製造することができる。
め有機不純物を高度に除去された原料過酸化水素水を用
いてもよく、また本発明による製造方法によって得られ
た高純度過酸化水素水をさらに、公知の方法を用いて、
有機不純物を除去してもよい。有機不純物を除去する公
知の方法としては、蒸留したり、限外濾過膜、逆浸透膜
等を使用する方法が挙げられる。これらの方法と本発明
の方法とを組み合わせることで、極めて不純物の少ない
精製過酸化水素水を製造することができる。
【００５５】
【発明の効果】本発明によれば、イオン交換樹脂が充填
された精製塔内にガスが滞留することがなく、イオン交
換バンドの乱れもなく、不純物イオン吸着層（イオン交
換バンド）は流速に垂直かつシャープに形成され、原料
過酸化水素水中に含まれる不純物を効果的に除去するこ
とができ、極めて高品質の精製過酸化水素水を製造する
ことができる。また、本発明の方法は、安全であり、過
酸化水素水の精製効率が高く、不純物含有量の再現性も
よく安定している。
された精製塔内にガスが滞留することがなく、イオン交
換バンドの乱れもなく、不純物イオン吸着層（イオン交
換バンド）は流速に垂直かつシャープに形成され、原料
過酸化水素水中に含まれる不純物を効果的に除去するこ
とができ、極めて高品質の精製過酸化水素水を製造する
ことができる。また、本発明の方法は、安全であり、過
酸化水素水の精製効率が高く、不純物含有量の再現性も
よく安定している。
【００５６】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明するが、本
発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものでな
い。ここで、金属イオン不純物の測定はフレームレス原
子吸光法、ＩＣＰ−ＡＥＳ法、ＩＣＰ−ＭＳ法で行なっ
た。ppm、ｐｐｂおよびｐｐｔは、重量ppm、重量ｐｐｂ
および重量ｐｐｔである。
発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものでな
い。ここで、金属イオン不純物の測定はフレームレス原
子吸光法、ＩＣＰ−ＡＥＳ法、ＩＣＰ−ＭＳ法で行なっ
た。ppm、ｐｐｂおよびｐｐｔは、重量ppm、重量ｐｐｂ
および重量ｐｐｔである。
【００５７】
【実施例１】下記表１に示される金属イオン不純物を含
有する６０．１重量％過酸化水素水に、酸性ピロリン酸
ナトリウムを、０．０７０ｇ／リットルとなるように添
加したのち、３日間放置して熟成したのち、０．１μｍ
の平均孔径のフィルターにて濾過した。添加した酸性ピ
ロリン酸ナトリウム中のＰ原子と、金属イオン不純物中
の金属原子Ａｌとの比（Ａｌ／Ｐ原子比）は、０．０３
９であった。
有する６０．１重量％過酸化水素水に、酸性ピロリン酸
ナトリウムを、０．０７０ｇ／リットルとなるように添
加したのち、３日間放置して熟成したのち、０．１μｍ
の平均孔径のフィルターにて濾過した。添加した酸性ピ
ロリン酸ナトリウム中のＰ原子と、金属イオン不純物中
の金属原子Ａｌとの比（Ａｌ／Ｐ原子比）は、０．０３
９であった。
【００５８】こうして濾過された過酸化水素水を、図３
に示すように、Ｈ+型カチオン交換樹脂塔、熱交換器、
炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂塔、二段目のＨ+型
カチオン交換樹脂塔に、流量センサに基づいて送液ポン
プを制御し、空間速度ＳＶ＝１５Ｈr-1の一定流量とな
るように通液し、過酸化水素水の処理を行った。精製塔
への通液は下降流とし、各精製塔は水位コントロールを
して、液面がイオン交換樹脂層より下がらないようにし
た。なお、炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂塔への通
液は、熱交換器で−３℃に冷却しながら行った。
に示すように、Ｈ+型カチオン交換樹脂塔、熱交換器、
炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂塔、二段目のＨ+型
カチオン交換樹脂塔に、流量センサに基づいて送液ポン
プを制御し、空間速度ＳＶ＝１５Ｈr-1の一定流量とな
るように通液し、過酸化水素水の処理を行った。精製塔
への通液は下降流とし、各精製塔は水位コントロールを
して、液面がイオン交換樹脂層より下がらないようにし
た。なお、炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂塔への通
液は、熱交換器で−３℃に冷却しながら行った。
【００５９】また、上記イオン交換樹脂の再生は過酸化
水素水精製塔とは別のイオン交換塔（再生塔）で行っ
た。一段目および二段目のＨ+型カチオン交換樹脂とし
ては、使用済みＳＫ１Ｂを再生して使用した。再生剤と
しては１０重量％塩酸水溶液を用いた。カチオン交換樹
脂の再生は、精製とは別の再生塔にカチオン交換樹脂を
充填し、まず再生剤を含む水溶液をＳＶ＝２．２５Ｈｒ
-1、ＢＶ＝０．７５Ｌ／Ｌ-Ｒで下降流通液したのち、
再生剤通液を止め、超純水をＳＶ＝１３．２Ｈｒ-1、Ｂ
Ｖ＝０．３Ｌ／Ｌ-Ｒで上昇流通液する操作を一工程と
し、この工程を１０回繰り返した。次に超純水を、ＳＶ
＝１３．２Ｈｒ-1、ＢＶ＝３．３Ｌ／Ｌ-Ｒで下降流通
液したのち、同ＳＶ、ＢＶで上昇流通液する操作を一工
程とし、この工程を６回繰り返し超純水水洗してＨ+型
カチオン交換樹脂の再生を行った。
水素水精製塔とは別のイオン交換塔（再生塔）で行っ
た。一段目および二段目のＨ+型カチオン交換樹脂とし
ては、使用済みＳＫ１Ｂを再生して使用した。再生剤と
しては１０重量％塩酸水溶液を用いた。カチオン交換樹
脂の再生は、精製とは別の再生塔にカチオン交換樹脂を
充填し、まず再生剤を含む水溶液をＳＶ＝２．２５Ｈｒ
-1、ＢＶ＝０．７５Ｌ／Ｌ-Ｒで下降流通液したのち、
再生剤通液を止め、超純水をＳＶ＝１３．２Ｈｒ-1、Ｂ
Ｖ＝０．３Ｌ／Ｌ-Ｒで上昇流通液する操作を一工程と
し、この工程を１０回繰り返した。次に超純水を、ＳＶ
＝１３．２Ｈｒ-1、ＢＶ＝３．３Ｌ／Ｌ-Ｒで下降流通
液したのち、同ＳＶ、ＢＶで上昇流通液する操作を一工
程とし、この工程を６回繰り返し超純水水洗してＨ+型
カチオン交換樹脂の再生を行った。
【００６０】また、炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂
としては、使用済みＳＡ２０Ａを再生して使用した。ま
ず使用済みアニオン交換樹脂は、最初に水酸化ナトリウ
ムで再生した。再生剤としては５重量％水酸化ナトリウ
ム水溶液を用いた。アニオン交換樹脂の再生も精製とは
別の再生塔にアニオン交換樹脂を充填し、再生剤を含む
水溶液をＳＶ＝２．２５Ｈｒ-1、ＢＶ＝０．７５Ｌ／Ｌ
-Ｒで下降流通液したのち、再生剤通液を止め、超純水
をＳＶ＝１３．２Ｈｒ-1、ＢＶ＝０．３Ｌ／Ｌ-Ｒで上
昇流通液する操作を一工程とし、この工程を６回繰り返
した。次に超純水を、ＳＶ＝１３．２Ｈｒ-1、ＢＶ＝
３．３Ｌ／Ｌ-Ｒで下降流通液したのち、同ＳＶ、ＢＶ
で上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を５回繰
り返し超純水水洗して、まずＯＨ-型アニオン交換樹脂
を調製した。
としては、使用済みＳＡ２０Ａを再生して使用した。ま
ず使用済みアニオン交換樹脂は、最初に水酸化ナトリウ
ムで再生した。再生剤としては５重量％水酸化ナトリウ
ム水溶液を用いた。アニオン交換樹脂の再生も精製とは
別の再生塔にアニオン交換樹脂を充填し、再生剤を含む
水溶液をＳＶ＝２．２５Ｈｒ-1、ＢＶ＝０．７５Ｌ／Ｌ
-Ｒで下降流通液したのち、再生剤通液を止め、超純水
をＳＶ＝１３．２Ｈｒ-1、ＢＶ＝０．３Ｌ／Ｌ-Ｒで上
昇流通液する操作を一工程とし、この工程を６回繰り返
した。次に超純水を、ＳＶ＝１３．２Ｈｒ-1、ＢＶ＝
３．３Ｌ／Ｌ-Ｒで下降流通液したのち、同ＳＶ、ＢＶ
で上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を５回繰
り返し超純水水洗して、まずＯＨ-型アニオン交換樹脂
を調製した。
【００６１】次に、このＯＨ-型アニオン交換樹脂を炭
酸水素ナトリウムで再生した。再生剤としては８重量％
炭酸水素ナトリウム水溶液を用いた。炭酸水素ナトリウ
ムで再生する際にも、精製とは別の再生塔にアニオン交
換樹脂を充填し、再生剤を含む水溶液をＳＶ＝２．２５
Ｈｒ-1、ＢＶ＝０．７５Ｌ／Ｌ-Ｒで下降流通液したの
ち、再生剤通液を止め、超純水をＳＶ＝１３．２Ｈ
ｒ-1、ＢＶ＝０．３Ｌ／Ｌ-Ｒで上昇流通液する操作を
一工程とし、この工程を１２回繰り返した。次に超純水
をＳＶ＝１３．２Ｈｒ-1、ＢＶ＝３．３Ｌ／Ｌ-Ｒで下
降流通液したのち、同ＳＶ、ＢＶで上昇流通液する操作
を一工程とし、この工程を６回繰り返し超純水水洗して
ＨＣＯ3 -型アニオン交換樹脂を調製した。
酸水素ナトリウムで再生した。再生剤としては８重量％
炭酸水素ナトリウム水溶液を用いた。炭酸水素ナトリウ
ムで再生する際にも、精製とは別の再生塔にアニオン交
換樹脂を充填し、再生剤を含む水溶液をＳＶ＝２．２５
Ｈｒ-1、ＢＶ＝０．７５Ｌ／Ｌ-Ｒで下降流通液したの
ち、再生剤通液を止め、超純水をＳＶ＝１３．２Ｈ
ｒ-1、ＢＶ＝０．３Ｌ／Ｌ-Ｒで上昇流通液する操作を
一工程とし、この工程を１２回繰り返した。次に超純水
をＳＶ＝１３．２Ｈｒ-1、ＢＶ＝３．３Ｌ／Ｌ-Ｒで下
降流通液したのち、同ＳＶ、ＢＶで上昇流通液する操作
を一工程とし、この工程を６回繰り返し超純水水洗して
ＨＣＯ3 -型アニオン交換樹脂を調製した。
【００６２】こうして再生された各々のイオン交換樹脂
は、スラリー状で各々の精製カラムに充填して使用し
た。過酸化水素水を各イオン交換樹脂カラムに通液した
後、最終のＨ+カチオン交換樹脂カラムから排出された
精製過酸化水素水を、不純物が高度に除去された超純水
で希釈して、過酸化水素濃度を３１重量％に調整した。
は、スラリー状で各々の精製カラムに充填して使用し
た。過酸化水素水を各イオン交換樹脂カラムに通液した
後、最終のＨ+カチオン交換樹脂カラムから排出された
精製過酸化水素水を、不純物が高度に除去された超純水
で希釈して、過酸化水素濃度を３１重量％に調整した。
【００６３】得られた精製過酸化水素水中の金属イオン
不純物濃度をフレームレス原子吸光法、ＩＣＰ−ＭＳ法
により測定した。また、原料過酸化水素水中の金属イオ
ン不純物はフレームレス原子吸光法、ＩＣＰ−ＡＥＳ法
により測定した。その結果を表２に示す。この不純物除
去レベルは、イオン交換樹脂のライフが終了するＢＶ＝
５００Ｌ／Ｌ-Ｒまで連続運転しても変動することがな
かった。
不純物濃度をフレームレス原子吸光法、ＩＣＰ−ＭＳ法
により測定した。また、原料過酸化水素水中の金属イオ
ン不純物はフレームレス原子吸光法、ＩＣＰ−ＡＥＳ法
により測定した。その結果を表２に示す。この不純物除
去レベルは、イオン交換樹脂のライフが終了するＢＶ＝
５００Ｌ／Ｌ-Ｒまで連続運転しても変動することがな
かった。
【００６４】
【表１】
【００６５】
【表２】
【００６６】
【比較例１】実施例１において、図４に示すように、送
液ポンプの出口にバイパスを設け、バイパスのバルブで
送液を調整し、初期に空間速度ＳＶ＝１５Ｈr-1を設定
したのち、流量は制御しない、かつ各精製塔の水位コン
トロールをしない以外は、実施例１と同様の方法で、過
酸化水素水の処理を行った。
液ポンプの出口にバイパスを設け、バイパスのバルブで
送液を調整し、初期に空間速度ＳＶ＝１５Ｈr-1を設定
したのち、流量は制御しない、かつ各精製塔の水位コン
トロールをしない以外は、実施例１と同様の方法で、過
酸化水素水の処理を行った。
【００６７】その結果、徐々に炭酸水素イオン型アニオ
ン交換樹脂に気泡がからみ始め、流量が低下し、また液
面上昇および圧力増加が始まった。この気泡の成長によ
って、短絡路が発生し、イオン交換バンドが乱れ、ＢＶ
＝７５Ｌ／Ｌ-Ｒ経過後、ＳＶは５Hr-1以下まで低下
し、さらにはAl、Naなどのリークが始まり、当該８時間
経過後の過酸化水素水の濃度を３１重量％に調整したと
きのAl不純物は60pptであり、Na不純物は50pptであっ
た。
ン交換樹脂に気泡がからみ始め、流量が低下し、また液
面上昇および圧力増加が始まった。この気泡の成長によ
って、短絡路が発生し、イオン交換バンドが乱れ、ＢＶ
＝７５Ｌ／Ｌ-Ｒ経過後、ＳＶは５Hr-1以下まで低下
し、さらにはAl、Naなどのリークが始まり、当該８時間
経過後の過酸化水素水の濃度を３１重量％に調整したと
きのAl不純物は60pptであり、Na不純物は50pptであっ
た。
【図１】 図１は、本発明に係る精製過酸化水素水の製
造方法の製造フローを示す概略図である。
造方法の製造フローを示す概略図である。
【図２】 図２は、本発明に係る精製過酸化水素水の製
造方法において、精製塔で使用されるストレーナーのフ
ランジの概略図を示す。
造方法において、精製塔で使用されるストレーナーのフ
ランジの概略図を示す。
【図３】 図３は、実施例１で行った精製過酸化水素水
の製造方法の製造フローを示す概略図である。
の製造方法の製造フローを示す概略図である。
【図４】 図４は、比較例１で行った精製過酸化水素水
の製造方法の製造フローを示す概略図である。
の製造方法の製造フローを示す概略図である。
１１、１３……ライン １２……精製塔 １４……送液ポンプ １５……インバータ １６……流量センサ １７……圧力センサ １８……温度センサ １９……水位センサ ２０……エアー抜きバルブ ３０……フランジ ３２……液抜き口 ３４……開口溝 ３６……連通開口溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｊ 39/04 Ｂ０１Ｊ 45/00 Ｈ 41/04 47/14 45/00 Ｂ０１Ｄ 23/02 Ａ 47/14 35/02 Ａ (72)発明者 鈴 木 俊 美 宮城県仙台市青葉区芋沢字大竹新田10番地 ２号 三徳化学工業株式会社内 (72)発明者 野 口 睦 郎 宮城県仙台市青葉区芋沢字大竹新田10番地 ２号 三徳化学工業株式会社内 (72)発明者 小 林 知 章 宮城県仙台市青葉区芋沢字大竹新田10番地 ２号 三徳化学工業株式会社内 Ｆターム(参考） 4D017 AA01 BA03 BA12 BA13 CA13 CA17 CB01 DA01 DB10 EA01 EB02 4D041 AA02 AB07 AB22 BA09 CB00 CC00 CC03 4D064 AA01 BA25
Claims (18)
- 【請求項１】不純物を含む原料過酸化水素水を、イオン
交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精
製塔を使用して精製する方法において、 精製塔に供給される原料過酸化水素水の流量を感知する
流量センサに基づいて、原料過酸化水素水の供給ポンプ
の出力をコントロールすることにより、原料過酸化水素
水の流量を一定に保ちながら、原料過酸化水素水とイオ
ン交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂との接触を行
い、過酸化水素水を精製することを特徴とする精製過酸
化水素水の製造方法。 - 【請求項２】原料過酸化水素水の供給ポンプの出力コン
トロールをインバータ制御によって行うことを特徴とす
る請求項１に記載の精製過酸化水素水の製造方法。 - 【請求項３】原料過酸化水素水の流量が、５〜４０Hr-1
の空間速度であることを特徴とする請求項１または２に
記載の精製過酸化水素水の製造方法。 - 【請求項４】原料過酸化水素水の流量の変動範囲が、±
２．５％以内に制御されていることを特徴とする請求項
１〜３のいずれかに記載の精製過酸化水素水の製造方
法。 - 【請求項５】過酸化水素水との接液部はフッ素樹脂から
構成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに
記載の精製過酸化水素水の製造方法。 - 【請求項６】不純物を含む原料過酸化水素水を、イオン
交換樹脂、キレート樹脂または吸着樹脂が充填された精
製塔を使用して、イオン交換樹脂、キレート樹脂または
吸着樹脂との接触を行い、過酸化水素水を精製する精製
過酸化水素水の製造装置であって、 前記精製塔に原料過酸化水素水を供給する供給ポンプ
と、 前記供給ポンプを介して、精製塔に供給される原料過酸
化水素水の流量を感知する流量センサと、 前記流量センサの検知結果に基づいて、原料過酸化水素
水の供給ポンプの出力を、精製塔に供給される原料過酸
化水素水の流量を一定に保つように制御するように構成
された流量制御装置とを備えることを特徴とする精製過
酸化水素水の製造装置。 - 【請求項７】前記流量制御装置が、原料過酸化水素水の
供給ポンプの出力コントロールをインバータ制御によっ
て行うインバータ制御装置であることを特徴とする請求
項６に記載の精製過酸化水素水の製造装置 - 【請求項８】前記流量制御装置が、精製塔に供給される
原料過酸化水素水の流量が、５〜４０Hr-1の空間速度で
あるように制御されるように構成されていることを特徴
とする請求項６または７に記載の精製過酸化水素水の製
造装置。 - 【請求項９】前記流量制御装置が、精製塔に供給される
原料過酸化水素水の流量の変動範囲が、±２．５％以内
に制御されるように構成されていることを特徴とする請
求項６から８のいずれかに記載の精製過酸化水素水の製
造装置。 - 【請求項１０】過酸化水素水との接液部が、フッ素樹脂
から構成されることを特徴とする請求項６から９のいず
れかに記載の精製過酸化水素水の製造装置。 - 【請求項１１】前記精製塔内の水位を検知する水位セン
サと、前記水位センサの検知結果に基づいて、精製塔内
の水位を一定に保持する水位制御装置とを備えることを
特徴とする請求項６から１０のいずれかに記載の精製過
酸化水素水の製造装置。 - 【請求項１２】前記精製塔内の圧力を検知する圧力セン
サと、前記圧力センサの検知結果に基づいて、精製塔内
の圧力を一定に保持する圧力制御装置とを備えることを
特徴とする請求項６から１１のいずれかに記載の精製過
酸化水素水の製造装置。 - 【請求項１３】前記圧力制御装置が、前記圧力センサの
検知結果に基づいて、前記供給ポンプを停止するととも
に、精製塔内に冷却水を供給するように制御されるよう
に構成されていることを特徴とする請求項１２に記載の
精製過酸化水素水の製造装置。 - 【請求項１４】前記精製塔内の温度を検知する温度セン
サと、前記温度センサの検知結果に基づいて、精製塔内
の温度を一定に保持する温度制御装置とを備えることを
特徴とする請求項６から１３のいずれかに記載の精製過
酸化水素水の製造装置。 - 【請求項１５】前記温度制御装置が、前記温度センサの
検知結果に基づいて、前記供給ポンプを停止するととも
に、精製塔内に冷却水を供給するように制御されるよう
に構成されていることを特徴とする請求項１４に記載の
精製過酸化水素水の製造装置。 - 【請求項１６】前記精製塔の下部には、フィルターと、
フィルターの下方に配置されたフランジ部材とを備えた
ストレーナーが設けられており、前記フランジ部材に
は、フランジの中心に形成された液抜き口と連通するよ
うに、略同心円状に配設された開口溝部を備えることを
特徴とする請求項６から１５のいずれかに記載の精製過
酸化水素水の製造装置。 - 【請求項１７】前記精製塔が、複数個直列に接続配置さ
れていることを特徴とする請求項６から１６のいずれか
に記載の精製過酸化水素水の製造装置。 - 【請求項１８】前記複数個直列に配置した精製塔のう
ち、最初の精製塔への供給路に、前記流量センサと流量
制御装置とが配置されていることを特徴とする請求項６
から１７のいずれかに記載の精製過酸化水素水の製造装
置。
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| DE60142502T DE60142502D1 (de) | 2000-06-21 | 2001-05-14 | Verfahren zur Herstellung einer gereinigten wässrigen Wasserstoffperoxidlösung |
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008105130A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Ajinomoto Co., Inc. | イオン交換樹脂塔の液面制御方法、その液面制御システム及び界面レベルセンサ |
| JP2012121784A (ja) * | 2010-12-08 | 2012-06-28 | Shanghai Huayi Microelectric Material Co Ltd | 過酸化水素水溶液精製方法及び装置 |
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| FR2836142A1 (fr) * | 2002-02-15 | 2003-08-22 | Rhodia Chimie Sa | Procede de preparation d'une composition liquide d'un compose diphenolique de haute purete et composition obtenue |
| US7722847B2 (en) | 2002-09-30 | 2010-05-25 | Evonik Degussa Gmbh | Aqueous hydrogen peroxide solutions and method of making same |
| EP1403219A1 (en) * | 2002-09-30 | 2004-03-31 | Degussa AG | Novel aqueous hydrogen peroxide solutions |
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| EP1520839A1 (en) * | 2003-10-02 | 2005-04-06 | SOLVAY (Société Anonyme) | Process for the purification of aqueous peroxygen solutions, solutions obtainable thereby and their use |
| ITMI20032553A1 (it) * | 2003-12-22 | 2005-06-23 | Polimeri Europa Spa | Procedimento per la rimozione degli acidi inorganici e delle impurezze metalliche presenti in soluzioni essenzialmente alcoliche di h202 proveniente da sintesi iretta |
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| US7122166B2 (en) * | 2004-05-11 | 2006-10-17 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Concentration of hydrogen peroxide |
| US7223303B2 (en) * | 2004-08-26 | 2007-05-29 | Mitsubishi Materials Corporation | Silicon cleaning method for semiconductor materials and polycrystalline silicon chunk |
| US7604719B2 (en) * | 2006-05-25 | 2009-10-20 | Uop Llc | In situ generation of hydrogen peroxide |
| US8075857B2 (en) | 2006-10-18 | 2011-12-13 | Ecolab Usa Inc. | Apparatus and method for making a peroxycarboxylic acid |
| US7547421B2 (en) * | 2006-10-18 | 2009-06-16 | Ecolab Inc. | Apparatus and method for making a peroxycarboxylic acid |
| KR100713249B1 (ko) * | 2007-01-31 | 2007-05-02 | 소광민 | 과산화수소의 정제장치 및 정제방법 |
| US8802609B2 (en) | 2007-10-29 | 2014-08-12 | Ekc Technology Inc | Nitrile and amidoxime compounds and methods of preparation for semiconductor processing |
| WO2009058288A1 (en) * | 2007-10-29 | 2009-05-07 | Ekc Technology, Inc. | Amidoxime compounds as chelating agents in semiconductor processes |
| TW200940706A (en) | 2007-10-29 | 2009-10-01 | Ekc Technology Inc | Methods of cleaning semiconductor devices at the back end of line using amidoxime compositions |
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| CN101817511B (zh) * | 2010-04-02 | 2012-01-11 | 赫格雷(大连)制药有限公司 | 一种低碳环保型超净高纯h2o2的生产装置 |
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|---|---|---|---|---|
| DE1024925B (de) * | 1955-08-01 | 1958-02-27 | Berkefeld Filter Ges | Verfahren und Vorrichtungen zur Vermeidung des Ionenruecktausches beim Betrieb von Ionenaustauschanlagen |
| US3595385A (en) * | 1969-06-02 | 1971-07-27 | Union Tank Car Co | Method and apparatus for controlling levels in an ion exchange resin separator |
| GB8609285D0 (en) | 1986-04-16 | 1986-05-21 | Ici Plc | Liquid flow analysis |
| US4999179A (en) * | 1988-12-26 | 1991-03-12 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Method for purifying impure aqueous hydrogen peroxide solution |
| JPH03107477A (ja) | 1989-09-22 | 1991-05-07 | Kawasaki Steel Corp | 半導体材料の湿式処理方法および装置 |
| GB9022003D0 (en) * | 1990-10-10 | 1990-11-21 | Interox Chemicals Ltd | Purification of hydrogen peroxide |
| US5614165A (en) * | 1993-05-28 | 1997-03-25 | Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc. | Process for purification of hydrogen peroxide |
| JP2976776B2 (ja) * | 1993-10-12 | 1999-11-10 | 住友化学工業株式会社 | 過酸化水素水の精製方法 |
| JP3636231B2 (ja) * | 1995-09-18 | 2005-04-06 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 過酸化水素水溶液の精製方法 |
| JP3797390B2 (ja) * | 1995-11-15 | 2006-07-19 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 精製過酸化水素の製造方法 |
| JP3715371B2 (ja) | 1996-04-08 | 2005-11-09 | 三菱化学株式会社 | 過酸化水素水の精製方法 |
| JPH09276811A (ja) | 1996-04-17 | 1997-10-28 | Hitachi Ltd | 洗浄方法及びその装置 |
| JPH10236804A (ja) * | 1996-12-05 | 1998-09-08 | Startec Ventures Inc | 超高純度過酸化水素の現場製造システムおよび方法 |
| JP3531403B2 (ja) * | 1997-03-17 | 2004-05-31 | 住友化学工業株式会社 | 過酸化水素水の精製方法 |
| SG64480A1 (en) * | 1997-03-27 | 1999-04-27 | Mitsubishi Gas Chemical Co | Method for preparing high-purity aqueous hydrogen peroxide |
| FR2763932B1 (fr) * | 1997-05-27 | 1999-07-30 | Chemoxal Sa | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde par echange ionique dans des lits a rapports h/d definis |
| FR2763930B1 (fr) * | 1997-05-27 | 1999-07-30 | Chemoxal Sa | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique sequence : anionique- cationique-anionique-cationique |
| FR2763931B1 (fr) * | 1997-05-27 | 1999-07-30 | Chemoxal Sa | Procede de preparation d'une solution ultrapure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique avec recyclage |
| FR2763929B1 (fr) * | 1997-05-27 | 1999-07-30 | Chemoxal Sa | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique en presence d'ions acetate |
| FR2784670B1 (fr) * | 1998-10-16 | 2001-01-19 | Air Liquide | Procede de purification aqueuse de peroxyde d'hydrogene contenant des impuretes |
| FR2800366B1 (fr) * | 1999-10-27 | 2002-05-24 | Air Liquide | Procede de purification de solutions aqueuses de peroxyde d'hydrogene |
-
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2004
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Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008105130A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Ajinomoto Co., Inc. | イオン交換樹脂塔の液面制御方法、その液面制御システム及び界面レベルセンサ |
| JP5370926B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2013-12-18 | 味の素株式会社 | イオン交換樹脂塔の液面制御方法、その液面制御システム及び界面レベルセンサ |
| KR101370211B1 (ko) | 2007-02-28 | 2014-03-05 | 아지노모토 가부시키가이샤 | 이온 교환 수지탑의 액면 제어 방법, 그의 액면 제어 시스템 및 계면 레벨 센서 |
| JP2012121784A (ja) * | 2010-12-08 | 2012-06-28 | Shanghai Huayi Microelectric Material Co Ltd | 過酸化水素水溶液精製方法及び装置 |
| KR20140033981A (ko) * | 2012-09-11 | 2014-03-19 | 한국전력공사 | 이산화탄소 포집 장치 및 그 동작 방법 |
| KR101956924B1 (ko) * | 2012-09-11 | 2019-06-19 | 한국전력공사 | 이산화탄소 포집 장치 및 그 동작 방법 |
| CN103394226A (zh) * | 2013-08-01 | 2013-11-20 | 上海赛迩福电力技术有限公司 | 亚临界机组电厂的凝结水前置过滤净化装置 |
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