TW526168B - Process for producing purified aqueous hydrogen peroxide solution and apparatus - Google Patents

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[發明所屬之技術領域] 526l68 五、發明說明（i ) 本發明係有關一種製造純化過氧化氫水、、交& ，奋/夜之方法及 再裝置。特別，本發明係有關一種製造高純度過氧化氡 溶液之方法，藉此方法雜質可以高度再現性由進料（粗 過氧化氫水溶液去除，及其裝置。 [先前技術] 過氧化氫水溶液廣用於多種領域，例如μ么& j /不曰紙及紙漿 以及用做為化學研磨流體的一種主成份。近年來過氧化 氫水溶液用於電子產業逐漸增加，例如用做為矽晶=== 潔劑以及用做為半導體製程的清潔劑。如此，要求經由2 過氧化氫水溶液之多種雜質含量減至最低而獲得純2品質 提升之過氧化氫水溶液。 又口口貝 通兩，今日過氧化氫全部地係藉蒽醒方法製造。草醒 方法中，首先麵衍生物如2•職於水不溶性溶劑 於氫幻崔化劑存在下催化成為蒽氫醒。隨後去除催化劑， 以空氣氧化反應產物。如此，不僅再生原來2_院基葱醒， *同時也產生過氧化氫。產生的過氧化氫係以水由氧化產物 萃取因而獲付3過氧化氫之水溶液。此種方法通稱葱酉昆自 動氧化法。藉蒽醒自動氧化法製造的過氧化氮水溶液含有 例如來自於組成裝置材料的無機離子/化合物雜質，例如 、鐵絡鈉及石夕。因此’過氧化氫水溶液接受純化操 作以去除此等雜質，田 拍 、口而根據特定用途要求的品質達成高 純度。 ，特別於電子產業，要皮r 知 本紙張尺度適用中國國家標準溶液具有極高純 312596 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁)

--------訂---------線I 1 526168 A7 五、發明說明（ 度。於過氧化氫水溶液，要求有機雜質含 剛’金屬離子雜質含量不高於lppb。為 ^^ 水溶液去除雜質，通當 、虱化氣 貝通吊已知採用離子交換樹脂、 :及連續通過液體方法(塔方法)確保高操作效率 以及兩去除效率。 双手 種自！=純化過氧化氯水溶液涉及過氧化氯自溶(此 岭貝為過氧化氫的特殊性質）形成氣泡，以及 脂環境因而降低純化效率，換言之，雜質去 效率的問題。 做為解決此項問題的手段，例如日本特許公開案第 9(1997)-775〇4號揭示一種方法其中離子交換樹脂塔上 核加壓而提高由過氧化氫自溶形成的氣泡的溶解度，因 而由提純塔消除氣泡。 但，日本特許公開案第9(1997)-77504號揭示之方法 的缺點在於純化後過氧化氫水溶液之金屬離子雜質含量有 1 ppb ’此種濃度不達滿意程度，且品質的再現性不良。 此外，當操作時間延長時，可能發生氣泡積聚於離子交換 樹脂塔’結果離子交換樹脂與過氧化氫水溶液間的接觸面 積增加，或料交換樹脂之完全吸附帶（雜質離子完成吸 附部伤）或父換帶（離子交換正在進行部份）脫序。結果， 妨礙雜質滿意去除，以及進一步阻礙過氧化氫水溶液的通 過’因而造成離子交換樹脂塔内部加壓及溫度升高等問 題。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " 312596 -------------#·丨丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 526168

五、發明說明（ 有鑑於此，發明人徹底密集進行研究意圖解決前述問 題。結果’發現當過氧化氫水溶液係藉下述方式純化時， 亦即經由控制進給幫浦對進料過氧化氫水溶液的輸出並配 合流量感測器其可感測進給提純塔之進料過氧化氫水溶液 流速，二者協力合作因而讓進料過氧化氫水溶液與離子交 換樹脂接觸同時維持進料過氧化氫水溶液流速於恆定速率 時，過氧化氫水溶液的雜質可被去除至ppt等級(每1〇12 份的份數）。也發現此種純化方法中，不僅雜質去除程度 的再現性極高，同時也可避免純化過程的加壓及溫度升 鬲，因而實現過氧化氫水溶液的安全純化。基於此等發現 而完成本發明。 根據本發明當過氧化氫水溶液係經由將過氧化氫水溶 液與離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹脂接觸同時維持進 給提純塔之過氧化氫水溶液以恆定速率流動而純化時，可 抑制氣泡沾黏至可提純塔内部的離子交換樹脂等。進一 步，此種純化方法中，不僅可避免氣泡殘留於提純塔，同 犄也可抑制完全吸附帶或離子交換帶的脫序。更進一步， 於此種純化方法中，過氧化氫水溶液容易通過提純塔。故 過氧化氫水溶液之純化效率高。 [發明目的] 本發明之目的係提供一種製造純化過氧化氫水溶液之 方法，該方法在純化過程中免於離子交換帶的脫序，不會 有乳泡殘留於提純塔’以及不會造成提純塔内部加壓或溫 多升1¾ ’因而可讓過氧化氫水溶液於離子交換樹脂等安全 &又I用〒國國豕標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱） 312596 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 訂---------線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 526168 五、發明說明（4 有效地接觸。本發明之另一 化氫水溶液之裝置，”入’、一種製造純化過氧 [發明概要] 击。 根據本發明之一特徵方面製造純化 方法包含將八雜併 之乳化虱水溶液之 貝之進料過氧化氫水溶液通過填充以離早 氧化樹脂之提純塔因而純化進料過 使進4中設置具有指定輸出的進給幫浦其可致 减二水溶液流至提純塔，以及進-步設置流量 :心/、可感測被進給提純塔之進料過氧化氫水溶液流 、，以及其中進給幫浦之輸出係與流量感测器配合控制， 而讓進料過氧化氫水溶液與離子交換樹脂、螯合樹脂或 吸附樹脂接觸’同時維持進料過氧化氫水溶液於怪定流 、、匕種方法中，較佳進料過氧化氫水;容液之進給幫浦輸 出係藉反相器控制。 、根據本發明之另一特徵方面，製造純化過氧化氫水溶 液之裝置包含至少—座提純塔’其填充以離子交換樹脂、 螯T树脂或吸附樹脂，含雜質的進料過氧化氫水溶液通過 該提純i合因而進行與離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹脂 的接觸，因而純化進料過氧化氫水溶液， 該裝置進一步包括： 一部具有指定輸出之進給幫浦，其可促使進料過氧化 氫水溶液流至提純塔， 一部流量感測器，其可感測藉進給幫浦進給提純塔之 氫水溶液之流速，以及 312596 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) -------訂---------線ί 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 4 A7

526168 五、發明說明（ 4 Μ里控制單元’其可基於流量感測器偵測結果控 制進給幫浦的輪出，因而維持進給提純塔之進料過氧化氫 水〉谷液之流速於怪定速率。 长當進灯控制俾如前述以恆定速率維持過氧化氫水溶液 /耽里％，可避免氣體殘留於填充以離子交換樹脂之提純 °進步可避免離子交換帶的脫序，以及可垂直於流速 鮮明形成雜質離子吸附層（離子交換帶）。如此可避免純化 效率的降低。 進給提純塔之過氧化氫水溶液流速以空間速率表示較 佺為5至40小時-1。過氧化氫水溶液流速較佳控制成其 變異率係於土2.5%以内。 根據本發明製造純化過氧化氫水溶液方法中，較佳任 何接觸過氧化氫水溶液的部份皆係由含氟樹脂製成。 [圖式之簡單說明] 第1圖為示意圖顯示根據本發明之純化過氧化氫水溶 液製法之操作流程，· 第2圖為凸緣示意圖，凸緣係做為架設於根據本發明 之純化過氧化氫水溶液製法的提純塔用做為過濾器的一個 組件； 弟3圖為示意圖顯示實例1施行之純化過氧化氫水溶 液製法之操作流程；以及 第4圖為示意圖顯示比較例1施行之純化過氧化氯水 >谷液製法之操作流程。 [發明之詳細說明1 本紙張尺度適用中國國家鮮（CNS)A4規格（21G X 297公t -- 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 526168

五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據本發明之純化過氧化氫水溶液之製法細節說明如 後。此處，％、ppm、ppb及ppt皆係以重量為基準。 本發明中，根據本發明之一特徵方面製造純化過氧化 氫水溶液之方法包括將含雜質之進料過氧化氫水溶液通過 填充以離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹脂之提純塔因而 純化進料過氧化氫水溶液，其中設置具有指定輸出的進給 幫浦其可促使進料過氧化氫水溶液流至提純塔，以及進一 步设置流S感測器其可感測被進給提純塔之進料過氧化氮 水溶液流速，以及其中進給幫浦之輸出係與流量感測器配 合控制，因而讓進料過氧化氫水溶液與離子交換樹脂、螯 合樹脂或吸附樹脂接觸，同時維持進料過氧化氫水溶液於 恆定速率流動。 將參照第1圖流程圖說明本發明。帛i圖為流程圖顯 示一種根據本發明製造純化過氧化氫水溶液之方法之模 式。第1圖中，編號11，13表示管線；編號12為提純塔； 編號14為液體進給幫浦；編號15為反相器；編號“為 流Ϊ感測器；編號1 7為壓力感測器；編號丨8為溫度减测 ’以及編號19為液面感測器。 、 進料過氧化氫水溶液利用液體進給幫浦14經由管線 11進給提純塔12。過氧化氫水溶液接觸提純塔〖2之離子 交換樹脂，由提純塔12汲取出，通過管線13進入曰 ，、匕提 純塔用以與離子交換樹脂接觸。如此純化後的過氧化氣7 溶液收集於槽，接受濃度調整以及產品查驗、 ~ 萄檟、包裝 及運輸。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .#________訂丨——線*. 6 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7 526168 五、發明說明（7 ) 至於本發明使用的進紅 為藉已知方法製造的冰 〇 虱7 /谷液，值得一提者 吉…例如蒽醌自動氧化方法以及气 直接與軋反應的直接合成法。 及虱 進料過氧化氫水溶液通常含有 份份數(_至每百萬份數+々、、千雜貝約母十億 氧化氫水溶液所含雜質於進枓過 仟棱之金屬離子雜質例如

Ag Al、As、Au、B、Rpi、口 η· β Ba、Be、Bl、Ca、Cd、Co、Cr、

Fe、Ga、Ge、ln、K、T ,· A/r w K Li、Mg、Mo、Na、Nb、Ni、Ph、 =曰步'有乳切雜質及有機雜質。此等雜質係歸因於藉 恩酉比法製造過氧化氫水溶液時使用的催化劑殘餘物、茵^ 分解產物、過氧化氫水溶液製造時使用的溶劑、過氧化氫b 水岭液製造（例如萃取、蒸餾及稀釋）時使用的水、空氣^ 的飄塵以及製造裝置材料。 ” 才，如刚述本發明中，進料過氧化氫水溶液利用液體進給 幫浦14經由管線11進給提純塔12。管線U配備有流量 感測器16。來自流量感測器16的信號由反相器15感測。 反相器1 5控制液體進料幫浦丨4的輸出，因而維持過氧化 氫水溶液流速於恆速。 流量感測器16可適當選自渦旋型、攪打型、電磁型、 超音波型等。全部此等流量感測器測量流速及流動量並回 饋信號至反相器用以控制液體進給幫浦的輸出。流量感树 器中以渦旋型及攪打型為佳。 -1發明中’進行控制讓過氧化氩水溶液進給提純熔沾 本紙張尺度適用中國國冢標準（CNS)A4規格（21G x 297公爱） ' ^ 312596 --------^---------. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 526168 員 五、發明說明（8 ) ^速維持於恒速。如此避免所形成之氣泡沾黏於例如離子 父換樹脂以及結果可避免氣泡殘留於提純塔。結果，也可 長時間避免過氧化氫水溶液接觸離子交換樹脂等之接觸面積縮小以及前述完全吸附帶或交換帶的脫序。因此，可長 時間維持高度雜質去除效率。 x 本發明中，過氧化氫水溶液通過提純塔12的空間速 度（SV)較佳係於5至40小時-i，又更佳 範圍。較佳執行控制讓過氧化氫水溶液之流速變化落入 ±2.5。/。之範圍。此種流量控制可高度有效驅逐及去除氣泡 而不讓氣泡殘留於提純塔。 / 導入提純塔12之過氧化氫水溶液通過設置提純塔内 側的中心噴嘴(圖中未顯示），讓過氧化氫水溶液均句向下 流。離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹脂較佳填充於提純 塔而占有提純塔内部容積之40至8〇%，又更佳45至75%。 參照第1圖，提純塔12通常安裝有液面感測器19二 置於特定垂直距離，俾維持液面以防離子交換樹脂等乾 涸。至於液面感測器，可使用光伏打型以及靜電容量型。 其中以靜電容量型液面感測器為佳。液面感測器19感測 液體的存在做為信冑。當液面低於液面感測器的下限時， 換言之’當液面係藉下方液面感測器19偵測時，提存塔 12之内壓過度升高，因而操動一個分開之液面控制單元(圖 中未顯示）。如此設置於提純塔頂的洩放閥2〇開啟，而設 置於提純塔底的閥關閉，因而經由洩放閥2〇降低提純塔 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) ·# --------訂---------線一 内部壓力。結/丨、队叫ρ 1义& φ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 果，液面回復正常 312596 8 526168 A7 ------ B7 五、發明說明（9 ) 他方面，當感測液面係於液面感測器上限感測時，換 吕之’液面係由上方液面感測器19偵測時，提純塔12内 部壓力過度降低，故操動分開的液面控制單元（圖中未顯 不）°如此，設置於提純塔頂的洩放閥2〇關閉，而設置於 提純塔底的閥門開啟。結果，液面回復正常。 本發明中，較佳液體進給管路以及提純塔内壁係由含 氣樹脂製成。換言之，較佳接觸過氧化氫水溶液之部份係 由含氟樹脂製成。當此等液體接觸部份係由含氟樹脂製成 時，可防止混合入來自組件的雜質。於先前技藝，硬玻璃、 石英、乙烯基氣樹脂、丙烯酸系樹脂、FRP以及具有由胺 基甲酸乙酯製成的襯墊之鋼等常用做為純化裝置材料，發 現雜質係由材料滲渡入過氧化氫水溶液中。 藉含氟樹脂建構液體接觸部件之使用方法包括例如由 含氟樹脂製造組件本身或以含氟樹脂襯裡或塗布不鏽鋼 至於含氟樹脂，通常為聚四氟乙烯樹脂（PTFE)以及四 氟乙細/全氟烧基乙細基_共聚物樹脂（PFA)，由於不會有 金屬滲濾以及由於安定而不會於過氧化氫中劣化，故可適 當加以選用。近年來，隨著加工技術的進展，做為基材的 不鏽鋼可以此種含氟樹脂來襯裡或塗布。現在，製造大型 襯裡（塗布）容器，以及大尺寸襯裡（塗布）塔、設備、管路 等，即使於超大氣壓或減壓條件下應用也毫無問題。至於 其它可利用的含氟樹脂，值得一提者有例如四氟乙稀/六 氟丙卸共聚物樹脂（FEP)，聚二氟氯乙稀樹月旨(PCTFE)以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 9 526168

及四氟乙烯/乙烯共聚物（ETFE)。 特別，當提純塔12内壁係由含氟樹脂製成時，位於 内壁面附近的過氧化氫水溶液由於含氟樹脂拒水性而被強 迫朝向中心移動。如此，可避免過氧化氫水溶液於内壁面 的短通路（捷徑）（過氧化氫水溶液沿内壁面的短通路），^亦 即，防止過氧化氫水溶液通過而未接解離子交換樹脂等。 結果，可有效達成雜質的去除。 依據離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹脂類別決定， 提純塔12上游可設置熱交換器以進行冷卻。較佳熱交換 器係由含氟樹脂組成。 k純塔12較佳可對抗約〇 3百萬帕/平方厘米壓力。 提純塔12安裝有壓力感測器17，洩放以及其它操作視需 要進行。 可使用隔膜型壓力感測器’其中壓力變化由隔膜傳遞 至壓力接收部份，此處壓力變化被轉成信號。特別當壓力 升咼時’例如當填裝陰離子樹脂之提純塔壓力超過〇. 2百 萬帕時’過氧化氫的分解可能高。壓力感測器1 7感測得 壓力升高，操動分開的壓力控制單元（圖中未顯示）。如此， 液體進給幫浦14停止’設置於提純塔頂的泡放閥2 〇開啟。 進一步，冷卻後的超純水進給入提純塔，因而中斷製造純 化過氧化氫水溶液。 此外’提純塔12安裝溫度感測器1 8，其可感測與過 氧化氫水溶液處理關聯的任何熱量積聚俾執行適當冷卻。 可使用熱偶型或電阻泡型溫度感測器，其中電動力或電阻 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 10 526168

五、發明說明（ 11 值党溫度改變，而將其改變轉成信號。例如，當提純塔内 部溫度超過指定值時，過氧化氫水溶液開始分解。如此， 溫度感測器18感測得提純塔之任何内溫升高，操動分開 的服度控制單元（圖中未顯示）。如此，液體進給幫浦14 停止，設置於提純塔頂的洩放閥2()開啟。進一步，冷卻 後的超純水進給提純塔，因而中斷純化過氧化氫水溶液的 製造。 提純塔12底部安裝過濾器（圖中未顯示）。過濾器包 含濾網（圖中未顯示）以及於其下方設置凸緣3〇如圖2所 示0 凸緣30有個直立貫穿的液體撤出埠口 32於其中心， 以及進一步有多個實質上環形開放切槽3 4以同心圓形式 形成而與液體撤出埠口 32間具有指定間隔距離。開放切 槽34設置有連通開放切槽36於徑向方向以指定角度隔 開，切槽3 6係連通設置於凸緣3 0中心的液體撤出埠口 32 ° (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如此，通過濾網的過氧化氫水溶液導引通過開放切槽 34以及連通開放切槽36，以實質上地層流形式由液體撤 出璋口 32排放至外側。 相對於開放切槽34及連通開放切槽36，切槽間隔、 間隔角度以及切槽深度可適當改變而無特殊限制。 較佳濾網及凸緣開口的總空隙比係於50至70%，特 別55至65%之範圍。當總空隙比係於此種範圍時，過氧 化氫水溶液係以層流形式通過提純塔，結果過1化氫水溶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） 11 312596 12526168 A7 B7 五、發明說明（ 液可與離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹脂均勻接觸。前 述過濾器可從離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹脂中分離 出純化過氧化氫水溶液。 由則述，本發明中，依據用途而定，提純塔填裝離子 交換樹脂（例如陰離子交換樹脂或陽離子交換樹脂）、螯合 樹脂或吸附樹脂。又，提純塔可填裝陰離子交換樹脂及陽 離子交換樹脂組成的混合床。 至於用於本發明之陽離子交換樹脂，值得一提者有稱 做強酸性陽離子交換樹脂之H+型陽離子交換樹脂。多種 強酸性陽離子交換樹脂中，通常以包含交聯苯乙烯/二乙 烯苯共？K物其中被導入磺酸基的具有網狀分子結構強酸性 陽離子交換樹脂為佳。例如，ρΚ216、SK1B及ir_12〇b 用做為鈿述H+型強酸性陽離子交換樹脂。 Η型陽離子交換樹脂較佳經由重覆下述步驟至少二 次再生，該等步驟包含以無機酸（再生劑）水溶液之向下流 動處理陽離子交換樹脂以及隨後以超純水之向上流動洗滌 陽離子交換樹脂。本發明中，較佳再生係經由重覆再生劑 水溶液向下流動接著為超純水向上流動至少二次，特別2 至12次進行。 使用再生劑水溶液處理陽離子交換樹脂通常之進行方 式係將再生劑水溶液通過陽離子交換樹脂，排放再生劑水 溶液，以及隨後以超純水洗滌陽離子交換樹脂進行。本發 明中，較佳再生劑通過與超純水洗滌週期至少重覆二次。 一當無機酸水溶液通過接著為超純水通過重霜絲各吐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公爱） --—_ ^ 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂 ---------· 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 t 合 作 社 印 製 12 526168

、發明說明（ σ有效均勻達成再生，同時由於陽離子交換樹脂的收縮/ /各脹’故可執行陽離子交換樹脂内部洗滌。 至於無機酸’可採用任一種常用無機酸如硫酸及鹽 酸。水性再生劑溶液中之無機酸濃度較佳為5至15%重 量比，更佳為5至12%重量比。較佳再生劑用量至少為 欲處理的陽離子交換樹脂數量（容積）之至少3倍，特別4 至12倍。 再生劑通常係以SV(空間速度）1至5小時_i以及bv(床 谷積’指示每單位容積離子交換樹脂之過氧化氫水溶液處 理容積）〇·5至1升/l-R向下方方式通過。隨後的洗滌係 經由以SV 10至30小時-1以及BV 0·1至〇·5升/L_R向上 方方式通過超純水來實行。 於通過再生劑接著通過超純水後，超純水洗滌週期包 含向下通過（向下流動）超純水以及向上通過（向上流動）超 純水重覆4至9次，以完成洗滌再生後的離子交換樹脂。 車父佳超純水之向上流動係以SV 1 0至30小時以及BV 3 至5升/L-R施行，以及超純水之向下流動亦係於1〇 至30小時」以及BV 3至5升/L-R實行。相對於每容積 樹脂’較佳使用30至60容積超純水進行洗滌。 至於用於本發明之陰離子交換樹脂，值得一提者為碳 酸根離子、碳酸氫根離子、氫氧陰離子、氟陰離子及其它 離子形式。 至於此等陰離子交換樹脂通常可使用例如強驗性樹 月旨’強齡:性樹脂係經由氯甲基化交聯笨乙烯/二乙烯某1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵G x 297公髮） ' ^ 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---訂---------線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 13 526168

經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 | 社 印 製 共聚物以及使用三甲基胺或二甲基乙醇胺來胺化氯甲基化 產物成為弟四級鹽而獲得；弱驗性樹脂，包括具有第一或 第二級胺做為交換基之交聯苯乙烯/二乙烯基苯共聚物； 树月曰，包括具有第三級胺做為交換基的交聯丙浠酸聚合 物；以及吡啶型陰離子交換樹脂，包括具有未經取代或經 取代之吼啶基之聚合物。其中以具有第四級銨基之強鹼性 陰離子交換樹脂為佳。市面上可獲得多種具有第四級銨基 之陰離子交換樹脂其代表例包括戴愛恩（Diaion)(商品 名）PA系列（例如，PA3 16及PA416)以及SA系列（例如， SA10A及SA20A)以及安伯萊特（Amberlite)(商品名）ira 系列（例如 IRA-400，IRA-410，IRA-900 及 IRA-904)。此 等樹脂通常係以氣陰離子形式上市。 陰離子交換樹脂之再生劑可依據目標離子類別適當選 用。當陰離子交換樹脂係呈碳酸根離子或碳酸氫根離子形 式日可，可使用已知碳酸鹽或碳酸氫鹽如碳酸鈉、碳酸氫鈉、 碳酸鉀或碳酸氫鉀做為再生劑。當陰離子交換樹脂係呈氫 氧陰離子形式時，可使用強鹼如氫氧化鈉或氫氧化鉀做為 再生劑。進一步，當陰離子交換樹脂係呈氟陰離子形式時， 可使用氟化納或氟化鉀或氧化銨做為再生劑。 陰離子交換樹脂較佳係經由重覆下述步驟至少二次再 生，該步驟包含以再生劑向下流動處理前述陰離子交換樹 脂以及隨後以超純水向上流動洗滌陰離子交換樹脂。本發 明中’較佳再生係經由重覆包含再生劑水溶液向下流動接 ~^為超純水向上流動週期至少二次，且特別2至12次進 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵Q x 297公爱) ---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - 訂---------率 14 312596 15 15 Α7 Β7 526!68 五、發明說明（ 行。陰離子交換樹脂使用再生劑水溶液處理通常之進行方 式係將再生劑水溶液通過陰離子交換樹脂，排放至再生劑 水溶液以及隨後以超純水洗滌陰離子交換樹脂進行。本發 明中，削圭重覆再生劑通過與超純水洗務週期至少二欠： 當再生劑水溶液通過接著為超純水通過重覆施行時，不僅 可達成有效均勻再生，同時由於陰離子交換樹脂的收縮/ 溶脹’故也執行洗滌至陰離子交換樹脂内側。 水性再生劑溶液之適當鹽濃度於陰離子交換樹脂係呈 氮氧陰離子形式時2至10%重量比，較佳2至8%重量比 之範圍；當陰離子交換樹脂係呈碳酸根或碳酸氫根離子形 式時係於5至15%重量比及較佳5至12%重量比之範圍； 以及當陰離子交換樹脂係呈氟陰離子形式時係於丨至 重量比’較佳2至4%重量比之範圍。較佳再生劑水溶液 用量至少為欲處理之陰離子交換樹脂數量（容積）之3倍， 特別4至12倍。 再生劑通常係以SV(空間速度）1至5小時·ι以及BV 0.5至1升/L-R向下通過。隨後洗滌係經由超純水以 至30小時-1以及BV 〇」至〇.5升/L_R向上通過進行。 再生劑通過接著為超純水通過後，包括超純水向丁流 以及超純水向上流的超純水洗滌週期重覆4至9次因而執 行再生後離子交換樹脂的完整洗滌。較佳超純水之向上通 過係以SV 10至30小時-1以及BV 3至5升/L_R進行， 以及超純水的向下通過也以SV 10至30小時-1以及Bv 3 至5升/L-R進行。洗滌較佳係以相對於每容積樹脂λΓ>至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） ""' " 312596 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) ·# -------訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 15 16526168 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 16 五、發明說明（ 60容積超純水施行。 由樹脂的氧化劣化及安全性觀點視之，較佳陰離子交 換樹脂接觸過氧化氫水溶液係於低溫進行。特別，比過氧 化氯解離形成更大量的IT可含於在前一階段已經使用 型陽離子交換樹脂處理過的過氧化氫水溶液中，Η+可與 陰離子交換基C(V.以及HCCV誘生放熱中和反應。因^， 當過氧化氫水溶液使用陰離子交換樹脂處理時，較佳預先 進行冷卻至5°c或以下之溫度。 本發明方法中’較佳當純化進料過氧化氫水溶液時， 多個填充前述離子交換樹脂之提純塔彼此串聯連結。 例如，離子交換樹脂塔之較佳組合有： (1)陽離子交換樹脂塔4陰離子交換樹脂塔； ⑺陽離子交換樹脂“陰離子交換樹脂塔4陽離子交 換樹脂塔；以及 (3)陰離子交換樹脂塔3陽離子交換樹脂塔。 其中’以陽離子父換樹脂塔―陰離子交換樹脂塔—陽 離子交換樹脂塔的組合為特佳。特別，經由使用H +型陽 離子交換樹脂塔》氟陰離子型陰離子交換樹脂塔—碳酸根 或碳酸氫根形陰離子交換樹脂塔—H+型陽離子交換樹脂塔 的組合處理進料過氧化氫水溶液可最有效去除雜質。 。併使用夕座離子交換樹脂塔時，可滿意地設置流量 感測器’流量控制單元例如液體進給幫浦Μ可設置於進 =進^氧化氫水溶液至[提純塔的管線。但其它離子 312596 --------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 526168 A7 ---—---B7______ 五、發明說明（i7 ) - 3+含於進料過氧化氫水溶液做為雜質的小量κ+、 匕物貝可經由冑進給過氧化氫水溶液循序接觸陽 交換树爿日陰離子父換樹脂及陽離子交換樹脂予以去 除。因此，金屬離子雜質的去除可達成至極高程度⑽或 低於ppt等級）。當使用氟陰離子形式之陰離子交換樹脂 時γ氧化石夕雜質可由過氧化氫水溶液去除。由欲去除的 ^ 及A1之相對離子為碳酸根離子或碳酸氫根離子 的觀點視<，以使用 <酸根離子或碳酉蔓氫根離子形式之陰 離T交換樹脂為佳，此等離子於陽離子交換後被轉成二氧 化石反及蒸發’結果不會殘留於過氧化氫水溶液。 以整合樹脂或吸附樹脂填裝提純塔替代前述離子交換 樹月曰將可有效去除進料過氧化氫水溶液雜質，其為使用離 子交換樹脂時去除比較低的該等雜質，例如鐵離子、鋁離 子及有機雜質。 只要樹脂具有對金屬離子的螯合力，則螯合樹脂不受 任何限制，例如可為亞胺基二乙酸型樹脂、多胺型樹脂以 及膦酸型樹脂之任一者。特別以膦酸型螯合樹脂為佳。 麟酸型螯合樹脂為帶有膦酸基之官能基之螯合樹脂。 特佳使用亞胺基亞甲基膦酸型以及亞胺基二（亞甲基膦酸） 型螯合樹脂其具有一個含氮原子基，以及透過亞甲基鍵結 一個式-N(CH2P〇3H2)nH2-n其中η為1或2表示之膦酸基。 任一種膦酸型螯合樹脂雖然通常係以游離酸形式使用其膦 酸基’但也可使用呈鹽形式例如銨鹽形式之膦酸基。膦酸 型螯合樹脂於實際應用上為特佳，原因在於即使長時問用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵G χ 297公爱) "一 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------^---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 17 18526168 A7 B7 五、發明說明（ 於純化過氧化氫水溶液，其劣化程度輕微。 不具有離子父換能力之多孔樹脂用做為吸附樹脂。多 孔樹脂例如為笨乙烯/二乙烯基笨共聚物組成的樹脂且不 含離子交換基。較佳以乾樹脂為基準，多孔樹脂具有比表 面積（根據使用氮氣之BET方法測量）約為2〇〇至約9〇〇 平方米/克，及特別400至900平方米/克。進一步，較佳 孔隙為連續，以及多孔樹脂以乾樹脂為基準具有孔隙容積 (藉汞穿透試驗測量）約0·6至約1.2毫升/克，及特別〇 7 至1.1毫升/克。此等多孔樹脂例如為經由聚合苯乙稀以 及交聯所形成之聚合物與二乙烯基苯而形成網狀分子結構 所獲得的樹脂。至於此種吸附樹脂值得一提者有安伯萊特 (商品名，羅門哈斯公司製造）XAD-2以及XAD-4，以及 東芝化學公司製造的HP10、HP20、HP21、HP30、HP40、 HP50 、 SP800 及 SP900 。 至於吸附樹脂可使用齒化多孔樹脂。齒化多孔樹脂之 適當實例包括下列交聯聚合物之齒化產物：得自芳族一乙 烯系單體例如苯乙烯或乙烯基曱苯以及芳族聚乙烯基單體 例如二乙烯基苯或三乙烯基苯之交聯聚合物；得自齒化芳 族一乙烯系單體如一氯苯乙烯或一溴苯乙烯以及芳族多乙 烯系單體之交聯聚合物；以及得自画化芳族一乙烯系單 體、芳族一乙烯系單體及芳族多乙烯系單體之交聯聚合 物。此等齒化多孔樹脂中，以苯乙烯/二乙烯基笨共聚物 之鹵化產物為特佳。如此，值得一提者有溴化苯乙烯/二 &烯基苯共聚物組成的思多賓（Sepabeads)SP207(商品 紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " ' 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 18 526168 A7

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五、發明說明（ 20 合併使用螯合樹脂塔、吸附樹脂塔及離子交換樹脂塔 4，液體進給幫浦14以及流量感測器16可設置於各提純 塔上游，或僅設置於過氧化氫水溶液首先通過的該提純塔 上游。 特佳液體進給幫浦14係設置於吸附樹脂塔上游以及 離子又換樹脂塔上游。特別，使用吸附樹脂塔4H+型陽離 子交換樹脂塔氟陰離子形式陰離子交換樹脂塔—碳酸根 或碳酸氫根形式陰離子交換樹脂塔型陽離子交換樹脂 塔的組合時，較佳液體進給幫浦14係設置於過氧化氫水 各液進給吸附樹脂塔之處，以及已經使用吸附樹脂塔處理 的過氧化氫水溶液進給型陽離子交換樹脂塔之處。 本發明中’於利用提純塔進行前述純化操作前，較佳 η、、加减固劑至進料過氧化氫水溶液以及通過超細過濾器， 俾去除呈固體雜質的過氧化氫水溶液中所含之不溶性金屬 離子雜質。此種過濾較佳係於使用離子交換樹脂處理過氧 化氯水溶液前進行。使用吸附樹脂塔處理時，過濾可於該 員處理刖或該項處理後施行。但，以於使用吸附樹脂塔處 理則過濾為較佳，原因在於雜質可以極高效率被去除。 此等不溶性金屬離子雜質類似可溶性金屬離子雜質係 歸因於製造中使用的水、飄塵以及製造裝置材料。 添加凝固劑而凝固過氧化氫水溶液中之不溶性金屬離 子雜貝’故該雜質可藉過濾分離。通常使用磷化合物做為 旋口幻。至於含嶙化合物，較佳使用至少一種選自鱗酸、 納、胺_基三（亞甲基膦酸）及其鹽、伸 、用甲國國豕標準(CNS)A4規格（210 x297公餐） "~ 312596 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) #--------訂--------線！ 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 20 21 21 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 526168 五、發明說明（ 乙基二胺四（亞甲基膦酸）及其鹽組成的組群之含磷化合 物。 加入含磷化合物後，通常較佳混合物至少老化一曰， 特別老化1至5日。老化可於有或無授摔下進行。由於此 種老化，過氧化氫水溶液之不溶性金屬雜質可被絮凝且生 長至被過濾的聚集體/生長可藉過濾予以分離的程度。 用於過;慮之超細過渡器平均孔隙直捏較佳為〇 2微米 =以下，又更料（M微米或以下。組成超細過瀘器之材 貝、並無特殊限制’只要不含會㈣至過氧化氫水溶液之成 伤即可，例如選自含氣樹脂、聚稀樹脂⑽如聚乙稀或聚 =烯）、聚楓樹脂以及聚碳酸8旨樹脂。其中以含氟樹脂為 隹。 =要’超純水可添加至如此所得過氧化氫水溶液俾調整 二之過氧化氫濃度。適當超純水為雜質已經被高 的水。 由於前述純化操作結果，獲得高度純化的過氧 溶液，其雜質濃度已經降至ppt程度或其附近。 此外，本發明可使用其中有機雜質已經 度去除的進料過氧化氫水溶液。又，由葬^ 〇方法高 之高度純化之過氧化氫水溶液，可藉已二方法獲得 有機雜質。至於有機雜質之去除方法，值得一 步去除 使用超遽膜過渡以及使用逆滲透膜。組人者有蒸館、 明方法可製造雜質含量極低之純化過氧;^ ^與本發 [發明效果] 尺办液。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 31250^ tr---------線一 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 21 526168

、發明說明（ 22 本發明可避免氣體殘留於填裝離子交換樹脂之提純 塔。進一步可避免離子交換帶的脫序，可在幾乎垂直於流 動的方向形成雜質離子吸附層（離子交換帶）。如此，雜質 可由進料過氧化氫水溶液有效去除，因而獲得具有極高品 貝的純化過氧化氫水溶液。此外，本發明方法安全，對過 氧化氫水溶液實現高純化效率，就雜質含量而言具有高度 再現性，且安定。 [實例] 將參照下列實例進一步說明本發明如後，該等實例絕 非囿限本發明之範圍。 本文金屬離子雜質係藉無框原子吸附光譜術、ICp_ AES方法以及ICP-MS方法測量。ppm、ppb及ppt皆以 重量為基準。 實例1 酸性焦磷酸鈉如下表1列舉添加至60丨％重量比含金 屬離子雜質之過氧化氫水溶液中，故酸性焦磷酸鈉濃度為 0.070克/升。讓混合物靜置3曰執行老化，以及通過平均 孔徑〇· 1微米之過濾器。做為金屬離子雜質成份之金屬原 子鋁對做為所添加的酸性焦磷酸鈉成份之磷原手比（鋁/磷 原子比）為0.039。 如此過濾後之過氧化氫水溶液參照第3圖經由循序通 過相同的第一階段H+型陽離子交換樹脂塔、熱交換器、 碳酸氫根形式陰離子交換樹脂塔及第二階段H+型陽離子 交換樹脂塔純化，同時配合流量感測器一起控制液體進給一 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 22 526168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 23 A7 B7 五、發明說明（23 ) 幫浦，維持流量空間速度（SV)於恆速15小時」。於各提 屯-么成過氧化氫水溶液向下流動（向下流），液面控制 面維持高於離子交換樹脂層。過氧化氫水溶液通過碳 酉文風根形式陰離子交換樹脂進行之同時，利用熱交換器冷 卻過氧化氫水溶液至-3。(：。 刖述離子交換樹脂之再生係使用另一座設置與過氧化 氫水溶液提純塔分開的離子交換塔（再生塔）實施。 用過的SK1B之再生產物用做為第一階段及第二階段 Η型陽離子交換樹脂。丨〇%重量比水性鹽酸溶液用做為再 生劑。陽離子交換樹脂之再生係經由填裝陽離子交換樹脂 至與提純塔不同的再生塔，以及經由重覆下述步驟丨〇次 進行’該步驟包含水性再生劑溶液以SV 2·25小時-1以及 BV0.75升/L-R向下流經提純塔，中斷水性再生劑溶液的 通過’以及超純水以SV 13.2小時-1以及BV 〇 3升/L_R 向上流經塔。隨後，離子交換樹脂之超純水洗滌係經由重 覆下述週期6次進行’該週期包含超純水以$ v 13 2小時 以及BV 3.3升/L-R向下流經塔，以及超純水以相同$v 及BV向上流經塔。如此，完成H +型陽離子交換樹脂的 再生。 用過的SA20A再生產物用做為碳酸氫根離子形式陰 離子交換樹脂。用過的陰離子交換樹脂首先以氫氧化鈉再 生。5%重量比過氧化氫水溶液用做為再生劑。陰離子交 換樹脂的再生亦係經由將陰離子交換樹脂填裝入與提純塔 j同的再生塔以及經由重覆下述步驟6次進杆，該步驟包 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵G X 297公髮） ----- 312596 --------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 526168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 24 A7 ---------B7 ____ 五、發明說明（24 ) 括水性再生劑溶液以SV 2.25小時-1以及BV 0.75升/L-R 向下流經塔’中斷水性再生溶液的通過，以及超純水以sv 13.2小時-1以及BV 〇·3升/L_R向上流經塔。隨後，陰離 子交換樹脂的超純水洗滌係經由重覆下述週期5次進行， 该週期包含超純水以SV 13.2小時4以及BV 3.3升/L_R 向下流經塔，以及超純水以相同SV及BV向上流經塔。 如此，獲得OH-型陰離子交換樹脂。 隨後’此種OH-型陰離子交換樹脂使用碳酸氫鈉再 生。8 %重量比水性碳酸氫鈉溶液用做為再生劑。使用碳 酸氫鈉之再生係經由將陰離子交換樹脂填裝入與提純塔不 同的再生塔，以及經由重覆下述步驟12次進行，該步驟 包括水性再生劑溶液以Sv 2 25小時-1以及bv 〇·75升/ΕΚ 向下流 經塔， 中斷水 性再生 劑溶液 的通過 ，以及 超純水 以SV 13.2小時“以及BV 〇 3升/L_R向上流經塔。隨後， 經由重覆下述的週期6次進行超純水洗條陰離子交換樹 脂’該週期包含超純水以SV 13.2小時_1以及BV 3.3升/L-R 向下流經塔，以及超純水以相同SV及BV向上流經塔。 如此，獲得hco3-型陰離子交換樹脂。 如此再生的離子交換樹脂以漿液形式填裝入個別提純 塔並供實際使用。 過氧化氫水溶液通過離子交換樹脂塔完成後，以經由 最終H+型陽離子交換樹脂塔放出的純化後的過氧化氫水 /谷液經採樣及以超純水稀釋，超純水的雜質已經被去除至 極高的程度，以調整過氧化氫濃度至31%重詈出。 本紙張尺度制巾@國家鮮（CNS)A4祕（21G X 297公釐) "— ----— 312596 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • --------訂---------線· 526168 A7 ____ B7 五、發明說明（25 ) 如此所得純化過氧化氫水溶液之金屬離子雜質濃度係 藉無談原子吸收法以及ICP-MS法測量。它方面，進料過 氧化氫水溶液之金屬離子濃度係藉無燄原子吸收法以及 ICP-AES法測量。 結果列舉於表2。 儘管連繽操作至B V = 5 00升/L_R其對應於離子交換 樹脂壽命的終點，雜質去除程度仍維持不變。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表1進料過氧化氫水溶液中之金屬雜質 雜質 1 分析值（ppb) A1 770 Cu 0.2 Fe 4.5 K 132 Na 15160 Pb 2 Ca 0.6 Mg 0.6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 25 312596 526168

表2所得純化過氧化氫 測量喊_)

水ί容液中之金屬雜質含量 測量值(ppt) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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Li I l_〇2 ND - ND :表示金屬雜質含量係低於測量限度 比較例 1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 進料過氧化氫水溶液係以實例1之相同方式純化，但 參照圖4，液體進給幫浦出口部安裝有分路附有液體進給 調節閥’但空間速度（SV)藉閥於初步階段設定於μ小時-i， 隨後流速未經控制，及但不進行提純塔之液面控制。 結果，氣泡慢慢開始沾黏於呈碳酸氫根離子形式之陰 離子交換樹脂，故不僅流速降低，同時液面也開始升高及 壓力開始升高。氣泡的生長結果導致形成捷徑以及造成離 子交換帶的脫庠。當BV=75井/L-R後，SV降交s十口士Γ·ι . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 26 312596 526168 A7 _B7 五、發明說明（27 ) 且開始滲漏鋁、鈉等。過氧化氫水溶液於8小時後抽樣， 過氧化氫濃度調整至31%重量比。結果所得溶液，鋁雜 質濃度為60 ppt，鈉雜質濃度為50 ppt。 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 27 312596

Claims (1)

1. D8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A、申請專利範圍 L 一種製造純化過氡化氫水溶& 狀之方法，包括將含雜質 之進料過氧化氫水溶液通過填 入认 、具充以離子交換樹脂、螯 己祕脂或吸附樹脂之提純塔因 _ σ因而純化進料過氧化氫水 >谷液， 其中設置具有指定輸出的進給幫浦其可促使進料 過氧化氫水溶液流至提純塔，以及進一步設置流量感 測器其可感測經進給提純塔之進料過氧化氫水溶液流 速’以及其中進給幫浦之輪出係與流量感測器配合控 制’因而讓進料過氧化氫水溶液與離子交㈣脂、餐 合樹脂或吸附樹脂接觸，同時維持進料過氧化氫水溶 液於恆定流速。 / 2·如申請專利範圍第Μ之方法，其中該進給幫浦對進 料過氧化氫水溶液之輸出係利用反相器控制。 3 ·如申睛專利圍第1項之方法，其中該進料過氧化氮 水溶液之流速以空間速度表示為5至4〇小時4。 4·如申請專利範圍第丨項之方法，其中進料過氧化氫水 溶液流速係控制成讓其變異落在土2 5%之範圍。 5·如申請專利範圍第1項至第4項中任一項之方法，其 中與過氧化氳水溶液接觸的任何部份係由含氟樹脂組 成。 6· —種製造純化過氧化氫水溶液之裝置，包括至少一座 提純塔’其填充以離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹 脂，含雜質的進料過氧化氫水溶液通過該提純塔因而 進行與離子交換樹脂、螯合樹脂或吸附樹脂的接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312596 -----------裝--------訂-----1— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 28 526168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 29 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 因而純化進料過氧化氫水溶液， 該裝置進一步包括： 一部具有指定輸出之進給幫浦，其可促使進料過 氧化氫水溶液流至提純塔， 一部流量感測器，其可感測藉進給幫浦進給提純 塔之進料過氧化氫水溶液之流速，以及 一部流量控制單元，其可以流量感測器偵測結果 為基準控制進給幫浦的輸出，因而維持進給提純塔之 進料過氧化氫水溶液之流速於恆定速率。 7.如申請專利範圍第6項之裝置，其中該流量控制單元 為種反相器控制單元，其可利用反相器控制進給幫 浦對進料過氧化氫水溶液之輸出。 8 ·如申请專利範圍第6項之裝置，其中該流量控制單元 為可控制進給提純塔之進料過氧化氫水溶液流速故以 二間速度表不係於5至4 0小時-1之範圍。 9·如申请專利範圍第6項之裝置，其中流量控制單元為 一種可控制進給提純塔之進料過氧化氫水溶液流速故 其變異係落在土2 · 5 %範圍之流量控制單元。 10.如申明專利範圍第6項之裝置，其中任何與過氧化氫 水溶液接觸部份係由含氟樹脂組成。 11·如申請專利範圍第6項之裝置，其進一步包括一種液 面感測器其可感測提純塔之液面高度，以及一種液面 控制單元其可以液面感測器的偵測結果為基準而維持 提純塔水於恆定高度。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312596 -----------I 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 526168 六、申請專利範圍 12·如申請專利範圍第6項之裝i，其進一步包括一種壓 力感測器其可偵測提純塔内壓，以及一種壓力控制單 疋其可以壓力感測器偵測結果為基準而維持提純塔内 部於恆定壓力。 13.如申睛專利範圍第12項之裝置，其中該壓力控制單元 為可執行一控制之壓力控制單元而該控制係以壓力感 測器偵測結果為基準，不僅停止進給幫浦而且也進給 冷卻水至提純塔中。 14·如申請專利範圍第6項之裝置，其進一步包括一部溫 度感測器其可偵測提純塔内部溫度以及一部溫度控制 單"°其可以溫度感測器之偵測結果為基準而維持提純 塔内部於惶定溫度。 15·如申請專利範圍第14項之裝置，其中該溫度控制單元 為可執行一控制之溫度控制單元而該控制係以溫度感 測器偵測結果為基準，不僅停止進給幫浦而且也進給 冷卻水至提純塔中。 16.如申請專利範圍第6項之裝置，其進一步包括一部過 濾器設置於提純塔底部，該過濾器包括過濾網以及設 置於其下方之凸緣件，該凸緣件於其中心有個液體撤 出埠口 ’以及具有開放切槽實質上以同心圓形式設置， 該開放切槽係與液體撤出埠口連通。 17·如申請專利範圍第6項之裝置，其中多座提純塔彼此 串聯連結。 18·如申請專利範圍第6項至第I?項中任一項之裝置，其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21Q χ 297公髮）' -- 30 312596 丨丨丨丨——丨1丨丨丨·丨丨！—--訂· — 1丨—丨ί· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 526168 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 中多座提純塔彼此串聯連結，以及流量感測器以及流 量控制單元係設置於管線上，該管線係用以進給進料 過氧化氫水溶液至第一提純塔。 ------------#裝—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） 31 312596