KR100713249B1

KR100713249B1 - 과산화수소의 정제장치 및 정제방법

Info

Publication number: KR100713249B1
Application number: KR1020070010181A
Authority: KR
Inventors: 소광민
Original assignee: 소광민
Priority date: 2007-01-31
Filing date: 2007-01-31
Publication date: 2007-05-02
Also published as: KR20070029225A

Abstract

본 발명은 과산화수소를 보다 안전하게 정제하기 위한 정제장치 및 그 정제방법에 관한 것으로서, 종래 과산화수소의 정제탑은 투시창을 통해서는 정제재인 이온교환수지의 오염을 정확히 파악하기가 어렵고, 이온교환수지의 교체시기도 알 수 없으며, 이로 인해 이온교환수지의 오염상태를 방치할 경우 과산화수소가 정제 유통되는 과정에서 가스가 발생되어 정제탑 내부의 급격한 압력팽창에 따라 정제탑이 폭발하게 되는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명은 몸체(110)의 내부에는 수지판막(130)(140)을 상하로 형성하고, 수지판막(130)(140) 내부에는 과산화수소의 정제재인 이온교환수지(200)를 충진하고, 과산화수소가 유통될 수 있도록 유입관(131)과 배수관(121)이 형성된 정제탑(100)을 구성함에 있어서,

몸체(110)의 상부(120)에는 몸체(110)와 연통되는 안전관(150)을 연결하며, 그 안전관(150)의 상단에는 투시창(162)과 투시관(161)이 형성되면서 중량감을 가지는 덮개판(160)을 안전관(150)과 체결되지 않은 상태로 자중에 의해 덮어지게 올려 설치하며,

몸체(110)의 상부(120) 측면으로는 정제된 순수한 상태의 과산화수소가 배출될 수 있는 배수관(121)을 복수개로 형성하고,

복수개의 배수관(121)은 배수제어밸브(123)에 의해 유통이 제어되면서 정제된 제품 과산화수소가 저장되는 제1저장부(122)와 연결하며,

배수관(121)의 일측은 세척수제어밸브(172)에 의해 유통이 제어되면서 과산화수소 세척수가 저장되는 제2저장부(170)와 세척수관(171)으로 연결하고,

몸체(110)의 하부에는 불순물이 포함된 정제전 과산화수소가 저장되는 제3저장부(132)와 유입관(131)이 연결되고, 유입관(131)은 유입제어밸브(133)에 의해 그 유통이 제어되며,

유입관(131)의 일측은 순수한 물이 담긴 제4저장부(180)와 수관(181)이 연결되고, 수관(181)은 수관제어밸브(182)에 의해 그 유통이 제어되며,

배수제어밸브(123)와 세척수제어밸브(172)와 유입제어밸브(133)와 수관제어밸브(182)는 자동버튼장치(190)의 조작에 의해 개폐가 제어될 수 있도록 구성하므로서,

정제탑(100)을 통해 불순물이 포함된 과산화수소를 정제시켜 순수한 상태의 과산화수소로 만드는 과정에서 정제재인 이온교환수지(200)가 오염되어 과산화수소의 가스가 누출되는 징후가 안전관(150) 상부에 형성된 투시창(162)에 의해 외부에서 주시하는 관찰자에 의해 포착되면 관찰자의 인위적 행동으로 자동버튼장치(190)을 조작함에 따라서 자동버튼장치(190)의 제어에 의해 정제전 원료 과산화수소가 정제탑(100) 내부로 유입되는 것을 즉시 차단하고, 동시에 순수한 물이 정제탑(100) 내부로 신속히 유입되면서 순수한 물이 수지판막(130)(140) 내부에 잔존하는 정제중인 과산화수소를 정제탑(100)의 몸체(110) 외부로 배수관(121)과 세척수관(171)을 통해 신속히 배출하여 정제탑(100)의 폭발을 1차 방지할 수 있는 것이며, 2차로는 덮개판(160)이 가스압력으로 신속히 개전될 수 있도록 구성됨에 따라 정제탑(100)의 폭발을 2차에 걸쳐 효과적으로 방지할 수 있도록 한 것이다.

반도체 웨이퍼, 과산화수소, 정제탑, 안전장치, 투시창, 폭발, 이온교환수지

Description

과산화수소의 정제장치 및 정제방법{Device and method for refining of purification of hydrogen peroxide}

도 1 은 종래 과산화수소의 정제탑을 도시한 요부 정면도.

도 2 는 본 발명에 따른 과산화수소의 정제장치를 예시한 요부 정단면도.

도 3 은 본 발명에 따른 과산화수소의 정제장치의 다른 실시 예를 보인 구성도.

도 4a 는 본 발명에서 유입제어밸브와 배수제어밸브가 개전되고, 수관제어밸브와 세척수제어밸브가 폐쇄되어 과산화수소가 정제되는 과정을 표시한 구성도.

도 4b 는 유입제어밸브와 배수제어밸브가 폐쇄되고, 수관제어밸브와 세척수제어밸브가 개전되어 정제탑의 몸체 내부로 순수한 물이 유입을 유입하여 가스등을 제거하는 구성도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

100 : 정제탑 110 : 몸체

120 : 상부 121 : 배수관

122 : 제1저장부 123 : 배수제어밸브

130 : 수지판막 131 : 유입관

132 : 제3저장부 133 : 유입제어밸브

140 : 수지판막 150 : 안전관

160 : 덮개판 161 : 투시관

162 : 투시창 170 : 제2저장부

171 : 세척수관 172 : 세척수제어밸브

180 : 제4저장부 181 : 수관

182 : 수관제어밸브 190 : 자동버튼장치

200 : 이온교환수지

본 발명은 과산화수소의 정제장치 및 그 정제방법에 관한 것으로서, 더욱 상세히는 정제탑 내부에 정제재인 이온교환수지를 충진하고, 과산화수소(액체)를 유통시켜 정제함에 있어서, 과산화수소가 정제됨에 따라 정제재인 이온교환수지가 점점 불순물에 의해 오염되고, 이 오염된 상태에서 과산화수소를 연속적으로 유통 정제시킬때 가스가 유출되고 점차 시간이 경과되면 가스폭발로 정제탑이 파손되어 사고가 유발됨을 방지할 수 있도록 한 과산화수소의 정제장치 및 그 정제방법에 관한 것이다.

일반적으로 과산화수소는 수소와 산소의 화합물로 무색이며 물 모양의 액체로서, 화학식은 H2O2 이며, 분자량은 34이고, 녹는점은 -0.89℃ 이며, 끓는점은 151℃(100℃에서 분해함)이고, 비중은 농도에 따른 다른 특징을 가지고 있다.

이와 같은 과산화수소는 물, 에탄올, 에테르에 잘 녹으며 수용액에서 수소이온이 일부 해리되어 약한 산성을 띄며, 진한 과산화수소는 독성이 있고, 강한 자극성이 있으므로 매우 조심스럽게 다루어야 한다.

시판용은 30~35%의 수용액이며, 강한 산화력을 가지고 있고, 촉매반응으로서 알칼리 금속, 중금속 및 이산화망간과 같은 무기물에 의해 산소와 물로 쉽게 분해 되므로 실험실에서 반응속도 관찰에 많이 사용되며, 과산화수소의 분해 반응은 알칼리성에서는 쉽게 분해되나 산성에서는 비교적 안정하여 인산과 요산은 오히려 과산화수소의 분해를 억제한다.

한편, 이와 같은 과산화수소의 용도를 보면 과산화수소는 강한 산화력이 있으며 생성물이 무해하여 시약의 산화제, 견사나 양모 등의 표백제, 플라스틱 공업에서 비닐 중합의 촉매로도 쓰이고, 소독제, 폭약 등으로도 사용되며, 90% 수용액은 로켓의 추진제, 잠수함 엔진의 작동용으로 쓰인다.

아울러 상기와 같은 용도 외에 반도체 웨이퍼 세정(wafer cleaning)에도 사용되는데, 반도체 웨이퍼 표면을 세정하는 기술은 크게 습식 세정과 건식세정으로 구분할 수 있으며, 세정공정은 반도체 웨이퍼 표면 위의 물질을 제거한다는 점에서 식각 공정과 유사하나 그 대상이 반도체 웨이퍼 표면에 존재하는 불순물(필름, 개별 입자 혹은 입자 덩어리, 흡착된 가스 등으로 이루어져 있고, 이 들은 원자, 이온, 분자 등과 같은 물질 특성을 가지고 있다)을 제거한다는데 그 차이가 있으며, 대표적인 습식 세정방법으로는 과산화수소를 사용한 화학적 습식 방법이 사용되고 있다.

그런데 상기와 같이 반도체 웨이퍼 표면을 세정하기 위해 과산화수소를 사용함에 있어서, 시중에 판매되고 있는 과산화수소를 그대로 사용할 경우 불순물을 함유하고 있기 때문에 그대로 사용하게 되면 반도체 웨이퍼 표면에 존재하는 불순물과 반응을 하여 반도체가 손상되므로 정제탑을 이용하여 불순물이 제거된 순수한 상태의 과산화수소로 만든 후 사용하고 있다.

즉, 도 1 은 불순물이 포함된 과산화수소를 순수한 과산화수소로 정제시키기 위한 정제탑을 도시한 것으로서, 종래의 정제탑(10)은 다수개의 통공(21)이 형성된 이중판(22) 사이로 망사(23)를 결합하여 과산화수소나 순수한 물이 유통될 수 있게 형성한 수지판막(130)(140) 사이에 불순물을 정제시키기 위한 정제재인 이온교환수지(200)를 충진하고, 상기 정제탑(10)에 불순물이 함유된 과산화수소를 유통시켜 불순물을 제거하고 있다.

그런데, 정제탑(10)의 일측면에 투시창(11)이 구비되어 있기는 하지만 상기 투시창(11)을 통해서는 이온교환수지(200)가 작업중 얼마나 불순물에 오염되었는지 정확히 파악하기가 어렵고, 이온교환수지(200)인 정제재의 교체시기도 알 수 없으며, 이로 인해 정제재인 이온교환수지(200)의 오염상태를 방치할 경우 과산화수소가 정제 유통되는 과정에서 가스가 발생되어 정제탑(10) 내부에 압력이 급격히 상승하게 된다.

따라서 이 압력을 제거하기 위하여 정제탑(10) 일측에 안전변(12)을 설치하고 있으나 가스의 압력이 급격히 팽창 상승되기 때문에 정제탑(10)이 폭발하여 주 위 시설물을 파손하거나 또는 화재나 심지어는 인명 사고가 종종 일어나는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 정제탑 내부로 유입되는 불순물이 함유된 과산화수소의 양 보다 정제탑을 통해 정제되어 외부로 배출되는 순수한 과산화수소의 배수량을 증대시키고, 정제탑과 연통되게 상부에 안전관을 설치하며, 상기 안전관의 상단에는 투시창이 투시관에 의해 연결된 중량감 있는 덮개판을 안전관에 체결시키지 않고 자중에 의해 덮어지게 올려놓으므로서 과산화수소가 정제되는 과정에서 발생되는 가스를 효과적으로 제거할 수 있도록 함과 동시에 가스가 제거되지 못하면서 정제탑내 압력이 급격히 상승할 경우 정제탑 상부에 연통된 안전관의 덮개판이 상승한 가스의 압력에 의해 신속히 개전되면서 정제탑의 폭발을 사전에 효과적으로 방지할 수 있도록 한 과산화수소의 정제장치 및 정제방법을 제공하는데 있다.

이와 같은 본 발명의 목적은 몸체의 내부에는 불순물이 포함된 과산화수소의 정제재인 이온교환수지가 충진되게 상하부로 수지판막을 형성하고 과산화수소가 유통될 수 있도록 유입관과 배수관이 형성된 정제탑을 구성함에 있어서,

몸체의 상부에는 몸체와 연통되는 안전관이 연결되고, 그 안전관의 상단에는 투시창이 구비된 투시관이 형성되면서 중량감을 가지는 덮개판이 구성되어 안전관과 체결되지 않은 상태로 자중에 의해 덮어지게 올려 설치되며,

몸체의 상부 측면으로는 정제된 순수한 상태의 과산화수소가 배출될 수 있는 배수관이 복수개로 형성되고,

복수개의 배수관은 배수제어밸브에 의해 유통이 제어되면서 정제된 제품 과산화수소가 저장되는 제1저장부와 연결되며,

배수관의 일측은 세척수제어밸브에 의해 유통이 제어되면서 과산화수소 세척수가 저장되는 제2저장부와 세척수관에 의해 연결되고,

몸체의 하부에는 불순물이 포함된 정제전 과산화수소가 저장되는 제3저장부와 유입관에 의해 연결되고, 유입관은 유입제어밸브에 의해 그 유통이 제어되며,

유입관의 일측은 순수한 물이 담긴 제4저장부와 수관에 의해 연결되고, 수관은 수관제어밸브에 의해 그 유통이 제어되며,

배수제어밸브와 세척수제어밸브와 유입제어밸브와 수관제어밸브는 자동버튼장치의 조작에 의해 개폐가 제어될 수 있도록 구성하므로서 달성되는 것이다.

이하, 본 발명의 특징을 효과적으로 달성할 수 있는 바람직한 실시 예로서 그 기술구성 및 작용효과를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

즉, 도 2 는 본 발명에 따른 과산화수소의 정제장치를 예시한 요부 정단면도이고, 도 3 은 본 발명에 따른 과산화수소의 정제장치의 실시 예를 보인 구성도이며, 도 4a 는 본 발명에서 유입제어밸브와 배수제어밸브가 개전되고, 수관제어밸브와 세척수제어밸브가 폐쇄되어 과산화수소가 정제되는 과정을 표시한 구성도이며, 도 4b 는 유입제어밸브와 배수제어밸브가 폐쇄되고, 수관제어밸브와 세척수제어밸브가 개전되어 정제탑의 몸체(110) 내부로 순수한 물을 유입하여 가스등을 제거하는 구성도이다.

이에 예시한 바와 같이 본 발명은 몸체(110)의 내부에는 수지판막(130)(140)을 상하부에 형성하여 불순물이 포함된 과산화수소의 정제재인 이온교환수지(200)를 충진하고, 몸체(110)에는 각각 과산화수소가 유통될 수 있도록 유입관(131)과 배수관(121)이 형성된 정제탑(100)을 구성함에 있어서,

몸체(110)의 상부(120)에는 몸체(110)와 연통되는 안전관(150)을 연결하고, 그 안전관(150)의 상단에는 투시창(162)과 투시관(161)이 형성되면서 중량감을 가지는 덮개판(160)을 가스 배출시 신속하게 개전되도록 안전관(150)과 체결되지 않은 상태로 자중에 의해 덮어지게 올려 설치하며,

몸체(110)의 상부(120) 측면으로는 정제된 순수한 상태의 과산화수소가 배출될 수 있는 배수관(121)이 복수개로 형성되고,

복수개의 배수관(121)은 배수제어밸브(123)에 의해 유통이 제어되면서 정제된 제품 과산화수소가 저장되는 제1저장부(122)와 연결되며,

배수관(121)의 일측은 세척수제어밸브(172)에 의해 유통이 제어되면서 과산화수소 세척수가 저장되는 제2저장부(170)와 세척수관(171)에 의해 연결되고,

몸체(110)의 하부에는 불순물이 포함된 정제전 과산화수소가 저장되는 제3저장부(132)와 유입관(131)에 의해 연결되고, 유입관(131)은 유입제어밸브(133)에 의해 그 유통이 제어되며,

유입관(131)의 일측은 순수한 물이 담긴 제4저장부(180)와 수관(181)에 의해 연결되고, 수관(181)은 수관제어밸브(182)에 의해 그 유통이 제어되며,

배수제어밸브(123)와 세척수제어밸브(172)와 유입제어밸브(133)와 수관제어밸브(182)는 자동버튼장치(190)의 조작에 의해 개폐가 제어될 수 있도록 구성한 것이 특징인 것이다.

이러한 본 발명은 도 2 에 예시한 바와 같이 정제탑(100)의 몸체(110) 상부(120)에 복수개의 배수관(121)을 구비하므로서, 정제탑(100)의 몸체(110) 내부로 유입되는 불순물이 포함된 과산화수소량보다 정제탑(100)을 통해 정제되어 외부로 배출되는 순수한 상태의 과산화수소량을 증대시켜 정제탑(100)의 내부에서 과산화수소가 넘치거나 가스의 생성으로 인한 폭발압력상승을 최소화시킬 수 있도록 한 것이다.

또한 정제탑(100)의 몸체(110) 상부(120)에 안전관(150)이 연설되고, 안전관(150)의 상단에는 투시창(162)이 구비되도록 투시관(161)이 형성된 덮개판(160)을 설치한 것이며, 이때 상기 덮개판(160)은 일정한 중량감을 가지면서 안전관(150)에 체결시키지 않은 상태에서 자중에 의해 안전관(150)의 상단에 단순히 올려지도록 설치한 것이다.

따라서 작업자는 작업중에는 항시 정제탑(100)의 상측에서 투시창(162)과 투시관(161)을 통해 정제탑(100)의 몸체(110) 내부 상태를 내려다보면서 가스의 발생여부를 정확하게 확인하고 있기 때문에 작업자가 정제되는 과산화수소의 불안정한 상태 즉, 가스가 조금이라도 발생되기 시작하는 징후를 포착하면 조기에 발견하여 효과적으로 대처할 수 있는 것이며, 경우에 따라 정제탑(100)의 몸체(110) 내부에서 과산화수소가 정제 유통될 때 가스의 생성에 의해 정제탑(100)의 내부압력이 급격히 팽창하더라도 유입관(131)으로 정제탑(100)의 몸체(110) 내부에 유입되는 과산화수소의 주입량 보다 복수개의 배수관(121)으로 배출되는 과산화수소량이 많으므로서 1차적인 가스폭발의 상황을 방지할 수 있고, 만약 정제탑(100)의 몸체(110) 내부에 가스가 더욱 팽창되면 안전관(150)의 상면에 자중에 의해 덮혀져 있는 덮개판(160)이 팽창한 가스의 압력에 의해 자연적으로 신속히 개전되어 가스가 외부로 배기되기 때문에 정제탑(100)의 폭발을 2차적으로 방지할 수 있는 것이다.

그리고 본 발명은 과산화수소의 정제 과정에서 정제탑(100)의 몸체(110) 내부에 가스가 발생될 때 정제탑(100) 몸체(110) 내부로 순수한 물을 신속히 유입시켜 가스의 생성을 방지하므로서 가스의 팽창에 의한 압력의 상승으로 인해 정제탑(100)이 폭발하는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다.

즉, 도 3 에 예시한 바와 같이 제3저장부(132)에 저장된 정제전 원료 과산화수소가 펌프(P)의 구동에 따라 유입관(131)을 통해 정제탑(100)의 몸체(110) 내부로 유입된 후 정제재인 이온교환수지(200)에 의해 정재 유통되는 과정에서 가스가 발생되는 징후가 투시창(162)을 통해 식별되면 작업자는 즉시 자동버튼장치(190)를 조작하여 유입관(131)에 설치된 유입제어밸브(133)와 배수관(121)에 설치된 배수제어밸브(123)를 폐쇄함과 동시에 수관제어밸브(182)와 세척수제어밸브(172)는 개방시키므로서, 제4저장부(180)의 순수한 물을 펌프(P)를 이용하여 수관(181)을 통해 몸체(110) 내부에 유입시시키고, 정제탑(100) 내부에서 물과 혼합된 과산화수소는 세척수관(171)을 통해 제2저장부(170)로 모두 배출되도록 하여 정제탑(100)이 폭발하는 상황을 1차 예방할 수 있는 것이다.

이후 정제탑(100) 내부에 잔존한 정제재인 이온교환수지(200)를 모두 꺼내어 새로운 이온교환수지로 교체하고, 이때 제2저장부(170)로 유입된 물과 과산화수소의 혼합액체는 사용하지 않고 폐품처리한다.

그리고 상기와 같이 정제탑(100) 내부에 이온교환수지(200)가 새것으로 교체되면 자동버튼장치(190)를 조작하여 제4저장부(180)의 물을 정제탑(100) 내부로 유입되지 못하도록 수관(181)의 수관제어밸브(182)를 폐쇄하고, 아울러 세척수제어밸브(172) 또한 폐쇄한 상태에서 유입제어밸브(133)와 배수제어밸브(123)는 다시 개방하여 제3저장부(132)에 저장되어 있던 정제전 원료 과산화수소를 정제탑(100) 내부에 유입시켜 새로운 이온교환수지(200)에 의해 정제되도록 한 다음 상기 이온교환수지(200)에 의해 불순물이 제거된 과산화수소가 배수관(121)을 통해 제1저장부(122)로 이동되어 정제된 제품 과산화수소가 되는 것이다.

만약, 정제탑(100) 내부에 과산화수소가 정제 유통되는 과정에서 가스가 급격히 팽창될 때 순수한 물을 정제탑(100) 내부로 공급하기 전이나 공급되더라도 가스의 팽창에 따른 정제탑(100)의 내부 압력이 급격히 상승되면 정제탑(100) 상부(120)에 연통된 안전관(150)의 덮개판(160)이 상승한 가스의 압력으로 신속히 개전되어 정제탑(100)의 폭발을 2차로 방지할 수 있는 것이다.

이와 같이 정제된 순수한 과산화수소는 반도체 웨이퍼 세정에 사용되는 것이다.

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하였으나 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수가 있으며, 상기 실시 예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다.

이상에서 상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 웨이퍼를 세정하기 위하여 정제탑을 통해 불순물이 포함된 과산화수소를 정제시켜 순수한 과산화수소로 만드는 과정에서 과산화수소의 가스가 발생되는 경우 자동버튼장치의 제어에 의해 정제전 원료 과산화수소는 차단됨과 동시에 순수한 물이 신속히 유입되면서 순수한 물의 유입 유통으로 정제탑의 폭발을 1차적으로 방지할 수 있고, 2차적으로는 덮개판이 가스압력으로 신속히 개전되면서 정제탑의 폭발을 2차적으로 방지할 수 있도록 한 것이다.

Claims

몸체(110)의 내부에는 수지판막(130)(140)을 상하부에 형성하여 불순물이 포함된 과산화수소의 정제재인 이온교환수지(200)를 충진하고, 몸체(110)에는 각각 과산화수소가 유통될 수 있도록 유입관(131)과 배수관(121)이 형성된 정제탑(100)을 구성함에 있어서,

몸체(110)의 상부(120)에는 몸체(110)와 연통되는 안전관(150)을 연결하고, 그 안전관(150)의 상단에는 투시창(162)과 투시관(161)이 형성되면서 중량감을 가지는 덮개판(160)을 안전관(150)과 체결되지 않은 상태로 덮어지게 설치하여 형성한 것을 특징으로 하는 과산화수소의 정제장치.
제 1 항에 있어서,

복수개의 배수관(121)은 배수제어밸브(123)에 의해 유통이 제어되면서 정제된 제품 과산화수소가 저장되는 제1저장부(122)와 연결되며,

배수관(121)의 일측은 세척수제어밸브(172)에 의해 유통이 제어되면서 과산화수소 세척수가 저장되는 제2저장부(170)와 세척수관(171)에 의해 연결되고,

몸체(110)의 하부에는 불순물이 포함된 정제전 과산화수소가 저장되는 제3저장부(132)와 유입관(131)에 의해 연결되고, 유입관(131)은 유입제어밸브(133)에 의해 그 유통이 제어되며,

유입관(131)의 일측은 순수한 물이 담긴 제4저장부(180)와 수관(181)에 의해 연결되고, 수관(181)은 수관제어밸브(182)에 의해 그 유통이 제어되어 수관제어밸브(182)와 세척수제어밸브(172)가 폐쇄되면 유입제어밸브(133)와 배수제어밸브(123)가 개전되고, 반대로 수관제어밸브(182)와 세척수제어밸브(172)가 개전되면 유입제어밸브(133)와 배수제어밸브(123)가 폐쇄되도록 자동버튼장치(190)의 조작에 의해 개폐가 제어될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 과산화수소의 정제장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

정제탑(100)의 몸체(110) 내부로 유입되는 정제전 과산화수소의 유입량보다 정제탑(100)의 몸체(110) 외부로 배출되는 정제된 과산화수소의 배출량을 크게 형성하도록 유입관(131)보다 배수관(121)의 용량을 크게 형성한 것을 특징으로 하는 과산화수소의 정제장치.
정제탑(100)의 몸체(110) 내부에 유입되어 정제되는 과산화수소에서 초기 가스가 발생될 때 배수관(121)을 유입관(131) 보다 용량을 크게 하여 생성된 가스가 배수관(121)으로 유통되게 한 후 유입제어밸브(133)와 배수제어밸브(123)를 폐쇄하고, 수관제어밸브(182)와 세척수제어밸브(172)를 개전하여 순수물을 정제탑(100) 몸체(110) 내부에 유입시켜서 가스의 폭발을 방지하며, 가스의 생성이 증가되면 안 전관(150)에 올려진 덮개판(160)이 개전되어 정제탑(100)의 폭발을 방지할 수 있는 과산화수소의 정제방법.