JP6647073B2 - 除害装置及び除害方法 - Google Patents
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Description
(発明に至った経緯)
図1に示すように、プロセスガス6aとして、H2Sと、B2H6と、(C2H5)2Zn(DEZ(ジエチル亜鉛))を含む成膜ガスを用いてプロセス装置1で成膜した後、使用済みのプロセスガスを、除害塔2に導入して、H2SやB2H6など有害なガスを除害している。除害塔2には、除害剤として、酸化銅、水酸化銅及び炭酸銅のいずれかがセットされている。
(本発明の実施の形態)
(1)本実施形態の除害装置の構成の説明
図3は、本発明の実施形態に係る除害装置を示す図である。
次に、図3〜図5を参照しながら、除害方法について説明する。
(付記1)
有害なガスとアルコールを含む使用済みのプロセスガスから、前記アルコールを除去するアルコール除去手段と、
前記アルコール除去手段の下流に設けられ、前記プロセスガスを除害剤に接触させて前記有害なガスを無害化する除害塔と
を有することを特徴とする除害装置。
(付記2)
前記アルコール除去手段は、前記プロセスガスを水と接触させて前記アルコールを前記水に溶解する装置であることを特徴とする付記1に記載の除害装置。
(付記3)
前記アルコール除去手段と前記除害塔の間に、前記プロセスガスから水分を除去する水分除去手段をさらに有することを特徴とする付記2に記載の除害装置。
(付記4)
前記水分除去手段は、温度調節媒体を用いて前記プロセスガスを冷却し、前記プロセスガス中の水分を凍らせて前記プロセスガスから分離する装置を有することを特徴とする付記3に記載の除害装置。
(付記5)
前記水分除去手段は、凍らせた前記水分を、前記温度調節媒体を用いて液化し、前記水分除去手段の外に排出する装置をさらに有することを特徴とする付記4記載の除害装置。
(付記6)
前記温度調節媒体は、温度を−20℃以上、+30度以下に調節することができるエタノール又はエチレングリコールであることを特徴とする付記4記載の除害装置。
(付記7)
前記水分除去手段は、乾燥剤により水分を吸収する装置であることを特徴とする付記3に記載の除害装置。
(付記8)
前記除害剤は、酸化銅、水酸化銅及び炭酸銅のいずれかであることを特徴とする付記1記載の除害装置。
(付記9)
有害なガスとアルコールを含む使用済みのプロセスガスから前記アルコールを除去し、
次いで、前記プロセスガスを除害剤に接触させて前記有害なガスを無害化することを特徴とする除害方法。
(付記10)
前記プロセスガスから前記アルコールを除去するため、前記プロセスガスを水と接触させて前記アルコールを前記水に溶解することを特徴とする付記9に記載の除害方法。
(付記11)
前記プロセスガスを水と接触させた後、前記プロセスガスを除害剤に接触させる前に、前記プロセスガスから水分を除去することを特徴とする付記10に記載の除害方法。
(付記12)
前記プロセスガスから水分を除去するために、前記プロセスガスを冷却し、前記プロセスガス中の水分を凍らせて前記プロセスガスから分離することを特徴とする付記11記載の除害方法。
Claims (3)
- 有害なガスとアルコールを含む使用済みのプロセスガスから、前記アルコールを除去するアルコール除去手段と、
前記プロセスガスから水分を除去する水分除去手段と、
前記アルコール除去手段の下流に設けられ、前記プロセスガスを除害剤に接触させて前記有害なガスを無害化する除害塔と
を有し、
前記アルコール除去手段は、前記プロセスガスを水と接触させて前記アルコールを前記水に溶解する装置であり、前記水分除去手段は、温度調節媒体を用いて前記プロセスガスを冷却し、前記プロセスガス中の水分を凍らせて前記プロセスガスから分離する装置を有することを特徴とする除害装置。 - 前記除害剤は、酸化銅、水酸化銅及び炭酸銅のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の除害装置。
- 有害なガスとアルコールを含む使用済みのプロセスガスから乾式のエタノール除去装置により前記アルコールを除去し、
次いで、前記プロセスガスを除害剤に接触させて前記有害なガスを無害化することを特徴とする除害方法。
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