JP4087052B2 - イオン交換樹脂の再生方法 - Google Patents
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Description
【発明の技術分野】
本発明はイオン交換樹脂の再生方法、特に、不純物の残留分が極めて少ないイオン交換樹脂の再生方法に関する。
【0002】
【発明の技術的背景】
過酸化水素水は、紙、パルプの漂白、化学研磨液等の多くの分野で広く利用されているが、近年、シリコンウエハの洗浄剤や半導体工程の洗浄剤などの電子工業分野における利用が増大し、これにともない、過酸化水素水中の種々の不純物を極力低減した高純度な品質が要求されている。
【0003】
ところで一般に、過酸化水素は、現在では、主にアントラキノン法により製造されている。その製造方法は、まず2−アルキルアントラキノンなどのアントラキノン誘導体を、水不溶性の溶媒中で水素化触媒の存在下で水素化してアントラヒドロキノンとし、触媒を除去した後、空気により酸化することによって2−アルキルアントラキノンを再生するとともに、このとき生成する過酸化水素を水で抽出することによって過酸化水素含有水溶液を得る方法である。この方法をアントラキノン自動酸化法という。このアントラキノン自動酸化法によって製造された過酸化水素水中には、装置材質などに起因するAl、Fe、Cr、Na、Siなどの無機イオン・化合物不純物が含まれている。このため、過酸化水素水は、使用される品質要求に応じて、これらの不純物を除去して、より高純度に精製する操作が行われている。
【0004】
特に、前記した電子工業分野では、過酸化水素水も極めて高純度のものが要求され、過酸化水素水中の有機不純物を10ppm以下、金属イオン不純物を1ppb以下とすることが要求されている。通常、過酸化水素水溶液中の不純物の除去方法としては、一般的にイオン交換樹脂、キレート樹脂、吸着樹脂等による処理が知られており、これらの樹脂等を用いて不純物の除去処理を工業的に実施する場合には、操作性に優れた除去効率の高い連続通液法(カラム法)が一般的に使用されている。
【0005】
こうして使用されたイオン交換樹脂は、通常、再生剤によって再生される。たとえば、アニオン交換樹脂の場合、そこで、アニオン交換樹脂塔にアルカリ水溶液を通液し、次いで、酸性水溶液を通液したのち、再度アルカリ水溶液を通液して再生させている。
しかしながら、このように従来より行われていた方法では、イオン交換樹脂中に再生剤が混入してしまうことがあり、その結果、充分に原料過酸化水素水中のイオン性不純物を除去できないという問題があった。また、このような方法では、イオン交換樹脂層内に溝が形成され(この現象をチャネリングという)、その溝を再生剤の多くが通過しイオン交換樹脂と再生剤の接触が不均一になり、結果としてイオン交換樹脂を均一に再生できないという問題点もあった。さらには、このイオン交換樹脂の再生は、原料過酸化水素水を処理した後の精製塔内で行われているので、精製塔内に再生剤が残留し、精製過酸化水素水中に少しずつ混入していくことがあった。さらに、イオン交換樹脂の再生中は、精製にイオン交換樹脂塔が使用できないため、精製過酸化水素水の生産効率が低くなるという問題もあった。
【0006】
このような情況のもと、本発明者らは、前記問題点を解決すべく鋭意検討したところ、使用済みイオン交換樹脂を再生塔に充填してイオン交換樹脂を再生し、しかも再生塔内上部のノズルより、再生剤水溶液を下方に通液した後、超純水を再生塔下方より上方に通液する操作を一工程とし、その工程を少なくとも2回以上繰り返してイオン交換樹脂を再生することによって、不純物の残留分が極めて少ないイオン交換樹脂が再生できる上に、イオン交換樹脂を均一に再生でき、再生剤が精製塔に混入することなく、しかも過酸化水素水の精製を中断させることもなく、効率よく行うことができることを見出して、本発明を完成するに至った。
【0007】
【発明の目的】
本発明は、不純物の残留分が極めて少ないイオン交換樹脂の再生方法を提供することを目的としている。
【0008】
【発明の概要】
本発明に係る精製過酸化水素水の製造方法は、
使用済みイオン交換樹脂を再生塔に充填してイオン交換樹脂を再生するに際し、再生塔内上部より、再生剤水溶液を下方に通液した後、超純水を再生塔下方より上方に通液する一連の操作を一工程とし、その工程を少なくとも2回以上繰り返すことを特徴としている。
【0009】
イオン交換樹脂の再生では必ずチャネリングを起こし、イオン交換樹脂の再生仕上がりにムラができ、イオン交換能力にも影響するが、このように再生剤の下降流と超純水の上昇流を繰り返すことによってイオン交換樹脂を再生すると、イオン交換樹脂は再生塔内で対流し、発生したチャネリングは壊されるので、効率よく均一にイオン交換樹脂が再生できる。さらにイオン交換樹脂が収縮・膨潤を繰り返すため、イオン交換樹脂の内部まで洗浄できる。また、本発明ではイオン交換樹脂の再生を、精製塔と別のイオン交換樹脂塔(再生塔)を用いて行うため、精製塔へ再生剤が混入することもなく、過酸化水素の精製工程を中断する必要もない。
【0010】
再生剤水溶液の通液量が1〜5Hr-1の空間速度であり、超純水の通液量が10〜30Hr-1の空間速度であることが好ましい。
前記再生塔において、イオン交換樹脂、再生剤および超純水との接触部は、フッ素樹脂、塩化ビニール樹脂またはポリオレフィン樹脂から構成されることが好ましい。
【0011】
【発明の具体的説明】
以下、本発明に係る精製過酸化水素水の精製方法について具体的に説明する。
本発明では、使用済みイオン交換樹脂を再生するに際し、再生塔内上部より、再生剤を下方に通液した後、超純水を再生塔下方より上方に通液することを特徴としている。
【0012】
このような本発明を、図1のフロー図を用いて詳述する。図1は、本発明に係るイオン交換樹脂の再生方法の一実施例を示すフロー図であり、図1中、符号10、11は配管ライン、12は再生塔、13は上部ノズル、14は下部ストレーナー、15は上部ストレーナーを示す。
過酸化水素水を精製するために使用されたイオン交換樹脂は、精製塔よりバキュームなどによってスラリー状で吸引され、再生塔上部のストレーナー14より、水懸濁体として、再生塔12内に圧送される。再生剤水溶液は配管ライン10を通って、上部ノズル13から供給され、下部ストレーナー14より排出される。超純水は配管ライン11を通って、下部ストレーナー14より供給され、上部ストレーナー15より排水される。
【0013】
すなわち、再生剤水溶液は、図1に示されるように再生塔内上部より、下部に向かってSV=1〜5Hr-1、BV(Bed Volume イオン交換樹脂の体積の何倍量を処理したのかを表す。単位はL/L-R)=0.5〜1L/L-Rで通液される(これを下降流という)。次に再生剤を止め、超純水は、再生塔の下方より上方にSV=10〜30Hr-1、BV=0.1〜0.5L/L-Rで通液される(これを上昇流という)。本発明では、このような工程を少なくとも2回以上繰り返す。
【0014】
また、最後の超純水洗浄においても、SV=10〜30Hr-1、BV=3〜5L/L-Rの下降流とSV=10〜30Hr-1、BV=3〜5L/L-Rの上昇流を4回〜9回繰り返しながら樹脂量の30〜60倍の体積の超純水で洗浄する。
このように再生するとイオン交換樹脂が収縮・膨潤を繰り返すため、交換樹脂の内部まで洗浄できる。また、チャネリングは壊されるため、イオン交換樹脂全体が均一に再生できる。
【0015】
下部ストレーナー14は、図2に示されるように、側面の孔から超純水が通液できるものが好ましい。図2は、下部ストレーナーの概略断面図を示すものであり、図2のように側面に孔があるものを使用すると、イオン交換樹脂の重みを回避でき、均一にイオン交換層内に超純水を通水でき、またストレ−ナ−がイオン交換樹脂の重量にも耐え、一度に大量のイオン交換樹脂が再生できる。
【0016】
再生剤水溶液の通液量は、1〜5Hr-1好ましくは1〜4Hr-1の空間速度であり、超純水の通液量は、10〜30Hr-1好ましくは10〜25Hr-1の空間速度であることが望ましい。
本発明で使用される再生塔において、イオン交換樹脂、再生剤および超純水との接触部、すなわち、送液用の配管および再生塔内壁は、フッ素樹脂、塩化ビニール樹脂またはポリオレフィン樹脂から構成されることが好ましい。このような構成部材から構成されていると、これらの構成部材からの不純物の混入を抑制することができる。
【0017】
フッ素樹脂としては、通常、ポリテトラフルオロエチレン樹脂(PTFE)と四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂(PFA)、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合樹脂(FEP)、ポリトリフルオロクロロエチレン樹脂(PCTFE)、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体(ETFE)、ポリフッ化ビニリデン樹脂(PVDF)、ポリフッ化ビニル樹脂(PVF)等が使用される。ポリオレフィン樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレンなどが使用される。
【0018】
再生されるイオン交換樹脂としては、アニオン交換樹脂、カチオン交換樹脂のいずれにも適用可能である。また、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混床も使用することができる。本発明では、特にイオン交換樹脂を単床のものに適用されることが望ましい。
本発明で使用されるカチオン交換樹脂としては、強酸性カチオン交換樹脂として公知のH+型カチオン交換樹脂が使用される。H+型カチオン交換樹脂としては、スルホン酸基を有し、網目状分子構造からなる強酸性カチオン交換樹脂が好ましい。このようなH+型カチオン交換樹脂としては、たとえばPK216、SK1B、IR−120Bなどが使用される。
【0019】
H+型カチオン交換樹脂を再生する場合には、硫酸、塩酸などの公知の無機酸水溶液が使用される。再生剤水溶液中の無機酸濃度としては、5〜15重量%好ましくは5〜12重量%の範囲にあるものが好適に使用される。このような再生剤の使用量は、処理するカチオン交換樹脂の樹脂量(体積)の3倍以上、好ましくは4〜12倍の範囲にあることが好ましい。
【0020】
このような再生剤水溶液の通液は、通常SV(空間速度)=1〜5Hr-1、BV=0.5〜1L/L-Rの下降流で行い、SV=10〜30Hr-1、BV=0.1〜0.5L/L-Rの超純水上昇流を通液して洗浄する。
また、再生剤および超純水通液後、さらに超純水の下降流および超純水の上昇流の通液を一工程とする超純水洗浄を、4回〜9回繰り返し行い、再生後のイオン交換樹脂をさらに洗浄する。超純水の上昇流通液は、SV=10〜30Hr-1、BV=3〜5L/L-Rで行い、下降流通液は、SV=10〜30Hr-1、BV=3〜5L/L-Rで行うことが望ましく、樹脂量に対し、30〜60倍の体積の超純水で洗浄することが望ましい。
【0021】
新品のカチオン交換樹脂(Na+型)を使用する場合は、最初にコンデショニングをすることが好ましい。コンディショニング処理では、まず新品のカチオン交換樹脂(Na+型)を無機酸水溶液(再生剤水溶液)で再生したのち、30〜60重量%の過酸化水素水をSV=5〜40Hr-1、BV=50〜100L/L-Rで通液し、さらに無機酸水溶液(再生剤水溶液)で再生する。
【0022】
また、本発明で使用されるアニオン交換樹脂としては、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型、水酸化物イオン型、フッ化物イオン型等を用いることも可能であり、これら以外のイオン型のものを使用してもよい。
このようなアニオン交換樹脂は、一般にはスチレン−ジビニルベンゼン架橋共重合体をクロロメチル化後、アミノ化をトリメチルアミン、ジメチルエタノールアミンで行い4級化して得られる強塩基性樹脂、スチレン−ジビニルベンゼン架橋共重合体で第1ないし第3級アミンを交換基とする弱塩基性樹脂、アクリル酸系架橋重合体で第3級アミンを交換基とする樹脂、ピリジル基または置換ピリジル基を有するポリマーからなるピリジン系アニオン交換樹脂などが使用される。このうち、第4級アンモニウム基を有する強塩基性アニオン交換樹脂が好ましく使用される。このような第4級アンモニウム基のアニオン交換樹脂としては、多くの種類のものが市販されている。たとえばダイヤイオンのPAシリーズ(たとえばPA316、PA416)、SAシリーズ(たとえばSA10A、SA20A)、アンバーライトのIRAシリーズ(たとえばIRA−400、IRA−410、IRA−900、IRA−904)が代表例として挙げられる。これらの樹脂は一般に塩化物イオン型で上市されている。
【0023】
アニオン交換樹脂の再生剤は、目的とするイオン型により適宜選択されるが、炭酸イオン型および炭酸水素イオン型のアニオン交換樹脂の場合、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウムなどの公知の炭酸塩または炭酸水素塩が再生剤として使用される。また水酸化物イオン型のアニオン交換樹脂の場合、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどの強アルカリが再生剤として使用される。フッ化物イオン型のアニオン交換樹脂の場合、フッ化ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化アンモニウムが再生剤として使用される。
【0024】
再生剤水溶液中の塩濃度としては、水酸化物イオン型では2〜10重量%好ましくは2〜8重量%、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型では5〜15重量%好ましくは5〜12%、フッ化物イオン型では1〜4重量%好ましくは2〜4重量%の範囲にあるものが好適に使用される。このような再生剤の使用量は、処理するアニオン交換樹脂の樹脂量(体積)の3倍以上、好ましくは4〜12倍の範囲にあることが望ましい。
【0025】
このような再生剤の通液は、通常SV(空間速度)=1〜5Hr-1、BV=0.5〜1L/L-Rの下降流で行い、SV=10〜30Hr-1、BV=0.1〜0.5L/L-Rの超純水上昇流を通液して洗浄する。
また、再生剤および超純水通液後、さらに超純水の下降流および超純水の上昇流の通液を一工程とする超純水洗浄を、4回〜9回繰り返し行い、再生後のイオン交換樹脂をさらに洗浄する。超純水の上昇流通液は、SV=10〜30Hr-1、BV=3〜5L/L-Rで行い、下降流通液は、SV=10〜30Hr-1、BV=3〜5L/L-Rで行うことが望ましく、樹脂量に対し、30〜60倍の体積の超純水で洗浄することが望ましい。
【0026】
新品のアニオン交換樹脂(Cl-型)を使用する場合は、最初にコンデショニングをすることが好ましい。コンディショング処理では、新品のアニオン交換樹脂(Cl-型)を強アルカリ水溶液で再生したのち、炭酸塩水溶液または炭酸水素塩水溶液で再生し、次に冷却した5℃以下の30〜60重量%の過酸化水素水をSV=5〜40Hr-1、BV=50〜100L/L-R通液し、さらに目的に応じて炭酸塩水溶液または炭酸水素塩水溶液、またはフッ素化合物水溶液(いずれも再生剤水溶液)で再生する。
【0027】
こうして処理されたイオン交換樹脂は、バキュームなどによって吸引され、供給口(図示せず)より水懸濁体として、使用される精製塔に圧送され、粗過酸化水素水の精製用に使用される。
【0028】
【発明の効果】
本発明によれば、再生時にイオン交換樹脂層内にチャネリングを生じても、そのチャネリングが壊されるので、不均一な再生になることもなく、効率よく均一にイオン交換樹脂が再生できる、さらにイオン交換樹脂の内部まで洗浄できるとともに、またイオン交換樹脂の再生を、精製塔と別のイオン交換樹脂塔(再生塔)を用いて行うため、精製塔へ再生剤が混入することもなく、過酸化水素水の精製工程を中断する必要もない。
【0029】
【実施例】
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものでない。
ここで、金属イオン不純物の測定はフレームレス原子吸光法、ICP−AES法、ICP−MS法により行なった。なお、ppb、pptは、重量ppb、重量pptである。
【0030】
【実施例1】
下記表1に示される金属イオン不純物を含有する60.1重量%過酸化水素水に、酸性ピロリン酸ナトリウムを、0.070g/リットルとなるように添加したのち、3日間放置して熟成したのち、0.1μmの平均孔径のフィルターにて濾過した。添加した酸性ピロリン酸ナトリウム中のP原子と、金属イオン不純物中の金属原子Alとの比(Al/P原子比)は、0.039であった。
【0031】
こうして濾過された過酸化水素水を、一段目のH+型カチオン樹脂が充填されたカラム内に、空間速度SV=15Hr-1で連続的に通液して、H+型カチオン交換樹脂と接触させたのち、フッ化物イオン型アニオン交換樹脂が充填されたカラム内に、SV=15Hr-1で連続的に通液してフッ化物イオン型アニオン交換樹脂と接触させたのち、炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂が充填されたカラム内に、−3℃に冷却しながら空間速度SV=15Hr-1で連続的に通液して炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂と接触させ、続いてH+型カチオン樹脂が充填されたカラム内に、空間速度SV=15Hr-1で連続的に通液して二段目のH+型カチオン交換樹脂と接触させた。
【0032】
各イオン交換樹脂は、以下のようにして再生したものを使用した。
なお、上記イオン交換樹脂の再生は過酸化水素水精製塔とは別のイオン交換塔(再生塔)で行った。
イオン交換樹脂の再生
一段目および二段目のH+型カチオン交換樹脂としては、使用済みSK1Bを使用した。再生剤としては10重量%塩酸水溶液を用いた。再生剤を含む水溶液をSV=2.25Hr-1、BV=0.75L/L-Rで下降流通液したのち、再生剤通液を止め、超純水をSV=13.2Hr-1、BV=0.3L/L-Rで上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を10回繰り返した。次に超純水をSV=13.2Hr-1、BV=3.3L/L-Rで下降流通液したのち、同SV、BVで上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を6回繰り返し超純水水洗して再生H+型カチオン交換樹脂を調製した。
【0033】
また、フッ化物イオン型アニオン交換樹脂としては、使用済みSA20Aを使用した。再生剤としては3重量%フッ化ナトリウム(SiF6量が100ppm以下)水溶液を用いた。再生剤を含む水溶液をSV=2.25Hr-1、BV=0.75L/L-Rで下降流通液したのち、再生剤通液を止め、超純水をSV=13.2Hr-1、BV=0.3L/L-Rで上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を6回繰り返した。次に超純水をSV=13.2Hr-1、BV=3.3L/L-Rで下降流通液したのち、同SV、BVで上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を6回繰り返し超純水水洗して、再生フッ化物イオン型アニオン交換樹脂を調製した。
【0034】
また、炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂としては、使用済みSA20Aを使用した。まず水酸化ナトリウムで再生した。再生剤としては5重量%水酸化ナトリウム水溶液を用いた。次ぎに、再生剤を含む水溶液をSV=2.25Hr-1、BV=0.75L/L-Rで下降流通液したのち、再生剤通液を止め、超純水をSV=13.2Hr-1、BV=0.3L/L-Rで上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を6回繰り返した。そして超純水をSV=13.2Hr-1、BV=3.3L/L-Rで下降流通液したのち、同SV、BVで上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を5回繰り返し超純水水洗した。
【0035】
次いで、このアニオン交換樹脂を炭酸水素ナトリウムで再生した。再生剤としては8重量%炭酸水素ナトリウム水溶液を用いた。まず再生剤を含む水溶液をSV=2.25Hr-1、BV=0.75L/L-Rで下降流通液したのち、再生剤通液を止め、超純水をSV=13.2Hr-1、BV=0.3L/L-Rで上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を12回繰り返した。次に超純水をSV=13.2Hr-1、BV=3.3L/L-Rで下降流通液したのち、同SV、BVで上昇流通液する操作を一工程とし、この工程を6回繰り返し超純水水洗して、再生炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂を調製した。
【0036】
こうして再生された各々のイオン交換樹脂は、スラリー状で各々の精製カラムに充填した。
過酸化水素水の通液終了後、不純物が高度に除去された超純水で精製過酸化水素水を希釈して、過酸化水素濃度を31重量%に調整した。
得られた精製過酸化水素水中の金属イオン不純物濃度をフレームレス原子吸光法、ICP−MS法により測定した。また、原料過酸化水素水中の金属イオン不純物はフレームレス原子吸光法、ICP−AES法により測定した。
【0037】
その結果を表2に示す。
【0038】
【表1】
【0039】
【表2】
【0040】
【比較例1】
イオン交換樹脂の再生方法を以下のようにしたものを使用して、実施例1と同様に過酸化水素水の処理をした。得られた過酸化水素水の金属イオン不純物濃度は、Naイオン濃度が120ppt、Kイオン濃度が60ppt、Alイオン濃度が100pptと高くなっていた。
【0041】
イオン交換樹脂の再生
一段目および二段目のH+型カチオン交換樹脂としては、使用済みSK1Bを使用した。再生剤としては10重量%塩酸水溶液を用いた。再生剤を含む水溶液をSV=2.25Hr-1、BV=4L/L-Rで下降流通液したのち、超純水をSV=13.2Hr-1、BV=40L/L-Rで下降流通液し、超純水水洗して、再生H+型カチオン交換樹脂を調製した。
【0042】
また、フッ化物イオン型アニオン交換樹脂としては、使用済みSA20Aを使用した。再生剤としては3重量%フッ化ナトリウム(SiF6量が100ppm以下)水溶液を用いた。再生剤を含む水溶液をSV=2.25Hr-1、BV=4.5L/L-Rで下降流通液したのち、超純水をSV=13.2Hr-1、BV=40L/L-Rで下降流通液し、超純水水洗して、再生フッ化物イオン型アニオン交換樹脂を調製した。
【0043】
また、炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂としては、使用済みSA20Aを使用した。最初に水酸化ナトリウムで再生した。再生剤としては5重量%水酸化ナトリウム水溶液を用いた。再生剤を含む水溶液をSV=2.25Hr-1、BV=4.5L/L-Rで下降流通液したのち、超純水をSV=13.2Hr-1、BV=40L/L-Rで下降流通液し、超純水水洗した。次に、このアニオン交換樹脂炭酸水素ナトリウムで再生した。再生剤としては8重量%炭酸水素ナトリウム水溶液を用いた。再生剤を含む水溶液をSV=2.25Hr-1、BV=4.5L/L-Rで下降流通液したのち、超純水をSV=13.2Hr-1、BV=40L/L-Rで下降流通液し、超純水水洗して再生炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂を調製した。
【0044】
こうして再生された各々のイオン交換樹脂は、スラリー状で各々の精製カラムに充填した。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明に係るイオン交換樹脂の再生方法を示す概略図である。
【図2】 図2は、本発明に係るイオン交換樹脂の再生方法において使用される超純水通液口の概略断面図を示す。
【符号の説明】
10、11……配管ライン
12……再生塔
13……上部ノズル
14……下部ストレーナー
15……上部ストレーナー
Claims (3)
- 過酸化水素水を精製するために使用されたイオン交換樹脂を充填した再生塔のイオン交換樹脂を再生するに際し、
再生塔内上部より、再生剤水溶液を下方に通液した後、超純水を再生塔の下方より上方に通液する一連の操作を一工程とし、その工程を少なくとも2回以上繰り返すとともに、
再生剤水溶液の通液量が1〜5Hr-1の空間速度であり、BV(bed volume)が0.1〜1L/L-Rであり、
超純水の通液量が10〜30Hr-1の空間速度であり、BV(bed volume)が0.1〜0.5L/L-Rであり、
再生塔下部には、側面の孔から超純水が通液できる下部ストレーナーを設けてなること
を特徴とするイオン交換樹脂の再生方法。 - 再生剤および超純水通液後、さらに、超純水の下降流および上昇流の通液を一工程とする超純水洗浄を4〜9回繰り返して行うことを特徴とする請求項1に記載のイオン交換樹脂の再生方法。
- 前記再生塔において、イオン交換樹脂、再生剤および超純水との接触部は、フッ素樹脂、塩化ビニール樹脂またはポリオレフィン樹脂から構成されることを特徴とする請求項1または2に記載のイオン交換樹脂の再生方法。
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000380503A JP4087052B2 (ja) | 2000-06-21 | 2000-12-14 | イオン交換樹脂の再生方法 |
TW090110470A TWI293038B (en) | 2000-06-21 | 2001-05-02 | Method of regenerating ion exchange resin |
MYPI20012090A MY128388A (en) | 2000-06-21 | 2001-05-04 | Method of regenerating ion exchange resin |
SG200102814A SG95648A1 (en) | 2000-06-21 | 2001-05-11 | Method of regenerating ion exchange resin |
DE60143505T DE60143505D1 (de) | 2000-06-21 | 2001-05-14 | Verfahren zur Regenerierung von Ionenaustauscherharzen |
US09/854,807 US6911481B2 (en) | 2000-06-21 | 2001-05-14 | Method of regenerating ion exchange resin |
EP01304273A EP1166872B1 (en) | 2000-06-21 | 2001-05-14 | Method of regenerating ion exchange resin |
KR10-2001-0031651A KR100416636B1 (ko) | 2000-06-21 | 2001-06-07 | 이온 교환 수지의 재생 방법 |
CNB011217014A CN1142030C (zh) | 2000-06-21 | 2001-06-19 | 对离子交换树脂再生的方法 |
HK02103352A HK1041663A1 (en) | 2000-06-21 | 2002-05-03 | Method of regenerating ion exchange resin |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000186902 | 2000-06-21 | ||
JP2000-186902 | 2000-06-21 | ||
JP2000380503A JP4087052B2 (ja) | 2000-06-21 | 2000-12-14 | イオン交換樹脂の再生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002079116A JP2002079116A (ja) | 2002-03-19 |
JP4087052B2 true JP4087052B2 (ja) | 2008-05-14 |
Family
ID=26594401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000380503A Expired - Lifetime JP4087052B2 (ja) | 2000-06-21 | 2000-12-14 | イオン交換樹脂の再生方法 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6911481B2 (ja) |
EP (1) | EP1166872B1 (ja) |
JP (1) | JP4087052B2 (ja) |
KR (1) | KR100416636B1 (ja) |
CN (1) | CN1142030C (ja) |
DE (1) | DE60143505D1 (ja) |
HK (1) | HK1041663A1 (ja) |
MY (1) | MY128388A (ja) |
SG (1) | SG95648A1 (ja) |
TW (1) | TWI293038B (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0311153D0 (en) * | 2003-05-15 | 2003-06-18 | Otv Sa | Ion-exchange process |
EP1863741B1 (en) * | 2005-03-31 | 2009-05-13 | Unilever N.V. | Process of preparing aluminium species |
US9115010B2 (en) * | 2008-06-11 | 2015-08-25 | Organo Corporation | Demineralizer of primary coolant system in pressurized-water reactor power plant and method for purifying primary cooling water in pressurized-water reactor power plant |
CN101804969A (zh) * | 2010-04-02 | 2010-08-18 | 赫格雷(大连)制药有限公司 | 一种低碳环保型超净高纯h2o2的生产方法 |
WO2012155074A1 (en) * | 2011-05-12 | 2012-11-15 | Virent, Inc. | Process for purifying lignocellulosic feedstocks |
CN103551210A (zh) * | 2013-11-06 | 2014-02-05 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种基于流化床的离子交换树脂的再生方法 |
KR101600184B1 (ko) * | 2014-07-18 | 2016-03-07 | 오씨아이 주식회사 | 인산 용액 내 금속이온의 제거방법 |
JP6437874B2 (ja) * | 2015-04-16 | 2018-12-12 | オルガノ株式会社 | イオン交換樹脂の再生方法および再生装置 |
SG10202106474XA (en) | 2016-04-13 | 2021-07-29 | Emerging Compounds Treatment Technologies Inc | A sustainable system and method for removing and concentrating per-and polyfluoroalkyl substances (pfas) from water |
CN109205572B (zh) * | 2017-06-30 | 2021-03-05 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种纯化双氧水的方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3305314A (en) * | 1958-07-07 | 1967-02-21 | Pittsburgh Plate Glass Co | Purification process |
US3531401A (en) * | 1968-01-23 | 1970-09-29 | Crane Co | Method of regenerating ion exchangers |
DE2017131A1 (en) * | 1970-04-10 | 1971-10-21 | Balcke Maschbau Ag | Ion-exchange plant operation |
US3711401A (en) * | 1971-03-08 | 1973-01-16 | Sybron Corp | Regeneration method for dual beds of ion exchange resins |
US3989624A (en) * | 1972-12-20 | 1976-11-02 | Ecodyne Limited | Method and apparatus |
US3975267A (en) | 1974-03-06 | 1976-08-17 | Henry H. Wendel | Liquid treating system |
DE2902218A1 (de) * | 1979-01-20 | 1980-07-24 | Bran & Luebbe | Verfahren und vorrichtung zum ionenaustausch in fluessigkeiten |
US4652352A (en) * | 1985-11-04 | 1987-03-24 | Saieva Carl J | Process and apparatus for recovering metals from dilute solutions |
US5393416A (en) * | 1993-01-26 | 1995-02-28 | Henkel Corporation | Apparatus for maintaining a stable bath for an autodeposition composition by periodically separating particular metal ions from the composition |
JPH0912306A (ja) * | 1995-06-23 | 1997-01-14 | Sumitomo Chem Co Ltd | 過酸化水素水の精製方法 |
US5951874A (en) * | 1997-07-25 | 1999-09-14 | Hydromatix, Inc. | Method for minimizing wastewater discharge |
JPH11180704A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-06 | Ube Ind Ltd | 高純度過酸化水素水溶液の製造方法 |
US6340712B1 (en) * | 2000-02-10 | 2002-01-22 | Graver Technologies, Inc. | Non-chloride containing regenerant composition for a strong acid cation exchange resin of a water softener |
-
2000
- 2000-12-14 JP JP2000380503A patent/JP4087052B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-05-02 TW TW090110470A patent/TWI293038B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-05-04 MY MYPI20012090A patent/MY128388A/en unknown
- 2001-05-11 SG SG200102814A patent/SG95648A1/en unknown
- 2001-05-14 US US09/854,807 patent/US6911481B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-14 DE DE60143505T patent/DE60143505D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-14 EP EP01304273A patent/EP1166872B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-07 KR KR10-2001-0031651A patent/KR100416636B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-06-19 CN CNB011217014A patent/CN1142030C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-05-03 HK HK02103352A patent/HK1041663A1/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020014459A1 (en) | 2002-02-07 |
JP2002079116A (ja) | 2002-03-19 |
KR20010070777A (ko) | 2001-07-27 |
CN1142030C (zh) | 2004-03-17 |
SG95648A1 (en) | 2003-04-23 |
TWI293038B (en) | 2008-02-01 |
EP1166872B1 (en) | 2010-11-24 |
KR100416636B1 (ko) | 2004-02-05 |
DE60143505D1 (de) | 2011-01-05 |
CN1329942A (zh) | 2002-01-09 |
US6911481B2 (en) | 2005-06-28 |
EP1166872A3 (en) | 2002-04-17 |
EP1166872A2 (en) | 2002-01-02 |
HK1041663A1 (en) | 2002-07-19 |
MY128388A (en) | 2007-01-31 |
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JPH0243541B2 (ja) | ||
JPS6133625B2 (ja) | ||
JPH0445450B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070320 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070612 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070904 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071025 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20071129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080220 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110228 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4087052 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120229 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130228 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140228 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |