JP2001194783A5 - - Google Patents

Description

【請求項２】一般式（１）で表される構造単位を有するポリマーを主成分とすることを特徴とする請求項１記載のアルカリ現像用感光性ポリイミド前駆体組成物。
【化１】

（Ｒ^２は少なくとも２個以上の炭素原子を有する３価または４価の有機基を表し、Ｒ^３は少なくとも２個以上の炭素原子を有する２価の有機基を表す。Ｒ^４は−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ^１から選ばれる少なくとも１種類の有機基を示す。ｎは１または２である。）

【請求項３】一般式（１）で表されるポリマーが、ポリアミド酸と一般式（２）で表されるジアセタール化合物との反応によって得られることを特徴とする請求項２記載のアルカリ現像用感光性ポリイミド前駆体組成物。
【化２】

（Ｒ^５は水素またはメチル基を表す。Ｒ^６は炭素数１〜３０の有機基を表し、うち５０〜１００モル％は光感応基を含んだ有機基を表す。）

【請求項４】一般式（１）で表されるポリマーが、ポリアミド酸と一般式（３）で表されるエポキシ化合物との反応によって得られることを特徴とする請求項２記載のアルカリ現像用感光性ポリイミド前駆体組成物。
【化３】

（Ｒ^７は炭素数１〜３０の有機基を表し、うち５０〜１００モル％は光感応基を含んだ有機基を表す。）

これら一般式（２）で表されるジアセタール化合物、または一般式（３）で表されるエポキシ化合物はポリアミド酸が生成した後に加えて反応させるのが好ましい方法である。加える量として好ましい量とは、一般式（１）の構造単位に対して２０〜４００モル％であり、この量より多いと、硬化後のポリイミド膜の機械物性の低下を招き、この量より少ないと十分なパターン加工性能が得られないので注意を要する。さらに好ましい量としては４０〜３００モル％、最も好ましい量としては１００〜２５０モル％である。

一般式（２）で表されるジアセタール化合物、または一般式（３）で表されるエポキシ化合物と、ポリアミド酸とを溶液中で反応させる場合、反応時の温度は０〜８０℃であり、この範囲より高いと、光感応性基の変性が起こってワニスがゲル化したり、イミド化の進行が起こってアルカリ現像液への溶解性が低下する恐れがあるので注意を要する。逆にこの範囲より小さいと、反応が十分に進行しないので注意が必要である。より好ましくは１０〜６０℃、最も好ましくは２０〜５５℃である。反応時間は反応温度によって、１時間〜２４０時間の間で選択されるのが好ましい。また、必ずしも溶液中でエステル化を完結させる必要はなく、溶液を基材に塗布してプリベークする際の乾燥温度や乾燥時間を適正にすることで製膜工程中にエステル化をさらに進行させることもできる。この乾燥温度の好ましい範囲としては４０〜１５０℃であり、このときの乾燥時間は乾燥温度に併せて１分〜数時間の間で適宜選択される。