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2022-04-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
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2020-06-16 |
2022-03-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
沉積含硼之矽鍺層的方法
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2020-06-24 |
2021-12-31 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘이 구비된 층을 형성하는 방법
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基板處理方法
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2020-07-08 |
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기판 처리 방법
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(ko)
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2020-07-17 |
2022-01-25 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법
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KR20220011092A
(ko)
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2020-07-20 |
2022-01-27 |
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전이 금속층을 포함하는 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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2020-07-20 |
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用於沉積鉬層之方法及系統
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기판 처리 방법
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Asm Ip Holding B.V. |
Methods for forming a laminate film by cyclical plasma-enhanced deposition processes
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清潔基板的方法、選擇性沉積的方法、及反應器系統
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Method for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成圖案化結構的方法、操控機械特性的方法、裝置結構、及基板處理系統
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실리콘 산화물 증착 방법
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실리콘 함유 재료를 증착하기 위한 증착 방법 및 장치
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Asm Ip私人控股有限公司 |
气体供应单元和包括气体供应单元的衬底处理设备
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於階梯式結構上沉積材料的方法
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2020-10-15 |
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반도체 소자의 제조 방법, 및 ether-cat을 사용하는 기판 처리 장치
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沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成
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用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
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特文特大學 |
沉積系統、用於控制反應條件之方法、沉積方法
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具注入器之基板處理設備
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填充間隙之方法與相關之系統及裝置
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기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成臨限電壓控制用之結構的方法
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Runout and wobble measurement fixtures
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具有可旋轉台的晶圓處理設備
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2020-12-22 |
2022-11-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
前驅物膠囊、前驅物容器、氣相沉積總成、及將固態前驅物裝載至前驅物容器中之方法
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TW202231903A
(zh)
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2020-12-22 |
2022-08-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
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TW202226899A
(zh)
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2020-12-22 |
2022-07-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具匹配器的電漿處理裝置
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(en)
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2021-05-11 |
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Gas flow control plate for substrate processing apparatus
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USD981973S1
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2021-05-11 |
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Reactor wall for substrate processing apparatus
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2021-05-11 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Electrode for substrate processing apparatus
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2021-05-11 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Gas distributor for substrate processing apparatus
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2021-09-07 |
2023-06-27 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate
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2021-11-29 |
2025-10-21 |
Asm Ip Holding B.V. |
Weighted lift pin
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USD1060598S1
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2021-12-03 |
2025-02-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Split showerhead cover
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