DK162838B - Fremgangsmaade til fremstilling af glasraaemne til optiske fibre - Google Patents

Fremgangsmaade til fremstilling af glasraaemne til optiske fibre Download PDF

Info

Publication number
DK162838B
DK162838B DK210385A DK210385A DK162838B DK 162838 B DK162838 B DK 162838B DK 210385 A DK210385 A DK 210385A DK 210385 A DK210385 A DK 210385A DK 162838 B DK162838 B DK 162838B
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
glass
blank
fluorine
refractive index
soda
Prior art date
Application number
DK210385A
Other languages
English (en)
Other versions
DK210385A (da
DK210385D0 (da
DK162838C (da
Inventor
Michihisa Kyoto
Minoru Watanabe
Hiroo Kanamori
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries filed Critical Sumitomo Electric Industries
Publication of DK210385D0 publication Critical patent/DK210385D0/da
Publication of DK210385A publication Critical patent/DK210385A/da
Publication of DK162838B publication Critical patent/DK162838B/da
Application granted granted Critical
Publication of DK162838C publication Critical patent/DK162838C/da

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C03B37/0146Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C03B37/01453Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering for doping the preform with flourine
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C13/00Fibre or filament compositions
    • C03C13/04Fibre optics, e.g. core and clad fibre compositions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/08Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
    • C03B2201/12Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/10Internal structure or shape details
    • C03B2203/22Radial profile of refractive index, composition or softening point
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S65/00Glass manufacturing
    • Y10S65/15Nonoxygen containing chalogenides
    • Y10S65/16Optical filament or fiber treatment with fluorine or incorporating fluorine in final product
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S65/00Glass manufacturing
    • Y10S65/90Drying, dehydration, minimizing oh groups

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Description

DK 162838 B
i
Den foreliggende opfindelse angår en fremgangsmåde til fremstilling af et glasråemne til anvendelse ved fremstilling af en optisk fiber. Mere specifikt angår opfindelsen en fremgangsmåde til fremstilling af et kvartsglasråemne, 5 hvortil der er sat fluor.
Et glasråemne til anvendelse ved fremstilling af en optisk fiber omfatter en kerne og en kappe, der omgiver kernen.
Kernen skal have et højere brydnings index end kappen for at tillade let forplantning af lys derigennnem.
10 Med henblik på at forøge kernens brydningsindex således at det er højere end indexet for siliciumdioxid, tilsættes der sædvanligvis additiver såsom Ti02, Ge02 og A1203 til kernematerialet. I en sædvanlig optisk fiber anvendes der ofte rent kvartsglas til dannelse af kappen. I dette tilfælde 15 fremstilles der rent kvartsglas, således at n - 1,4585 og Δη = 0.
På fig. 1A og IB er der vist diagrammer, der illustrerer fordelinger af brydningsindexet i to typer optiske fibre. I disse figurer betegner regionerne a og b henholdsvis kernen 20 og kappen. Forskellen i brydnings index mellem kernen og kappen angives sædvanligvis som en relativ brydningsindex-forskel (i %). Idet det antages, at kernens og kappens brydningsindexer er henholdsvis ηχ og n2, kan den relative brydningsindexforskel Δη12% angives ved følgende ligning: 25 ^ - n2 Δηΐ2% = _ X 100 n2
Fig. 1A viser den generelle fordeling af brydnings index i en singlemode optisk fiber. I dette tilfælde er Δη12 sæd-30 vanligvis 0,3-0,5%. Fig. IB viser den generelle fordeling af brydningsindex i en multi-mode optisk fiber. I en optisk fiber til almindelige kommunikationsformål er Δη12 sædvanligvis ca. 1% og i optiske fibre med stor åbning, der
DK 162838B
2 anvendes i computerkommunikat ionsforbindelser, er Δη12 sædvanligvis ca. 2-4%.
Oxidadditiver såsom Ge02, der tilsættes for at forøge kernens brydningsindex, forårsager lysspredning (Rayleigh-5 spredning) på grund af deres iboende egenskaber. Efterhånden som mængden af tilsat additiv forøges, forøges graden af lysspredning (Rayleigh-spredning), der skyldes additivet. Dette er ikke ønskeligt ved lystransmission.
Hvis additivet tilsættes i stor mængde, dannes der bobler 10 og/eller en krystalfase i glasråemnet. I fx tilfældet Ge02 dannes der let GeO-gas, hvilket giver bobler.. I tilfældet A1203 dannes der let klaser af A1203-krystaller. Dette er ikke ønskeligt af hensyn til lystransmissionsegenskaberne og heller ikke af hensyn til den endelige optiske fibers 15 styrke. Endvidere forøges den termiske udvidelseskoefficient for glas, hvilket gør glasråemnet skørt. Ud fra hensynet til lysforplantning og glasstyrke foretrækkes det derfor at reducere mængden af additivet, der sættes til kernen.
20 Af denne grund har det været foreslået at forøge brydnings-indexforskellen mellem kernen og kappen ved at sænke kappens brydningsindex. Fx kan der til kappen sættes additiver, der sænker brydningsindexet, såsom B203, fluor eller en kombination deraf. B203 har imidlertid ulemper, idet 25 den termiske udvidelseskoefficient for den resulterende kappe ændres kraftigt i takt med koncentrationen af B203, og idet brydnings indexet ændres med opvarmning. Med hensyn til lystransmissionsegenskaber har kappen endvidere et absorptionstab et længere bølgelængdeområde, der skyldes 30 B203. Det foretrækkes således at anvende fluor som bryd- ningsindexsænkende middel.
Det er kendt, at tilsætning af fluor til kvartsglas gør det muligt at fremstille optiske fibre med forskellige bryd-ningsindexfordelinger, og at der, ved det rette struktur
DK 162838 B
3 valg, kan opnås en optisk fiber med lav dispersion over et bredt bølgelængdeområde.
Den fordel, der kan opnås ved at anvende fluor som additiv, er, at der ved fremstilling af kernen kan anvendes ren 5 kvarts eller kvartsglas med en lille mængde additiv tilsat, eftersom kappens brydningsindex kan gøres lavere end bryd-ningsindexet for ren kvarts.
Fig. 2A-2D viser typiske brydningsindexfordelingsstruk-turer, hvoraf strukturerne i fig. 2A og 2C er af trinin-10 dextypen, og strukturerne i fig. 2B og 2D er af den graduerede indextype. I alle figurerne 2A-2D sættes der fluor til kappen. Hvad angår kernen, sættes der i tilfældet fig.
2A en lille mængde af et oxid, der forøger brydningsinde-xet, fx Ge02 og P2C>5, til kvartsglas, medens der i til-15 fældet fig. 2C anvendes meget rent kvartsglas, der ikke indeholder noget additiv. I fig. 2B falder den tilsatte mængde fluor kontinuerligt fra kernens periferi til centrum, og den centrale del er fremstillet af rent kvartsglas, der ikke indeholder fluor (brydningsindexet for rent 20 kvartsglas er n = 1,4585, Δη - 0). I fig. 2D falder mængden af tilsat fluor kontinuerligt fra kernens periferi til centrum, og ved en vis afstand fra periferien begynder tilsætningen af et additiv, der anvendes til at forøge brydningsindexet for kvartsglas, idet mængden af det til-25 satte additiv nu forøges kontinuerligt mod centrum.
Med henblik på at regulere brydningsindexet og lette bearbejdningen af glasset, kan der naturligvis i kappen og kernen anvendes additiver såsom Ge02, P2Og, B203 og A1203 i kombination med fluor.
30 Med henblik på at opnå den samme brydningsindexforskel som vist i fig. 1 for en optisk fiber af kvartsglas, hvortil der er sat fluor, er det tilstrækkeligt at sænke mængden af oxider, der er sat til kernen, eller alternativt slet ikke at tilsætte oxiderne overhovedet. Dette fører til reduktion
DK 162838 B
4 i graden af Rayleigh-spredning, der skyldes tilstedeværelsen af additivet. Den resulterende optiske fiber foretrækkes således som bølgeleder. Fluor er let tilgængeligt sammenlignet med additiver såsom GeC>2 og er endvidere 5 fordelagtigt ud fra et økonomisk synspunkt, eftersom det er let at oprense. Et andet særkende er, at en fluorholdig forbindelse er overlegen ikke alene som udgangsmateriale for additivet, men også som et dehydratiserende middel til fjernelse af vand, der findes i soden.
10 Der kendes forskellige teknikker til fremstilling af optiske kvartsglasfibre, deriblandt den indvendige kemiske dampafsætningsmetode (CVD) (jfr. fx japansk patentpublikation nr. 23186/76 og 22423/80), den udvendige kemiske dampafsætningsmetode (CVD) (jfr. fx japansk patentpublika-15 tion (Kokai) (ikke patenterbarhedsundersøgt) nr. 10055/74), de axiale dampafsætningsmetoder (VAD) (jfr. fx japansk patentpublikation (Kokai) (ikke patenterbarhedsundersøgt) nr. 71316/76), og den kemiske plasmadampafsætningsmetode (CVD) (jfr. fx japansk patentpublikation (Kokai) (ikke 20 patenterbarhedsundersøgt) nr. 54446/76). Af disse metoder er den udvendige CVD-metode, der anvender flammehydrolyse, og VAD-metoden overlegne, hvad angår produktivitet, og er også økonomiske fremgangsmåder. Selv om fluor kan sættes til kvartsglas ved en metode, der anvender flammehydrolyse, 25 er det på den anden side ved denne fremgangsmåde ret vanskeligt at tilsætte en tilstrækkelig mængde fluor ensartet til kvartsglasset.
Japansk patentpublikation nr. 15682/80 beskriver en metode, ved hvilken fluor sættes til glas ved at tilføre en gasfor-30 mig fluorholdig forbindelse i syntetiseringtrinet for glas i en gasfase. Denne metode tillader tilsætning af fluor til glas, men har en ulempe, idet glasafsætningseffektiviteten og udbyttet af fluortilsætning (doteringsudbyttet) er lav. Grunden hertil anses at være følgende:
DK 162838 B
5
Ved flammehydrolysemetoden, hvor der anvendes en oxyhydro-genflamme, reagerer vand i flammen med en fluorholdig forbindelse (fx SF5) i overensstemmelse med ligningen (1) herunder, hvorved der dannes hydrogenfluoridgas (HF): 5 SF6 + 3H20 -*· SO3 + 6HF (1) HF-gas er stabil, og næsten hele den fluorholdige forbindelse omdannes til HF-gas ved forhøjede temperaturer, så længe der er vand tilstede. Således udnyttes kun en mindre del af den fluorholdige forbindelse som udgangsadditiv-10 materiale.
HF virker korroderende på glas, især kvarts (Si02), og reagerer let med de fine kvartspartikler, der dannes i flammen i overensstemmelse med følgende ligninger (2) og (3): 15 Si02 (s) + 2HF (g) -+ SiOF2 (g) + H20 (g) (2)
Si02 (s) + 4HF (g) -* SiF4 (g) + 2H20 (g) (3) hvor (s) og (g) betegner henholdsvis fast og gasformig tilstand. Disse reaktioner inhiberer glaspartiklernes kornvækst og nedsætter den mængde af fine glaspartikler, 20 der afsættes. Dette er klart ud fra det faktum, at afsætningshastigheden for fine glaspartikler falder, efterhånden som den tilsatte mængde fluorforbindelse forøges, og til sidst afsættes de slet ikke.
Japansk patentpublikation (Kokai) (ikke patenterbarheds-25 undersøgt) nr. 67533/80 beskriver en metode, der er tænkt at skulle løse de ovenfor beskrevne problemer ved metoden ifølge japansk patentpublikation nr. 15682/80. Specifikt beskriver den: (1) en metode til fremstilling af et glasmateriale til optiske glaspartikler, der er dannet ved flam-30 mehydrolysemetoden i en atmosfære af en fluorholdig forbindelse ved 1000°C eller derunder og efterfulgt af sintring af det laminerede legeme ved opvarmning deraf til over
DK 162838B
6 1400°C i en inert gasatmosfære; og (2) en metode til fremstilling af et glasmateriale til optisk transmission, som omfatter opvarmning af det glaspartikellaminerede legeme fra (1) til over 1400°C i en atmosfære af fluorholdig 5 forbindelse/inert gas til dannelse af et glasmateriale indeholdende fluor. Metoderne (1) og (2) muliggør en mere effektiv tilsætning af fluor end metoden ifølge japansk patentpublikation nr. 15682/80. Det har imidlertid vist sig, at metoderne (1) og (2) stadig har de nedenfor be-10 skrevne ulemper.
Ved metode (1) er tilsætningshastigheden af fluor til glasset lav, og i visse tilfælde indeholder den endelige optiske fiber urenheder såsom kobber og jern, og forøgelsen i lystransmissionsdæmpningen, der skyldes sådanne uren-15 heder, når ca. 3-5 dB/km ved en bølgelængde på 1,30 μη (det sædvanlige tab ved dette bølgelængdebånd er 0,3 dB/km). Den mængde fluor, der sættes til glasset ved metode (1) er -0,20% udtrykt som brydningsindexforskellen Δη12 (F).
Metode (2) er en effektiv procedure, idet fluortilsætnings-20 hastigheden sammenlignet med metode (1) er høj, og den tilsatte mængde fluor er stor. Efter en behandlingstid på 6 timer når Δη12(F) -0,25%. Det fremkomne glasråemne er imidlertid alvorligt korroderet og har en uregelmæssig overflade. Det kemerør, der anvendes ved fremstilling af 25 glasråemnet, hvilket kernerør er et kvartsmuffelrør, der anvendes til at indeholde en gasatmosfære, er alvorligt korroderet, og i visse tilfælde dannes der perforeringer i rørets vægge. Denne ætsning menes delvis at accelerere indkorporeringen af urenheder fra muffelrøret i sodråemnet.
30 Dæmpningen af lystransmissionen i den således fremstillede optiske fiber er ca. 10 dB/km ved en bølgelængde på 1,30 Mm. Eftersom indholdet af hydroxygrupper i den optiske fiber er 0,05 ppm eller derunder, kan det ikke formodes, at stigningen i absorptionstabet ved 1,30 μη skyldes tilstede-35 værelsen af hydroxygrupperne. Mange eksperimenter understøtter den konklusion, at forøgelsen i absorptionstab,
DK 162838 B
7 der skyldes urenheder såsom kobber og jern, der eksisterer i den optiske fiber, udgør 9,5 dB/km.
Endvidere har den optiske fiber, der fremstilles ved den ovenfor beskrevne metode, ulemper, idet det absorptionstab, 5 der skyldes hydroxygrupperne, ændres med tiden, og idet absorptionstabet stiger betragteligt ved stigende temperatur.
En af grundene til, at urenheder såsom kobber og jern er tilstede i den optiske fiber, er, at korrosion af kerne-10 røret tillader Fe203 og CuO, der er tilstede i kernerørets vægge, at migrere til rørets overflade og blandes med soden, idet det undergår reaktioner som angivet i følgende ligninger:
Fe203 + 2F2 -* 2FeF2 + 3/202 (4) 15 CuO + 1/2 F2 -► CuF + l/202 (5)
Selv om FeF2 og CuF er faste op til 1100°C, sublimerer de ved temperaturer over 1100“C og blandes derved med soden.
På denne måde forurenes sodråemnet med FeF2 og CuF.
Hvis Fe203 og CuO er indeholdt i sodråemnet, selv om de 20 undergår reaktionerne ifølge ligningerne (4) og (5), fjernes de resulterende produkter FeF2 og CuF ikke fra soden og forbliver deri som urenheder, eftersom de er faste ved temperaturer under 1100°C. Således efterlades der urenheder i de optiske fibre ved metoderne (1) og (2).
25 Formålet med den foreliggende opfindelse er at overvinde de ovenfor beskrevne problemer ved den tidligere kendte tek-. nik, og nærmere bestemt er formålet at tilvejebringe en fremgangsmåde til fremstilling af et glasråemne til fremstilling af en optisk fiber, hvilken fremgangsmåde udmærker 30 sig ved, at tilsætningshastigheden for fluor til de fine glaspartikler er relativt høj samtidig med, at tilsætning af urenheder såsom kobber og jern til glas i fluortilsæt-
DK 162838 B
8 ningstrinet forhindres, og den ud fra glasråemnet fremstillede optiske fiber har stabile lystransmissionsegenskaber.
Som resultat af omfattende undersøgelser har det nu vist 5 sig, at når der anvendes S1F4, der er fremstillet ved omsætning af fine kvartspartikler med en fluorholdig forbindelse, eller meget rent S1F4 ved tilsætning af fluor til glasråemnet, reagerer dette ikke med sodråemnet eller kvartsmuffelrøret, og derfor opædes sodråemnet ikke, og 10 urenheder, der skyldes ætsning af kvartsmuffelrøret, inkorporeres ikke i glasråemnet.
Den foreliggende opfindelse er baseret på de ovenstående opdagelser og tilvejebringer en fremgangsmåde til fremstilling af et glasråemne til anvendelse ved fremstilling af en 15 optisk fiber, ved hvilken fremgangsmåde der ved flammehydrolyse eller opløsningshydrolyse af et glasudgangsmateriale dannes et sodråemne af fine glaspartikler omfattende Si02f og at sodråemnet sintres i et muffelrør fremstillet af ren kvarts, ved hvilken fremgangsmåde er ejendommelig 20 ved, at sodråemnet sintres i en atmosfære bestående af He og SiF4.
Opfindelsen illustreres under henvisning til tegningen, hvor
Fig. 1A viser den generelle brydningsindexfordeling for en 25 single-mode optisk fiber;
Fig. IB viser den generelle brydningsindexfordeling for en multi-mode optisk fiber;
Fig. 2A-2D viser brydningsindexfordelingen for optiske fibre af lavdispersionstypen, hvor der til kappen er sat 30 fluor;
Fig. 3 viser skematisk en foretrukken udførelsesform for fremgangsmåden ifølge opfindelsen;
Fig. 4A og 4B illustrerer en fremgangsmåde til fremstilling af et sodråemne ved flammehydrolysemetoden;
DK 162838 B
9
Fig. 5A, 5B og 5C viser fordelingen af brydnings indexer for sodråemnerne fremstillet i eksemplerne 1(1) til 1(3)? 5 Fig. 6A, 6B og 6C viser fordelingen af brydnings indexer for glasråemnet fremstillet ud fra sodråemnet fremstillet i eksemplerne 1(1) til 1(3);
Fig. 7 er en graf, der viser sammenhængen mellem varmebehandlingstemperaturen i eksempel 1 og brydningsindexfor-10 skellen (An(F)) for den derved opnåede optiske fiber.
Det SiF4, der skal anvendes ved fremgangsmåden ifølge opfindelsen, fremstilles ved at reagere de fine kvartspartikler og en gasformig fluorholdig forbindelse, der er stabil i luft.
15 som den gasformige fluorholdige forbindelse, der er stabil i luft, anvendes SF6, CF4, C2Fg, C3Fg, CC12F2 og COF2. De fine kvartspartikler kan fx fremstilles ved termisk at oxidere S1CI4 ifølge ligning (6):
SiCl4 + 02 -> Si02 + 2C12 (6) 20 eller ved at hydrolysere SiCl4 i damp ifølge ligning (7):
SiCl4 + H20 -* Si02 + 4HC1 (7)
Ifølge disse fremgangsmåder fremstilles der fine kvartspartikler, der har en partikelstørrelse på 0,1-0,5 /im.
De fine kvartspartiklers specifikke overfladeareal gøres 25 fortrinsvis så stort som muligt, og partiklerne foraktiveres ved opvarmning til en temperatur på over 600*C.
Derefter ledes den fluorholdige forbindelse gennem de fine kvartspartikler ved stuetemperatur og under atmosfærisk tryk, hvorved følgende reaktioner (8) og (9) kan foregå:
DK 162838 B
10
Si02 + 2/3SFg + SiF4 + 2/3S02 + l/602 (8)
Si02 + CF4 -> SiF4 + C02 (9)
Det således dannede SiF4 fyldes i en varmeovn, i hvilken sodråemnet sintres til dannelse af et glasråemne indehol-5 dende fluor.
Fremgangsmåden ifølge opfindelse illustreres under henvisning til tegningen.
Fig. 3 viser skematisk en foretrukken udførelsesform af fremgangsmåden ifølge opfindelsen, hvor 1 er et sodråemne; 10 2 er en elektrisk ovn; 3 er fine kvartspartikler; 4 er et indløb for en fluorholdig forbindelse; 5 er et indløb for andre gasser; 6 er en ovn til sønderdeling af den fluor-holdige forbindelse; 11 er en podestav; 21 er en carbon-opvarmer; 22 er en indre muffel; 23 er en øvre flange; og 15 24 er en nedre flange.
Den fine kvartspartikel 3 fremstilles ved hydrolyse og har partikelstørrelser på fra 0,1-0,2 μη. Når der som fluorholdig forbindelse fx fyldes SFg i sønderdelingsovnen, der holdes ved ca. 900°C, finder reaktionen (8) sted til dan-20 nelse af SiF4. Det dannede SiF4 passerer gennem den nedre flange 24 til muffelen 22 i den elektriske ovn 2. I den til 1200°C opvarmede ovn 2 sintres sodråemnet 1 under tilsætning af fluor, der er frigjort fra SiF4. Denne metode er sikker, eftersom kun den inaktive fluorholdige forbindelse 25 skal behandles i luft. Alternativt kan meget rent SiF4 indføres direkte i muffelen 22. Eftersom SiF4 reagerer med spormængder af vand, fx fugt i luft, ved stuetemperatur, bør der i dette tilfælde drages omhyggelig omsorg for at undgå fugt. Hvis rent SiF4 indføres direkte, er en hvilken 30 som helst gas såsom S02, 02 og C02, der er biprodukter ifølge reaktionerne (8) og (9) imidlertid ikke til stede, og dannelsen af bobler i råemnet forhindres derfor. Dette
DK 162838 B
11 er en stor fordel, især hvis der indføres en stor mængde SiF4 i muffelen.
Ved fremstilling af en masse af fine kvartsglaspartikler ved flammehydrolyse, således som det er vist i fig. 4A, 5 indføres oxygen 32, hydrogen 33 og en udgangsmaterialegas 35, nemlig Sicl4 eller en gasformig blanding af Sici4,
GeCl4, AICI3, SFg og lignende, i en oxyhydrogenflamme med Ar-gas eller He-gas som bærergas og ved hjælp af en koaksi-al multi-rørsbrænder 31, der er fremstillet af kvarts. I 10 fig. 4A angiver 34 Ar-gas der indføres som en barrieregas, således at udgangsmaterialegassen reagerer i et rum, der er adskillige millimetre fra toppen af brænderen 31. Hvis det påtænkes at fremstille en stav af fine glaspartikler, afsættes massen af fine glaspartikler i aksial retning fra 15 spidsen af et roterende podeorgan 36. Hvis det påtænkes fremstille en rørlignende masse af fine glaspartikler, således som det er vist i fig. 4B, afsættes en masse af fine glaspartikler omkring en roterende kvartsstav eller kulstav 37, medens en brænder 38 bevæges horisontalt, 20 hvorefter staven 37 fjernes. Staven 37 kan være et glas-råemne for kernen. I dette tilfælde behøver staven ikke at blive fjernet. Der kan anvendes flere brændere 38. Betingelserne for afsætning af de fine kvartspartikler på podeorganet er i det væsentlige de samme som ved den konventio-25 nelle metode.
Det samme sodråemne som fremstillet ved fremgangsmåden i fig. 4A og 4B kan fremstilles ved hydrolyse af et alkoholat. Denne metode kaldes sol-gel-metoden.
Det således fremstillede sodråemne har en brydningsindex-30 fordeling fx som vist i fig. 5A-5C, hvor regionerne A og B repræsenterer henholdsvis kernen og kappen.
Det ovenfor fremstillede sodråemne placeres i et muffelrør fremstillet af ren kvarts. Det opvarmes til en temperatur på mellem 1100-1400®c ved en temperaturhævningshastighed på
DK 162838 B
12 2-10°C/minut i en atmosfære af inert gas indeholdende S1F4 og evt. en chlorholdig forbindelse som dehydratiserende middel. SiF4 fremstilles ved at sønderdele SFg, således som det er vist i fig. 3, ved at indføre det i en ovn holdt ved 5 en temperatur på mellem 600-1100°C fx. ca. 1000°C og indeholdende fine kvartspartikler med en partikelstørrelse på 0,1-0,2 μια, som er blevet fremstillet ved termisk oxidation. I atmosfæren af inert gas omdannes sodråemnet til transparent glas i en atmosfære af inert gas såsom He ved 10 en sådan temperatur, at overfladen af soden er 1400°C eller derover. Det således fremstillede glasråemne er et glasmateriale, hvortil der er sat fluor, og dets repræsentative brydningsindexfordeling er vist i fig. 6A-6C.
Opfindelsen beskrives i detaljer i nedenstående eksempler.
15 EKSEMPEL 1 (1)
Omkring en podestav A bestående af en kvartsglasstav med en diameter på 10 mm, hvortil der er sat 17 vægtprocent Ge02, blev der ved flammehydrolyse afsat en sod B af ren Si02 til opnåelse af et sodbelagt emne med den i fig. A viste bryd-20 ningsindexfordeling. Dette sodbelagte emne blev omdannet til transparent glas ved at hæve temperaturen fra 800° C til 1400°c ved en temperaturhævningshastighed på 3°C/minut i en He-atmosfære indeholdende 1 mol% af Cl2 og 20 mol% af S1F4, som var blevet fremstillet ved sønderdeling af SF6. Det 25 således fremstillede glasråemne havde en brydningsindexfordeling som vist i fig. 6A.
EKSEMPEL 1 (2) I dette eksempel blev der som podestav anvendt en kulstav A med en diameter på ca. 6 mm. Ved hjælp af en acetylenflamme 30 blev der dannet et kulpulverlag på stavens overflade, hvorefter en sod B af rent Sio2 blev afsat på kulpulverla-
DK 162838 B
13 get til opnåelse af et sodbelagt emne med den i fig. 5B viste brydnings indexf ordel ing. Derefter blev kul stavskernen fjernet fra det sodbelagte emne, som derefter blev omdannet til transparent glas ved at hæve temperaturen fra 800° C til 5 1400°C ved en hævningshastighed på 3°C/minut i en He-atmos- fære indeholdende 1 mol% CI2 og 10 mol% SiF4, der var blevet fremstillet ved sønderdeling af SFg.
Det således fremstillede glasråemne havde en brydnings-indexfordeling som vist i fig. 6B.
10 EKSEMPEL 1 (3) I dette eksempel blev der som podestav anvendt en kvartsglasstav A, hvortil der var sat GeC>2 i varierende forhold fra 0-17 vægtprocent fra stavens centrum til dens overflade, idet staven havde en brydningsindexfordeling som 15 vist i fig. 5C. En sod B af rent Si02 blev ved flammehydrolyse afsat på staven A. Det sodbelagte emne blev derefter omdannet til transparent glas ved at hæve temperaturen fra 800®C til 1400°C i en He-gasatmosfære indeholdende 1 mol% CI2 og 20 mol% S1F4, der var blevet fremstillet ved sønder-20 deling af SFg. Det således fremstillede glasråemne havde en brydningsindexfordeling som vist i fig. 6C.
Egenskaber hos de optiske fibre.
Optiske fibre fremstillet under anvendelse af de i eksemplerne 1 (1) til 1 (3) fremstillede glasråemner var fri for 25 forøgelse i absorption på grund af urenheder, og de havde således tilstrækkelig lav lystransmissionsdæmpning (fx ca.
0,5 dB/km ved 1,30 Mm). Endvidere ændredes den absorptionstop, der skyldes hydroxygruppen, ikke med tiden.
Den foreliggende opfindelse er ikke begrænset til de oven-30 for beskrevne eksempler og kan modificeres ved som den gasformige fluorholdige forbindelse, der er stabil i luft, at anvende CF4, C2F6, C3F3, CC12F2, C0F2 og/eller som
DK 162838 B
14 chlorholdig hydratiserende forbindelse at anvende S0C12, COCI2/ CCI4 og lignende.
Selv hvis tilsætningen af fluor og omdannelsen af sodråem-net til transparent glas udføres separat i forskellige 5 ovne, er den tilsatte mængde fluor og fiberegenskaberne i det væsentlige de samme som i de ovenstående eksempler.
EKSEMPEL 2
Sammenhæng mellem behandlingstemperatur i atmosfære indeholdende fluorholdig forbindelse og brydningsindexforskel 10 svarende til tilsat fluormængde:
Fig. 7 er en graf, der viser sammenhængen mellem behandlingstemperaturen og brydningsindexforskellen, når behandlingen blev udført i 3 timer ved en forudbestemt temperatur i en atmosfære af inert gas indeholdende 1 mol% chlorgas og 15 2 mol% SiF4 fremstillet ved sønderdeling af SFg. Det kan ud fra resultaterne ses, at tilsætning af fluor til soden udføres effektivt indenfor området 1100-1400°C.
Når der anvendes S1F4 opbevaret i en cylinder, opnås der i det væsentlige de samme resultater.
20 SAMMENLIGNINGSEKSEMPEL 1 På samme måde som i eksempel 1(1) men under anvendelse af en anden fluorholdig forbindelse end SiF4, fx rent SF6, blev sodråemnet sintret til fremstilling af glasråemnet. Muffelrøret var mere alvorligt ætset end i tilfældet S1F4, 25 og dets levetid var stærkt forkortet. I en optisk fiber fremstillet ud fra det således fremstillede glasråemne viste der sig absorption nær en bølgelængde på 1,1 μια, hvilket kan skyldes tilstedeværelsen af jern eller kobber.
Efter at den optiske fiber var opvarmet ved 200°C i 2
DK 162838 B
15 timer, forøgedes den absorption, der skyldes hydroxygrup-perne, med 10 gange eller mere.
Glasråemnet blev også ætset. Dette kan skyldes SiF4 dannet ved den direkte reaktion mellem sodråemnet og den fluor-5 holdige forbindelse, eller tilstedeværelsen af urenheder dannet ved korrosion af kvartsrøret med den fluorholdige forbindelse.
Hvis fluor tilsættes i form af SiF4 fremstillet ved omsætning af den fluorholdige forbindelse med kvartspartik-10 ler, eller rent SiF4 opbevaret i en cylinder, ætses kvarts-muffelrøret ikke, således som det er klart ud fra resultaterne i eksemplerne, og dets levetid forlænges således.
Endvidere forhindres forurening af sodråemnet, eftersom jern eller kobber, som uundgåeligt er indbefattet i kvarts, 15 ikke frigøres ved ætsning ved høj temperatur.
Mængden af SiF4 indeholdt i atmosfæren af inert gas er fortrinsvis ikke over 50 mol%. Mængden af den chlorholdige forbindelse, der evt. er indeholdt i den inerte gasatmosfære, er fortrinsvis ikke over 2 mol%. Hvis der anvendes 20 rent SiF4 opbevaret i en cylinder, dannes der et glasråem-ne, der ikke indeholder bobler, selv hvis der tilsættes SiF4 i en mængde på ca. 100 mol%. Der anvendes således fortrinsvis rent SiF4, når fluoren tilsættes i en større mængde.
25 SAMMENLIGNINGSEKSEMPEL 2
Et sodråemne fremstillet på samme måde som i eksempel 1 (1) blev omdannet til transparent glas ved at hæve temperaturen fra 800°C til 1400°C ved en hævningshastighed på ca. 3eC/-minut i en He-atmosfære indeholdende 5 mol% CF4. En optisk 30 fiber fremstillet ud fra det således fremstillede glasråem-ne havde en lystransmiss ionsdæmpning så stor som 5 dB/km ved en bølgelængde på 1,30 μια på grund af uregelmæssighed i
DK 162838 B
16 strukturen, formodentlig tilstedeværelsen af kulpartikler i den optiske fiber. Den optiske fiber havde en brydnings-indexfordeling af den trinvise type.
EKSEMPEL 3 5 Der blev fremstillet et glasråemne på samme måde som i sammenligningseksempel 2, men under anvendelse af SiF4, der var fremstillet ved sønderdeling af CF4 i S1Ο2-partiklerne, i stedet for CF4 En optisk fiber fremstillet ud fra det således fremstillede råemne havde en lystransmissionsdæmp-10 ning på 0,5 dB/km ved en bølgelængde på 1,30 μια, hvilket er 1/10 af dæmpningen i den optiske fiber fremstillet i sammenligningseksempel 2.
I dette tilfælde kan der til ovnen tilføres CF4, hvortil der sat oxygen. Eftersom oxygen imidlertid tilsættes i en 15 større mængde, kan det danne bobler i glasråemnet.
EKSEMPEL 4-6
De samme sodråemner som fremstillet i eksemplerne 1 (1)-(3) blev omdannet til transparent glas ved at opvarme dem i et temperaturområde fra 800° C til HOO’C i en Ar-atmosfære 20 indeholdende 1 mol% CI2 og derefter hæve temperaturen fra 1100°C til 1700°C i en He-atmosfære indeholdende 20 mol% meget rent SiF4. Optiske fibre fremstillet ud fra de således fremstillede glasråemner udviste ingen forøgelse i absorption på grund af tilstedeværelsen af urenheder, og 25 deres lystransmissionsdæmpning var mindre end 0,5 dB/km ved en bølgelængde på 1,30 Mm. Den absorptionstop, der skyldes hydroxygruppen, ændredes ikke med tiden.

Claims (4)

1. Fremgangsmåde til fremstilling af et glasråemne til anvendelse ved fremstilling af en optisk fiber, ved hvilken 20 fremgangsmåde der ved flammehydrolyse eller opløsningshydrolyse af et glasudgangsmateriale dannes et sodråemne af fine glaspartikler omfattende Si02, og at sodråemnet sin-tres i et muffelrør fremstillet af ren kvarts, kendetegnet ved, at sodråemnet sintres i en 25 atmosfære bestående af He og SiF^
2. Fremgangsmåde ifølge krav 1, kendetegnet ved, at sodråemnet, før det sintres, dehydratiseres i en atmosfære indeholdende en chlorholdig forbindelse. DK 162838 B 18
3. Fremgangsmåde ifølge krav 2, kendetegnet ved, at den chlorholdige dehydrati-serende forbindelse er valgt fra klassen bestående af CI2, S0C12, C0C12 og CC14. 5
4. Fremgangsmåde ifølge krav 1, kendetegnet ved, at sodråemnet sintres ved en temperatur fra 1100°C til 1400°C.
DK210385A 1984-05-15 1985-05-10 Fremgangsmaade til fremstilling af glasraaemne til optiske fibre DK162838C (da)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9554184 1984-05-15
JP59095541A JPS60239337A (ja) 1984-05-15 1984-05-15 光フアイバ−用ガラス母材の製造法

Publications (4)

Publication Number Publication Date
DK210385D0 DK210385D0 (da) 1985-05-10
DK210385A DK210385A (da) 1985-11-16
DK162838B true DK162838B (da) 1991-12-16
DK162838C DK162838C (da) 1992-05-18

Family

ID=14140421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK210385A DK162838C (da) 1984-05-15 1985-05-10 Fremgangsmaade til fremstilling af glasraaemne til optiske fibre

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4979971A (da)
EP (1) EP0161680B1 (da)
JP (1) JPS60239337A (da)
KR (1) KR900008503B1 (da)
AU (1) AU570559B2 (da)
CA (1) CA1266402A (da)
DE (1) DE3572159D1 (da)
DK (1) DK162838C (da)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU586058B2 (en) * 1985-12-27 1989-06-29 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of making optical glass article
JPS62153130A (ja) * 1985-12-27 1987-07-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ−用ガラス母材の製造方法
US5028246A (en) * 1986-02-03 1991-07-02 Ensign-Bickford Optical Technologies, Inc. Methods of making optical waveguides
JPS62256734A (ja) * 1986-04-28 1987-11-09 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用母材の製造方法
JPH089487B2 (ja) * 1987-01-12 1996-01-31 住友電気工業株式会社 光フアイバ−用ガラス母材の製造方法
JPS63242941A (ja) * 1987-03-30 1988-10-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用母材の製造方法
JPH03131544A (ja) * 1989-06-29 1991-06-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ用ガラス母材の加熱炉および製法
US5259856A (en) * 1989-09-06 1993-11-09 Sumitomo Electric Industrial, Ltd. Method of producing glass preform in furnace for heating glass
US5039325A (en) * 1990-01-02 1991-08-13 At&T Bell Laboratories Method for consolidating doped glass using an encapsulating structure
US5076824A (en) * 1990-05-14 1991-12-31 At&T Bell Laboratories Method of making fiber optical preform with pyrolytic coated mandrel
US6003342A (en) * 1991-10-25 1999-12-21 The Furukawa Electric Co., Ltd. Apparatus for production of optical fiber preform
DE4236578A1 (de) * 1992-10-29 1994-06-23 Deutsche Bundespost Telekom Verfahren und Vorrichtung zur Vorformherstellung für Quarzglas- Lichtwellenleiter
US5917109A (en) 1994-12-20 1999-06-29 Corning Incorporated Method of making optical fiber having depressed index core region
US5841933A (en) * 1996-07-09 1998-11-24 Hoaglin; Christine L. Optical waveguide fiber containing titania and germania
US6474107B1 (en) * 1996-12-02 2002-11-05 Franklin W. Dabby Fluorinating an optical fiber preform in a pure aluminum oxide muffle tube
DE69728955T2 (de) * 1996-12-20 2005-04-14 Corning Inc. Athermalisierte codotierte optische Wellenleitervorrichtung
US6263706B1 (en) * 1999-03-30 2001-07-24 Deliso Evelyn M. Method of controlling fluorine doping in soot preforms
DE19943103A1 (de) 1999-09-09 2001-03-15 Wacker Chemie Gmbh Hochgefüllte SiO2-Dispersion, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verwendung
JP2001247318A (ja) * 2000-03-03 2001-09-11 Shin Etsu Chem Co Ltd 合成石英ガラス光学部材及びその製造方法
DE10044163A1 (de) * 2000-09-07 2002-04-04 Wacker Chemie Gmbh Elektrophoretisch nachverdichtete SiO2-Formkörper, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verwendung
KR20030040498A (ko) * 2000-09-27 2003-05-22 코닝 인코포레이티드 다공성 유리 예형의 건조 방법
US6813908B2 (en) * 2000-12-22 2004-11-09 Corning Incorporated Treating an optical fiber preform with carbon monoxide
AU2002322549A1 (en) 2001-07-20 2003-03-03 Nufern Optical fiber grating having high temperature insensitivity
AU2002353049A1 (en) * 2001-12-14 2003-06-30 Corning Incorporated Two step etching process for an optical fiber preform
US6904214B2 (en) * 2002-05-14 2005-06-07 Nufern Method of providing an optical fiber having a minimum temperature sensitivity at a selected temperature
JP3970692B2 (ja) * 2002-05-31 2007-09-05 信越化学工業株式会社 プリフォーム製造方法
US6935050B2 (en) * 2002-12-04 2005-08-30 Corning Incorporated Method and apparatus reducing metal impurities in optical fiber soot preforms
DE10319300B4 (de) * 2003-04-29 2006-03-30 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus Kieselglas
JP4789689B2 (ja) * 2006-04-18 2011-10-12 信越化学工業株式会社 低損失光ファイバ母材の製造方法
NO332015B1 (no) 2007-05-31 2012-05-21 Rotoboost As Anordning for produksjon av ren hydrogen
JP4490465B2 (ja) * 2007-09-11 2010-06-23 日本電信電話株式会社 光ファイバ製造方法
JP5678467B2 (ja) * 2010-04-30 2015-03-04 住友電気工業株式会社 ガラス母材製造方法
DE102012007520B3 (de) * 2012-04-17 2013-08-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren für die Herstellung eines zylinderförmigen Bauteils aus Fluor enthaltendem synthetischem Quarzglas
JP2013230961A (ja) * 2012-05-02 2013-11-14 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 光ファイバプリフォームの製造方法
EP2977359B1 (de) 2014-07-21 2016-10-19 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung von mit fluor dotiertem quarzglas
CN110040942B (zh) * 2018-01-16 2021-10-12 中天科技集团有限公司 粉末体脱羟处理方法及石英玻璃的制备方法
EP3950611A1 (de) 2020-08-06 2022-02-09 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Alternative fluorierungsmittel zur herstellung von fluoriertem quarzglas
CN113387560B (zh) * 2021-08-17 2021-11-02 藤仓烽火光电材料科技有限公司 一种改善光纤传输衰减的反应系统及方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3933454A (en) * 1974-04-22 1976-01-20 Corning Glass Works Method of making optical waveguides
FR2428618A1 (fr) * 1978-06-16 1980-01-11 Telecommunications Sa Procede de fabrication d'une ebauche en vue de la realisation d'un guide de lumiere et ebauche obtenue selon le procede
JPS6038345B2 (ja) * 1978-11-07 1985-08-31 日本電信電話株式会社 光伝送用ガラス素材の製造方法
JPS5844619B2 (ja) * 1979-09-26 1983-10-04 日本電信電話株式会社 光フアイバ母材の製造法
JPS5858299B2 (ja) * 1980-05-24 1983-12-24 日本電信電話株式会社 低損失光ファイバ用多孔質母材の脱水焼結方法
US4289517A (en) * 1980-07-03 1981-09-15 Corning Glass Works Method of forming an optical waveguide preform
JPS591219B2 (ja) * 1980-08-05 1984-01-11 日本電信電話株式会社 光ファイバ用多孔質母材の脱水処理法
JPS5844619A (ja) * 1981-09-09 1983-03-15 東京プレス工業株式会社 容量キ−スイツチ
JPS5858299A (ja) * 1981-09-30 1983-04-06 Daido Steel Co Ltd 金属電極
AU567192B2 (en) * 1983-02-08 1987-11-12 Nippon Telegraph & Telephone Corporation Optical fibre preform manufacture
US4629485A (en) * 1983-09-26 1986-12-16 Corning Glass Works Method of making fluorine doped optical preform and fiber and resultant articles
JPS6081033A (ja) * 1983-10-11 1985-05-09 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光フアイバの製造方法
US4586943A (en) * 1983-10-20 1986-05-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method for the production of glass preform for optical fibers
DE3476062D1 (en) * 1983-12-22 1989-02-16 American Telephone & Telegraph Fabrication of high-silica glass article
JPS60161347A (ja) * 1984-01-24 1985-08-23 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用ガラス母材の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR900008503B1 (ko) 1990-11-24
DK210385A (da) 1985-11-16
DK210385D0 (da) 1985-05-10
KR850008332A (ko) 1985-12-16
DK162838C (da) 1992-05-18
CA1266402A (en) 1990-03-06
EP0161680A3 (en) 1986-12-10
EP0161680A2 (en) 1985-11-21
AU570559B2 (en) 1988-03-17
EP0161680B1 (en) 1989-08-09
US4979971A (en) 1990-12-25
AU4241885A (en) 1985-11-21
DE3572159D1 (en) 1989-09-14
JPH0372583B2 (da) 1991-11-19
JPS60239337A (ja) 1985-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK162838B (da) Fremgangsmaade til fremstilling af glasraaemne til optiske fibre
US5221309A (en) Method for producing glass preform for optical fiber
DK158939B (da) Fremgangsmaade til fremstilling af raaemne til optiske fibre
DK158897B (da) Optisk kvartsglasfiber
CN102910813A (zh) 制造光纤预制件的方法
DK162385B (da) Fremgangsmaade til fremstilling af et glasraaemne til optiske fibre
KR20030040498A (ko) 다공성 유리 예형의 건조 방법
WO2022209515A1 (ja) フッ素含有シリカガラス粉、及びフッ素含有シリカガラス粉の製造方法
DK163426B (da) Fremgangsmaade til fremstilling af et glasraaemne til optiske fibre
JPS61191544A (ja) 石英系光フアイバ
KR870001738B1 (ko) 광 파이버용 유리모제의 제조방법
JPH01145346A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPH0324415B2 (da)
JPS6036343A (ja) 光伝送用ガラス素材の製法
JPS60239339A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPH0218333A (ja) 多孔質母材の加熱処理方法
JP2635563B2 (ja) 光伝送体用ガラス素材の製造方法
JPH03183632A (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JPH0233657B2 (ja) Tio2ganjuhikarifuaibanoseizohoho
JPH0355423B2 (da)
JPS60231432A (ja) 石英系光フアイバ母材の製造方法
PAUL OXIDATION-REDUCTION EQUILIBRIUM DURING PREFORM MAKING OF OPTICAL FIBRE
JPH01188439A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPS632902B2 (da)
JPH03115136A (ja) 光ファイバープリフォームおよびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PBP Patent lapsed

Country of ref document: DK