DE810796C

DE810796C - Elektronenmikroskop

Info

Publication number: DE810796C
Application number: DEP26173A
Authority: DE
Inventors: Adrianus Verhoeff
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1947-07-08
Filing date: 1948-12-23
Publication date: 1951-08-13
Also published as: US2508317A; NL73665C; GB653934A; FR968764A; CH266225A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenmikroskop, das mit einer Schleusenvorrichtung zum Einführen eines abzubildenden Objekts in das Strahlenbündel versehen ist. Es ist üblich, das Objekt in einem Raum unterzubringen, der durch zwei enge, diametral vorgesehene Öffnungen zum Durchlassen des Strahlenbündels mit dem entlüfteten Raum des Mikroskops in Verbindung steht. Muß das Objekt durch ein anderes ersetzt werden, so werden zunächst diese Öffnungen verschlossen, um das Eintreten von Luft in den entlüfteten Raum zu verhüten. Man ist bestrebt, beim Wechseln des Objekts möglichst wenig Luft hineinlecken zu lassen und den Wechsel schnell und mit einfachen Handgriffen durchzuführen.

Bei einer üblichen Ausführungsform ist der Objekthalter in einem Raum untergebracht, der in einem durch die Wand der Entladungsröhre luftdicht hineingeführten, drehsymmetrischen Körper ausgesparrt ist, der genau passend in einem einseitig verschlossenen Rohr schließt, dessen Wand die beiden erwähnten Öffnungen zum Durchlassen des Strahlenbündels aufweist. Durch eine Drehung des Körpers werden diese Öffnungen verschlossen, und der Objektraum wird darauf mit einem Kanal in Verbindung gebracht, durch den das Objekt hinausgeführt werden kann. Bevor die Verbindung mit dem entlüfteten Raum bewirkt wird, ist die Luftzufuhr von außen her abgeschlossen, so daß die von der Pumpe abzuführende Luftmenge auf den Inhalt des Objektraums beschränkt bleibt.

Ferner ist es bekannt, den drehbaren Körper in Form eines einseitig verschlossenen Rohrs auszubilden, wobei der Zutritt von Luft verhütet wird, indem der Objekthalter das Rohr verschließt, wenn das Objekt sich im Strahlenbündel befindet. Der Objekthalter kann erst entfernt werden, nachdem durch eine Drehung des Rohrs die Öffnungen, durch welche der Objektraum mit dem entlüfteten Raum in Verbindung steht, abgeschlossen sind.

Die Fassungsflächen, welche bei den bekannten • Von ichtungen den luftdichten Verschluß des Drehorgans in der Röhrenwand sichern müssen, erfordern eine zeitraubende und genaue Bearbeitung. Zur Verbesserung dieses Verschlusses wird häufig an den Fassungsflächen eine dünne Fettschicht angebracht. Dies bringt den Nachteil mit sich, daß beim Drehen des Rohrs die Öffnungsränder ein wenig Fett von der gegenüberliegenden Oberfläche abschaben. Diese Fetteilchen bilden Isolierflächen, die sich elektrisch aufladen können. Das so erzeugte Feld kann eine Richtungsänderung der Elektronenbewegung im Strahlenbündel hervorrufen und Störungen im Bild veranlassen. Zwar wurde bereits vorgeschlagen, die öffnungen mit Hilfe von Klappen aus einem elastischen Material zu verschließen, aber dann kann durch Verschleiß der Klappen eine Verunreinigung an den Öffnungsrändern auftreten, was eine gleiche Beeinträchtigung

ao ergibt.

Die Erfindung bezweckt, diese Nachteile zu beheben. Beim erfindungsgemäß ausgebildeten Elektronenmikroskop wird das Objekt von einem Halter getragen, der den mit dem entlüfteten Raum

as durch zwei diametrale öffnungen zum Durchgang des Strahlenbündels in Verbindung stehenden Raum luftdicht verschließt, in dem sich das Objekt befindet. Gemäß der Erfindung wird von dem Objekthalter ein bewegliches Organ verschoben, das nach der Entfernung des Halters den luftdichten Verschluß des Objektraums bewirkt.

Bei einer der bekannten Vorrichtungen wurden Vorkehrungen getroffen, eine Entfernung des Objekts zu vermeiden, wenn der Objektraum noch mit dem entlüfteten Raum in Verbindung steht. Beim erfindungsgemäß ausgebildeten Mikroskop ist dies nicht erforderlich, was eine wesentliche Vereinfachung der Bauart ermöglicht.

Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert, in der

Fig. ι einen Schnitt durch die Schleusenvorrichtung darstellt, bei welcher das Objekt sich in solcher Lage befindet, daß es vom Elektronenbündel durchstrahlt werden kann;

Fig. 2 stellt die gleiche Vorrichtung dar, bei welcher der Objekthalter aber so weit zurückgezogen ist, daß der Objektraum gerade verschlossen wird.

Der Teil der Entladungsröhre in der Nähe der Schleusenvorrichtung hat eine zylinderförmige Metallwand i, welche den aufrechten Rand einer kreisförmigen Metallplatte 2 bildet, die den entlüfteten Raum des Mikroskops in zwei Teile teilt. Die Platte ist mit einer öffnung 3 zum Durchlassen des Elektronenbündels versehen. In der Platte sind ferner zwei einander diametral gegenüberliegende Kanäle 4 und 5 eingebohrt, wobei der Kanal 5 einen größeren Durchmesser als der Kanal 4 aufweist. Der zuerst genannte Kanal erstreckt sich bis über die öffnung 3 hinaus.

Die Bohrung 4 enthält den Objekthalter 6. Dieser ist an einem Ende mit einem Handgriff oder Knopf 7 versehen, mit dem er hin und her geschoben und gedreht werden kann. In der öffnung 4 ist ein durchlochter Stöpsel 8 mit Schraubengewinde an der Röhrenwand befestigt; er drückt gegen einen aus elastischem Material bestehenden Ring 9, der infolgedessen luftdicht an den Objekthalter anschließt.

Mit dem anderen Ende, an dem außerdem das Objekt befestigt ist, drückt der Objekthalter 6 ein Organ 10, das im Raum 5 gleitend angeordnet ist, gegen eine Führungsbuchse 14, so daß das Elektronenbündel das Objekt durch die öffnung 3 treffen kann. Bei Entfernung des Objekthalters wird dieses Organ durch den Druck der Feder 13 in Richtung des Objekthalters 6 verschoben, bis es den Rand des Kanals 4 erreicht und dessen öffnung luftdicht verschließt.

In Fig. 2 ist dieser Verschluß gerade durchgeführt. Der Objekthalter 6 kann jiun völlig entfernt werden, ohne daß Luft durch die öffnung 4 eintreten kann. Wird darauf der Objekthalter durch den Kanal 4 hineingeschoben, so wird die darin enthaltene Luft durch eine in der Fläche des Objekthalters vorgesehene Nut 11 nach außen entweichen. Diese Nut erstreckt sich nicht über die ganze Länge des Halters. In dem Augenblick, in dem der Objekthalter gegen das Organ 10 drückt, hat das Ende der Nut den elastischen Ring 9 passiert, und die Luftabfuhr ist gesperrt. Dann ist noch etwas Luft am Ende des Objekthalters im Kanal 4 und in der Nut 11 enthalten; bei der weiteren Bewegung des Objekthalters 6 strömt diese Luft in den entlüfteten Raum hinein. Diese Luftmenge kann jedoch äußerst gering sein. Der Halter wird so weit bewegt, bis das Verschlußorgan an der Führungsbuchse 14 anstößt, die sich an der Schraubkappe 12 befindet, mittels welcher der Kanal 5 verschlossen ist. Bei dieser Bewegung muß der Druck der Feder 13 überwunden werden. Durch Drehung der Schraubenkappen 8 kann der Druck des elastischen Rings 9 auf den Objekthalter 6 nach Belieben vergrößert und infolgedessen der Reibungswiderstand des Objekthalters größer als der Federdruck gemacht werden, so daß keine Gefahr be- steht, daß der Objekthalter infolge des ausgeübten Federdrucks verschoben wird. Durch die Einstellung der Schraubenkappe 12 kann erreicht werden, daß das Objekt in der zurückgedrückten Lage des Verschlußorgans in der richtigen Lage im Strahlen- ^uo bündel angebracht ist.

Die richtige Lage des Objekts in bezug auf die Durchstrahlungsrichtung des Strahlenbündels kann von außen her durch Anbringen einer Markierung an dem Knopf 7 ermittelt werden. "5

Claims

Patentansprüche:

i. Elektronenmikroskop mit einer Schleusenvorrichtung zum Einführen eines abzubildenden Objekts in das Strahlenbündel, das an einem iao Halter befestigt ist, der den mit dem entlüfteten Raum durch zwei diametrale öffnungen zum Durchlassen des Strahlenbündels in Verbindung stehenden, das Objekt enthaltenden Raum luftdicht verschließt, dadurch gekennzeichnet, daß 1*5 der Objekthalter so gegen ein bewegliches Organ

drückt, daß bei Entfernung des Objekthalters das bewegliche Organ sich verschiebt und den luftdichten Verschluß des Objektraums bewirkt.
2. Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Objekthalter das bewegliche Organ aus der Lage, in der es den Verschluß des Objektraums herbeiführt, gegen einen Anschlag drückt.
3. Elektronenmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschlag so verstellbar ist, daß das Objekt beim Andrücken an diesen Anschlag die richtige Lage im Strahlenbündel einnimmt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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