DE810796C - Elektronenmikroskop - Google Patents
ElektronenmikroskopInfo
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- DE810796C DE810796C DEP26173A DEP0026173A DE810796C DE 810796 C DE810796 C DE 810796C DE P26173 A DEP26173 A DE P26173A DE P0026173 A DEP0026173 A DE P0026173A DE 810796 C DE810796 C DE 810796C
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenmikroskop, das mit einer Schleusenvorrichtung
zum Einführen eines abzubildenden Objekts in das Strahlenbündel versehen ist. Es ist
üblich, das Objekt in einem Raum unterzubringen, der durch zwei enge, diametral vorgesehene Öffnungen
zum Durchlassen des Strahlenbündels mit dem entlüfteten Raum des Mikroskops in Verbindung
steht. Muß das Objekt durch ein anderes ersetzt werden, so werden zunächst diese Öffnungen verschlossen,
um das Eintreten von Luft in den entlüfteten Raum zu verhüten. Man ist bestrebt, beim
Wechseln des Objekts möglichst wenig Luft hineinlecken zu lassen und den Wechsel schnell und mit
einfachen Handgriffen durchzuführen.
Bei einer üblichen Ausführungsform ist der Objekthalter in einem Raum untergebracht, der in
einem durch die Wand der Entladungsröhre luftdicht hineingeführten, drehsymmetrischen Körper
ausgesparrt ist, der genau passend in einem einseitig verschlossenen Rohr schließt, dessen Wand
die beiden erwähnten Öffnungen zum Durchlassen des Strahlenbündels aufweist. Durch eine Drehung
des Körpers werden diese Öffnungen verschlossen, und der Objektraum wird darauf mit einem Kanal
in Verbindung gebracht, durch den das Objekt hinausgeführt werden kann. Bevor die Verbindung mit
dem entlüfteten Raum bewirkt wird, ist die Luftzufuhr von außen her abgeschlossen, so daß die von
der Pumpe abzuführende Luftmenge auf den Inhalt des Objektraums beschränkt bleibt.
Ferner ist es bekannt, den drehbaren Körper in Form eines einseitig verschlossenen Rohrs auszubilden,
wobei der Zutritt von Luft verhütet wird, indem der Objekthalter das Rohr verschließt, wenn
das Objekt sich im Strahlenbündel befindet. Der Objekthalter kann erst entfernt werden, nachdem
durch eine Drehung des Rohrs die Öffnungen, durch welche der Objektraum mit dem entlüfteten Raum
in Verbindung steht, abgeschlossen sind.
Die Fassungsflächen, welche bei den bekannten • Von ichtungen den luftdichten Verschluß des Drehorgans
in der Röhrenwand sichern müssen, erfordern eine zeitraubende und genaue Bearbeitung. Zur
Verbesserung dieses Verschlusses wird häufig an den Fassungsflächen eine dünne Fettschicht angebracht.
Dies bringt den Nachteil mit sich, daß beim Drehen des Rohrs die Öffnungsränder ein wenig
Fett von der gegenüberliegenden Oberfläche abschaben. Diese Fetteilchen bilden Isolierflächen, die
sich elektrisch aufladen können. Das so erzeugte Feld kann eine Richtungsänderung der Elektronenbewegung
im Strahlenbündel hervorrufen und Störungen im Bild veranlassen. Zwar wurde bereits
vorgeschlagen, die öffnungen mit Hilfe von Klappen aus einem elastischen Material zu verschließen,
aber dann kann durch Verschleiß der Klappen eine Verunreinigung an den Öffnungsrändern auftreten, was eine gleiche Beeinträchtigung
ao ergibt.
Die Erfindung bezweckt, diese Nachteile zu beheben. Beim erfindungsgemäß ausgebildeten Elektronenmikroskop
wird das Objekt von einem Halter getragen, der den mit dem entlüfteten Raum
as durch zwei diametrale öffnungen zum Durchgang
des Strahlenbündels in Verbindung stehenden Raum luftdicht verschließt, in dem sich das Objekt befindet.
Gemäß der Erfindung wird von dem Objekthalter ein bewegliches Organ verschoben, das nach
der Entfernung des Halters den luftdichten Verschluß des Objektraums bewirkt.
Bei einer der bekannten Vorrichtungen wurden Vorkehrungen getroffen, eine Entfernung des Objekts
zu vermeiden, wenn der Objektraum noch mit dem entlüfteten Raum in Verbindung steht.
Beim erfindungsgemäß ausgebildeten Mikroskop ist dies nicht erforderlich, was eine wesentliche Vereinfachung
der Bauart ermöglicht.
Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert, in der
Fig. ι einen Schnitt durch die Schleusenvorrichtung
darstellt, bei welcher das Objekt sich in solcher Lage befindet, daß es vom Elektronenbündel
durchstrahlt werden kann;
Fig. 2 stellt die gleiche Vorrichtung dar, bei welcher der Objekthalter aber so weit zurückgezogen
ist, daß der Objektraum gerade verschlossen wird.
Der Teil der Entladungsröhre in der Nähe der Schleusenvorrichtung hat eine zylinderförmige Metallwand
i, welche den aufrechten Rand einer kreisförmigen Metallplatte 2 bildet, die den entlüfteten
Raum des Mikroskops in zwei Teile teilt. Die Platte ist mit einer öffnung 3 zum Durchlassen des Elektronenbündels
versehen. In der Platte sind ferner zwei einander diametral gegenüberliegende Kanäle 4
und 5 eingebohrt, wobei der Kanal 5 einen größeren Durchmesser als der Kanal 4 aufweist. Der zuerst
genannte Kanal erstreckt sich bis über die öffnung 3 hinaus.
Die Bohrung 4 enthält den Objekthalter 6. Dieser ist an einem Ende mit einem Handgriff oder Knopf 7
versehen, mit dem er hin und her geschoben und gedreht werden kann. In der öffnung 4 ist ein durchlochter
Stöpsel 8 mit Schraubengewinde an der Röhrenwand befestigt; er drückt gegen einen aus
elastischem Material bestehenden Ring 9, der infolgedessen luftdicht an den Objekthalter anschließt.
Mit dem anderen Ende, an dem außerdem das Objekt befestigt ist, drückt der Objekthalter 6 ein
Organ 10, das im Raum 5 gleitend angeordnet ist, gegen eine Führungsbuchse 14, so daß das Elektronenbündel
das Objekt durch die öffnung 3 treffen kann. Bei Entfernung des Objekthalters wird dieses
Organ durch den Druck der Feder 13 in Richtung des Objekthalters 6 verschoben, bis es den Rand des
Kanals 4 erreicht und dessen öffnung luftdicht verschließt.
In Fig. 2 ist dieser Verschluß gerade durchgeführt. Der Objekthalter 6 kann jiun völlig entfernt
werden, ohne daß Luft durch die öffnung 4 eintreten kann. Wird darauf der Objekthalter durch
den Kanal 4 hineingeschoben, so wird die darin enthaltene Luft durch eine in der Fläche des Objekthalters
vorgesehene Nut 11 nach außen entweichen. Diese Nut erstreckt sich nicht über die
ganze Länge des Halters. In dem Augenblick, in dem der Objekthalter gegen das Organ 10 drückt,
hat das Ende der Nut den elastischen Ring 9 passiert, und die Luftabfuhr ist gesperrt. Dann ist
noch etwas Luft am Ende des Objekthalters im Kanal 4 und in der Nut 11 enthalten; bei der weiteren
Bewegung des Objekthalters 6 strömt diese Luft in den entlüfteten Raum hinein. Diese Luftmenge
kann jedoch äußerst gering sein. Der Halter wird so weit bewegt, bis das Verschlußorgan an
der Führungsbuchse 14 anstößt, die sich an der Schraubkappe 12 befindet, mittels welcher der
Kanal 5 verschlossen ist. Bei dieser Bewegung muß der Druck der Feder 13 überwunden werden. Durch
Drehung der Schraubenkappen 8 kann der Druck des elastischen Rings 9 auf den Objekthalter 6 nach
Belieben vergrößert und infolgedessen der Reibungswiderstand des Objekthalters größer als der Federdruck gemacht werden, so daß keine Gefahr be-
steht, daß der Objekthalter infolge des ausgeübten Federdrucks verschoben wird. Durch die Einstellung
der Schraubenkappe 12 kann erreicht werden, daß das Objekt in der zurückgedrückten Lage des
Verschlußorgans in der richtigen Lage im Strahlen- uo
bündel angebracht ist.
Die richtige Lage des Objekts in bezug auf die Durchstrahlungsrichtung des Strahlenbündels kann
von außen her durch Anbringen einer Markierung an dem Knopf 7 ermittelt werden. "5
Claims (3)
- Patentansprüche:i. Elektronenmikroskop mit einer Schleusenvorrichtung zum Einführen eines abzubildenden Objekts in das Strahlenbündel, das an einem iao Halter befestigt ist, der den mit dem entlüfteten Raum durch zwei diametrale öffnungen zum Durchlassen des Strahlenbündels in Verbindung stehenden, das Objekt enthaltenden Raum luftdicht verschließt, dadurch gekennzeichnet, daß 1*5 der Objekthalter so gegen ein bewegliches Organdrückt, daß bei Entfernung des Objekthalters das bewegliche Organ sich verschiebt und den luftdichten Verschluß des Objektraums bewirkt.
- 2. Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Objekthalter das bewegliche Organ aus der Lage, in der es den Verschluß des Objektraums herbeiführt, gegen einen Anschlag drückt.
- 3. Elektronenmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschlag so verstellbar ist, daß das Objekt beim Andrücken an diesen Anschlag die richtige Lage im Strahlenbündel einnimmt.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1175 8.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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NL266225X | 1947-07-08 |
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Family Applications (1)
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