DE898213C - Vakuumhahn fuer an der Pumpe arbeitende Geraete - Google Patents

Vakuumhahn fuer an der Pumpe arbeitende Geraete

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DE898213C
DE898213C DES12116D DES0012116D DE898213C DE 898213 C DE898213 C DE 898213C DE S12116 D DES12116 D DE S12116D DE S0012116 D DES0012116 D DE S0012116D DE 898213 C DE898213 C DE 898213C
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DE
Germany
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tap
arrangement according
pump
cock
vacuum
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Expired
Application number
DES12116D
Other languages
English (en)
Inventor
Ernst Dr-Ing Ruska
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

  • Vakuumhahn für an der Pumpe arbeitende Geräte Bei an der Pumpe arbeitenden Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elekt,ronerimikroskopen, müssen Abisperrvorrichtungen vorhanden sein, die es gestatten, den Innenraum des. Gerätes wahlweise mit derAußenluft, mit einer Vorvakuumpumpe oder mit einer Hauptvakuumpumpe zu verbinden. Die bisher bekannten, zu diesem Zweck verwendeten Vorrichtungen bestehen, meist au@s@ zwei oder mehr Vakuumhähnen, die in die entsprechenden Verbindungsleitungen des Gerätinnern mit der Außenluft, der Vorvakuumpumpe bzw. der Hauptvakuumpumpe gelegt sind. Derartige Hähne müssen bei. den bekannten Anordnungen. in ganz bestimmter Reihenfolge berdient werden, um beispielsweise zu verhindern, daß der an der Hochvakuumpumpe liegende Innenraum des, Korpuskularstrahlapparates mit. der Außenluft verbunden wird, bevor der zur Hochvakuumpumpe führende Hahn geschlossen. ist. Man muß daher entweder geschultes Bedienungspersonal bei der Handhabung der Geräte verwenden oder zu mechanischen oder anderen Verriegelungsein.richtungen greifen, durch die dafür gesorgt wird, daß die einzelnen Hähne nur jeweils in der ganz bestimmten zulässigen Reihenfolge bedient werden können.
  • Die oben geschilderten Schwierigkeiten werden bei, der Erfindung dadurch überwunden, daß ein einziger Hahn so ausgebildet ist, daß er in. mehreren Betriebsstellungen nacheinander den. Innenraum des Gerätes mit der Außenluft, mit: einer Vorvakuumpumpe oder mit der Hauptvakuumpumpe zu verbinden und in einer vierteln Stellung zur Vakuumprüfung den auf Hochvakuum gebrachten Mikroskopraum von der Hochvakuumpumpe abzusperren gestattet. In einem solchen Hahn sind also alle Unterbrechungsstellen der Verhindungskanäle zwischen dem Gefäßinnern und der Außenluft bzw. den zugeordneten. Vakuumpumpen so angeordnet, daß beim Dreheng des, Hahnes jeweils in ein-er bestimmten Richtung nacheinander ganz zwangsläufig solche Halmeinstellungen durchlaufen werden, die bei der b'edienung des Gerätes zulässig sind.
  • Man kann. beispielsweise! einen drehbaren Hahn anwenden, dessen Halmküken. einen rechtwinklig abgebogenen, an dieVakuumpumpe angeschlossenen Kanal und, dessen Gehäuse! einen zugeordneten, zum Gerätinnern führenden Kanal enthält. Dabei wird man im Hahngehäuse in einer achs.ensenkrechten Ebene einen zur Außenlufti führenden Kanal anordnen, denn im Küken. ein Verbindungskanal zugeordnet ist, der 'in der ersten Hahnstel:lung die Außenluft mit dem Gefäßinnern zu verbinden gestattet. Das Hahngehäuse wird außerdem noch mit einer zweiten ochsensenkrechten Ebene mit drei vorzugsweise um 12o° gegeneinander versetzten. Bohrungen versehen, die zum Gerätinnern zur Vakuumpumpe bzw. zur Hochvakuumpumpe führen. Diesen, drei Bohrungen ist dann im Küken ein Verbindungskanal so zugeordnet, daß in einer zweiten Hahnstellung das Geräüinnere mit der Vorvakuumpumpe und in einer dritten Hahnstellung die! Vorvakuumpumpe mit der Hauptvakuumpumpe verbunden ist. Die Kanäle im Hahngehäuse und im Hahnküken sind fernerhin vorzugsweise so angeordnet, daß der Hahn meiner vierten Stellung das Gehäuseinnere völlig von der Außenluft und in beiden Vakuumpumpen absperrt. Um unzulässige Vaktnumschaltnmgen zu vermeiden, empfiehlt es sich, durch Anschläge einen unmittelbaren Übergang von der ersten in die vierte Hahns.tellung und umgekehrt zu verhindern.
  • Um möglichst große und wirksame Dichtungsflächen im Vakuumhahn zu erzielen, ist es vorteilhaft, den Drehwinkel zwischen der ersten und zweiten Hahnstellung auf 6o°, zwischen der zweiten und dritten Hahnstellung auf 12o° und zwischen der dritten und vierten Hahnstellung auf 9o° zu bemessien. Die einzelnen Hahnstellungen wird man, um die Bedienung zu erleichtern, durch Anwendung von Kugelrasten am Handgriff des Hahnkükems fühlbar machen.
  • Eine besonders einfache konstruktive Anordnung ergibt sich, wenn man das Hahngehäuse an der Vakuumwand des, Korpuskularstirahlapparateisi selbst anbaut. Für diese Anwendungsform der Erfindung ist in den Figuren ein Ausführungsbeispiel dargestellt.
  • Die Fi!g. i bis 3 zeigen zwei Längsischnitte und eine Draufsicht auf den Vakuumhahn. Mit i ist ,das Gehäuse des Elektronenmikroskops bezeichnet. Dieses umschließt den Innenraum 2 des. Mikroskops. Mit Hilfe der Schrauben 3 ist ein Hahngehäuse 4 fest mit der Wand i verschraubt. Dem Hahngehäuse 4 ist ein Küken 5 zugeordnet, das: mit Hilfeeines Handgriffes 6 inn.crhalb@ eines b&-stimmten Winkelbereiches gedreht werden kann, so daß sich vier verschiedene Einsstellungen bei der Vakuumschaltung ergeben. Diese vier Einstellungen sind durch Anwendung der Kugelrasten 7 am Handgriff für den Bedienenden fühlbar gemacht. Die genauen Einstellungen des: Hahnkülcen:s@ können auch z. B. durch Strichmarken festgelegt werden, und es kann z. B. durch Buchstaben die Arbeitsart kenntlich gemacht werden. Das Hahngehäuse isst an der Mikroskopwand i .so befestigt, daß der vor dem Mikroskop Sitzende den Handgriff 6, welchen er unmittelbar vor sich hat, gut bedienen kann.
  • Das Hahnküken enthält an seinem sich konisch verjüngenden Ende einen. rechtwinklig abgebogenen Kanal 8, an dessen Ende 9 eine in der Figur nicht dargestellte, zur Hochvakuumpumpe führende Leitung abgeschlossen wird. Dem Kanal 8 ist im Hahngehäusc 4 und in der Wand i des Elektronenmikroskops der Kanal 1o zugeordnet. In der ochsensenkrechten Ebene 1i ist im Hahngehäuse ein Kanal 12 angeordnet, der mit der Außenluft iai Verbindung steht. Diesem Kanal isti im Hahnküken .ein entsprechender Kanal 13 zugeordnet, der zur Hersitellung der Verbindung zwischen dem Gefäßinnern 2 und der Außenluft dient,. In den Gehäuseteilen i und 4 ist dieser Verbindungsleitung der Kanal 14 zugeordnet.
  • In einer zweiten achsensenkrechtien Ebene 15 enthält das Hahngehäuse 4 drei vorzugsweise um i2o° gegeneinander versetzte Bohrungen 14, 16, 17, welche zum Gerätinnexn zur Vorvakuumpumpe bzw. zur Hochvakuumpumpe führen. Diesen drei Bohrungen ist im Küken 5 ein Verbindungskanal 18 zugeordnet.
  • In den Fig. 4a bis. 4h sind die vier verschiedenen möglichen Hahneinstellungen aufgezeichnet, und zwar zeigen die Fig.4a, 4c, 4'e und 49 einen Schnitt durch die ochsensenkrechte Ebene 19 des Hahnes und die Fig.4b, 4d, 4f und 4h einen Schnitt durch die ochsensenkrechte Ebenes 15 des Hahnes..
  • Fig. 4a und 4b zeigen die Hahneinstellung, bei welcher der- Innenraum 2 des Gerätes über die Kanäle 14, 13 mit der Außenduft verbunden ist.
  • Fig. 4 c und 4 d zeugen die zweite Hahneinsteillung nach Drehung um 6o°. In diesem Fall ist das Innere des Elektronenmikroskops über die Kanäle 14, 18, 16 mit der Vorvakuumpumpe verbunden. Durch Drehen um 12o° wird die in Fig. 4e und 4f dargestellte Lageerreicht, in der der Innenraum des Elektronenmikroskops über die rechtwinklig abgebogene Leitung 8 an die Hauptvakuumpumpe angeschlossen ist., während die Hauptvakuumpumpe andererseits über die Kanäle 17, 18, 16 mit der Vorvakuumpumpe in Verbindung steht. Wenn man den Hahn schließlich nachmals um 9o° dreht, ergibt sich die in der Fig. 49 und 4h dargestellte Einstellung, in der der Innenraum 2 völlig nach außen und gegen die Pumpen abgeschlossen isst.

Claims (1)

  1. PATtNTANSPRÜCFIE: i. Vakuumhahn für an der Pumpe arbeitende Geräte, insbesondere Korpuskularstrahlapparate, beispielsweise Elektron#e.n.mikrosl<:op,s, dadurch gekennzeichnet, daß ein einziger Hahn so ausgebildet ist, daß er in mehreren Betriebsstellungen nacheinander den Innenraum des Gerätes mit der Außenluft, mit. eineu Vorvakuumpumpe, mit der Hauptvakuumpumpe zu verbinden und in einer vierten Stellung zur Vakuumprüfung ganz abzusperren -gestattet. Anordnung nach Anspruch i mit einem drehbaren Hahn, dessen Hahnküken einen rechtwinklig abgebogenen, an die Vakuumpumpe angeschlossenen Kanal und dessen Gehäuse einen zugeordneten, zum Gerätinnern führenden Kanal enthält, dadurch gekennzeichnet, daß im Hahngehäu,se in einer achsen.senkrechten Ebene ein zur Außenluft führender Kanal vorgesehen ist, dem im Hahnküken ein Verbindungskanal zugeordnet ist:, der in der ersten Hahnstellung die Außenluft mit dem Gefäßinnern zu verbinden gestattet. 3. Anordnung nach Anspruch i und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Hahngehäuse außerdem noch in einer zweiten achsensenkrechten. Ebene um vorzugsweise 120° gegeneinander versetzt drei Bohrungen enthält, welche zum Gerätinnern, zur Vorvakuumpumpe bzw. zur Hochv alzuumpumpe führen, wobei diesen drei Bohrungen ein Verbindungskanal im Hahnküken derart zugeordnet ist, daß in einer zweiten Hahnstellung das Gerätinnere mit der \Torval:uumpumpe und in einer dritten Hahnstellung . die Vorvakuumpumpe mit der Hauptvakuumpumpe verbunden wird. Anordnung nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden im Hahnküken vorgesehenen Verbindungskanäle auch miteinander verbunden sind. 5. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgernden, dadurch gekennzeichnet:, daß der Hahn in einer vierten Stellung das Gefäßinnere völlig von der Außenluft und den beiden Vakuumpumpen absperrt. 6. Anordnung nach Anspruch 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein unmittelbarer Übergang von der ersten in die vierte Hahnstellung und umgekehrt durch Anschläge verhindert ist. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehwinkel zwischen der ersten und zweiten Hahnstellung 6o°, zwischen der zweiten und dritten Hahnstellung 12o° und zwischen der dritten und vierten Hahnstellung go° beträgt. B. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden., dadurch gekennzeichnet, daß das Hahngehäuse an die Vakuumwand des Korpuskularstrahlgehäuses selbst angebaut ist. g. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet,, daß die ,einzelnen Hahnstellungen am Handgriff des Hahnkükens) durch Anwendung von Kugelrasten fühlbar gemacht sind. 1o. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Halmstellungen an einer dem Handgriff zugeordneten Stelle markiert und bezeichnet sind.
DES12116D 1943-07-05 1943-07-06 Vakuumhahn fuer an der Pumpe arbeitende Geraete Expired DE898213C (de)

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