DE1027815B - Geraet fuer Mikroskopie mit Hilfe von Korpuskularstrahlen - Google Patents

Description

Bei Geräten für Mikroskopie mit Hilfe von Korpuskularstrahlen ist meist ein Halter vorgesehen, in dem ein Objektträger angeordnet werden kann. Dieser Halter ist etwas beweglich, so daß die Stelle, an der das bilderzeugende Strahlenbündel das Objekt schneidet, veränderlich ist. Die Beweglichkeit des Objektes in Richtung der Strahlen ermöglicht es, den Abstand des Bildes von der bilderzeugenden Linse zu ändern.

Es sind bereits Vorrichtungen bekannt, bei denen der Objektträgerhalter die Form eines zweiarmigen Hebels aufweist, dessen Drehpunkt in einer biegsamen Verbindung mit der Wand des Entladungsgefäßes liegt. Bei diesen Geräten ist eine Öffnung in der Wand erforderlich, durch die hindurch das Objekt in den Entladungsraum eingeführt werden kann. In einigen Fällen ist zu diesem Zweck eine gesonderte Öffnung vorgesehen, beispielsweise der Stelle gegenüber, an der der Objektträgerhalter durch die Wand hindurchgeführt ist.

In anderen Fällen ist der Halter lösbar in der Wand befestigt, und der Objektträger kann zusammen mit dem Halter aus dem Gerät entfernt werden.

Es sind auch Geräte bekannt, bei denen der Objektträger durch eine Luftschleuse in den evakuierten Entladungsraum gebracht wird. Die Wand dieser Geräte weist gesonderte Öffnungen auf, in denen die Organe zum Verschieben des Objektträgers beweglich angeordnet sind, jedoch derart, daß Undichtigkeiten vermieden werden.

Das erfindungsgemäße Gerät bezweckt, eine einfache Bauart einer beweglich angeordneten Objektträgerhalterung zu schaffen. Bei dem vorliegenden Gerät für Korpuskularstrahlen ist die Objektträgerhalterung derart beweglich, daß das Objekt genau in bezug auf das Strahlenbündel einstellbar ist. Die Erfindung besteht darin, daß die außerhalb des Vakuums angeordnete Objektträgerhalterung an verschiebbaren, ebenfalls außerhalb des Vakuums befindlichen Stützpunkten anliegt und außerdem eine zu einer ring- oder rohrförmigen Verbindung mit der Gerätewand koaxiale Luftschleuse aufweist, durch die der Objektträger hindurchführbar ist.

Bei einer besonders zweckmäßigen Ausführungsform besteht die Objektträgerhalterung aus einem Metallblock, der mit einer zum Entladungsraum führenden Bohrung mit einer Schleuse (für den Objektträger) und mit zwei symmetrisch zu dieser Bohrung angeordneten Füßen versehen ist, die je zwischen einem nachgiebigen Stützpunkt und einer Stellschraube festgeklemmt sind. Dieser Block ist durch ein zur Bohrung koaxiales Rohr, das das Vakuum abschließt, mit dem Körper des Gerätes, in dem auch die nachgiebigen Stützpunkte liegen, verbunden.

Dieses Rohr ist in Form eines Metallbalges gestal-Gerät für Mikroskopie
mit Hilfe von Korpuskularstrahlen

Anmelder:

N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,
Eindhoven (Niederlande)

Vertreter: Dr. rer. nat. P. Roßbach, Patentanwalt,
Hamburg 1, Mönckebergstr. 7

Beanspruchte Priorität:
Niederlande vom 9. März 1954

Adrianus Jacobus Jozef Franken

und Adrianus Verhoeff, Eindhoven (Niederlande),

sind als Erfinder genannt worden

tet oder aus Gummi oder einem ähnlichen biegsamen nachgiebigen Stoff hergestellt. Mit Hilfe der beiden Stellschrauben, die in einer zur Achse des Strahlenbündeis senkrechten Ebene angeordnet sind, sind die Stützpunkte in einer zur Achse der Bohrung parallelen Richtung verschiebbar. Infolgedessen ist das Objekt in zwei Koordinatenrichtungen senkrecht zum Strahlenbündel verschiebbar.

Wenn die zwei erwähnten Stützpunkte eine beschränkte Berührungsfläche aufweisen, ist der Block um ihre Verbindungslinie schwenkbar. Um ihm diese Schwenkbewegungen zu erteilen, kann eine dritte Stellschraube vorgesehen sein, die eine Bewegung senkrecht zur Ebene der beiden anderen Stellschrauben bewirkt.

Dadurch, daß der Block durch ein biegsames Rohr mit dem Körper des Gerätes verbunden ist, ist eine geringe, jedoch für die Einstellung hinreichende Ver-Schiebung des Objektes in drei Koordinatenrichtungen möglich unter vollständigem Abschluß des evakuierten Raumes gegen die Außenluft.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnung näher erläutert, in der

709 955/352

Fig. 1 in Grundzügen die Ausbildung des neuen Objekthalters erläutert, während

Fig. 2 einen längs einer die Stellschraube und die Achse der Bohrung enthaltenden Ebene, die also senkrecht zum Strahlenbündel ist, geführten Schnitt durch einen völlig ausgebildeten Halter in Einzelheiten darstellt..

In Fig. "1 bezeichnet 1 einen Teil des Körpers eines Gerätes für Korpuskularstrahlen, beispielsweise eines Elektronenmikroskops. Der Kanal 2 führt zu dem zu evakuierenden Entladungsraum. Der in Form eines Blocks 3 ausgebildete Objekthalter ist von der Außenluft umgeben. Der Block weist eine Bohrung 4 auf, an die ein Gummirahr 5 angeschlossen ist, das in den Kanal 2 mündet. In der Bohrung kann ein Objektträger angeordnet werden, der in Fig. 1 nicht dargestellt ist.

Der Block 3 weist zwei Füße 6 und 7 auf, die an nachgiebigen Stützpunkten 8 und 9 anliegen. Auf die Füße drücken in Richtung der Pfeile 10 und 11 Stellschrauben, mit deren Hilfe die Füße nach und von dem Gefäß 1 bewegt werden können. Das Gummirohr 5 läßt diese Bewegung zu unter Aufrechterhaltung des luftdichten Abschlusses des Kanals 2 gegen die Außenluft.

Entsprechende Teile der Ausführungsform haben in Fig. 2 die gleichen Bezugsziffern erhalten. Ein Teil der zylindrischen Außenwand des Gerätes ist mit 12 bezeichnet. Dieser Zylinder weist eine Querwand 1 mit einer mittleren öffnung 13 auf, durch die das Bündel Korpuskularstrahlen(im Falle eines Elektronenmikroskops ein Elektronenbündel) in einer zur Zeichenebene senkrechten Richtung hindurchläuft.

Im Zylinder 12 und der Querwand 1 ist eine rechteckige Aussparung hergestellt. In dieser Aussparung sind mittels (nicht dargestellter) Schrauben zwei Füllstücke 14 und 15 befestigt, nachdem zunächst der Block 3 in der Aussparung angeordnet ist. In den Boden der Aussparung sind Löcher 16 und 17 gebohrt. In diesen Löchern sind Druckfedern 18 und 19 angebracht, auf denen Stifte 8 und 9 angeordnet sind. Die Federn drücken diese Stifte gegen die Füße 6 und 7. Auf der anderen Seite drücken die Stellschrauben 20 und 21, die bei 22 und 23 in die Füllstücke 14 und 15 eingeschraubt sind, gegen diese Füße.

Der Block ist durch ein Gummirohr 5 mit der Querwand 1 derart verbunden, daß das Rohr die Verlängerung des zur mittleren öffnung 13 führenden Kanals 2 bildet. Ein metallenes Einsatzrohr 24 verhütet, daß der Außenluftdruck das Rohr 5 plattdrückt. Durch das Rohr 5 ist eine am Block angeordnete Büchse 25 hindurchgeführt, die die Verlängerung der Bohrung 4 des Blocks 3 bildet. Sie reicht bis in den Kanal 2 und enthält den Objektträger 26. Dieser wird von einem Gummiring27 geführt, der verhütet, daß zwischen dem Objektträger und der Innenwand der Büchse 25 Luft nach dem Innern eindringen kann.

Mit Hilfe des Knopfes 28 kann der Objektträger aus dem Halter entfernt werden. Wenn der Objektträger so weit zurückgezogen ist, daß die Spitze, an ßo der das Objekt befestigt ist, im Begriff ist, in der Büchse 25 zu verschwinden, fällt eine Rolle 29, an der eine Feder 30 zieht, auf einen Sitz 31. Die Rolle schließt infolgedessen die Mündung der Büchse luftdicht ab. Folglich kann der Objektträger 26 aus dem Halter 3 entfernt werden, ohne daß Luft in den evakuierten Raum 13 hineinströmt. Wenn der Objektträger wieder in den Halter eingebracht wird, drückt dessen abgeschrägter Rand 32 die Rolle vom Sitz. Die Rolle gleitet dann über den Rand 32 nach links und gelangt wieder in die dargestellte Lage. Durch einen Bügel 33 aus Metalldraht, der durch eine Öffnung in der Rolle hindurchgeführt ist, ist die Rolle mit dem frei liegenden Ring 34 (in Fig. 2 vor und hinter der Büchse 25) verbunden, auf den die Feder 30 drückt. " Ein am Objektträger befestigter Stift 35, der in einer Nut in der Bohrung 4 geführt wird, sorgt dafür, daß der Objektträger nur in einer einzigen Lage in die Schleuse hineingeschoben und nicht gedreht werden kann.

Soll das Objekt in Richtung der Achse des Objektträgers verschoben werden, so werden die Knöpfe 36 und 37, an denen die Stellschrauben 20 und 21 befestigt sind, je um den gleichen Winkel gedreht, wodurch die Stellschrauben um den gleichen Abstand in den Muttern 22 und 23 verschoben werden. Soll das Objekt in eine Richtung der Zeichenebene senkrecht zur Achse des Objektträgers verschoben werden, so wird die eine Stellschraube etwas vorwärts und bzw. oder die andere etwas rückwärts gedreht. Die Federn 18 und 19 sorgen dafür, daß die Füße 6 und 7 der Bewegung der Stellschrauben folgen, wenn diese zurückgedreht werden.

Im Block 3 ist eine dritte Stellschraube 38 senkrecht zur Ebene der beiden anderen angeordnet. Diese Stellschraube liegt an der Wand der Aussparung im Körper 1 an und trägt eine Scheibe 39, die in einer Aushöhlung im.Block 3 angeordnet ist. Der Rand dieser Scheibe steht etwas vor den Block 3 vor, so daß die Scheibe mit einer Fingerspitze gedreht und somit der Block 3 bewegt werden kann. Dabei schwenkt der Block um die Verbindungslinie der Stützpunkte 8 und 9, so daß, wenn die Außenseite des Blocks 3 nach vorn kommt, die Spitze des Objekthalters nach hinten geht. Selbstverständlich sind auf diese Weise nur geringe Verschiebungen möglich, aber zum Justieren des Objekts, beispielsweise zur Regelung des Abstandes des Objekts von der bilderzeugenden Linse, sind nur geringe Verschiebungen erforderlich.

Weil (zum Unterschied gegenüber bereits bekannten Bauarten), das Absperrventil 29 durch den Objekthalter selbst getragen wird, ist ein guter Abschluß stets gesichert ungeachtet der zufälligen Lage des beweglichen Objekthalters.

Claims (4)

Patentansprüche:

1. Gerät für Mikroskopie mit Hilfe von Korpuskularstrahlen, beispielsweise Elektronenmikroskop, mit einer beweglichen Objektträgerhalterung, dadurch gekennzeichnet, daß die außerhalb des Vakuums angeordnete Objektträgerhalterung an verschiebbaren, ebenfalls außerhalb des Vakuums befindlichen Stützpunkten anliegt und außerdem eine zu einer ring- oder rohrförmigen Verbindung mit der Gerätewand koaxiale Luftschleuse aufweist, durch die der Objektträger hindurchführbar ist.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträgerhalter aus einem Block besteht, der mit einer zum Entladungsraum führenden Bohrung mit Schleuse (für den Objektträger) und mit zwei symmetrisch zur Bohrung angeordneten, je zwischen einem nachgiebigen Stützpunkt und einer Stellschraube eingeklemmten Füßen versehen ist, und daß der Block mittels eines zur Bohrung koaxialen, das Vakuum abschließenden Rohrs mit dem Körper des Gerätes verbunden ist, in dem auch die nachgiebigen Stützpunkte angeordnet sind.

3. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine dritte Stellschraube vorgesehen ist, mit deretu Hilfe dier Block um die Verbindungslinie <ter nachgiebigen Stützpunkte schwenkbar ist.

4. Gerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrventil der Luftschleuse und die Feder, die dieses Ventil auf seinen Sitz drückt, am Objekthalter selber befestigt sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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