DE1205634B - Verschluss fuer ein Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

AUSLEGESCHRIFT

Int. Cl.:

HOIj

Deutschem.: 21g-37/10

Nummer:
Aktenzeichen:
Anmeldetag:
Auslegetag:

N17210 VIII c/21g
9. September 1959
25. November 1965

Die Erfindung betrifft einen Verschluß für ein Elektronenmikroskop, der aus zwei Teilen besteht, die unabhängig voneinander aus dem Strahlengang herausnehmbar sind, so daß wahlweise ein Teil oder das ganze Elektronenbündel hindurchtreten kann.

Ein solcher Verschluß dient dazu, die sich zur Auffangstelle (zum photographischen Film oder Leuchtschirm) bewegenden Elektronen abzufangen, solange eine Belichtung des Films oder Schirmes nicht gewünscht wird.

Ein bekannter Verschluß besteht aus zwei Teilen, die unabhängig voneinander aus dem Strahlengang herausnehmbar sind, so daß wahlweise ein Teil oder das ganze Elektronenbündel hindurchtreten kann.

Jedoch hat dieser für jeden Teil eine besondere Drehachse besitzende Verschluß den Nachteil, daß die Vorrichtung zur bekanntlich im Vakuum stattfindenden Betätigung des Verschlusses verhältnismäßig kompliziert sein muß, da er eine besonders ausgebildete Verstellvorrichtung benötigt, um einen Teil oder das ganze Bündel durchzulassen.

Es ist ferner bekannt, den Elektronenzutritt zum Bildaufnahmematerial bei einer Vakuum-Filmkamera für ein Elektronenmikroskop durch eine halbkreisförmige Umlaufblende zu steuern. Diese Blende hat zum Zweck, während des Filmtransportes die Zutrittsöffnung für die Elektronenstrahlung zu verdekken und deshalb bewegt sie sich in mechanisch verknüpfter Weise synchron mit dem Filmsteuerungssystem. Die Erfindung hat zum Zweck, die Möglichkeit zu schaffen, wahlweise eine photographische Aufnahme mit einem Teil des Strahlenbündels und in einem späteren Zeitpunkt mit dem anderen Bündelteil herzustellen oder mit dem ganzen Bündel eine Aufnahme anzufertigen. Es ist zwar nicht unmöglich, mit der bekannten Umlaufblende wahlweise einen Teil des abbildenden Elektronenbündels oder das ganze Bündel durchzulassen, jedoch ist eine Herstellung von zwei Teilbildern auf einem Filmabschnitt nicht möglich, denn bei der Umlaufbewegung erfolgt nacheinander das öffnen und Schließen des Zutritts, wodurch nicht nach Wahl die eine und die andere Hälfte des Filmbildes benutzt werden kann, weil zwischendurch der Zutritt ganz freigegeben wird.

Gemäß der Erfindung besteht der Verschluß aus zwei in geschlossenem Zustand je eine Hälfte des Strahlenbündels auffangenden Teilen und die Verschlußteile sind um eine zu der Verschlußebene senkrecht angeordnete Achse drehbar.

Durch Vergleich der beiden nebeneinander auf dem Film erscheinenden Bildteile kann man dann etwaige im Zeitverlauf zwischen den beiden Auf-Verschluß für ein Elektronenmikroskop

Anmelder:

ίο N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,
Eindhoven (Niederlande)

Vertreter:

Dr. H. Scholz, Patentanwalt,
¹S Hamburg 1, Mönckebergstr. 7

Als Erfinder benannt:
Simon Lourens van de Broek,
Hendrikus Cornelus Johanna Marien,
Eindhoven (Niederlande)

Beanspruchte Priorität:

Niederlande vom 13. September 1958 (231362)

nahmen aufgetretene Änderungen des Objekts wahrnehmen.

Es ist erwünscht, daß dieser spätere Zeitpunkt beliebig gewählt werden kann, so daß der Beobachter nicht nur weiß, wie groß die Zeitdauer zwischen den beiden Belichtungen ist, sondern außerdem diese Zeit entsprechend dem Verhalten des Objekts ,nach Bedarf wählen kann.

Bei einer zweckmäßigen Ausführungsform des Verschlusses werden die Hälften durch zwei Federn geöffnet und geschlossen, die an einem Ende in je einem Punkt der beiden Verschlußhälften und an ihrem anderen Ende an einem Teil angreifen, der von außen her zwischen zwei Endlagen verschoben werden kann, in denen die Federn auf die Verschlußhälften entgegengesetzte Momente ausüben. Es muß dann eine gleichfalls von außen her betätigbare Vorrichtung vorgesehen sein, der in einer Lage eine Drehung einer der Verschlußhälften von der geschlossenen Lage aus verhütet und in einer anderen Lage eine solche Drehung gestattet. Hinsichtlich die-

ser Vorrichtung bestehen verschiedene Möglichkeiten. Es kann eine Vorrichtung zum Sperren nur einer der Verschlußhälften vorhanden sein. Dies genügt, wenn

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es nicht erforderlich ist, zwei komplementäre Aufnahmen zu machen. Wird dies dagegen beabsichtigt, so kann für jede Verschlußhälfte eine getrennte Vorrichtung vorgesehen werden. Auch kann eine einzige Vorrichtung derart eingerichtet sein, daß er das Sperren der einen oder der anderen Verschlußhälfte gestattet.

Eine Ausführungsform der zuletzt genannten Vorrichtungen ist in der Zeichnung beispielsweise dargestellt.

F i g. 1 stellt einen Querschnitt des Gehäuses eines Elektronenmikroskops mit einer zur Längsachse dieses Gehäuses nahe dem Verschluß senkrechten Ebene dar;

Fig. 2 zeigt ein Detail des Verschlusses, in einer zur Längsachse des Mikroskopgehäuses senkrechten Richtung gesehen.

In der Zeichnung bezeichnet 1 einen Teil des Stahlgehäuses des Mikroskops, das im Betrieb luftleer gepumpt wird. An der Innenwand befindet sich ein Tisch 2, auf dem der Verschluß befestigt ist. Die beiden Hälften 3 und 4 des Verschlusses bestehen je aus einer Metallplatte. Mittels der gestrichelten Linie 5 ist der Querschnitt des abbildenden Elektronenbündels wiedergegeben, dessen Achse mit dem des Zylindergehäuses 1 zusammenfällt. Im geschlossenen Zustand des Verschlusses fangen die Platten 3 und 4 gemeinsam das ganze Bündel auf, so daß Elektronen nicht bis zur Projektionsfläche (zum photographischen Film oder Leuchtschirm) durchdringen können.

Die Platten 3 und 4 sind um eine Spindel 6 schwenkbar und liegen in diesem Beispiel eine auf der anderen, in der Weise, daß sich ihre Ränder 7 und 8 etwas überdecken.

In der Wand 1 ist eine Ausnehmung vorgesehen, in der ein Stab 9 verschiebbar angeordnet ist. Die Federn 11 und 12 greifen bei 10 an diesem Stab an. Das andere Ende dieser Federn ist bei 13 bzw. 14 mit der Platte 3 bzw. 4 verbunden. Eine Welle 15, die luftdicht durch die Wand 1 durchgeführt ist (mit 16 ist schematisch eine Dichtung angegeben, die durch einen Gummiring erzielt werden kann) schneidet den Stab 9 senkrecht. Die Welle 15 ist an einem Ende mit einem Seitenarm 17 versehen, der einen Mitnehmer 18 trägt. Letzterer liegt zwischen zwei auf dem Stab 9 vorhandenen Nocken 19. An dem aus dem Gehäuse emporragenden Ende trägt die Welle 15 eine Kurbel 2Oi mittels derer die Welle gedreht werden kann. Bei Drehung drückt der Mitnehmer 18 gegen einen der Nocken 19 und der Stab 9 wird verschoben.

Von der dargestellten Lage aus wird bei Drehung der Welle 15 der Angriffspunkt 10 der Federn auf die Welle 6 hin verschoben und die Federn 11 und 12 werden stärker gespannt, bis sie in Flucht liegen. Bei fortgesetzter Verschiebung von 9 wird der Drehsinn des von den Federn auf die Platten ausgeübten Momentes umgekehrt.

Das von der Feder 11 dann auf die Platte 3 ausgeübte Moment bewirkt eine Drehung dieser Platte um die Spindel 6 bis in die durch die gestrichelte Linie 21 dargestellte Lage. Der Punkt 10 liegt dann in 10° und der Punkt 13 in 13^a. Dann wird die linke Hälfte des Elektronenbündels durchgelassen. Eine zu große Ausweichung der Platte kann durch das Anbringen eines (nicht dargestellten) Anschlags vermieden werden.

Die Platte 4 kommt noch nicht in Bewegung, da der Anschlag 22 an einem Seitenarm 23 einer Welle anliegt, die (durch eine schematisch dargestellte Dichtung 25) luftdicht durch die Wandl durchgeführt ist. Die Welle 24 trägt an dem nach außen emporragenden Ende eine Kurbel 26, mittels derer sie gedreht werden kann. Bei Drehung schiebt der Seitenarm 23 vom Anschlag 22 weg und die Verschlußhälfte 4 öffnet sich unter der Einwirkung der Feder 12. Der Punkt 14 gelangt dann in 14°.

Es ist einleuchtend, daß Vorkehrungen getroffen werden müssen, um zu verhüten, daß die Wellen 15 und 24 infolge des Druckunterschieds innerhalb und außerhalb der Wand 1 hineingesogen werden. Solche Vorkehrungen sind bei Elektronenmikroskopen üblich.

Die Welle 24 ist über einen beschränkten Abstand verschiebbar. Man kann daher, wenn der Arm 23 von den Platten 3 und 4 abgewendet ist, die Welle soweit einwärts verschieben, daß bei geschlossener Lage der Verschlußhälfte 3 der Arm 23 hinter einem Anschlag 27 zu liegen kommt {s. die gestrichelte Linie in Fig. 2). Die aus den Teilen 23, 24 und 26 bestehende Vorrichtung sperrt dann die Platte 3, und bei einer Einwärtsverschiebung des Stabes 9 wird die Verschlußhälfte 4 geöffnet. Die Verschlußhälfte 3 bleibt dann vorläufig geschlossen und gelangt erst in die strichelte Lage, wenn durch Drehung der Welle mittels der Kurbel 26 der Seitenarm 23 den Anschlag 27 verläßt.

Claims (1)

Patentansprüche:

1. Verschluß für ein Elektronenmikroskop, der aus zwei Teilen besteht, die unabhängig voneinander aus dem Strahlengang herausnehmbar sind, so daß wahlweise ein Teil oder das ganze Elektronenbündel hindurchtreten kann, dadurch gekennzeichnet, daß der Verschluß aus zwei in geschlossenem Zustand je eine Hälfte des Strahlenbündels auffangenden Teilen besteht und daß die Verschlußteile um eine zu der Verschlußebene senkrecht angeordnete Achse drehbar sind.

2. Verschluß nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Öffnen der Verschlußhälften (3, 4) Federn (11, 12) vorgesehen und derart angeordnet sind, daß beim Öffnen der einen Verschlußhälfte (3) die Feder (12) zum Öffnen der zweiten Verschlußhälfte (4) gespannt wird, und daß eine von außen her betätigbare Welle (24) vorgesehen ist, die in einer Lage die Bewegung der einen Verschlußhälfte (4) verhütet und in der anderen Lage eine solche Bewegung gestattet.

3. Verschluß nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß für die beiden Verschlußhälften eine gemeinsame Welle (24) vorgesehen ist, die derart verschiebbar angeordnet ist, daß sie wahlweise für die eine oder die andere Verschlußhälfte verwendet werden kann.

4. Verschluß nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Federn (11, 12) an einem Ende in je einem Punkt (13, 14) der Verschlußhälften (3, 4) angreifen und an ihrem anderen Ende mit einem Stab (9) verbunden sind, der von außen her zwischen zwei Endlagen verschoben werden kann, in denen die Federn (11, 12.)

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entgegengesetzte Momente auf die Verschluß- Philips'Technische Rundschau, August 1950, H. 2,

hälften (3, 4) ausüben. S. 40;

Manfred von Ardenne, Tabellen der Elektronen-

In Betracht gezogene Druckschriften: physik, Ionenphysik und Übennikroskopie, 1. Band,

Deutsche Patentschrift Nr. 760 761; 5 1956, S. 217.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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