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Einrichtung zum Betrachten von Zwischenbildern bei Kathodenstrahlröhren,
insbesondere Elektronenmikroskopen Zur Kontrolle der Justierung von Strahl und Bild
werden bei Elektronenmikroskopen sogenannte Zwischenbildleuchtschirme verwendet.
Diese haben jedoch den Nachteil, daB sie infolge von unvermeidlichen Aufladungen
oder einer an ihrer Mittelblende für den Strahldurchtritt entstehenden Streuung
von Elektronen die Güte des Endbildes herabsetzen.
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Es ist deshalb vorteilhaft, solche Zwischenbildleuchtschirme nur zur
Zentrierung von Strahl oder Bild einzuschalten, im übrigen aber sie während der
eigentlichen Beobachtung und Aufnahme eines Bildes aus dem Strahlengang zu entfernen.
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Es ist auch bereits vorgeschlagen worden, zu diesem Zweck den Zwischenbildleuchtschirm
mittels einer besonderen vakuumdichten Durchführung aus dem Strahlengang herausklappbar
auszubilden. Derartige Anordnungen haben sich aber in der Praxis nicht durchsetzen
können, da jede Durchführung eine Verschlechterung des vakuumtechnischen Teiles
eines Elektronenstrahlgerätes bedeutet.
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Es ist daher wünschenswert, mit möglichst wenigen Vakuumdurchführungen
auszukommen und die Einstellvorrichtungen der unbedingt erforderlichen Vakuumdurchführungen
so weitgehend auszunutzen, daß mit einer Einstellvorrichtung möglichst viele Verstellbewegungen
innerhalb des Vakuums durchgeführt werden können.-Die Erfindung richtet sich auf
eine Einrichtung zum Betrachten von Zwischenbildern bei Kathodenstrahlröhren, insbesondere
Elektronenmikroskopen, bei der der bzw. die Zwischenbildleuchtschirme aus dem Strahlengang
herausklappbar
sind, ohne daß der Nachteil einer Verschlechterung
des Vakuums in Kauf genommen werden muß.
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Gemäß der Erfindung wird dies dadurch erreicht, daß die Betätigung
des bzw. der Zwischenbildleuchtschirme über die gleiche Einstellvorrichtung erfolgt,
die zum Hochklappen des Endleuchtschirmes dient. Diese Einstellvorrichtung wird
im übrigen nicht voll ausgenutzt, da j a für das Hochklappen des Endleuchtschirmes
in,der Regel nur eine Drehung um etwa 9o° benötigt wird. Zur Ausnutzung eines größeren
Drehbereiches kann daher diese Einstellvorrichtung außer zur Betätigung eines oder
mehrerer Zwischenbildleuchtschirme gegebenenfalls auch noch zur Vornahme weiterer
Verstellbewegungen innerhalb des Vakuums benutzt werden. _ Die Ein- und Ausschaltung
.des Zwischenbildleucht.schiirmes mittels der zur Betätigung des Endleuchtschirmes
dienenden Einstellvorrichtung ist auf verschiedene Weise durchführbar.
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So kann z.. B. der Zwischenbildleuchtschirm in einer bei der Betrachtung
des Endbildes gebräuchlichen Lage des Endschirmes (waagerecht oder bei Verwendung
eines Einblicknikroskops um q.5° geneigt) herausgeklappt werden. In einer Zwischenlage
wird er in den -Strahlengang gebracht. Das Endbild kann dabei gleichzeitig betrachtet
werden. Die Bewegung kann vom Endschirm oder dem diesen bewegenden Antrieb mittels
bekannter Einrichtungen, wie Nocken, Hebel, Zahnräder, Wellen od. dgl., im Innern
des Vakuumgefäßes in die Zwischenbildebene und- von dort durch eine Öffnung des
Linsengehäuses zum Bildschirm übertragen werden, die sowieso für die Betrachtung
des Zwischenbildes vorgesehen werden muß. Es können auch Aussparungen im Linsengehäuse
selbst zur Aufnahme von Übertragungseinrichtungen (Stößel, Wellen) benutzt werden.
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Zur Übertragung der Bewegung kann auch ein Winkelbereich der Einstellvorrichtung
benutzt werden, der für das Hochklappen des Endleuchtschirmes und die Belichtung
des Aufnahmematerials nicht benötigt wird. So kann der Endleuchtschirm z. B. bei
einer Drehung der Einstellvorrichtung von o auf 9o° gehoben und dann bei weiterer
Drehung im gleichen Sinne wieder gesenkt werden. Nach Rückkehr des Endleuchtschirmes
in die Ruhelage-kann eine weitere Drehung zur Einschalturig des Zwischenbildleuchtschirmes
bei gleichzeitiger Betrachtung des Endbildes dienen. Durch einfache Mittel kann
ferner dafür gesorgt werden, daß die Plattenkassette in dem der Betrachtung des
Zwischenbildes dienenden Einstellbereich, beispielsweise von. i8o bis 27o°, nichtgeöffnet
wird. Die Platte oder der Film kann also bei eingeschaltetem Zwischenbildleuchtschirrn
nicht belichtet werden. Außerdem kann eine Sperrung vorgesehen sein, durch die erst
dann über iSo° weitergedreht werden kann, wenn die Kassette vorher wieder - geschlossen
worden"ist. Durch diese Maßnahme wird verhindert, daß während des Belichtungsvorganges
vorübergehend der Zwischenbildleuchtschirm in dee Strahlengang eingeschaltet wird
und durch vorübergehende Aufladung oder Streuung das Bild während der Belichtung
verändern kann. So kann z. B. durch eine Sperrvorrichtung erreicht werden, daß sich
der Endschirm nur bei Rechtsdrehung von o bis 9o° hebt, bei weiterer Rechtsdrehung
wieder senkt und durch Rechtsdrehung erst wieder gehoben werden kann, wenn vollständig
nach links zurückgedreht worden ist.
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Die Erfindung wird an Hand der Abbildungen näher erläutert, von denen
Abb. i schematisch ein Beispiel für die Anwendung der Erfindung -bei einem Elektronenmikroskop
zeigt, während in Abb. 2 ein einfaches Ausführungsbeispiel für die Umsetzung der
Drehbewegung einer Einstellvorrichtung in die Verstellbewegungen von Endleuchtschirm
und Zwischenbildleuchtschirm schematisch dargestellt ist.
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In Abb. i ist i das Vakuumgefäß eines Elektronenmikroskops, in dem
zwischen einem Objektiv 2 und einem Projektiv 3 ein unter einem Winkel von q.5°
gegen die Strahlrichtung geneigter Zwischenbildleuchtschirm q. angebracht ist, der
in der gezeichneten Lage durch ein nicht dargestelltes Einblickfenster betrachtet
werden kann. Das Endbild des Elektronenmikroskops kann entweder auf einem Endleuchtschirm
5 betrachtet oder auf einer darunterliegenden photographischen Platte 6 aufgenommen
werden. Zu diesem Zweck kann der Endleuchtschirm 5 durch Drehung einer aus dem Vakuumgefäß
i herausführenden Achse 7 nach oben geklappt werden, so daß die photographische
Platte 6 für die Aufnahme freigegeben wird. Am Rande des -Endleuchtschirmes ist
ein Hebel 8 angelenkt, dessen anderes Ende mit einem um einen Punkt 9 drehbaren
Winkelhebel io verbunden ist. Der Winkelhebel io steht über eine Stange ii mit dem
um einen Punkt 12 drehbaren Zwischenbildleuchtschirm q. in Verbindung. Beim Hochklappen
des Endleuchtschirmes 5 wird daher .der Zwischenbildleuchtschirm q. nach oben aus
dem Strahlengang herausgeklappt.
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Bei dem Ausführungsbeispiel nach Abb.2, in dem die Verstellglieder
für den Zwischenbild-'leuchtschirm q. und den Endleuchtschirm 5 in vier Bewegungsphasen
schematisch dargestellt sind, sitzen auf dem im Vakuum befindlichen Teil der Drehachse
7, die nur in einer Richtung gedreht werden kann, zwei entsprechend geformte Nöcken
oder Kurvenscheiben i3..ünd 1q., deren eine direkt auf den Endleuchtschirm einwirkt,
während die andere den Zwischenbildleuchtschirm q. über einen Hebel 15 und einen
Stößel 16 betätigt.
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Der Nocken 13 für den Endschirm ist so gestaltet, daß er während der
Halbperiode o bis 18o° der Drehung den Endschirm 5 hebt und wieder senkt- Während
der nächsten Halbperiode bleibt er - ohne Einfluß. Die .für die Bewegung des Zwischenbildleuchtschirmes
vorgesehene -Kurvenscheibe 1¢ hat eine''solche Form, daß der Zwischenbildleuchtschirm
nur-während einer Viertelperiode, und zwar dann in den Strahlengang geklappt wird,
wenn der Endschirm 5 nach dem Heben zur Belichtung
der Photoplatte
wieder gesenkt worden ist (18o bis 27o'.
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Wenn der Einfluß des Zwischenbildleuchtschirmes auf die Bildgüte photographisch
und visuell untersucht werden soll, muß der Endleuchtschirm auch bei eingeklapptem
Zwischenbildleuchtschirrn zwecks Belichtung der Photoplatte angehoben werden können.
Dies läßt sich durch entsprechende Formgebung des Nockens 13 erreichen.