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Einrichtung zur Herstellung von Innenaufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten
Zur Herstellung von Innenaufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise
Elektronenmikroskopen, sind schon die verschiedenartigsten Schleuseinrichtungen
für Fotomaterial bekannt. Wenn man bei mit Schleusen arbeitenden Apparaten Kassetten
für fotografische Platten anwendet, ist es meist üblich, die Schleuseinrichtung
so zu bemessen, daß man den Kassettenschieber innerhalb des Vakuumraumes aufziehen
und wieder schließen kann. Das bedingt einen verhältnismäßig großen Raumbedarf für
die Schleuseinrichtung.
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Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Herstellung von Innenaufnahmen
in Korpuskularstrahlapparäten mit einem unteren, quer zur 'Strahlrichtung liegendenAbschlußdeckel
für den Vakuumraum und einem im Bereich dieses Deckels angeordneten Halter für Fotomaterial.
Erfindungsgemäß ist dieser Halter so bemessen und angeordnet, daß bei geöffnetem
Abschlußdeckel eine Kassette mit geschlossenem Kassettenschieber in ihn eingesetzt
werden kann, wobei durch den Halter eine lichtdicht abgeschlossene Kammer für die
Kassette gebildet wird, so daß der Kassettenschieber vor dem Schließen des Abschlußdeckels
entfernt werden kann. Beim Einlegen des Fotomaterials wird also die mit dem Schieber
verschlossene Kassette in den Halter eingesetzt, der Schieber dann entfernt und
danach der Abschlußdeckel des Vakuumgefäßes geschlossen. Bei dieser Konstruktion
ist es möglich, den Raumbedarf für
das Fotomaterial im Innern des
Vakuumraumes sehr zu verkleinern, da nunmehr der Schieber innerhalb fd@es Vakuumgefäßes.
nicht mehr aafgezogen und geschlossen zu werden braucht. Man wird die Erfindung
insbesondere anwenden bei solchen Korpuskularstrahlapparaten, die ohne besondere
Schleuseinrichtungen für das Fotomaterial arbeiten, also beispielsweise bei kleinen
Elektronenmikroskopen, Elektronenbeugungsröhren od.dgl. Der Abschlußdeckel und der
angrenzende Vakuumraumteil werden bei der Erfindung vorzugsweise so bemessen, daß
bei eingesetzter Kassette ein Schließen des Abschlußdeckels nur möglich ist, wenn
der Schieber entfernt ist. Auf diese Weise läßt sich leicht sicherstellen, daß vor
Schließen des Vakuumgefäßes das Aufziehen des Schiebers nicht vergessen wird. Die
durch den Halter gebildete, lichtdicht abgeschlossene Kammer kann nach der Seite
des Strahlenganges hin beispielsweise durch die Endbildleuchtschirmklappe abgeschlossen
sein. Der Kassettenhalter und die Lagerung des EndbiIdleuchtschirmes können eine
konstruktive Einheit bilden, die entweder in den feststehenden Unterteil des Mikroskops
einsetzbar ist oder die mit dem Abschlußdeckel fest zusammengebaut ist. In beiden
Fällen werden die Anordnung und,Bemessung so gewählt, daß der Kassettenschieber
seitlich aus dem Halter herausgezogen werden kann. .
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Bei ,der Ausigestaltunhg der Erfindung gibt es verschiedene Lösungswege.
Man kann beispielsweise einen wannenförmigen Abschluß.deckel in Verbindung mit einem
mit dem feststehenden Apparatwandteil verbundenen Kassettenhalter anwenden, wobei
der Einführungsschlitz des Kassettenschiebers bei senkrecht stehender Anordnung
des Apparates unter der ebenen Dichtungsfläche, die zwischen dem feststehenden Teil
der Vakuumwand und dem Abschlußdeckel liegt, nach unten hinausragt. Dieser wannenförmige
Abschlußdeckel kann auch gleich den Antriebskonus der Leuchtschirmklappe mit enthalten.
Ein anderer Lösungsweg der Erfindung besteht darin, daß man einen flachen Abschlußdeckel
anwendet, der mit dem Kassettenhalter und der Leuchtschirmklappe zusammengebaut
ist, wobei der Einführungsschlitz des Kassettenschiebers bei senkrecht stehendem
Apparat über der ebenen Dichtungsfläche, die zwischen Abschlußdeckel und Apparatunterteil
liegt, nach oben hinausragt. Eine andere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung ergibt
sich, wenn man einen um eine Drehachse schwenkbaren Kassettenhalter anwendet. Ein
solcher Halter kann beispielsweise zur Bildung der lichtdichten Kammer für die Kassette
dann in eine Stellung schwenkbar sein, in der er sich mit der offenen Seite gegen
eine innere Seitenwand des Apparates legt. Zur Aufnahme ist der Halter dann weiterhin
in die Stellung quer zur Strahlachse schwenkbar.
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Weitere @ für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben .sich aus
den in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen. Die Fig. i zeigt schematisch
einen Längsschnitt durch (den Unterteil eines Korpuskularstrahlapparates, beispielsweise
eines Elektronenmikroskops. Mit i Ist der feststehende Unterteil der Vakuumwand,
mit 2 ein wannenförmiger unterer Abschlußdeckel des Vakuumgefäßes bezeichnet. Dieser
Deckel ist mit Hilfe des Scharniergelenkes 3 am Teil i befestigt. Zur Abdichtung
dient ein Trockendichtungsring 4.. Mit 5 isst (eine zum Artdrücken des Deckels 2
an den Teil i dienende Druckschraube .bezeichnet. In den Unterteil des Vakuumgefäßes
i ist ein Halter 6 für eine Kassette 7 eingesetzt. Dieser Halter 6 ist so ausgestaltet,
(daß er auch leicht von denn Teil i gelöst werden kann. Der Halter bildet auch das
Drehlager für die Endbildleuchtschirmklappe 8, die um -die Drehhachse 9 schwenkbar
ist. Das Zahnsegment io ist mit der Drehhachse verbunden, und das zugehörige, zum
Antrieb dienende Zahnrad i r ist an .dem Abschluß-deckel 2 befestigt. Beim Öffnen
ides Abschlußdeckels löst sich das Zahnrad ii ohne woiteres vom Zahnsegment io.
Die Betätigung der Klappe 8 erfolgt mit Hilfe eines in -der Figur nicht sichtbaren
konischen Drehschliffes, der durch die Wand der Abschlußklappe 2 hindurchgeführt
ist.
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Der Halter 6 bildet zusammen mit der Leuchtschirmklappe 8 eine lichtdichte
Aufnahmekammer für die Kassette 7. Die Anordnung ist so bemessen, daß der Kassettenschieber
i2- bei geöffnetem Abschlußdeckel2 nach dem Einsetzen der Kassette in den Halter
6 nach der rechten Seite hinausgezogen wenden kann. Der Schlitz 13 im Halter:6
befindet sich zu: diesem Zwecke unterhalb ,der ebenen Dichtungsfläche 1q., die zwischen
dien feststehenden Teil i (der Vakuumwand und dem Abschlußdeckel 2 liegt. Wie eingangs
erwähnt wurde, kann es vorteilhaft sein, die dargestellten Einzelteile so zu bemessen,
daß man -den Abschluß@deckel 2 nur .dann schließen kann, wenn der Kassettenschieber
12 hinausgezogen ist. Nach Scharfstellung des Endbildes mit Hilfe --des Leuchtschirmes
8- kann dann durch Hochklappen des Leuchtschirmes 8 die Aufrahme gemacht werden.
Danach wird nach Öffnen des Deckels 2 zunächst .der Kassettenschlieber 12 wieder
eingesetzt und dann die geschlossene Kassette aus dem Halter 6 wieder entfernt.
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Eine andere der Erfindung ist in Fig. 2 dargestellt. In diesem Falle
ist ein flacher unterer Abschluß,deckel2,i angewendet, der wieder mit Hilfe eines
Scharniergelenkes 3 am Unterteil i des Elektronenmikroskops befestigt ist. Soweit
die Einzelteile dieser Ausführungsform mit denen der Fig. i übereinstimmen, sind
die gleichen Bezugszeichen verwendet. Die Lagerurig der Leuchtschirnnklappe 8 und
-des zugehörigen Antriebes io, ii liegt in diesem Falle in Odem Abschlußdecke12ii,
der auch gleichzeitig die Aufnahmekammer für die Kassette 7 bildet. Der Einführungsschlitz
des Kassettenschiebers 12, liegt im Falle dieses Ausführungsbeispiels vor (der Zeichenebene,
und zwar in einer derartigen Höhenlage oberhalb der ebenen Dichtungsfläche 15, @daß
(der Schieber i2 ungehindert nach dem Einsetzen.,der Kassette in den Halter hinausgezogen
werden kann: Eine andere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung ist schematisch in
Fi.g. 3 dargestellt. Hier ist
mit 22 der untere Teil der Vakuumwand
eines Korpuskularstrahlapparates, beispielsweise eines Elektronenmikroskops, bezeichnet.
Den unteren Abschluß dieses Vak numwandteiles bildet die Abschlußklappe 23, in welcher
sich der von außen her zu betrachtende Durchsichtleuchtschirm 24 befindet. Mit Hilfe
:des Scharniergelenkes 25 kann der untere Abschlußdeckel des Apparates geöffnet
werden. Mit 26 ist ein Trockendichtungsring bezeichnet. Bei geöffnetem Deckel. 23
kann eine Fotokassette 27 von unten her in einen um eine Achse 29 schwenkbaren Halter
28 eingesetzt werden. In der dargestellten Betriebslage legt sich dieser Halter
gegen die linke Seitenwand 30 des Korpusk ularstrahlapparates und bildet zusammen
mit dieser eine lichtdicht nach außen abgeschlossene Kammer 3i. Man kann also nach
Einführen der durch den Schieber 32 geschlossenen Kassette den Schieber 32 nach
unten hinausziehen, ohne daß Licht zur Platte 33 treten kann. Nach Entfernung des
Schieiters 32 wird die untere Abschlußklappe 23 geschlossen, -so daß man nunmehr
;den Korpuskularstrahlapparat in Betrieb nehmen kann. Nachdem das Bild auf dem Leuchtschirm
24. scharf gestellt ist, wird der Strahlengang beispielsweise durch eine in der
Edgur nicht dargestellte Belichtungsklappe gesperrt. Dann wird der Kassettenhalter
28 in (der Pfeilrichtung bis in die gestrichelte Lage geschwenkt, wonach der Strahlengang
für ,die Belichtung freigegeben wird. Nach Beendigung der Belichtung wird der Halter
28 wieder in (die dargestellte Lage hochgeklappt, wonach ,man den Kassettenschieber
32 nach Öffnen des Deckels 23 wieder einsetzen und dann,die abgeschlossene Kassette
aus ,dem Halter 28 entfernen kann.