DE889482C - Anlage zur Herstellung von elektronenmikroskopischen Bildern und Elektronenbeugungsbildern - Google Patents

Description

• Anlage zur Herstellung von elektronenmikroskopischen Bildern und Elektronenbeugungsbildern Bei der Erforschung des Aufbaues der Materie hat sich sowohl die elektronenmikroskopische Untersuchung als 'auch ,die Herstellung von Elektronen, beugun.gsbilidern von.durdh:strah:lten oderbestrahlten Objekten als wichtiges Hilfsmittel erwiesen. Dabei hat sich gezeigt, @daß sich beide Methoden sehr gut ergänz-en können. Man ist deshalb 'dazu übergegangen, Korpuskularstrahlapparate so auszubilden, @daß sie sowohl zur Herstellung von elektronenmikroskopischen Bildern als auch zur Herstellung von Beugungsbildern 'geeignet sind. Man muß allerdings dann einen Kompromiß schließen, weil an sich ein Mikroskop .und ein Beugungsgerät je mit Rücksicht auf die ganz verschiedenartige Aufgabenstelliun'g im Gruntde genommen auch verschiedene Ausgestaltung der Einzelteile hinsichtlich der Abmessungen, z. B. der Baulänge u. dgl., erfordern.
• Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Herstellung von elektro@nenmikroskopiechen Bildern und Beugungsbildern von @durchstrahlten oder bestrahlten Objekten, die nach anderen Gesichtspunkten ausgestaltet ist. Erfindungsgemäß sind einer Hochsplarnnungserzeu;gun'gsanlage ein Elektronenmikroskop und ein besonderes Elektronenbeugungsgerät zugeordnet.
• Eine solche Anlage bringt verschiedene Vorteile: Zunächst kann man beide Apparate mit Rücksicht auf ihre verschiedenartige Aufgabenstellung ausgestalten, ohne @daß verwickelte Konstruktionen von Einzelheiten erforderlich sind, wie dies mitunt'erbei den beiden Verwendungszwecken dienenden Korpuskularstrahlapp -araten der Fall ist. Die Verwendung einer Hochspannungserzeugungs-anlage für beide Apparate macht es dabei ohne großen apparativen Aufwand möglich., beide Untersuchungsmethoden anzuwenden. Das ist insbesondere auch dann der Fall, wenn man gemäß ,der weiteren Erfindung beiden Kozpuskularstrahlappanaten eine: gemeinsame Pumpanlage, vorzugsweise mit einer Vorvakuumpumpe und einer Hochvakuumpumpe, zuordnet. Diese Pu:mpanlage wird dann, so ausgebildet, d@aß @durch geeignet ausgebildete Hähne die Pumpen wahlweise mit dem einen oder mit dem anderen Apparat oder gegebenenfialls aueh mit beiden Apparaten gleichzeitig verbunden werden können.
• Die Anlagenteile können so ausgebildet sein, daß wahlweise entweder nur das Elektronenmikroskop oder nur das Elektroneübeugungsgerät betrieben werden kann. Es ist aber .auch möglich, die Anordnung so zu wählen, daß man, wenn es erwünscht ist, auch beide Apparate gleichzeitig betreiben kann. Bei der zuerst genannten Betriebsweise kann man noch ,dadurch einen 'besonderen Vorteil erzielen, daß der Innenraum des jeweils nicht in Betriebbefindlichen Apparates als Vorvakuumreservoir für den im Betrieb befindlichen Apparat verwendet wind. Das ist insbesondere dann von besonderem Vorteil, wenn man die Korpuskularstrahlapparate gemäß der weiteren Erfindung so ausgestaltet, daß das Einsetzen und Entnehmen der Objekte und des, Fotomaterials ohne Verwendung )besonderer Schleusen, also durch Öffnen des Apparates selbst, erfolgt.
• Mit besonderem Vorteil wird man weiterhin solche Apparatteiie, :die für beide Apparate einheitlich sein können, so ausgestalten, d aß sie wahlweise 'bei beiden Apparaten angebaut werden können. So kann man z. B. einen vorzugsweise aus Kathode, Wehneltzylin@der und Anode ibestehenden Strahlerzeuger, der von einer die umgebende Vakuumwand bildenden Kappe umschlossen ist, so ausbilden, daß er wahlweise auf das Elektronenmikroskop oder auf das Elektronenbeugungsgerät aufgesetzt werden kann. Entsprechend- kann auch eine Fotokassette ausgebildet werden. Bei dem jeweils nicht im Betrieb befindlichen Apparat, dessen Innenraum als Vorvakuumreservoir dient, wird man ,dann den Strahlenzeuger und gegebenenfalls auch die Fotokassette durch besondere Abschlußdeckel, die vorzugsweise auf beide Apparate passen, ersetzen.
• Diie beiden Korpuskularstrahlapparate wind man vorzugsweise auf einem gemeinsamen Tisch montieren. Hierbeikann die Anordnung so gewählt sein, :dB .auf ,dem Tisch die Anzeigegeräte und unter dem Tisch die Pu.mpanlage und vorzugsweise auch der beiden Apparaten gemeinsame Hochspannungswerzeuger montiert sind.
• Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale werden in den folgenden Ausführungsbeispielen behandelt.
• Fig. i zeigt eine schematisch dargestellte Anlage, in der ein Elektronenmikroskop i und ein Elektronenbeugungsrohr 2 vereinigt sind. Beiden Apparaten ist eine gemeinsame Hocrhspannungsanlage, von der der Transformator 3 dargestellt ist, zugeordnet. Mit q. und 5 sind die in den Leitungen zu den beiden Apparaten liegenden Hochspannungsschalter bezeichnet. Beiden Apparaten ist eine gemeinsame Pumpanlage zugeordnet, zu der die Vorvakuumpumpe 6 und die Hochvakuumpumpe 7 gehören, die mit Hilfe ;der -beiden Dreiwe@gehähne 8 und 9 wahlweise mit dem einen oder anderen Apparat i oder 2 oder gegebenenfalls auch mit beiden Apparaten verbunden werden können. Hat man jeweils nur einen der beiden Apparate in Betri,db, so kann dabei der Innenraum des nicht in Betrieb befindlichen Apparates als Vorvakuumreservoirgeschaltet werden, um das Aus- und Ein-' schleusen von Objekten und Fotomaterial in der oben beschriebenen Weise zu erleichtern. Mit io ist die Kühlfalle, mit i i eine Vakuummeßeinrichtung, und: mit 12 sind zwei Vorvakuummanometer bezeichnet.
• In Fig. 2 äst eine Anlagedargestellt, bei der die beiden Korpuskularstrahlapparate auf einem gemeinsamen Tisch 21 montiert sind. Das Elektronenmikroskop 22 und das Elektronenbeugungsgerät 23 sind in,diesem Fall senkrecht stehend oben auf dem Tisch befestigt, wobei sich der Strah.lerzeuger 2¢ oben Zünd ,die Kasette 25 für -das Fotomaterial unterhalb der Tischplatte befindet. Unter dem Tisch sind hier ferner auch der Tr.,ansformator der Hochspannungsanlage 26 und die Pumpanlage 27 mOntiert. Wenn man die Anlage so betreiben will, daß wahlweise der eine oder der andere Apparat im Betrieb ist, wind an die Stelle des Strahlerzeugers 2¢ ein Deckel 2:8 auf den .dann als Vorvakuumreservoir betriebenen Apparat 23 gesetzt. Dieser Deckel paßt fauch auf den Apparat 22 und wird dort aufgesetzt, wenn das Beugungsgerät 2,3 in Betrieb ist. Die: Fotokassette ist in :diesem Fall mit einem Deckel 2xg kombiniert, der derart wahlweise einsetzbar ist, daß die Endbildbetrachtung bzw. das Endbildfoto entweder beim Mikroskop oder beim Beugungsgerät gemacht werden kann.
• Fig. 3 zeigt :schematisch eine_Anordnung, bei der die @beiden Apparate 22 und 23 senkrecht stehend unterhalb des Tisches 21 angeordnet sind. In diesem Fall wird bei beiden Geräten mit Durchsichtleuchtschirm und entsprechend ausgebildeter Halterung des Fotomaterials gearbeitet. 2o ist hier ein Deckel; der getrennt von der Fotokassette 30 aufgesetzt werden kann. Man kann, wie in Fig. q. dargestellt ist, auch ein Gerät, z. B. das Elektronenmikroskop 22, oben. auf dem Tisch 21 und das andere Gerät 23 unterhalb -der Tischplatte anordnen. Bei der in Fig. 5 und 6 dargestellten Anordnung sind die beiden Geräte oben auf der Tischplatte liegend montiert, und Fig. 7 und 8 zeigen schließlich eine Anlage, beider beide Apparate 22; 23 mit geneigter optischer Achse auf einem Tisch 21 montiert sind, wobei der Strahlerzeuger 24 unterhalb der Tischplatte 2 1 und die Fotokassette oberhalb der Tischplatte liegt.

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Anlage zur Herstellung von elektronen-,mikroskopischen Bildern und Elektronenbeugungsbildern von durchstrahlten oder bestrahltem Objekten, Üadurc'h gekennzeichnet, daß einer Hochspannungserzeugungsanlage ein Elektronenmikroskop und. einbesonderes Elektronenbeugungsgerät zugeordnet sind,. z. Anlage nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet"daß beiden Korpuskuiarstrahlapparaten eine gemeinsarne Pumpanlage, vorzugsweise mit einer Vorvakuumpumpe und einer Hochvakuumpumpe, zugeordnet ist. 3. Anlage nach Anspruch i oder z, gekennzeichnet durch eine solche Ausbildung der Arnlügenteile, daß wählweise entweder nur das Elektronenmikroskop oder nur das Elektronenheugungsgerät betrieben werden kann. q.. Anlage nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenraum des jeweils nicht in Betrieb befindlichen Korpuskularstrahlapparates als Vorvaktuumreservoir für -den in Betrieb befindlichen Apparat dient. 5. Anlage nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß ein vorzugsweise aus Kathode, Wehneltzylinder und Anode bestehender Strahlerzeuger wahlweise auf .das Elektronenmikroskop oder auf das Elektronenbeugungsgerät aufgesetzt werden kann. 6. Anlage nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß eine Fotokassette wahlweise auf das Elektronenmikroskop oder auf das Elektronenibeugungsgerät aufgesetzt werden kann. 7. Anlage nach Anspruch i oder einem der folgenden"dadurch gekennzeichnet, daß bei dem jeweils nicht in Betrieb befindlichenApparat der Strahlerzeuger und gegebenenfalls auch die Fotokassette durch besondere Abschlußdeckel, die vorzugsweise :auf beide Apparate passen, ersetzt wird. B. Anlage nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß beide Korpuskularstrahlapparate auf einem gemeinsamen Tisch montiert sind. 9. Anlage nach Anspruch i oder einem der folgernden, Üadurch gekennzeichnet, daß auf,dem Tisch die Anzeigegeräte und unter dem Tisch die Pumpanlage und vorzugsweise auch der beiden Apparaten gemeinsame Hochspanrnungserzeuger montiertsind. io. Anlage nach Anspruch i oder einem ,der folgenden" dadurch gekennzeichnet, daß beide Korpuskularstrahlapparate mit senkrecht stehen-,der Achse oben auf dem Tisch montiert sind. i i. Anlage nach Anspruch 8 oder 9, dadurch ,gekennzeichnet, daß beide Korpuskularstrahlapparate mit senkrecht stehender Achse und von unten nach oben- gerichtetem Strahlengarn- am Tisch befestigt sind, wobei die Betrachtung des Endbildes mit Hilfe eines Durchsichtleuchtschirmes erfolgt, der von der Oberseite der Tischplatte her betrachtet werden kann. 12. Anlage nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß beide Korpuskul.arstrahlapparate mit waagerecht liegender Achse oben auf Odem Tisch. montiert sind. 13. Anlage nach Anspruch 8 oder 9., dadurch gekennzeichnet, -daß einer der beiden Korpuskularstra'hlappanate mit senkrecht stehender Achse oben 'auf der Tischplatte und der zweite ebenfalls mit senkrecht stehender Achse unterhalb der Tischplatte montiert ist. 1q.. Anlage nach Anspruch 8 oder 91 dadurch gekennzeichnet, daß beide Korpus.kula,rstrahlapparate mit geneigter optischer Achse derart am Tisch befestigt sind, daß sich. der Strahlerzeuiger unterhalb und der En@dbildleuchtschirm oberhalb ,der Tischplatte befindet.