DE1113044B - Herstellungsverfahren fuer Kaskaden-Bildverstaerker - Google Patents

Description

Fig. 1 der Zeichnungen zeigt schematisch einen bekannten Kaskaden-Bildverstärker vom sogenannten »Sandwich«-Typ. Auf der Innenseite der transparenten Abschlußwand A des Gehäuses B der Röhre befindet sich eine Photokathode C, auf die ein optisches Bild eines Gegenstandes D (dargestellt durch einen Pfeil) mit Hilfe eines geeigneten Linsensystems, das durch eine Linse E dargestellt ist, fokussiert wird. Von der Kathode C emittierte Elektronen werden beschleunigt und durch gleichförmige elektrische und magnetische Felder (die durch nicht dargestellte Mittel erzeugt werden) auf eine Leuchtschicht F auf einer dünnen transparenten Membran G, die sich quer zum Verstärkergehäuse erstreckt, fokussiert. Auf der anderen Seite der Membran G befindet sich die Photokathode H. Mehrere weitere derartige Membranen G', G"... usw. sind in Abständen längs des Verstärkers angebracht, von denen jede eine Leuchtschicht F', F" ... auf der einen Seite und eine Photo-

kathode H', H" ... auf der anderen Seite aufweist. 30 anderen sind. Werden die Kathoden jedoch eine nach Auf der Innenseite des Fensters / am anderen Ende der anderen getrennt wärmebehandelt, wenn sie in des Verstärkergehäuses befindet sich eine abschlie- der Röhrenhülle sind, so ist es äußerst schwierig zu ßende Leuchtsschicht K, Die elektrischen und magne- verhindern, daß die im Zuge der Bearbeitung einer tischen Felder wirken so, daß sie die von der Ka- Kathode zugeführte Wärme die anderen, schon bethode C emittierten Photoelektronen veranlassen, ein 35 arbeiteten Kathoden nicht ungünstig beeinflußt oder stärkeres Abbild des ursprünglichen optischen Bildes ernstlich beschädigt. Darüber hinaus wird während auf dem Leuchtschirm F zu erzeugen, dessen Licht der Wärmebehandlung der Kathoden Caesium ein-Photoemission der Kathode H hervorruft, um ein geführt, das die Leuchtschicht angreifen und beschänoch stärkeres optisches Bild auf dem Leucht- digen kann und/oder sich auf der Innenseite des VerschirmF' zu erzeugen, welches wiederum Photo- 40 Stärkergehäuses niederschlägt und sogenannte Dunemission der Kathode H' veranlaßt, um ein noch kelstromeffekte hervorruft, wenn der fertige Verstärkeres Bild auf dem Leuchtschirm F" hervorzu- stärker in Betrieb ist. Weiterhin erfordert die Notrufen usw., bis auf dem letzten Schirm K ein helles wendigkeit der Verringerung von Beschädigungen Bild erzeugt wird. der Leuchtschirme durch Cäsium sowie die Notwen-

Bei der Herstellung eines wirklich zufriedenstellen- 45 digkeit, in Verstärkern, bei denen die Kathoden einden Verstärkers, wie in Fig. 1 dargestellt ist, ergeben zein behandelt werden, das Risiko von Beschädigunsich große Schwierigkeiten. Eine dieser Schwierig- gen schon bearbeiteter Kathoden bei Bearbeitung keiten liegt darin, daß das Herstellungsverfahren der einer weiteren Kathode zu verringern, daß die aufKathode eine Wärmebehandlung beinhaltet. Werden einanderfolgenden Membranen relativ großen Aballe Kathoden zusammen wärmebehandelt, so ist es 5° stand voneinander haben müssen. Daraus ergeben fast, wenn nicht völlig unmöglich, sie gleichen Wärme- sich wiederum teure schwere und sorgfältig justierte mengen und gleicher Kühlung auszusetzen. Daraus Magnetfeldsysteme, um eine genaue Fokussierung

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der photoelektrischen Emission jeder Kathode auf zu bewegen, um die erwähnte Lücke öffnen und den nächstfolgenden Leuchtschirm der Kaskade zu schließen zu können und dabei nacheinander die

gewährleisten. Trägermembranen in den Hauptteil des Gehäuses zu

Ziel der Erfindung ist-, die vorgenannten Fehler zu übertragen und abschließend den Gehäuseabschluß-

überwinden und ein Herstellungsverfahren zu schaf- 5 deckel damit in Verbindung zu bringen, sowie Mittel,

fen, welches Verstärker mit Kathoden von praktisch um die Gehäuseteile fest zusammenzupressen, um die

gleichförmiger Güte liefert, wobei die Verstärker re- Metall-Dichtungsstücke auf den aneinandergrenzen-

lativ klein und kompakt sein können, nur geringen den Flächen der Gehäuseteile miteinander kalt zu

Abstand zwischen den aufeinanderfolgenden Mem- . verschweißen.

branen aufweisen und nur geringe Dunkelstrom- io Fig. 2 der Zeichnungen erläutert einen Weg zur

effekte zeigen. Praktisch ist es möglich, nach der Durchführung der Erfindung und zeigt schematisch

Erfindung zufriedenstellende Verstärker mit so gerin- einen Schnitt durch eine Form einer Vorrichtung zur

gen Membranabständen — nur wenige Millimeter — Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens,

herzustellen, daß eine wirksame Fokussierung ohne Fig. 3 zeigt, soweit es erforderlich ist, eine bevor-

Anwendung eines fokussierenden Magnetfeldes er- 15 zugte Abwandlung der Vorrichtung nach Fig. 2.

zielt werden kann. In Fig. 2 ist eine evakuierbare Kammer dargestellt.

Das Verfahren zur Herstellung eines solchen Kas- Diese besteht aus einer helmartigen Haube 1 aus kaden-Bildverstärkers besteht darin, daß erfindungs- nichtrostendem Stahl und einer Grundplatte! mit gemäß jede der einseitig mit einer Leuchtschicht ver- einer Öffnung 3, durch die die Kammer über ein sehenen Trägermembranen auf die eine Öffnung eines 20 Rohr (nicht dargestellt), das vakuumdicht in die Distanzzylinders aufgebracht ist, daß weiterhin eine Öffnung eingepaßt ist, ausgepumpt werden kann. Die Anzahl solcher mit Trägermembranen ausgestatteten Haube 1 ist unter Zwischenlage von Dichtungen 4 Distanzzylinder in leicht abnehmbarer Weise auf zur Erzielung einer vakuumdichten Verbindung mit einer fortlaufenden Transportvorrichtung angeordnet der Grundplatte 2 verschraubt. Die Haube weist werden, die einerseits durch eine Anordnung zum 25 oben und seitlich eine Anzahl von Sichtfenstern auf, Herstellen von Photokathoden, andererseits durch von denen eines bei 5 dargestellt ist.
eine Lücke läuft, welche zwischen der becherförmi- Im oberen Teil der Kammer befindet sich eine gen Haupthülle des Kaskaden-Bildverstärkers und becherförmige Aufnahmehülse 6, die den Hauptteil 7 ihrem Abschlußdeckel gelassen ist, daß weiterhin die des Gehäuses des Kaskadenverstärkers aufnehmen Transportvorrichtung, die Anordnung zur Herstel- 30 kann. Teil 6 ist in Längsrichtung zwischen Führunlung der Photokathoden und die beiden Teile des gen 8 beweglich und wird durch einen Faltenbalg 9 Gehäuses des Kaskaden-Bildverstärkers in einem ge- wie dargestellt gehalten, um ihn in Längsrichtung meinsamen evakuierbaren Raum in zweckmäßigen durch Mittel wie ein Handrad 10 und eine Gewinde-Abständen untergebracht sind, daß weiterhin Mittel stange 11 von außerhalb der Kammer bewegen zu in dem Raum vorgesehen sind, durch welche die mit 35 können. Gehäuseteil 7 ist mit einem Kupferflansch der Trägermembran versehenen Distanzzylinder von oder einem anderen geeigneten Flansch T versehen, der Transportvorrichtung abgenommen und in das Das komplette Gehäuse besteht aus dem Haupt-Innere des Gehäuses des Kaskaden-Bildverstärkers teil 7 und einem Abschlußdeckel 12, der mit einem eingeführt werden, und daß schließlich Mittel vorge- Kupferflansch oder ähnlichem Flansch 12' versehen sehen sind, die es gestatten, daß nach Einführung 40 ist und von einem in der Kammer geeignet angebrachaller mit Photokathode und Leuchtschicht ausgestat- ten festen Gegenlager 13 gehalten wird. Die Gehäuseteten Distanzzylinder in das Gehäuse dieses mit dem teile 7 und 12 sind mit Abstand einander gegenüber Abschlußdeckel unter Vakuum vakuumdicht ver- derart angebracht, daß durch Bewegung des Teiles 6 schlossen wird. die Flasche 7' und 12' in Berührung miteinander ge-

Weiteren Merkmalen der Erfindung gemäß ent- 45 bracht werden können. Die Flansche bestehen aus hält eine Vorrichtung zur Durchführung eines wie einem Material, das bei Anwendung eines geeigneten vorstehend beschriebenen Herstellungsverfahrens Druckes eine Kaltschweißung ermöglicht. In der in eine evakuierbare Kammer mit einer abnehmbaren der Zeichnung dargestellten Lage ist jedoch zwischen Haube, eine innerhalb der Kammer angebrachte den gegenüberliegenden Enden der Gehäuseteile 7 Scheibe, welche eine zur Scheibenachse konzentrische 50 und 12 ein beträchtlicher Zwischenraum.
Transportvorrichtung bildet, die in der Lage ist, eine Ebenfalls innerhalb der Kammer ist eine Tempe-Mehrzahl von Trägermembranen sowie einen Ge- rungseinrichtung 14 geeigneter Art angebracht, um häuseabschlußdeckel leicht zu halten, eine in der eine zufriedenstellende Wärmebehandlung für die Kammer angebrachte Temperungseinrichtung, die so Herstellung einer Photokathode gemäß der bekanngelegen und aufgebaut ist, daß bei einer Drehung der 55 ten Herstellungspraxis zu erzielen. Innerhalb dieser Transportvorrichtung die von dieser aufgenommenen Einrichtung befinden sich die nötige Aufdampfein-Trägermembranen und der Gehäuseabschlußdeckel richtung oder andere Mittel, um das erforderliche nacheinander die Temperungseinrichtung durch- Photokathoden-Material niederzuschlagen,
laufen, Mittel zur Drehung der Transportvorrichtung Die Trägermembranen, auf denen Photokathoden von außerhalb der Kammer, in der Kammer vor- 60 ausgebildet werden sollen, werden von einer um eine gesehene Mittel zur Halterung des Hauptteiles des Achse 16 drehbaren Scheibe 15 von kegelförmiger Gehäuses derart, daß an dessen einem Ende eine Gestalt getragen. Die Scheibe kann von außerhalb Lücke bleibt, die bei Drehung der Transportvorrich- der Kammer in geeigneter Art, beispielsweise durch tung die von dieser getragenen Trägermembranen einen magnetischen Antrieb, gedreht werden. Die sowie der Gehäuseabschlußdeckel nacheinander 65 Mittel zur Drehung der Scheibe 15 sind, um die durchlaufen, weiterhin eine Faltenbalg-Konstruktion, Zeichnung nicht zu komplizieren, nicht dargestellt,
die gestattet, den Hauptteil des Gehäuses von außer- Die Scheibe trägt eine Folge von Trägermembrahalb der Kammer in Längsrichtung vor und zurück nen, auf denen Photokathoden ausgebildet werden

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sollen. Jede Photokathode wird auf einer Seite einer Leuchtschirmen sich innerhalb des Gehäuseteiles 7 transparenten Trägermembran 17 gebildet, die auf befindet. Es ist ersichtlich, daß der Abstand der der anderen Seite mit einer Leuchtschicht versehen Membranen 17 im Gehäuseteil 7 voneinander durch ist. Ausgenommen davon ist die Membran, auf der die Längen der Distanzzylinder 18 gegeben ist.
die erste Photokathode gebildet wird. Diese Mem- 5 Der Antriebsmechanismus 10-11 wird dann abgebran hat natürlich keine Leuchtschicht. Jede Träger- nommen, wobei die Kammer noch dicht bleibt, membran ist an einem kurzen Distanzzylinder 18 Scheibe 15 wird gedreht, bis eine abgeschnittene montiert, der auf der Scheibe durch eine Federhalte- Stelle ihres Randes in die Lücke zwischen den Teirung (nicht dargestellt) leicht gehalten wird. Die len 7 und 12 gebracht ist. Eine transportable hydrau-Distanzzylinder 18 sind von geeigneter Größe, um in io lische Presse (nicht dargestellt) wird auf die Kammer den Gehäuseteil 7 zu passen. Temperungseinrichtung aufgesetzt und Druck auf die Teile 19 und 20, die 14, Scheibe 15, die Halterung für die Distanzzylinder Druckstücke zur Aufnahme des Druckes von der 18 und die Teile, die die Gehäuseteile 7 und 12 auf- hydraulischen Presse bilden, ausgeübt. Die Teile 7 nehmen, sind derart zueinander angeordnet, daß bei und 12 werden nun mit HiKe der hydraulischen einer Drehung der Scheibe 15 die Distanzzylinder 18 15 Presse miteinander in Berührung gebracht (die auseine Kreisbahn durchlaufen, die durch die Tempe- geschnittene Randstelle der Scheibe 15 läßt dies zu), rungseinrichtung 14 und die Lücke zwischen den Ge- und es wird zwischen dem Teil 6 und dem Gegenhäuseteilen 7 und 12 führt, wenn diese in der in lager 13 ein Druck auf sie ausgeübt, der eine KaIt-Fig. 2 dargestellten Lage sind. verschweißung zwischen den Kupferflanschen T und Die Vorrichtung wird wie folgt angewandt: 20 12' bewirkt. Damit ist das Gehäuse dicht verschlos-Haubel wird von der Grundplatte 2 abgenommen. sen. Das Vakuum in der Kammer wird abgebaut, Eine Anzahl Distanzzylinder 18, deren Trägermem- Haube 1 wird von der Grundplatte 2 abgenommen branen eine Leuchtschicht auf der einen Seite haben, und das verschlossene Gehäuse entnommen,
werden in die Federhalterungen der Scheibe 15 ein- Zur Erzielung eines guten Vakuums im Gehäuse gesetzt. Gehäuseteil 7 wird in die Aufnahmehülse 6 25 ist es gewöhnlich ratsam, gemäß bekannter Praxis zu und ein Gehäuseabschlußteil 12 mit einer schon vor- gettern. In solchen Fällen kann ein Getter einfach bereiteten Leuchtschicht auf der Innenseite seines an der Kante des Gehäuseabschlußteiles 12 oder Fensters wird in das Gegenlager 13 eingesetzt. innerhalb eines besonderen Glasdistanzzylinders 18 Haube 1 wird dann auf die Grundplatte 2 aufgesetzt, angebracht werden, der keine Membran trägt und als die Kammer ausgepumpt und das Vakuum aufrecht- 3° letzter in das Gehäuseteil 7 eingebracht wird, bevor erhalten. Scheibe 15 wird über ihren magnetischen die Teile 7 und 12 zusammengefügt und verschlossen Antrieb gedreht, um die von ihr transportierten werden.

Trägermembranen nacheinander in die Temperungs- Falls es erwünscht ist, können die Distanzzylinder einrichtung 14 zu bringen, in dem jede, gleichzeitig 18 nicht nur als Träger und Abstandhalter für die aber immer nur eine, wärmebehandelt und gemäß 35 Membranen verwendet werden, sondern auf ihrer der bekannten Praxis zur Ausbildung einer Photo- Innenseite mit einem leitenden Belag bzw. leitenden kathode bearbeitet wird. Nach Ausbildung der Spiralen belegt werden, um so im Betrieb des Bild-Photokathoden können diese durch Beobachtung Verstärkers ein gleichförmiges Spannungsgefälle zwidurch eines der Sichtfenster in der Kammer auf ihren sehen benachbarten Membranen hervorzurufen. Na-Zustand untersucht werden, ohne sie aus der Kam- 40 türlich können auch, falls erforderlich, Verbindungsmer zu entnehmen. Die Anzahl der von Scheibe 15 leitungen (nicht dargestellt) zu den Membranen, die transportierten Trägermembranen ist größer als die durch das Gehäuseteil hindurchgehen, vorgesehen Zahl der erforderlichen Kathoden in einer komplet- werden.

ten Röhre, so daß die Membranen mit den besten Bei Bildverstärkern mit hoher Verstärkung besteht Photokathoden zum Einsatz in die Röhre ausgewählt 45 die Möglichkeit, daß durch Elektronen, die auf die und schlechte ausgeschlossen werden können. Eine letzte Leuchtschicht auftreffen, hervorgerufene Röntder ausgewählten Kathoden wird dann durch Drehung genstrahlen von der ersten Photokathode absorbiert der Scheibe in die Lücke zwischen den Gehäuse- werden und »Dunkelstrom«-Photoelektronen hervorteilen 7 und 12 gebracht. Sodann wird mit dem rufen. In extremen Fällen kann dieser Vorgang anHandrad 10 das Teil 6 mit dem Gehäuseteil 7 über 50 fachend sein und Verschwinden des Bildes zur Folge den Distanzzylinder 18 geschoben, welcher sich im haben. Von Röntgenstrahlen herrührende Schwierig-Zwischenraum zwischen den Gehäuseteilen 7 und 12 keiten können stark verringert und praktisch elimibefindet. Teil 6 wird dann wieder mit dem Handrad niert werden, indem die Membranen aus leitendem 10 zurückgezogen. Während dieses Rückzuges ist die Glas hergestellt werden.

Reibung zwischen der Innenseite von Teil 7 und dem 55 Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, daß als Distanzzylinder 18 hinreichend, um diesen aus seiner Resultat der individuellen Behandlung der einzelnen Federhalterung zu ziehen. Der Distanzzylinder 18 be- Photokathoden ohne Beeinflussung anderer Photofindet sich nun innerhalb des Teiles 7. Ein weiterer kathoden und ohne Schwierigkeiten durch freigesetz-Distanzzylinder 18 wird nun zwischen die Teile 7 tes Caesium, die Möglichkeit gegeben ist, Kaskaden- und 12 gebracht, Teil 6 wird wieder in Längsrichtung 60 Bildverstärker mit hoher Verstärkung herzustellen, vor- und zurückbewegt, und der weitere Distanz- bei denen die aufeinanderfolgenden Photokathoden zylinder 18 wird in das Innere von Teil 7 übertragen. viel geringeren Abstand voneinander haben, als ge-Dabei schiebt der zweite Distanzzylinder 18 die schon wohnlich für notwendig erachtet wird. Praktisch ist in der Hülse 7 vorhandenden Distanzzylinder eine es möglich, Abstände von nur wenigen Millimetern Strecke weit in die Hülse hinein. Diese Übertragung 65 vorzusehen.

ausgewählter Photokathoden auf Distanzzylindern 18 Während dadurch zweifelsohne die Größe des

von der Scheibe in das Gehäuseteil 7 wird fortgesetzt, Kaskadenverstärkers verringert wird, so hat es auch

bis die gewünschte Anzahl von Photokatoden und den größeren Vorteil, daß eine Fokussierung auf die

aufeinanderfolgenden Leuchtschirme ohne Verwendung äußerer Magnetfelder ermöglicht wird. Der sich daraus ergebende Wegfall von Solenoiden oder Magneten zur Erzeugung solcher Felder verringert nicht nur die Kosten, sondern auch sehr stark das Gewicht, was besonders wichtig für Vorrichtungen in Flugzeugen ist.

In manchen Fällen ist es erwünscht, daß die erste Kathode eines Kaskaden-Bildverstärkers direkt auf eine Endwand des Gehäuses und der abschließende Leuchtschirm direkt auf die andere Endwand des Gehäuses aufgebracht wird. Ein derartiger Verstärker ist in Fig. 1 dargestellt; die Erfindung kann zur Herstellung eines solchen Verstärkers angewandt werden. Fig. 3 zeigt, soweit es zum Verständnis notwendig ist, eine Abwandlung der Vorrichtung nach Fig. 2, die dieses Herstellungsverfahren gestattet. Soll eine derartige Röhre hergestellt werden, so wird Gehäuseteil 7 (Fig. 3) mit einem vorgeformten Leuchtschirm 21 auf der Innenseite seiner Endwand versehen, und das Gehäuseabschlußteil 22 wird in einem Halter auf der Scheibe 15 angebracht. Der Distanzzylinder 18' trägt keine Membran und wird vor Einführung des Gehäuseteiles 7 in das Aufnahmerohr 6 in diesem angebracht. Nachdem auf der Innenseite der Endwand des Gehäuseabschlußteiles 22 eine Photokathode ausgebildet ist, während dieses Teil sich auf der Scheibe 15 befindet, und nachdem die ausgewählten Distanzzylinder mit Membranen in das Gehäuseteil 7 gebracht worden sind, wird die Scheibe gedreht, um Teil 22 in die Lage gegenüber Teil 7 zu bringen. Teil 6 wird wieder in Längsrichtung vor und zurück bewegt und Gehäuseabschlußteil 22 wird aus seiner Federhalterung in Teil 7 übertragen und durch Reibung gehalten. Die Röhre wird dann in der schon beschriebenen Art dicht verschlossen. Das feste Gegenlager 13' ist hier mit einer ebenen Fläche ausgebildet. Es ist klar, daß bei einem Zusammenbau eines Verstärkers in dieser Art die Distanzzylinder mit den Membranen in ihren Halterungen auf der Scheibe so angebracht werden müssen, daß in dem fertigen Verstärker jede Photokathode einer Leuchtschicht gegenüberliegt. Vorzugsweise trägt Scheibe 15 mehr als einen Gehäuseschlußteil 22. Der mit der besten Photokathode wird für die Verwendung ausgewählt.

Bei einer bevorzugten Ausführung des Gegenstandes der Erfindung ist eine äußere Temperungseinrichtung (in den Zeichnungen nicht dargestellt) vorgesehen, die groß genug ist, die ganze evakuierbare Kammer nach Fig. 2 aufzunehmen, und während der ersten Evakuierung auf eine Temperatur von mehreren hundert Grad gebracht wird. Dies erleichtert die Erzielung eines hohen Reinheitsgrades und ermöglicht die Erzielung eines hohen Vakuums während des Verfahrens. Alle verwendeten Materialien müssen in diesem Fall so beschaffen sein, daß sie dieser Temperatur widerstehen und gut entgasen. Es ist auch vorteilhaft, in der evakuierten Kammer Gettermaterialien vorzusehen und diese unmittelbar vor Beginn der Kathodenbearbeitung zu erhitzen, um Restgasspuren zu beseitigen, die sonst den Kathoden schaden können.

Vorzugsweise sind auch Kühlfolien in der Rohrleitung von der evakuierbaren Kammer zur Vakuumpumpe vorzusehen, wobei die obere davon auf derselben Temperatur wie die Kammer gehalten werden kann, um so ein hohes Vakuum während der Kathodenherstellung sicherzustellen.

Claims (11)

PATENTANSPRÜCHE:

1. Verfahren zur Herstellung eines mit freien Elektronen arbeitenden Kaskaden-Bildverstärkers, bei dem die volle Kaskade in einem einzigen Gehäuse angeordnet ist, bei dem ferner das Leuchtbild der Leuchtschicht des (ti— l)-ten Teilverstärkers die Photokathode des η-ten Teilverstärkers anregt und bei dem sich die Leuchtschicht des (n—l)-ten Teilverstärkers und die Photokathode des /z-ten Teilverstärkers auf einer einzigen Trägermembran befinden, dadurch gekennzeichnet, daß jede der einseitig mit einer Leuchtschicht versehenen Trägermembranen auf die eine Öffnung eines Distanzzylinders aufgebracht ist, daß weiterhin eine Anzahl solcher mit Trägermembranen ausgestatteten Distanzzylinder in leicht abnehmbarer Weise auf einer fortlaufenden Transportvorrichtung angeordnet werden, die einerseits durch eine Anordnung zum Herstellen von Photokathoden, andererseits durch eine Lücke läuft, welche zwischen der becherförmigen Haupthülle des Kaskaden-Bildverstärkers undihremAbschlußdeckel gelassen ist, daß weiterhin die Transportvorrichtung, die Anordnung zur Herstellung der Photokathoden und die beiden Teile des Gehäuses des Kaskaden-Bildverstärkers in einem gemeinsamen evakuierbaren Raum in zweckmäßigen Abständen untergebracht sind, daß weiterhin Mittel in dem Raum vorgesehen sind, durch welche die mit der Trägermembran versehenen Distanzzylinder von der Transportvorrichtung abgenommen und in das Innere des Gehäuses des Kaskaden-Bildverstärkers eingeführt werden, und daß schließlich Mittel vorgesehen sind, die es gestatten, daß nach Einführung aller mit Photokathode und Leuchtschicht ausgestatteten Distanzzylinder in das Gehäuse dieses mit dem Abschlußdeckel unter Vakuum vakuumdicht verschlossen wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Transportvorrichtung eine größere Anzahl von mit Trägermembranen versehenen Distanzzylindern aufgebracht sind, als die um 1 verringerte Anzahl der eingebauten Kaskaden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich in der Einrichtung zur Herstellung der Photokathoden jeweils nur eine einzige Trägermembran befindet.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Distanzzylinder, deren Trägermembranen sowohl mit der Leuchtschicht als auch mit der Photokathode versehen sind, in das becherförmige Hauptteil des Gehäuses des Kaskaden-Bildverstärkers eingeführt werden.

5. .Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Transportmittel als rotierende Scheibe ausgebildet ist, auf derem Rande die Distanzzylinder leicht gehalten sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die rotierende Scheibe kegelförmige Gestalt aufweist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Herstellung der Photokathoden aus einer Auf-

dampfeinrichtung und einer Temperungseinrichtung besteht.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der evakuierte Raum durch ein druckfestes, evakuiertes Gehäuse gebildet wird, in dem je eine Haltevorrichtung für den Hauptteil und für den Abschlußdeckel des Gehäuses des Kaskadenverstärkers, ferner die Transportvorrichtung sowie die Einrichtung zur Herstellung der Photokathode untergebracht sind.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Hauptteil des Gehäuses derart gehalten wird, daß an einem Ende eine Lücke bleibt, die von den Mem-

branen und Teilen der Transportvorrichtung nacheinander durchlaufen wird.

10. Vorrichtung nach Anspruchs bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine Faltenbalg-Konstruktionvorgesehen ist, durch welche das Hauptteil des Gehäuses von außerhalb der Kammer in Längsrichtung vor- und zurückbewegt werden kann.

11. Vorrichtung nach Anspruch 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Gehäuseteile mit metallischen Dichtungsmitteln, ausgestattet sind sowie Mittel vorgesehen sind, um die Gehäuseteile mit genügendem Druck zusammenzupressen, um eine Kaltverschweißung zu erzielen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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