DE1920941A1

DE1920941A1 - Elektronenmikroskop

Info

Publication number: DE1920941A1
Application number: DE19691920941
Authority: DE
Inventors: Takashi Yanoka
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1968-04-26
Filing date: 1969-04-24
Publication date: 1969-11-27
Also published as: US3588586A; FR2007067A1; DE1920941C3; DE1920941B2; GB1210210A

Description

E1 ektr onenmikroskop

Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop mit einer Vorrichtung zur Korrektur einer Elektronenstrahlablenkung, die durch ein magnetisches Streufeld einer oder mehrerer magnetischer Elektronenlinsen verursacht wird«

Bei den bekannten Elektronenmikroskopen werden magnetische Linsen zur Erzielung eines hohen Auflösungsvermögens verwendet. Bei derartigen Linsen, die ein eigenes magnetisches Feld erzeugen, kann die Brennweite in einem weiten Bereich geändert werden, indem die Intensität des Magnetfeldes elektrisch verändert wird. Hierdurch können die Einstellungen für die Fokussierung, Beleuchtung und Vergrößerung, die für eine zufriedenstellende Bildbeobachtung erforderlich sind, verhältnismäßig einfach durch-

H/K

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geführt werden. Der Streufluß wächst hierbei jedoch entsprechend der Vergrößerung der Intensität des magnetischen Feldes, d.h. entsprechend der Erhöhung des Linsenstromes. Dies bedeutet eine entsprechende Vergrößerung der Stärke des Streuflusses. Außerdem ändert sich die Verteilung des Streuflusses, denn die Feldverteüung ist aufgrund der Heterogenität des ferromagnetischen Werkstoffes, aus dem die Linsen bestehen, unregelmäßig, was z.B. auf mechanische Spannungen, Werkstoffverunreinigungen, Schmelzfehler, wie Blasen und dergleichen zurückzuführen ist. Hinzu kommen mikroskopische Fehler in der Gleichförmigkeit der Spalte und Fugen zwischen den einzelnen Teilen, welche den Magnetkreis bilden. Hieraus ergibt sich, daß bei der Herstellung von Elektronenlinsen aus ferromagnetischen Stoffen ein magnetischer Streufluß nicht vermieden werden kann.

Außerdem ergibt sich ein von jeder Elektronenlinse ausgehender Streufluß in der Kammer für das zu betrachtende Objekt, die zwischen der Kondensorlinse und der Objektivlinse angeordnet ist. Da eine herkömmliche Kammer für das zu betrachtende Objekt so ausgebildet ist, daß hierin unterschiedliche Objekte aufgenommen werden können, ist eine asymmetrische Form und Gestalt dieser Kammer unvermeidlich, woraus sich ein asymmetrischer Streufluß ergibt. Dies bedeutet, daß der Elektronenstrahl durch die gemeinsame Wirkung der gesamten Streuflüsse abgelenkt wird, so daß es äußerst schwierig ist, die Forderung zu erfüllen,, daß der Mittelpunkt des Elektronenstrahles mit der optischen Achse genau zusammenfällt, Da ferner nicht axiale Aberrationen, wie Astigmatismen, Coma-Aberrationen usw., entstehen, wird die Auflösung des Bildes beeinträchtigt. /

Bei der kürzlich entwickelten Mikro-Strahlbeugung muß der Zwischenlinsenstrom geändert werden, wenn eine Umwandlung von einem EIeRro-

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nrnmikroskopbild in ein "Beugungsbild" vorgenommen wird. Mit dieser Strom änderung geht einher, daß sich die Intensität des Streuflusses in der Kammer für das zu betrachtende objekt ändert, was eine Strahlbeugung zur Folge hat. Diese wiederum bewirkt eine Verschiebung des bestrahlten Teiles der oberfläche des Objektes während der genannten Strom änderung. Dies hat zur Folge, daß das Elektromikroskopbild nicht dem "Beugungsbild" entspricht.

Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der Erfindung, oiüp verbesserte Vorrichtung zum Korrigieren der Ablenkung eines Elektronenstrahles in Vorschlag zu bringen. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Vorrichtung mindestens ein Korrekturglied zur Korrektur des abgelenkten Elektronenstrahls insbesondere mindestens einen Magnetkreis enthält, dei ein Magnetfeld erzeugt, welches entgegengesetzt zur Ablenkungskomponente des magnetischen Streufeldes gerichtet ist.

Erfindungsgemäß wird der Elektronenstrahl, der durch ein asymmetrisches Magnetfeld abgelenkt wird, welches von Streuflüssen der Elektronenlinsen gebildet wird, ständig korrigiert. Es ergibt dich somit der Vorteil, daß der Elektronenstrahl ständig auf dieselbe Stelle des Objektes gerichtet ist.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist der erfindungsgemäße Magnetkreis klein im Vergleich zu dem Magnetkreis der Elektronenlinsen und besteht aus demselben oder einem ähnlichen Werkstoff wie dieser.

Der Erregerstrom des kleinen Magnetkreises wird bevorzugt entsprechend dem Erregerstrom der Elektronenlinsen geändert. Die Magnetfeldkomponente zum Ablenken des Elektronenstrahles geht somit von dem kleinen Magnetkreis aus

Die eriindungsgemäße Vorrichtung zur Korrektur des abgelenkten Elektronenstrahls kann auch für andere Elektronenstrahl- und Korpuskularst rahleinrichtungen benutzt werden.

Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung sind aus der nachlolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen und anhand der beiliegenden Zeichnung ersichtlich.

Es zeigen:

Fig. I eine Schnittdarstellung einer bevorzugten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Elektrönenmikroskopes;

Fig. 2 einen Querschnitt in vergrößerter Darstellung durch eine bevorzugte erfindungsgemäße Ausführungsform;

Fig, 3 eine Schnittdarstellung der wichtigsten Teile (Korrekturglied) der Ausfuhrungsiorm gemäß Fig. 2;

Fig. 4 die Magnetfeldverteilung in der Nähe der Polstücke gemäß Fig. 3;

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bis 8 weitere bevorzugte Ausführungsformen gemäß der Erfindung.

Wie Fig. 1 zu entnehmen, ist eine "Säule" 1 mit einer Kammer 2 vorgesehen, in der eine Elektronenstrahlkanone 3 und eine Anode 4 angeordnet sind. Die "Säule" 1 enthält ferner ein Kondensorlinsensystem 5, eine Objektkammer 6 mit einem Objekt 7, eine Objektivlinse 8, eine Zwischen*

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linde 9, eine Projektorlinse 10 und eine Betrachtungskammer 11 zusammen mit einem Fenster 12 zum Betrachten und einem fluoreszierenden Schirm 13. Ein Korrekturglied 14 ist innerhalb der Objektkammer 6 angeordnet und dient zur Korrektur eines Elektronenstrahles 15, der durch die verschiedenen Streuflüsse innerhalb der Objektkammer 6 abgelt nkt wird.

Fig 2 zeigt die Beziehung zwischen dem Elektronenstrahl, dem Korrekturglied, der Objektivlinso- diese hat einen Einfluß auf die Korrektur des durch den Streufluß abgelenkten Elektronenstrahles - und der Elektront'iistrahlquelle. Die Objektivlinse 8 ist mit einem oberen Polstück 16, einem unteren Pplsti ck 17, einem Joch 18 und einer Spule 19 versehen. Der die Linse 8 erregende- Strom wird von einer elektrischen Stromoder Spannungsquelle 20 über einen Stromregelkreis 21 zugeführt, wobei dieser Strom proportional dem das Korrektur glied 14 erregenden Strom ist Dies bedeutet, daß der an das Korrekturglied 14 angelegte Erregerstrom sich entsprechend den Änderungen des an die Objektivlinse angelegten Erregerstromes ändert.

Nachfolgend sei angenommen, daß die magnetische Flußdichte B des Joches 18 der Darstellung in Fig, 2 entspricht. Jedes statische magnetische Potential von konzentrischen Kreisen K₁, K₀, K_Q, K , die

jeweils die gleichen Abstände haben, ergibt sich aus der nachstehenden Beziehung, wobei vorausgesetzt ist, daß die Potentiale ausgehend vom Potential k. gemessen werden!

^kr°' ^K2 Ι ^

In der vorstehenden Formel bezeichnet μ die Permeabilität des Joches.

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DiS magnetische Streufeld kann somit entsprechend der Verteilung der magnetischen Potentiale längs der äußeren Oberfläche der Objektiv linse bestimmt werden Im allgemeinen ist die magnetische Flußdichte B proportional dem Linscnerregerstrom I. Da aber bekanntlich

H ist und sich I mit B ändert, sind Hystereseverluste im Hinblick auf B und I immer direkt abhängig von H. Dies bedeutet, daß unterschiedliche magnetische Feldstärken einem konstanten Wert B entsprechen, d.h. die magnetische Feldstärke H ändert sich entsprechend dem Werkstoff, der den magnetischen Kreis bildet und/oder in Abhän_t ^: ^T-keit von der änderung der magnetischen Flußdichte '-- "5 proportional mit dem Anstieg des Lmsenerregerstromes wächst. Die raumliche Verteilung der magnetischen Feldstärke und die Anordnung der magnetischen Kraftlinien des magnetischen Streufeldes werden- einfach durch die ma· ^ietische Feldstärke bestimmt Dies bedeutet, daß die Intensität und Stärke des asymmetrischen Magnetfeldes, welches durch den Streufluß bewirkt wird, proportional der magnetischen Feldstärke H ist. Der angelegte Elektronenstrahl 15 wird deshalb proportional zu dieser magnetischen Feldstärke abgelenkt

Bei der Darstellung in Fig 2 sei angenommen, daß der Elektronenstrahl 15 gegenüber einer strichpunktierten Linie 22 abgelenkt wird. Der durch das magnetische Streufeld abgelenkte Strahl wird durch das Korrekturglied 14 korrigiert.

Wie Fig. 3 zu entnehmen, ist ein kleiner magnetischer -Kreis 14a vorgesehen, der verhältnismäßig klein - z.B. 1/5 bis 1/20 - im Vergleich zu der Größe der Objektivlinse ist, Der Kreis 14a ist, wie in Fig. 3" im einzelnen dargestellt, innerhalb des Korrekturgliedes 14 angeordnet,-Wie Fig. 3 ferner zu entnehmen, ist ein Joch 23, ein Spalt 24 und eine Spule 25 vorgesehen' Das Joch 23 hat eine konstante magnetische Huß-

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die fite 13 und jeder der konzentrischen Kreise C₁, C„, C„ ...... C

ι Ct ο η

hat ein konstantes statisches magnetisches Potential. Es wird dafür gesorgt, daß ein diesem Kreis zugeführter Erregerstrom sich entsprechend den Änderungen des Stromes, der der Objektivlinse zugeführt wird, ändert. Der kleine Magnetkreis ist aus einem Werkstoff hergestellt, der dom Werkstoff der Objektivlinse ähnlich ist. Der Magnetkreis der Objektivlinse 8 und der des Kreises 14a, der den Zustand vollständiger Entmagnetisierung erhält, werden gleichzeitig durch die elektrische Strom- bzw. Spannungsquelle gemäß Fig. 2 erregt. Um die magnetische Feldstärke H, die der magnetischen Flußdichte B des Objektivlinsenjoches entspricht, gleich der magnetischen Feldstärke H des Ideinen Magnetkreises zu ma,·' en, werden die magnetischen Flußdichten beider Kreise entsprechend eingestellt- Dies wird durch eine Einstellung des Proportionalitätsfaktors des Stromes und des Spaltes 24 des kleinen magnetischen Kreises 14 a erreicht. Bei der Ausführungsfqrm gemäß Fig. wird eine Anordnung von magnetischen Kraftlinien mit derselben Intensität wie der des von der Objektivlinse ausgehenden magnetischen Streufeldes erzeugt, und zwar in der Nähe des kleinen magnetischen Kreises. Die magnetischen Potentialdifferenzen an jedem der Punkte C- bis C auf der Oberfläche des kleinen magnetischen Kreises ändern ■_ich entsprechend der magnetischen Feldstärke H der Objektivlinse.

Wenn andererseits die Joche 26a und 26b mit den beiden Punkten C₁, und C₁₄- siehe Fig. 3 - auf dem kleinen magnetischen Kreis 14a und den magnetischen Polstücken 27a und 27b jeweils verbunden werden, so wird das statische magnetische Potential wischen C„ und C*. an die oberen und unteren Polstücke 27a und 27b angelegt. Die Intensität des ablenkenden magnetischen Feldes zwischen den oberen und unteren PoI-stüeken,ist deshalb der magnetischen Potentialdifferenz zwischen C* und

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C₁V proiXortionaL;Die vorgenannte magnetische Potentialdifferenz ist

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proportional der Stärke und Intensität des magnetischen Streufeldes, . welches von der Oberfläche des kleinen magnetischen Kreises ausgeht. Die Intensität des magnetischen Streufeldes koinzidiert mit der Intensität des magnetischen Streufeldes, welches von der Oberfläche der Objektivlinse ausgeht. Deshalb ist die Intensität-des ablenkenden magnetischen Feldes proportional der Intensität des magnetischen Streufeldes, welches von der Oberfläche der Objektivlinse ausgeU.

Um das Ausmaß de¹ Exzentrizität^wischen den oberen und unteren stücken 27a und 27b je nach Bedarf zu ändern, ist das untere Polstück 27b mit dem Joch 28b beweglich verbunden«

Nachstehend wird die Beziehung zwischen der Polstückexzentrizität lind der Äblenküngskömponente des Magnetfeldes beschrieben.

Bei der Anordnung gemäß Fig 4a i.:t die Verteilung des Magnetfeldes in bezug auf die zentrale Achse beider Polstücke symmetrisch, d.h. die Polstücke sind konzentrisch, Es bildet sich deshalb ein Magnetfeld, das zur vorgenannten Achse konzentrisch ist und eine einzige komponente B "besitzt und der in Ächslängsrichtung gerichtete Elektronen·* strahl verläuft geradlinig Im Gegensatz hierzu ist bei der Anordnung gemäß Fig; 4b we* en der exzentrischen Anordnung der Polstücke eine Äblenküngskömponente B-vorhanden» deren Kraft durch das Ausmaß dt Exzentriiitätbestimmt ist sowie durch Einflüsse der Stärke des Magnetfeldes, der SpaltgrÖfie «sw* Die Komponente B^ ist rechtwinkelig zu der genannten Achse gerichtet, was eine asymmetrische Verteilung des Magnetfeldes und eine Ablenkung des EIeMr onenstrahi es mt Mge hat, Diellektronenstrahlabienkung» die auf den Streufluß zurüeksüfüh·- ren ist, der von den^verschiedenen Linsen des ilektroneoioikroskopes ausgeht, wird ständig durch die ablenkende Komponente B_ß

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Das Ausmaß und die Richtung de^. ExLeca'i- iJ.. können derart eingestellt werden, daß der Elektronenstrahl genau auf den Mittelpunkt der Oberfläche des Objektes gerichtet ist. Hierzu sind nicht dargestellte geeignete Vorrichtungen vorgesehen, die mit dem unteren Polstück 27b verbunden sind, Es sei angenommen, daß diese Einstellung mit einem Versuch erzielt werden kann. B₁-. ändert sich sodann proportional, denn der dem kleinen Magnetkreis zugeführte Erregerstrom ist proportional der Änderung des Stromes der Objektivlinse, Der angelegte Elektronenstrahl wird deshalb ständig durch die ablenkende Komponente B^ korrigiert und ist somit ständig auf den Mittelpunkt der Objektfläche gerichtet,

In Fig. 5 ist eine weitere bevorzugte Ausführungsform des kleinen magietischen Kreises 14a dargestellt, der sich in seiner Ausbildung von cfe: jer Objektivlinse unterscheidet. Hierbei sind zwei Spulen 29a, 29b um ei..~n Kern 28 mit einem Spalt 30 gewickelt, zwischen denen ein äußeres Magnetfeld hergestellt wird. Bei dieser Ausführungsform sind der Werkstoff für den einen Magnetkreis bildenden Kern 28 und der an beide Magnetkreise angelegte Erregerstrom dieselben wie beider vorstehend beschriebenen Ausführungsform. Durch eine geeignete Änderung des Spaltes 30 wird eine magi?iomotorische Kraft entsprechend der Stärke des magnetischen Streufeldes der Objektivlinse erzeugt, die ständig an den Spalt zwischen den oberen und unteren Polstücken 27a und 27b angelegt werden kann, Es wird somit dasselbe Ergebnis erzielt wie bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3.

Bei der Ausführungsform gemäß Fig, 6 wird ein Korrekturglied 14 (ein kleiner Magnetkreis in sich selbst) in eine Objektivkammer 31 rechtwinkelig zur zentralen Achse, eingesetzt, Das Korrektur glied 14 besteht.. aus demselben oder einem ähnlichen Material wie die Objektivlinse, und weist einen Kern 33 mit aufgewickelter Erregerspule 32 sowie einen äußeren Zylinder 34 auf. Der Kern 33 und der Zylinder 34 sind relatjjr _v

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\ t rschieblich und gleitend angeordnet, Es ist somit möglich, den Abstand eines Spaltes 35 zwischen der Oberseite des Kernes 33 und dem Boden des äußeren Zylinders 34, d,h. dem Korrekturglied 14, einzustellen, Der äußere Zylinder 34 kann gegenüber der Objektkammer 31 verschoben werden bzw, in dieselbe hineingeschoben werden. Die Intensität des ablenkenden magnetischen Feldes (kompensierende Komponente) kann durch Änderung eines Abstandes 1 ei;·gestellt werden, der durch die Länge des in die Objektkammer 31 hineinragenden Teiles des Zylinders 34 bestimmt ist - siehe Fig. 6. Somit dient das magnetische Streufeld (ablenkendes magnetisches Feld), welches von dem Korrekturglied 14 ausgeht, zur Korrektur der Elektronenstrahlablenkung. Damit die Stärke und Intensität des magnetischen Streufeldes, welches von der äußeren Oberfläche des äußeren Zylinders 34 ausgeht, sich proportional zur Magnetfeldstärke der Objektivlinse ändert, wird der Spalt 35 eingestellt und/oder es wird die Dicke eines jeden Teiles, welches den äußeren Zylinder 34 bildet, entsprechend gewählt. Zur Einstellung der Elektronenstrahlablenkung muß das Korrekturglied (kleiner Magnetkreis) um die optische Achse drehbar sein, Wahlweise können jedoch auch mehrere Korrekturglieder vorgesehen sein, Li diesem Fall wird der abgelenkte Elektronenstrahl durch das resultierende Magnetfeld korrigiert, welches durch ^Me magnetischen Streufelder, die von jedem Korrekturglied ausgehen, gebildet wird.

Das in Fig. 7 dargestellte Korrekturglied ist besonders vorteilhaft und weist einen kleinen magnetischen Kreis 14a auf, sowie ferner' eine ferromagnetische Platte 36, ein nicht magnetisches Gehäuse 37 und Einstellstangen 38a und 38b, Der kleine magnetische Kreis 14a weist ein Joch 39 mit aufgewundener Spule 41 auf, sowie ein zylindrisches Joch 40, welches teilweise das Joch 39 und die Spule umgibt. Der kleine magnetische Kreis 14a ist so ausgebildet, daß die in dem nichtmagnetischen Gehäuse

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angeordneten Teile über die Einstellstange 38a oder 38d verschoben werden können, die gegen einen Flansch 43 angedrückt wird. Es ist somit möglich, die Achse der Öffnung des Joches 39 in beiden Richtungen zu verschieben, so daß eine Exzentrizität zwischen dieser Achse und der Achse der Öffnung der ferronmgneUschen Platte 36 erzeugt wird. Da die magnetomotorische Kraft zwischen A und Banden Spalt

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zwischen der ferromagnetischen Platte 36 dem oberen Teil des Joches 44, welches den anderen Magnetpol bildet, angelegt wird, wird das Korreklurglied in der Öbjektkammer derart angeordnet, daß die Achse der ferromagnetischen Platte 36 mit der Achse der Kondensor- oder Objekiivlinse zusammenfällt.

Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform besteht der kleine magnetische Kreis aus demselben oder einem ähnlichen Werkstoff wie die Öbjektivlinse, Die Platte zwischen A und B ist wesentlich dünner als der andere Teil des Joches 39, Durch ein Verschieben des zylindrischen Joches 40 wird der Spalt 42 so eingestellt, daß die magnetischen Flußdichten des kleinen Kreises und der öbjektivlinse koinzidieren. Die magnetomotorische Kraft zwischen A und B₁ die an den Spalt zwischen der ferromagnetischen Platte 36 und dem oberen Teil (Magnetpol) des Joches 44 angelegt ist, ist immer konstant, denn die genannte ferromagnetische Platte hat eine ausreichende Dicke, Um einen magnetischen Wi derstand zu vermeiden, ist der Flansch 43 fest mit der magnetischen Platte 36 verbunden. Die an den Spalt angelegte magnetomotorische Kraft ist deshalb gleich der Stärke des magnetischen Streufelder welches von der Übjektivjmsenoberfläche ausgeht, und proportional zur Intensität des ablenkenden magnetischen Feldes in der Objektkämmer. Durch eine Betätigung der Einstellstangen 38a und 38b kann somit in gewünschter Weise der abgelenkte Elektronenstrahl korrigiert werden,

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Fig. 8 zeigt eine Doppelanordnung der in Fig, 7 dargestellten Ausführungsform. Hierbei besteht das Korrekturglied aus zwei kleinen magnetischen Kreisen 14a und 14b mit zwei Jochen 39a und 39b, zwei zylindrischen Jochen 40a und 40b und zwei Spulen 41a und 41b, zwei ferromagnetischen Platten 36a und 36b und vier Einstellstangen 38a, 38b, 38c, 38d. Die kleinen magnetischen Kreise 14a und 14b können relativ und gleitend verschoben werden. Eines der beiden Korrekturglieder ist der Objektivlinse zugeordnet, während das andere Ende der Kondensorlinse, der Zwischenlinse und/oder der Projektorlinse zugeordnet ist. Bei einer Ablenkung des Elektronenstrahles durch das magnetische Streufeld, welches von den verschiedenen Linsen ausgeht, ist es somit möglich, eine vollständige Korrektur zu erreichen^ indem jedes Korrekturglied entsprechend gegenüber den ihnen zugeordneten Linsen eingestellt wird.

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Claims

Patentansprü ehe

1 Elektronenmikroskop mit einer Vorrichtung zur Korrektur einer Elektronenstrahlablenkung, die durch ein magnetisches Streufeld einer oder mehrerer magnetischer Elektroneiilifisen verursacht wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung mindestens ein Korrekturglied (14) zur Korrektur des abgelenkten Elefctronenstrahles, insbesondere mindestens einen Magnetkreis (14a) enthält_r der ein Magnetfeld erzeugt, welches entgegengesetzt zur Äblenkuhgskomponente des magnetischen Streufeldes gerichtet ist,

2, Elektronenmikroskop gemäß Anspruch l_r dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetkreis (14a) im Vergleich zu dem Magnetkreis der Elektronenlinse klein ist und aus demselben oder einem ähnlichen Werkstoff wie diese besteht,

3; Elektronenmikroskop gemäß Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, durch weiche der Erregerstrom des Magnetkreises (14a) proportional zu dem Erregerstrom der Elektronenlinse eingestellt wird.

4, Elektroneniwikrpskop- gemäß einem oder mehreren der vorstehenden aaaurcn geKennzerchnet

Ansprüche/daß Mittel zur Erzeugungeines Korrekturmagnetfeldes vorgesehen sind, welches der magnetomotorischen Kraft zwischen zwei wahlweisen Punkten auf dem Magnetkreis (14a) proportional ist und längs der optischen Achse gebildet wird.

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Elektronenmikroskop· gemäß eim m oder mehreren dvt vorstehenden Ai.bprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der kleine Magnetkreis (14a) koaxial zu der Elektronenlinse aus_rtrichtet ist und daß ^tnc ferroma gnetische Platte in gleitender Beiuhrns,^ mit t-mem foesluuiiiien Teil s kleinen Magnetkreises (1-ia) steht. v.»>bti du magntioinotoiische Kra.lt /wischen diesem und einem ändert π itil des kieinen M.t^.netkreises (14a) an einen Spalt zwischen der ferrous-.,nt-tischeri PlatU* und dem andereii Tt11 des kleinen Magnetkreises (ViA) angel*j-t ivird.

f) Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vors! lit-nden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß MittH \<;igesehen sind, .lurch welche t-in .u von dem kleinen Magnetkreis {14a) ausgehendes magm t is eins Streufeld quer zur optischen Achse ausgerif ntW wird.

7. Elektronenmikroskop gemäß eiiu-rn ».dt/r tat .'·rt ren det vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet d.-tß eine dt ϊ Li-is« nzah! entsprechende Zahl von Korrektur gliedern -S4) zur Korrtktui der Elektronenstrahlablenkung vorgesehen ist.

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