DE890690C

DE890690C - Zwei- oder mehrstufiges Elektronenmikroskop mit einem durchbohrten Leuchtschirm zur Beobachtung eines Ubersichtsbildes

Info

Publication number: DE890690C
Application number: DENDAT890690D
Authority: DE
Inventors: Berlin-Charlottenburg und Dr.-Ing. Hans Mahl Berlin-Reinickendorf Dr. phil. Hans Boersch
Original assignee: Allgemeine Elektricitäts-Gesellschaft, Berlin-Grunewald
Publication date: 1953-08-13

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein zwei- oder mehrstufiges Elektronenmikroskop, welches mit einem durchbohrten .Leuchtschirm zur Beobachtung eines in einer Zwischenebene erscheinenden Übersichtsbildes mäßiger Vergrößerung versehen ist. Es ist bereits vorgeschlagen worden, einen Schirm vorzugsweise klappbar im Elektronenstrahleingang anzubringen.

Es sind auch bereits Anordnungen bekannt, bei denen der Leuchtschirm auf der Rückseite eines Ansatzteiles einer Elektrode angeordnet ist, so daß der Leuchtschirm nicht auf direktem Wege von den von der Elektronenquelle ausgehenden Elektronen getroffen werden kann. Bei dieser Anordnung dient jedoch der Leuchtschirm zur Beobachtung des Endbildes.

Es ist ferner bei magnetischen Elektronenmikroskopen bekannt, einen Zwischenbildleuchtschirm zwischen Objektivspule und Projektionsspule anzuordnen. Bei diesen bekannten Anordnungen sind zusätzliche Halterungen für den Leuchtschirm erforderlich.

Bei einem zwei- oder mehrstufigen Elektronenmikroskop mit einem· durchbohrten Leuchtschirm zur Beobachtung eines in einer Zwischenebene erscheinenden Ubersichtsbildes mäßiger Vergrößerung wird dieser Nachteil dadurch vermieden, daß erfindungsgemäß der Leuchtschirm auf eineriLinsenelektrode oder der Gesichtsfeldblende der Linse der zweiten oder folgenden Stufe angebracht wird. Der Schirm ist also mit dem System vereinigt, so daß er auch in einfacher Weise justiert werden

kann. Außerdem ergibt sich durch die Anordnung des Leuehtschirmes auf einer Linsenelektrode oder der Gesichtsfeldblende der zweiten oder folgenden Stufe eine besonders günstige Vergrößerung des von der Linsenelektrode bzw. von der Gesichtsfeldblende hindurchgelassenen Teiles des Zwischenbildes.

Die Anordnung sei an Hand der Zeichnung, welche Ausführungsbeispiele des Elektronenmikro-

skops nach der Erfindung zeigt, näher erläutert. In Fig. ι bedeutet ι ein System zur Erzeugung eines Elektronenstrahles, mit welchem das auf der Blende 2 befindliche Objekt durchstrahlt wird. Das Elektronenmikroskop besteht aus zylindrischen

Rohren 4, welche gleichzeitig die Spannung führenden Elektroden voneinander trennen. Die erste-Linse 5 wird von drei Elektroden gebildet, von denen die erste und die dritte auf gleichem Potential liegen, so daß eine Einzellinse entsteht. Das

gleiche gilt von der zweiten Linse 6. Das Rohr ist abgeschlossen durch einen Leuchtschirm 7, welcher durch ein Ansatzrohr 8 betrachtet werden kann. Es befindet sich nun auf der ersten Elektrode der Linse 6, welche gleichzeitig als Gesichtsfeldblende wirkt, eine Leuchtsubstanz 9, die durch ein Fenster 10. beobachtet werden kann.

Ähnlich ist die Anordnung bei dem Elektronenmikroskop nach Fig. 2 getroffen. Auch hier bedeutet ι die Elektronenquelle, 2 die den Gegenstand tragende Blende und 4 ein Rohr, in dem die Elektroden 5 und 6, soweit erforderlich isoliert, befestigt sind. Außerdem ist in diesem Rohr eine Apperturblende 3 vorgesehen. Im Eingang der aus drei Elektroden bestehenden Linse 5 befindet sich der Leuchtschirm 9. Er kann durch ein Fenster 10 beobachtet werden. Bei diesem Mikroskop ist ferner auch im Eingang der zweiten Linse 6 ein Leuchtschirm 11 vorgesehen, der sich hier unmittelbar auf der ersten Linsenelektrode befindet und zu dessen Beobachtung ein Fenster 12 vorgesehen ist. Zweckmäßig kann auch z.B. die Apperturblende 3 mit einer Leuchtmasse versehen werden, um die Einstellung des Bildes besser vornehmen zu können.

Befindet sich nun der Leuchtschirm auf einer Linsenelektrode oder einer Gesichtsfeldblende, die übrigens auch als Teil einer im Rohr befindlichen magnetischen Linse, z. B. der Kapselung, ausgebildet sein kann, so besteht die Gefahr, daß sich Teile der Leuchtsubstanz am Rand des Blendenloches festsetzen, im Betrieb aufgeladen werden und auf diese Weise eine Störung des Potentialfeldes bewirken. Es ist deshalb zweckmäßig, wie es Fig. 3 zeigt, auf der Blende oder Elektrode 13 einen besonderen Halter 14, der zweckmäßig noch mit einem nach der Seite des Schirmesgi hinweisenden zylinder- oder kegelförmigen Ansatz versehen ist, anzubringen. Das stumpfe Ende des Kegels ist dabei vorzugsweise von der Elektrode 13 entfernt.

Es wird auf diese Weise erreicht, daß der Rand der Blende oder Elektrode von Leuchtmasse frei bleibt. Es kommt praktisch auf dasselbe hinaus, wenn man nicht einen besonderen Halter 14 mit der beschriebenen Umbördelung versieht, sondern die Elektrode oder Blende selber, wie es in Fig. 4 dargestellt ist. Ist die Leuchtmasse auf einem besonderen Halter angebracht, so genügt es im allgemeinen auch, wenn dieser eine größere Öffnung als die tragende Elektrode oder Blende aufweist, um den Blenden- oder Elektrodenrand von Leuchtmasse frei zu halten. Es erübrigt sich also in diesem Falle eine besondere Umbördelung.

In Fig. ι befindet sich das Fenster 10 zur Beobachtung des Leuehtschirmes 9 in einer Elektrode, die sich im Innern eines Rohres aus Isolierstoff befindet. Es genügt in diesem Falle, das Fenster als Netz oder Gitter auszubilden, da in diesem Falle Felddurchgriffe nicht zu befürchten sind. Anders ist es bei dem Mikroskop nach Fig. 2, bei dem das metallene Rohr 4 sich im Innern eines auf anderer Spannung befindlichen metallischen Rohres befindet. Würde man hier die Fenster 10· und 12 als Netz oder Gitter ausbilden, so wäre es schwierig, unerwünschte Potentialdurchgriffe zu vermeiden. Hier wird deshalb zweckmäßig ein Glasfenster oder ein Fenster aus einem anderen durchsichtigen Isolierstoff verwendet.

Es kommt für die Lage des Leuehtschirmes übrigens nicht sehr darauf anj daß dieser sich am Orte eines wirklichen Bildes befindet., da die Tiefenschärfe des Mikroskops im allgemeinen sehr groß ist.

Claims

Patentansprüche:

1. Zwei- oder mehrstufiges Elektronenmikroskop mit einem durchbohrten Leuchtschirm zur Beobachtung eines in einer Zwischenebene erscheinenden Ubersichtsbildes mäßiger Vergrößerung, dadurch gekennzeichnet,, daß der Leuchtschirm auf einer Linsenelektrode oder der Gesichtsfeldblende der Linse der zweiten oder folgenden Stufe angebracht ist.

2. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die öffnung der den Leuchtschirm tragenden Elektrode oder Blende mit einem nach der Seite des Schirmes hinweisenden zylinder- oder kegelförmigen Rand umgeben ist (Abb. 3 und 4).

3. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtschirmmasse auf einer auf der Elektrode oder Blende befestigten Platte angebracht ist, deren öffnung größer als die der Elektrode oder Blende ist.

4. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1 oder folgenden, bei dem der Leuchtschirm im Innern von zwei einander umgebenden, auf verschiedenem Potential befindlichen Elektroden angebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß die innere Elektrode zur Vermeidung eines Potentialdurchgriffs mit einem materiellen Fenster, vorzugsweise Glasfenster zur Beobachtung des Leuchtschirmbildes, versehen ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen