DE766055C - Elektrisches Hochspannungsentladungsgefaess zur elektronen-optischen Abbildung, insbesondere UEbermikroskop, Schattenmikroskop, Elektronenbeugungsgeraet - Google Patents
Elektrisches Hochspannungsentladungsgefaess zur elektronen-optischen Abbildung, insbesondere UEbermikroskop, Schattenmikroskop, ElektronenbeugungsgeraetInfo
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- DE766055C DE766055C DEL103038D DEL0103038D DE766055C DE 766055 C DE766055 C DE 766055C DE L103038 D DEL103038 D DE L103038D DE L0103038 D DEL0103038 D DE L0103038D DE 766055 C DE766055 C DE 766055C
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Description
- Elektrisches Hochspannungsentladungsgefäß zur elektronenoptischen Abbildung, insbesondere Ubermikroskop, Schattenmikroskop, Elektronenbeugungsgerät Die Erfindung betrifft ein Universalgerät, welches gleichzeitig als Übermikroskop, Schattenmikroskop oder Elektronenbeugungsgerät verwendet werden kann. Es zeigt sich nämlich, daß ein derartiges Universalgerät in einfacher Weise erhalten wird, wenn erfindungsgemäß innerhalb des Entladungsgefäßes zwei Objekttische vorgesehen werden, von denen einer in Strahlrichtung vor der ersten Linse und der andere hinter der zweiten Linse angeordnet ist. Entsprechend dem Verwendungszweck wird man dann das Objekt oder den Objektträger entweder in dem einen Objekttisch oder in dem anderen Objekttisch anordnen. ZumBetrieb desEntladungsgefäßes als Übermikroskop, Schattenmikroskop oder Beugungsgerät ist es außerdem lediglich erforderlich, die benötigten Linsen einzuschalten, wobei die Brennweite geeignet zu wählen ist.
- In der Fig. i ist in zum Teil schematischer Weise eiri Ausführungsbeispiel nach der Erfindung dargestellt. Das metallische Entladungsgefäß i ist an dem einen Ende durch einen Leuchtschirm -2 abgeschlossen. Innerhalb des metallischen Rohres i befindet sich das metallische Rohr c). Das letztere ist mit Hilfe des radial vor springenden Ringes io an dem Flansch 18 des metallischen Außenrohres i lösbar abgestützt. Im Innern des Rohres 9 sind zwei elektrische Einzellinsen angebracht. Während die der Kathode zugewandte Linse aus den Außenelektroden 3, 5 und der '-1,Iittelelelctrode -. besteht, sind die Außenelektroden der anderen Linse mit den Bezugszeichen 6 und 8 versehen. Die beiden Außenelelztroden6un,18 schließen einellittelelektrode 7 ein. Zur Abstützung der einzelnen Elektroden gegeneinander dienen die Isolierstücke 2:2,23 bzw. 2d., 25-An dem dein Leuchtschirm 2 zugewandten Ende des Rohres 9 ist der Objekttisch 13 befestigt, in dein die Objektpatrone angeordnet werden kann. Der Objekttisch ist in bekannter Weise derart ausgebildet. daß eine Verschiebung der Objektpatrone und damit eine Verschiebung des Objektes sowohl in axialer Richtung des Entladungsgefäßes als auch in der Ebene senkrecht zur Achse des Entladungsgefäßes erfolgen kann. Die Objektpatrone ist beispielsweise federnd in dem Objekttisch gehaltert. so daß ein einfaches Einsetzen bzw. Entfernen der Objektpatrone mit Hilfe einer Pinzette Gewährleistet ist. In entsprechender Weise ist auch vor der aus den Elektroden 3, d., ; bestehenden Linse ein Objekttisch 12 angebracht, der zweckmäßig in gleicher Weise wie der Objekttisch 13 ausgebildet ist. Die Objektpatrone i i kann somit auch in dieseln Objekttisch befestigt werden, was von dem jeweiligen Verwendungszweck des vorliegenden Universalgerätes abhängt. Zur Einführung der Objektpatrone sind in der Wandung i zwei vakuumdicht verschließbare Üftnungen i6, i7 vorgesehen. Auf die Verwendung des Universalgerätes wird im folgenden noch näher eingegangen.
- Die Hochspannungszuleitung 1.1 ist an einem isolierenden Ansatz 26. der beispielsweise aus Glas besteht, mechanisch abgestützt. Diese Zuleitung ist isoliert durch die Wandung und durch das Rolir 9 zu der -Mittelelektrode .I geführt. Die Hochspannungszuleitung 15 zur Mittelelektrode 7 ist in entsprechender Weise wie die Zuleitung 14. durch einen isolierenden Ansatz 28 geführt. Die Außenelektroden 3, S und 6, 8 der beiden elektrostatischen Hochspannungslinsen liegen durch Verbindung mit dem Rohr 9, welches wiederum mit dem :1letallrohr i des Entladungsgefäßes verbunden ist, an Erde.
- An dem dem Leuchtschirm abgewandten Ende ist auf das Metallrohr i des Entladungsgefäßes ein mit einem Flansch io versehener Ring 2o aufgesetzt. Der Ring 20 ist mit einem Rohr 2i verbunden, an das sich ein mit Blenden versehenes Rohrstück 27 anschließt.
- Das Hochspannungsentladungsgefäß kann, da es erfindungsgemäß mit zwei Objekttischen versehen ist, als Übermikroskop, Schattenmikroskop und Elektronenbeugungsgerät verwendet «-erden. Beim Betrieb als Übermikroskop wird das Objekt vor der ersten Linse angeordnet, und die Linsen «-erden kurzbrennweitig betrieben, wie es in der Fig.2 gezeigt ist. Läßt man das Objekt in dem gleichen Objekttisch und die Linse L, als kurzbrennweitige und die Linse L= als langbrennweitige Linse arbeiten, so kann das Gerät zu Elektronenbeugungsversuchen benutzt «-erden. Der Strahlengang für diese An`vendungsmöglichkeit ist in der Fig. 3 dargestellt. Die Anordnung der vorliegenden Art weist nun noch einen weiteren Objekttisch auf, welcher hinter der Linse L2 angeordnet ist. Bringt man das Objekt auf diesem Objekttisch an, so kann das Univer salgerät beispielsweise als Schattenmikroskop, welches schematisch in den Fig. q. und ; dargestellt ist, benutzt werden. Bei dieser Verwendung werden beide Linsen L, und L., kurzbrennweitig ausgebildet (Fig.4). In manchen Fällen genügt es aber auch. die Linse Li, «Je es bei der Fig. 5 der Fall ist, völlig auszuschalten.
- Außerdem kann bei der Anbringung des Objektes auf dem Objekttisch hinter der Linse L., das Universalgerät auch zu Elektronenbeugungsversuchen benutzt werden. Im einfachsten Fall werden beide Linsen I_1 und 1_, völlig ausgeschaltet (Fig. 6), so daß man die normale Elektronenbeugung erhält. Durch Einschalten der Linse L ., als langlirennweitige Linse (Fig. ;) gelangt man zu einer höheren Auflösung. Wenn auch diese Auflösung bei Elektronenbeugungsversuchen noch nicht ausreicht. wird die Linse Li zweckmäßig als kurzbreimweitige und die Linse L., als langbrennweitige Linse betrieben, und man erhält die höchste Auflösung (Fig.8).
- Gegebenenfalls kann beim Betrieb des Universalgeräte: als Elektronenbeugungsröhre auch die Linse Li als kurzbrennweitige Linse betrieben und die Linse L2 ausgeschaltet werden (Fig. 9). Auch zu Beugungsversuchen nach K o s s e 1 kann die vorliegende Anorddung dienen, wenn die Linse L, als kurzbrennweitige Linse betrieben und die Linse Li entweder ausgeschaltet (Fig. io) oder ebenfalls als kurzbrennweitige Linse betrieben wird (Fig. ii). Das Objekt wird dann in den Durchkreuzungspunkt hinter der Linse L2 gebracht.
Claims (1)
- PATENTANSPRUCH: Elektrisches Hochspannungsentladungsgefäß zur elektronenoptischen Abbildung, insbesondere übermikroskop, Schattenmikroskop, Elektronenbeugungsgerät, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des Entladungsgefäßes zwei Objekttische vorgesehen sind, von denen einer in Strahlrichtung vor der ersten Linse und der andere hinter der zweiten Linse angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEL103038D DE766055C (de) | 1941-01-22 | 1941-01-22 | Elektrisches Hochspannungsentladungsgefaess zur elektronen-optischen Abbildung, insbesondere UEbermikroskop, Schattenmikroskop, Elektronenbeugungsgeraet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEL103038D DE766055C (de) | 1941-01-22 | 1941-01-22 | Elektrisches Hochspannungsentladungsgefaess zur elektronen-optischen Abbildung, insbesondere UEbermikroskop, Schattenmikroskop, Elektronenbeugungsgeraet |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE766055C true DE766055C (de) | 1954-05-17 |
Family
ID=7289870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEL103038D Expired DE766055C (de) | 1941-01-22 | 1941-01-22 | Elektrisches Hochspannungsentladungsgefaess zur elektronen-optischen Abbildung, insbesondere UEbermikroskop, Schattenmikroskop, Elektronenbeugungsgeraet |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE766055C (de) |
-
1941
- 1941-01-22 DE DEL103038D patent/DE766055C/de not_active Expired
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