DE858743C - Korpuskularstrahlapparat - Google Patents

Korpuskularstrahlapparat

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DE858743C
DE858743C DES11523D DES0011523D DE858743C DE 858743 C DE858743 C DE 858743C DE S11523 D DES11523 D DE S11523D DE S0011523 D DES0011523 D DE S0011523D DE 858743 C DE858743 C DE 858743C
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DE
Germany
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microscope
arrangement according
parts
beam generator
lenses
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DES11523D
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English (en)
Inventor
Guenter Dipl-Ing Hein
Ernst Dr-Ing Ruska
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Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/16Vessels; Containers

Description

  • Korpuskularstrahlapparat Bei l','-orpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, ist es bekannt, ein Val"uumgefäß anzuwenden, das zum Auswechseln bzw. zur Kontrolle von Innenteilen in mindestens zwei Teile zerlegbar ist, von denen ein Teil bei der Zerlegung mit einem Stativ fest verbunden bleibt und wobei Führungsmittel für die Relativbewegung der Teile vorgesehen sind, durch die die Relativlage der Teile beim Zerlegen und Zusammensetzen des Vakuumgefäßes in vorgeschriebenen Bahnen gelenkt wird. Bei.einem bekannten Elektronenmikroskop ist zu diesem Zweck die Unterteilungsstelle für die Zerlegung des Vakuumgefäßes zwischen dem Objektiv und dem Projektiv vorgesehen, und dem das Objektiv und den Strablerzeuger enthaltenden Teil .des Vakuumgefäßes ist ein von außen zu betätigender Antrieb zugeordnet, der beim Zerlegen zunächst eine ,axiale Verscihiebebewegung des Objektivteils gegenüber dem Pro jektivteil und danach eine Verdrehung quer zur optischen Achse des zuerst genannten Teils gegenüber dem Stativ ermöglicht. Bei solchen Anordnungen kann man nach der Zerlegung sowohl an die Objektivlinse als auch an die Projektivlinse gut heran; so daß man Polschuheinsätze, Blenden u. dgl. gut kontrollieren und gegebenenfalls auch auswechseln kann.
  • Die Erfindung betrifft einen Korpuskularstrahlapparat, insbesondere ein Elektronenmikroskop der eingangs erwähnten Art, für den es wesentlich ist, daß sich eine Unterteilungsstelle für die Zerlegung des Vakuumgefäßes zwischen dem Objektiv und dem Strahlerzeuger befindet, wodurch der Strahlerzeuger, der Objekttisch und: das Objektiv zugänglich werden. Man hat durch diese Wahl der Unterteilungsstelle also nunmehr die Möglichkeit, die verschiedensten Innenteile eines Elektronenmikroskops durch Öffnen des Vakuumgefäßes auszuwechseln bzw. zu kontrollieren.. Die Wahl der Unterteilungsstelle ermöglicht es, die Innenbeile des Objektivs, also beispielsweise Polschuheinsätze, Blenden u. dgl., aber auch: den Strahlerzeuger, Anode, Wehneltzylinder und Kathode zu kontrollieren und auszuwechseln. Darüber hinaus kann auch der Objekttisch selbst kontrolliert werden, ja man kann gemäß den bevorzugten Ausführungsfarmen der Erfindung sogar auch daran denken, diese erwähnte Unterteilungsstelle beim Einsetzen. und Entnehmen der Objekte selbst zu benutzen, so daß sich eine besondere von außen mit einem Abschlußdeckel od:.-dgl. verschließbare Öffnung für das Einsetzen und Entnehmen der Objekte erübrigt. Die Erfindung ist aber nicht auf Korpuskularstrahlapparate dieser Art beschränkt, kann also auch angewendet werden, wenn für das Einsetzen und Entnehmen der Objekte eine besondere verschließbare Öffnung oder gar eine besondere Schleuse angewendet wird. Bei der Erfindung befinden sich das Objektiv undi das Projektiv vorzugsweise in einem für :die erwähnten Zwecke nicht weiter zerlegbaren Gefäßteil, und das Projektiv kann man dann leicht durch eine zweite Unterteilungsstelle des Vakuumgefäßes zugänglich machen, die sich zwischen dem die Linsen enthaltenden Teil und die Endbild'kamera enthaltenden Teil des Vakuumgefäßes befindet. Durch die Wahl dieser zweiten Unterteilungsstelle ergibt sich dann insgesamt eine Jöglichheit, das Elektronenmikroskop in drei Teile zu zerlegen, wodurch der Strahlerzeuger, der Objekttisch und das Objektiv einerseits und, das Projektiv, der Endbildleuchtschirm und die Endbildkamera andererseits zur Kontrolle und Auswechselung leicht zugänglich gemacht werden.
  • Man kann als Führungsmittel zwischen den Einzelteilen des Vakuumgefäßes verschiedene Konstruktionen benutzen. Vorzugsweise eignen sich für :diesen Zweck Scharniergelenke, die so angeordnet «-erden können, daß die relativ zum Stativ des Korpushularstrählapparates beweglichen Teile sich beispielsweise auf einem Tisch :des Stativs bei der Bewegung gut abstützen. können. Bei anderen Ausführungsmöglichkeiten der Erfindung, für die auch die Anwendung von Scharniergelenken in Betracht kommt, wird man die relativ zum feststehenden Teil des Mikroskops beweglichen Mikroskopwand teile so wählen. daß sie verhältnismäßig leicht %verden, so daß sie mit Hilfe der Scharniergelenke vom feststehenden Teil selbst getragen werden. Als Führungsmittel zwischen den Einzelteilen des Vakuumgefäßes kommen aber auch beispielsweise mit dem Stativ fest verbundene Gleitschienen, beispielsweise Gleitschienen, die sich auf der Tischfläche des Mikroskops befinden, in Betracht. Bei Anwendung der Erfindung ergibt sich in jedem Fall ein einfacher Aufbau eines Korpuskularstrahlapparates, insbesondere eines kleinen Elektronenmikroskops, und eine gute Zugänglichkeit zu den Einzelteilen in der Röhre, ohne daß Schleusungen für das Objekt oder Fotomaterial erforderlich wären.
  • Mit Vorteil. wird man den Korpuskularstrah,lapparat auf einem Tisch waagerecht liegend anordnen, so daß die einzelnen Abschnitte der Röhre durch Scharniere mit vorzugsweise im Raum senkrechter Achse miteinander verbunden sind. Die Scharniere können dabei auf derselben Seite oder auf verschiedenen Seiten der Röhre angebracht sein. Beim Zerlegen der Röhre in die Einzelbeile kommen dabei die ursprünglich koaxialen Einzelteile zueinander so, beispielsweise rechtwinklig, zu liegen, diaß die Öffnungen frei und gut zugänglich sind. Eine derartige Anordnung mit waagerecht liegender Röhre hat den besonderen Vorteil, daß die Einzelteile beim Öffnen der Röhre auf dem Tisch gleiten können, sie müssen daher nicht gehoben werden. Die beweglichen Mikroskopteile können sich in diesem Fall durch Rollen od. dgl. auf dem Tisch abstützen. Man kommt an jedes Teil gut von beiden Seiten heran, um Auswechselungen vorzunehmen. Derjenige Teil der Mikroskopwand, der den Strahlerzeuger aufnimmt, wird vorzugsweise auf dem als Tisch ausgebildeten Stativ betriebsmäßig unbeweglich befestigt, während die anderen beiden Teile daran mit Scharnieren befestigt sind., so daß sie beim Öffnen der Röhre Relativbewegungen zum Strahlerzeugerteil machen. An dem den Strahlerzeuger enthaltenden Teil der Mikroskopwand wird man dabei das Hochspannungskabel und die zur Vakuumpumpe führende Leitung, und zwar vorzugsweise auf der dem Tisch zugekehrten Seite anschließen. Der Pumpenanschluß und der Hochspannungsansehluß kann also bei dieser Konstruk ti:on in seiner Lage verbleiben. Die Pumpe selbst kann dann senkrecht unter der Tischplatte angeordnet sein.
  • Die Unterteilungsstelle zwischen den Linsen und der End@bildkamera kann sich unmittelbar hinter der letzten Abbildungslinse befinden. In diesem Fall ist der den Endbildleuchtschirm und die Endbildkamera aufnehmende Mikroskopteil also: verhältnismäßig groß und enthält auch eine, oder mehrere Schauöffnungen zum Betrachten des Endbildes. Man -kann dann: für das Einbringen und Entnehmen des Fotomaterials eine besondere verschließbare Öffnung vorsehen oder aber die Konstruktion- so durchbilden, daß das Fotomaterial von der Seite 'her, wo sich an der Zerlegungsstelle eine Öffnung im Gefäß befindet, eingesetzt wird. Eine andere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung besteht darin, daß sich die Unterteilungsstelle zwischen Linsen und Endbildkamera unmittelbar vor der End@bildkamera befindet. Das ist deshalb besonders vorteilhaft, weil man auf diese Weise leicht eine besondere verschließbare Öffnung zum Einsetzen und Entnehmen des Fotomaterials ersparen kann.; da sich diese Öffnung durch die Zerlegungsstelle des Mikroskops selbst hier ohne weiteres ergibt. Die Zugänglichkeit des Projektivlinsenteils ist dabei ohne weiteres zu wahren, weil sich: die Mikroskopwandung nach der Seite des End@bildleuchtscbirmes 'hin sowieso meist trichterförmig erweitert.
  • Man. kann den die Linsen, enthaltenden mittleren Teil des Mikroskops, an, dem dann, die Pumpenleitung angeordnet wird, feststehend anordnen und .den den Strahlerzeuger enthaltenden: Teil unter Verwendung von Führungsmitteln relativ dazu beweglich anordnen. Das bat den. Vorteil, daß derjenige Teil des Mikroskops, nämlich der die Linsen enthaltende Teil, welcher am schwersten ist, mit dem Stativ fest verbunden ist, die anderen relativ dazu beweglichen Teile der Mikroskopwand leicht so ausgestaltet werden können, daß sie verhältnismäßig geringes Gewicht haben. Bei einem Mikroskop mit waagerecht liegender Achse kann man mit Vorteil waagerecht liegende Sc'harniergelenk6 anwenden. Legt man diese Scharniergelenke beide auf die Oberseite, so erhält man eine Konstruktion., die deshalb besonders vorteilhaft ist, weil man, mit einem verhältnismäßig kurzen Stativtisch auskommt. Legt man idlie waagerecht liegenden Scharniergelenke beide auf die Unterseite des Mikroskops, so ergibt sich eine hinsichtlich der Bedienung sehr vorteilhafte Anordnung, denn nun kann man die Konstruktion so wählen, daß der den Strahlerzeuger enthaltende Teil und: der die Endbildkamera enthaltende Teil in die Ebene der Tischplatte beruntergeklapptwerden kann.
  • Bei Anwendung der Erfindung auf ein senkrecht stehend angeordnetes Mikroskop, bei dem der Strablerzeuger sich im Oberteil befindet, wird man die Unterteilungsstelle zwischen dem die abbilden den Linsen enthaltenden Teil und dem den Endbildleuchtschirm und die Aufnahmekamera enthaltenden Teil im Bereich unterihul-b der Tischplatte anordnen,- wodurch sich eine gute Möglichkeit ergibt, den Teil mit der Aufnahmekamera mit Hilfe eines Scharniergelenkes web Klappbar zu mach-en. Bei allen. Ausführungsformen der Erfindung, die mit einem relativ zum Linsenteil beweglichen, den Stralhlerzeüger enthaltenden Teil arbeiten, kann man die Hochspannungsleitung zum Strahlerzeuger beweglich anordnen, so daß sie also in den vorgeschriebenen Bahnen die Bewegung des den Strahlerzeuger enthaltenden Vakuumwandteils mitmachen kann. Man kann, aber eine solche äußere bewegliche Hochspannungszuführungsleitung auch umgehen, wenn. man gemäß der weiteren Erfindung das Hochspannungskabel vorzugsweise an der vor dem Objektiv liegenden Seite in den die Linsen enthaltenden, feststehenden Teil einführt und dann innerhalb des Vakuumraumes. eine Unterbrechungsstelle für die Kathodenzuleitungen vorsieht, die beim Trennen des den Strahlerzeuger enthaltenden Teils von dem die Linsen enthaltenden Teil unterbrochen wird.
  • Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus den im folgenden beschriebenen Ausführungsbeispielen.
  • Fig. i und) 2 zeigen schematisch in einer Draufsicht und einer Seitenansicht ein auf einem Tisch liegend angeordnetes Elektronenmikroskop. Mit i ist die Tischplatte des Mikroskops bezeichnet. Das Mikroskop besteht im wesentlichen aus drei Teilen, nämlich dem fest mit dem Mikroskoptisch zusammengebauten Teile, welcher den Strahlerzeuger enthält, dem mit dem Teil 2 durch ein Scharniergelenk 3 verbundenen, die abbildenden Linsen, also das Objektiv und Projektiv enthaltenden Teil q. und einem mit dem Teil q. durch ein Scharnier 5 verbundenen Teil 6, der den Endbildleuchtschirm und die Endbildkamera 7 aufnimmt. Mit dem Teil 2, welcher den Strahlerzeuger enthält, ist die zur Pumpe 8 führende Leitung 9 und ein zum Hochspannungstransformator io führendes Anschlu.ßkabel i i verbunden. Die in Fig. 2 angedeuteten Schellen 1.2 dienen zur Befestigung des Teils 2 auf dem Tisch i. Die Teile q. und 6 können auf der Unterseite mit Rollen 13, 14 versehen sein, mit denen sie auf der Tischplatte i gleiten können. Die Scharniergelenke 3 und 5 sind bei der dargestellten Ausführungsform mit senkrecht stehender Achse angeordnet und befinden sich auf einander gegenüberlicgenden Seiten der Mikroskopachse. Zur Kon.-trolle von Innenteilen kann eine Drehung derTeile 4 und 6 um das Scharnier 3 erfolgen, so daß die Teile .4 und 6 hierbei in die in Fig. i gestrichelt angedeutete Lage kommen. Damit sind' die in den Teil :2 eingebauten Strahlerzeugerteile und, der beispielsweise mit dem Teil ,4 verbundene Objekt- tisch unddas ebenfalls damit verbundene Objektiv zugänglich. Um auch das Projektiv gut zugänglich zu machen, kann eine Verschwernkung des Teils 6 in die in Fig. i strichpunktiert dargestellte Lage erfolgen.
  • Eine andere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung ist in Fig. 3 und q. schematisch dargestellt. Auch in. diesem Fallhandelt es sich um ein auf einer Tisehplatte liegend angeordnetes Elektronenmikroskop. Soweit die Einzelteile mit denen in Fig. i und :2 im wesentlichen übereinstimmen, sind hier die gleichen Bezugszeichen verwendet. Während bei ,dem in Fig. i und 2 dargestellten Ausführungsbeispiel die Unterteilungsstellen zwischen dem Teil d:, welcher die Linsen enthält, und dem die Endbildkamera enthaltendenTeilunmittelbar hinter der Projektivlinse liegt, ist bei Fig. 3 die Anord nung so gewählt, daß ein Mittelstück 21 des Mikroskops vorgesehen ist, welches das Objektiv und das Projektiv und auch noch einen Tubus. 22 enthält, in welchem sich eine Schauöffnung 23 zur Betrachtung des. Endbildes befindet. Der Teil 21 ist bei diesem Ausführungsbeispiel mit Hilfe der Schellen 24,:25 fest mit dem Mikroskoptisch verbunden. Auf der Unterseite ist an den Teil 22 die zur Pumpe 8 fÜhrende Leitung 9 angeschlossen. Mit 26 ist hier der den Strahlerzeuger aufnehmende Teil des Mikroskops bezeichnet, welcher mit Hilfe des senkrecht auf der Tischplatte stehenden Scharniers 27 in der Richtung des Pfeiles 28 vom feststehenden Teil 21 weggeschwenkt werden kann. Am Teil 26 ist bei dieserAusführungsform eine die Schwenkbewegung mitmachende bewegliche Hochspannungsleitung 29 vorgesehen, die bei der Bewegung,des Teils 26 durch den. Schlitz 3o des Tisches geführt wird. Die Unterteilungsstelle zwischen dem feststehenden Teil 21 und: dem die Aufnahmekamera enthaltenden Teil befindet sich bei dieser Ausführungsform unmittelbar vor >der Aufnahmekamera 31. An "dieser Stelle ist das senkrecht stehende Scharnier 32 vorgesehen. Mit 33 ist ein von außen: zu bedienender Handgriff bezeichnet, durch den der Endbildleuchtschirm bei der Herstellung von Aufnahmen aus dem Strahlengang tierausgeklappt werden kann. Der Endbild.leuchtschirm ist in diesem Fall in dem um das Scharnier 32 in Richtung des Pfeiles 34 schwenkbaren Teil 31 gelagert. In Fig.3 ist das Elektronenmikroskop in der Betriebslage dargestellt. Fig. 4 zeigt,das beiderseits geöffnete Mikroskop nach Durchführung der Schwenkbewegungen der Teile 26 und 31.
  • Eine andere Ausführungsform der Erfindung ist schematisch in Fig. 5 dargestellt. Hierbei handelt es sich um ein auf einem Tisch senkrecht stehend angeordnetes Elektronenmikroskop. In diesem Fall ist das Mikroskop auch wieder in drei Teile 41, 42 und 43 zerlegbar. 41 ist der feststehende Teil, welcher die beiden Polschuhlinsen 44 (Objektiv) unc1 45 (Projektiv) und den Objektpatronentisch46 enthält. In diesen Tisch ist eine Objektpatrone 47 eingesetzt. Mit 48 ist eine der zur Ouerverstellung des Objekts :dienenden, nach außen geführten Verstellstangen bezeichnet. An dem feststehenden Mittelteil 41 des Mikroskops ist die zur Vakuumpumpe 49 führende Vakuumleitung 5o angeschlossen. Diese Leitung ist durch den Tisch 51 hindurchgeführt. Am feststehenden, Teil 4i ist oberhalb des Objektivs 44 auch das Hochspannungskabel 52 bei 53 eingeführt, welches mit dem unterhalb des Tisches 51 befindlichen Transformator 54 verbunden ist. Der Oberteil 42, welcher den Strahlerzeuger enthält, ist um ein horizontal liegendes Scharniergelenk 54 in der Richtung des Pfeiles 55 schwenkbar. Mit 56 ist ein Befestigungsbügel bezeichnet, mit dem man die Teile 42 und 41 unter Verwendung einer ringförmigen Trockendichtung aus elastischem Material fest zusammenpressen kann. In den Teil 42 ist die Anode 57, der Wehneltzylinder 58 und die Kathode 59 eingebaut. Diese Teile sind, zusammen mit dem ihnen zugeordneten Halter 6o so bemessen, daß man die Einzelteile des Strahlerzeugers nach Wegklappen des Oberteils 42 um das Scharnier 54 durch die nunmehr entstandene Öffnung nacheinander ausbauen kann. Die Kathode ist über die Leitungen 61 und eine Steckvorrichtung 6-a, 63 mit dem Kabel 52 verbindbar. Diese Verbindung wird beim Sch-,venken des Teils .t2 an der Stelle der Steckerverbindung 62, 63 gleichzeitig mitgeöffnet bzw. geschlossen. Mit 64 ist eine durch eine Gummiwand 65 hindurchgeführte Verstellstange bezeichnet, an der die Kathode 59 befestigt ist. Außen greifen an dieser Verstellstange :die Verstellein.richtungen 66 und Gegenfedern 67 an. Mit Hilfe dieser Verstelleinrichtungen ist es möglich, Ouerbewegungen der Kathode in beliebiger Richtung durchzuführen. Es kann zusätzlich auch noch ein Verstelltrieb in der Achsrichtung auf die Stange 64 wirken, so d'aß man die Kathode auch in Richtung des Pfeiles 68 verstellen kann. Bei der dargestellten Konstruktion des Kabelanschlusses 52 ist es möglich, das Anschlußkabel selbst so zu verlegen, daß es beim Öffnen: und Schließen des Mikroskops nicht mitbewegt werden muß.
  • Der Teil 43 ist um das Scharniergelenk 69 in der Richtung des Pfeiles 70 schwenkbar am feststehenden Teil 41 befestigt. Mit 71 ist eine zum Festklemmen des Teils 43 dienende Vorrichtung bezeichnet. In dem beweglichen Deckel ist bei dieser Ausführungsform der Endbildleuchtschirm drehbar gelagert. Mit 73 ist Fotomaterial, in vorliegendem Fall ein Rollfilm, bezeichnet, der für die Aufnahme verwendet wird. Die Triebe zum Abwickeln des Rollfilms und der Verstelltrieb für den Endbildleuc'htschirm 42 werden bei einer solchen Ausführungsform vorzugsweise so in den muldenförmigen Deckel 43 eingebaut, d@aß die äußeren Betätigungshandgriffe für das Weiterdrehen: des Films und für das Auf- und Zuklappen des Endbild@leuchtschirmes durch diesen Deckel 43 selbst hindurch nach außen geführt sind.
  • Eine andere Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 6 dargestellt. Hier handelt es sich wieder um ein Elektronenmikroskop, das liegend auf einem Tisch 81 befestigt ist. Das die Linsen enthaltende Mittelstück 82 ist mit einer Schelle 83 am Tisch festgemacht. 84 ist die zur Vakuumpumpe 85 führende Pumpenleitung. Mit 86 ist das Hochspannungskabel bezeichnet, welches vom Transformator 87 aus in den feststehenden Mittelteil 42 eingeführt ist, ähnlich wie dies im Fall der Fig. 5 durchgeführt ist. Mit 88 ist der Mikroskopteil bezeichnet, welcher das Strahlerzeugungssystem enthält. Dieser Teil ist in der Richtung des Pfeiles 89 um das waagerecht liegende Scharniergelenk 9o herum schwenkbar. Mit dem Teil 88 kann ein bewegliches Stück 9i der Tischplatte fest verbunden sein, so daß in der dargestellten Betriebslage die Tischöffnung, durch welche der Teil 88 hindurch-,geschwenkt wird, verdeckt ist. Beim Öffnen des Mikroskops durch Schwenken des Teils 88 nach unten kommen die Teile 88 und 9i in die strichpunktiert dargestellte Lage, wodurch das Strahlerzeugungssystem im Teil 88 und das Objektivsystem im feststehenden Teil 82 für Kontrollen. Auswechseln von Linsenteilen u. dgl. gut zugäng- j lieh werden. Mit 92 ist die im Teil 82 befindliche Schauöffnung bezeichnet, durch die das Endbild betrachtet werden kann. Der Abschlußdecke193, welcher um das Scharniergelenk 94 schwenkbar ist, enthält die Endbildkamera. Er kann in der Richtung des Pfeiles 95 geschwenkt werden. Auch hier ist mit dem Teil 93 ein Stück 96 fest verbunden, das in der Betriebslage einen glatten Abschluß für den Tisch 81 bildet.
  • Fig. 7 zeigt eine Ausführungsform, bei der auch wieder ein Mikroskop liegend auf einem Tisch angeordnet ist. Soweit die Einzelteile mit denen in Fig. 6 übereinstimmen, sind die gleichen Bezugszeichen verwendet. In diesem Fall sind waagerecht liegende Scharniergelenke 97 und 98 verwendet, mit denen die Teile 88 bzw. 93 nach oben hin geschwenkt werden können. Eine solche Ausführungsform ist dann besonders vorteilhaft, wenn es darauf ankommt, das Mikroskop auf einem in Richtung der optischen Achse verhältnismäßig kurzen Tisch zu montieren.
  • Fig. 8 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, für das es wesentlich ist, daß ein Kleinmikroskop auf einem Tisch 81 mit unter einem Winkel geneigter optischer Achse befestigt ist. Das Mittelstück 82 des Mikroskops ist hier wieder mit dem Tisch fest verbunden; während der den. Strahlerzeuger enthaltende Teil 88 in die Tischplatte heruntergeschwenkt werden kann, kann der die Endbildikamera aufnehmende Teil 93 zum Einsetzen und Entnehmen von Fotomaterial und auch zur Kontrolle der Projektivseite um das Scharniergelenk 94 nach unten geschwenkt weiden.
  • Fig. g zeigt schließlich eine Ausführungsform der Erfindung, bei der ein auf einem Tisch ioi mit liegender optischer Achse angeordnetes Elektronenmikroskop in @die drei Teile io2, io3 und 104 zerlegbar ist. Der mittlere Teil io2, welcher die beiden abbildenden Linsen enthält, ist mit dem Tisch fest verbunden. An ihn ist auch die Vakuumleitung io5 angeschlossen, welche zur Pumpe io6 führt. Der Teil io3 gleitet auf Schienen io7, die im Tisch ioi vorgesehen sind. In diesem Fall ist das Hochspannungskabel io8, welches dem Strahlerzeuaaer io3 unmittelbar zugeführt ist, beweglich angeordr net; es gleitet bei den Bewegungen des Teils 103 im Schlitz io9. Mit iio ist der unterhalb des Tisches befestigte Transformator bezeichnet. Der Abschlußdeckel io4, welcher die Endhildkamera enthält, kann um ein Scharniergelenk i i i geschwenkt werden, so daß dann auch in diesem Fall .die Projektivseite des Mikroskops von außen her gut zugänglich ist und gleichzeitig das Fotomaterial bequem eingesetzt und entnommen werden kann.

Claims (16)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einem Vakuumgefäß, das zum Auswechseln bzw. zur Kontrolle von Innenteilen in mindestens- zwei Teile zerlegbar ist, von denen ein Teil bei der Zerlegung mit einem Stativ fest verbunden bleibt und wobei Führungsmittel für die Relativbewegung der Teile vorgesehen sind; durch die die Relativlage der Teile beim Zerlegen und Zusammensetzen des Vakuumgefäßes in vorgeschriebenen Bahnen gelenkt wird, dadurch gekennzeichnet, daß sich eine Unterteilungsstelle für die Zerlegung zwischen dem Objektiv und dem Strahlerzeuger befindet, wodurch der Strahlerzeuger, der Objekttisch und das Objektiv zugänglich werden.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Objektiv und das Projektiv in einem für die erwähnten Zwecke nicht weiter zerlegbaren Gefäßteil befinden, und d@aß das Projektiv durch eine zweite Unterteilungsstelle des Vakuumgefäßes zugänglich gemacht ist, die sich zwischen .dem die Linsen enthaltenden Teil und dem die Endbildkamera enthaltenden Teil des Vakuumgefäßes befindet.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, d-aß als Führungsmittel zwischen den Einzelteilen des Vakuumgefäßes Scharniergelenke dienen.
  4. 4. Anordnung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Führungsmittel zwischen den Einzelteilen des Vakuumgefäßes mit dem Stativ fest verbundene Gleitschienen dienen.
  5. 5. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch, die Anwendung eines Mikroskops mit horizontal liegender optischer Achse, wobei die Achsen beider Scharniergelenke senkrecht zur Tischplatte stehen und sich ,die relativ zum Tisch beweglichen Mikroskopteile durch Rollen od. dgl. auf den Tisch stützen.
  6. 6. Anordnung nach Anspruch 2 oder 5, dadurch gekennzeichnet"daß die senkrecht stehen :den Scharniergelenke sich auf verschiedenen einander gegenüberliegenden Seiten der Mikroskopwand befinden.
  7. 7. Anordnung nach Anspruch 2 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Scharniergelenke auf derselben Seite d er Mikroskopwand befinden. B.
  8. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden mit einem waagerecht liegend angeordneten Mikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil der Mikroskopwand, der den Strahlerzeuger aufnimmt, auf dem vorzugsweise als Tisch ausgebildeten Stativ betriebsmäßig unbeweglich befestigt ist.
  9. 9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß an dem den Strahlerzeuger enthaltendenTeil :der Mikroskopwand das Hochspannungskabel und die zur Vakuumpumpe führende Leitung, und zwar vorzugsweise auf der dem Tisch zugekehrten Seite, angeschlossen sind. io.
  10. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Unterteilungsstelle zwischen Linsen und Endbilidkamera unmittelbar hinter der letzten Abbildungslinse befindet. i i.
  11. Anordnung nach Anspruch 4, ,dadurch gekennzeichnet, daß sich die Unterteilungsstelle zwischen Linsen und Endbildkamera unmittelbar vor der Endbildkamera befindet.
  12. 12. Anordnung nach Anspruch i i, dadurch gekennzeichnet, daß der die Linsen enthaltende mittlere Teil des Mikroskops, an den die Pumpenleitung angeschlossen ist, feststechend angeordnet ist, und daß der den Strahlerzeuger enthaltende Teil und der die Endbildkamera enthaltende Teil unter Verwendung von Führungsmitteln relativ dazu beweglich angeordnet ist.
  13. 13. Anordnung nach Anspruch 2 oder einem ,der folgenden, gekennzeichnet durch die Anwendung eines Mikroskops mit horizontal liegender optischer Achse, wobei die Achsen beider Scharniergelenke waagerecht liegen. 1q..
  14. Anordnung nach Anspruch z3, dadurch gekennzeichnet, daß sich die waagerecht liegenden Scharniergelenke auf der Unterseite -des Mikroskops befinden, und daß der den Strahlerzeuger enthaltende Teil und der die En:dbildkamera enthaltende Teil in die Ebene der Tischplatte heruntergeklappt werden kann. 15. Anordnung nach Anspruch r für ein senkrecht stehend angeordnetes Mikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Unterteilungsstelle zwischen :dem die abbildenden Linsen: enthaltenden Teil und dem den.
  15. Endbildleuchtschirm und die Aufnahmekamera enthaltenden Teil im Bereich unterhalb der Tischplatte befindet.
  16. 16. Anordnung nach Anspruch z oder einem der folgenden" .dadurch gekennzeichnet, daß das Hochspannungskabel vorzugsweise an der vor ,dem Objektiv liegenden Seite in den die Linsen enthaltenden feststehenden Teil eingeführt ist, und daß sich innerhalb des Vakuumraumes eine Unterbrechungsstelle für die Kathodenzuleitungen befindet, die beim Trennen des den Strahlerzeuger enthaltenden Teils von dem die Linsen enthaltenden Teil unterbrochen wird.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3601649A (en) * 1965-12-13 1971-08-24 Steigerwald Karl Heinz Electron beam generating system for high beam potentials

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3601649A (en) * 1965-12-13 1971-08-24 Steigerwald Karl Heinz Electron beam generating system for high beam potentials

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