DE851230C - Korpuskularstrahlapparat - Google Patents

Description

• Korpuskularstrahlapparat Beim Arbeiten mit Elektronenmikroskopen ist es ein im Interesse der Bequemlichkeit wichtiges Erfordernis, daß die im Innern der Vakuumröhre befindlichen elektronenoptisch wirksamen Teile leicht zugänglich sind. So ist es häufiger erforderlich, die Kathode oder den Leuchtschirm zu erneuern; auch wünscht man gelegentlich die Polschuhe oder Elektroden der Elektronenlinsen und die in ihrer Nähe angebrachten Aperturblenden zu säubern oder auszuwechseln. Weiterhin bedarf die Objektverschielveinrichtung von "Zeit zu Zeit einer Kontrolle. Schließlich ist in gewissen Abständen eine Reinigung des gesamten. -uni bilderzeugenden Strahl durchlaufenen Kanals erforderlich.
• Das primitivste Verfahren besteht darin, zur Vornahme der geschilderten Arbeiten die Mikroskopröhre in ihre Teile zu zerlegen; dieses Vorgehen ist aber umständlich und gefährdet jedesmal durch die notwendigen Handgriffe und das Demontieren und Montieren die sehr schweren und empfindlichen Einheiten, aus denen die Röhre besteht. Man hat daher besondere Vorrichtungen benutzt, um Teile der Röhre zwangsläufig voneinander zu trennen und auszuschwenken, so daß das Innere des Mikroskops zugänglich wird, ohne daß die Einheiten von 1-laiid abgehabt und beiseite gesetzt zu werden brauchen. Nach diesem Verfahren hat man Konstruktionen entwickelt, die zwar eine sehr befriedigende Lösung der skizzierten Aufgaben darstellen, aber doch zu einer relativ großen Aufwand erfordernden Bauweise der Mikroskopstative geführt haben. Eine andere Möglichkeit, die optisch wirk- Samen Teile zugänglich zu machen, besteht darin, in der Mikroskopröhre seitliche Fenster anzubringen, die man öffnen kann; durch diese hindurch löst man dann von Hand oder mittels Spezialwerkzeugen die betreffenden Teile aus ihrer Arbeitslage und führt sie danach ins Freie. Dieser Weg ist ebenfalls beschritten worden, führt aber zu einer konstruktiven Komplizierung der Mikroskopröhre und verbietet sich aus räumlichen Gründen außerdem dann, wenn man sehr geärungene kurze Bauweise anstrebt.
• Eine ebenso vollständige wie einfache Lösung des Problems erhält man, wenn man gemäß der Erfindung möglichst viele optisch wirksame Teile in einer Einheit konstruktiv vereinigt und so ausbildet, daß sie bequem zugänglich sind, wenn die Stirnflächen dieser Einheit frei liegen. Diese Einheit ordnet man dann so an, daß sie zur Vornahme der eingangs geschilderten Arbeiten nicht abgebaut zu werden braucht, daß aber die an ihre Stirnflächen anschließenden Röhrenteile leicht entfernt werden können. Außerdem wird man Sorge tragen, daß beide Stirnflächen nach Entfernung der anschließenden Teile leicht zugänglich. sind.
• In den Abb. i bis 3 ist eine Ausführung der Erfindung schematisch dargestellt. Abb. i zeigt ein Elektronenmikroskop in Vorderansicht, Abb.2 in Seitenansicht. Die Strahlrichtung verläuft h-i diesem Entwurf von unten nach oben. Mit 1 ist das eigentliche optische System bezeichnet, welches das Objektiv und das Projektiv sowie die zu ihrer Erregung dienenden Stromwindungen oder Permanentmagnete oder beide enthält; im unteren Ansatz dieses Systems ist außerdem der Objektverschiebetisch mit seinen Verstellgliedern und mit der Objekteinbringung enthalten. Der Strahlerzeuger mit seinen Justiergliedern ist im Endverschluß 2 des die Hochspannung zuführenden Kabels 3 enthalten und kann z. B. mittels Überwurfmutter oder Bajonettverschluß leicht von System i gelöst werden. Mit 4 ist das Teil bezeichnet, welches den Projektivtubus, die Einschaulöcher, den Leuchtschirm und die Plattenkamera enthält. Da dieses Teil nur mechanische, aber keine elektronenoptische Funktionen mehr zu erfüllen hat, kann es relativ leicht ausgebildet werden und ist gegen Beschädigungen unempfindlicher als das System i. Es läßt sich daher leicht von System i lösen und ohne Gefahr beiseite stellen. Mann kann auf der Tischplatte auch einen Blindflansch 5 vorsehen, auf dem man das Teil 4 nach Abbau mittels der gleichen Überwurfmutter befestigt, die es in Betriebslage mit dem System i verbindet. In dieser Situation ist dann von der oberen Stirnseite des Systems her das Projektiv, das gegebenenfalls die Vorrichtung zum Vergrößerungswechsel enthält, leicht zugänglich. Das System i ist so ausgebildet, daß man von der unteren Stirnseite aus nach Entfernen des Endverschlusses 2 den Objektverschiebetisch und durch diesen hindurch das Objektiv offen vor sich hat. Den Endverschluß 2 hängt man nach Lösen von System i in eine Gabel 6 ein. Damit die untere Stirnfläche des Systems i gut zugänglich ist, kann man diese Einheit auf einem Klapptisch 7 anordnen, wie Abb.3 zeigt. Es ist zweckmäßig, an diesem Klapptisch dann auch die Vakuumpumpe 8 zu befestigen, damit die Verbindung zwischen beiden Teilen nicht jedesmal gelöst zu werden braucht. Die Drehachse 9 des Klapptisches wird man so wählen, daß das zu klappende Gesamtsystem in beiden Endlagen stabil verharrt, indem man dafür sorgt, daß der Schwerpunkt einmal diesseits, das andere Mal jenseits der Unterstützungslinie liegt.

Claims (5)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Korpuskularstrahlapparat, z. B. Elektronenmikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergrößerungslinsen und der Objektderschiebetisch zu einer mechanischen und optischen Einheit, die von ihren beiden Stirnseiten aus den Objektverschiebetisch und das Objektiv bzw. das Projektiv zu montieren, zu demontieren, zu reinigen und auszuwechseln gestattet, verbunden sind.
2. 2. Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einheit derart klappbar angeordnet ist, daß beide Stirnseiten nach Entfernen der Anschlußstücke für Manipulationen zugänglich sind.
3. 3. Elektronenmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einheit mit dem Hochvakuumsystem fest verbunden und mit diesem gemeinsam klappbar ist.
4. 4. Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß Abstellvorrichtungen für die abzubauenden Röhrenteile, z. B. einerseits eine Gabel für Kabelendverschluß mit Strahlerzeuger und andererseits Blindflansch für Projektivtubus mit =Kamera, vorhanden sind.
5. 5. Elektronenmikroskop nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse unterhalb und zwischen den beiden Punkten, an denen sich der Schwerpunkt des klappbaren Systems in dessen beiden Endlagen befindet, angeordnet ist, so daß das klappbare System in beiden Endlagen stabil verharrt.