DE892491C - Zerlegbares mehrstufiges, aus mehreren Teilen bestehendes UEbermikroskop - Google Patents

Zerlegbares mehrstufiges, aus mehreren Teilen bestehendes UEbermikroskop

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Publication number
DE892491C
DE892491C DEA8081D DEA0008081D DE892491C DE 892491 C DE892491 C DE 892491C DE A8081 D DEA8081 D DE A8081D DE A0008081 D DEA0008081 D DE A0008081D DE 892491 C DE892491 C DE 892491C
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DE
Germany
Prior art keywords
lenses
stage
lens
electrodes
dismountable
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Expired
Application number
DEA8081D
Other languages
English (en)
Inventor
Ernst Dr-Ing Brueche
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AEG AG
Original Assignee
AEG AG
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Publication date
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/16Vessels; Containers

Description

  • Bei Übermikroskopen ist es erwünscht, die Linsen bzw. die Linsenelektroden leicht auswechsetn zu können. Es sind auch bereits Anordnungen bekannt, bei denen eine Auswechselung der Linsen und der anderen Einzelteile des Übermikroskops möglich ist. Zu diesem Zweck ist bei den bekannten Übermikroskopen das Gefäß in mehrere Teile aufgeteilt, die durch Flansche miteinander verbunden sind. Es ist zwar möglich, auf diese Weise die Linsen auszuwechseln, jedoch ist die Auswechselung sehr umständlich, zumal in vielen Fällen nicht nur eine einzige, sondern sämtliche . Linsen zur Reinigung zugänglich sein müssen,. Ferner ist es bei Braunschen Röhren bekannt, die Elektroden mit Hilfe von Schellen zu halten. Eine Auswechselmöglichkeit der Elektroden ist dort nicht vorgesehen, denn, die Elektroden sind unter Zwischenschaltung von Paßstücken ,gehaltert.
  • Die Erfindung betrifft ein zerlegbares mehrstufiges, aus mehreren Teilen bestehendes Übermikroskop, bei dem die Auswechselung sämtlicher Linsen oder auch einzelner Linsenelektroden in äußerst einfacher Weise möglich ist. Nach der Erfindung besteht das Gefäß aus einem oberen, das Strahlerzeugungssystem und die Objektschleuse enthaltenden Teil, einem mittleren, die Linsen umgebenden Teil und einem unteren, die Photoschleuse enthaltenden Teil, und' die Linsengehäuse bzw. die Linsenelektroden sind mit Hilfe von Schellen -an parallelen, in Achsrichtung des Entladungsgefäßes angeordneten Stützstäben befestigt. Es ist also wesentlich, daß die Linsen von einem gemeinsamen. Wandungsteil umgeben sind, welcher von den übrigen Wandungsteilen leicht zu entfernen, ist. Außerdem wird die leichte Auswechselung dadurch ermöglicht, daß die Linsengehäuse bzw. die Linsenelektroden mittels Schellen an- Isolierstäben, bebefestigt sind, wie es beispielsweise von den Elektroden bei den Braunsehen Röhren her bekannt ist. Die Anordnung nach der Erfindung zeichnet sich einerseits durch einfache Zerlegbarkeit aus. Ferner ist aber gleichzeitig die nötige hohe mechanische Festigkeit des Aufbaues gewährleistet.
  • In der Abbildung ist in zum Teil schematischer Weise ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung dargestellt. Das Übermikroskop besteht aus dem oberen Teil i, 2, welches das Strahlerzeugungssystem und die Objektschleuse enthält, einem unteren, die Plattenschleuse enthaltenden Teil 4 und einem mittleren Teil 3, welcher beispielsweise aus einem Metallzylinder gebildet ist. Der mittlere Teil umgibt das Abbildungssystem, welches im vorliegenden Fall aus zwei elektrostatischen Hochspannungslinsen. besteht, die an- den isolierenden Stützstäben 9 und io mittels Schellen gehaltert sind. Die Objektivlinse besteht aus den Elektroden. 14, 15, 16 und ist von einem Gehäuse i i, 12, 13 aus magnetischem Abschirmstoff umgeben. Die Hochspannungselektrode 15 ist an einem Isolierkörper 17, welcher vorzugsweise aus Hartgummi besteht, gehaltert. Zur Zuführung der an die Mittelelektrode gelegten Hochspannung dient die innerhalb des rohrförmigen Ansatzes 23 angeordnete Hochspannungsleitung 24. Die Mittelelektrode ist mit dieser Leitung über das Zwischenstück 18 leitend verbunden. Das Linsengehäuse ist an den isolierenden Stützstäben 9, so mit Hilfe von Schellen i9, 2o, 2,1 und 22 befestigt. Zweckmäßig sind vier isolierende Stückstäbe vorgesehen, um eine gute, mechanisch einwandfreie Halterung zu gewährleisten. Die Projektionslinse ist in entsprechender Weise wie die Objektivlinse aufgebaut. Es sind lediglich der Übersicht halber die Bezeichnungen für die Einzelteile fortgelassen. Die Mittelelektrode der Projektionslinse steht über die Zuleitungen 26 und 25 mit der Hochspannungszuführung 24 in Verbindung.
  • Das Übermikroskop nach der Erfindung kann in einfacher Weise zerlegt werden, indem beispielsweise die Flansche 5, 6 -des oberen und des mittleren Teils voneinander gelöst werden oder indem der Flansch 7 von der Abschlußplatte 8 des unteren Teils 4 gelöst wird. Nachdem die Zuleitung 24 aus dem Entladungsgefäß herausgezogen ist, kann dann der mittlere Teil 3 der Wandung von dem Linsensystem entfernt werden, so daß die Linsen zugänglich sind.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Zerlegbares mehrstufiges, aus mehreren Teilen bestehendes Übermikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß das Gefäß aus einem oberen, das Strahlerzeugungssystem und die Objektschleuse enthaltenden Teil, einem mittleren, die Linsen umgebenden Teil und einem unteren, die Photoschleuse enthaltenden Teil besteht und daß die Linsengehäuse bzw. die Linsen mit Hilfe von Schellen an parallelen, in Achsrichtung des 'Entladungsgefäßes angeordneten Stützstäben befestigt sind.
DEA8081D 1941-03-18 1941-03-18 Zerlegbares mehrstufiges, aus mehreren Teilen bestehendes UEbermikroskop Expired DE892491C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1253836B (de) * 1962-03-08 1967-11-09 Hilger & Watts Ltd Elektronenstrahleinrichtung

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1253836B (de) * 1962-03-08 1967-11-09 Hilger & Watts Ltd Elektronenstrahleinrichtung

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