DE876568C - Elektrostatische Elektronenlinse - Google Patents

Description

• Bei elektrostatischen Elektronenlinseil ist es bekanntlich aus verschiedenen Gründen wichtig, daß die im Hochspannungsfeld liegenden Blenden mindestens in der Nähe der optischen Achse eine genaue rotationssymmetrische Form und eine möglichst gut polierte Oberfläche besitzen. Bisher hatte man sich damit begnügt, die meist beliebig gewählten Begrenzungsflächen der Blenden auf einer Dreh- oder Schleifbank herzustellen und sie sodann in üblicher Weise auf Hochglanz zu polieren. Das ist je nach den gewählten Profilen nicht immer befriedigend und liefert oft nicht die erforderliche Homogenität der Oberfläche. Nach der Erfindung kann man eine genauere rotationssymmetrische Form und eine wesentlich bessere Oberflächengüte erreichen, wenn man diese Blenden wenigstens im achsennahen Bereich durch sphärische, im Grenzfall ebene Flächen begrenzt, so daß man diese Flächen nach den bei optischen Teilen angewandten Methoden feinstbearbei * ten und polieren kann. Die bessere Formhaltigkeit und Oberflächengüte bei optisch bearbeiteten Teilen, die ja überwiegend sphärische oder ebene Begrenzungsflächen aufweisen, entsteht dadurch, daß man bei solchen Flächen mit Schleif-und Polierschalen arbeitet, die meist über die ganze zu bearbeitende Fläche hinweggreifen und damit schon beim Schleifen höhere Formgenauigkeit und außerdem beim anschließenden Polieren eine höhere Oberflächengüte erzeugen. Außerdem gestatten die so hergestellten Flächen, die einzelnen Teile mit optischen Mitteln zur gemeinsamen optischen Achse zu justieren, was eine höhere Genauigkeit verbürgt als mechanische Justierung nur nach den Außenmaßen.
• Die Erfindung ist in der Zeichnung durch ein Ausführungsbeispiel veranschaulicht, und zwar stellt die Zeichnung einen Querschnitt entlang der optischen Achse der Elektronenlinse dar.
• In einem zylindrischen Gehäuse a befinden sich, durch -ebene Abschlußplatten b und c gehalten, zwei Blenden b. bzw. ci sowie eine zwischen diesen beiden angeordnete Mittelblende d, die mit Hilfe eines Stabes d. an die Hochspannung angeschlossen ist. Die Mittelblende J ist gehalten von einem Isolierkörper e, der sich an drei Stellen des Umfangs gegen das Gehäuse a und die Tragplatte c stützt und so gestaltet ist, daß genügend lange Kriechwege zwischen Blende und Fassung vorhanden sind. Die Begrenzungsflächen der drei Blenden b" ci und d sind sämtlich sphärische Flächen, so daß sie nach den für optischeTeile üblichen Methoden bearbeitet werden können. Dadurch ist eine erhebliche Steigerung der Formgenauigkeit und der Oberflächengüte erreicht.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Elektrostatische Elektronenlinse, dadurch geekennzeichnet, daß diejenigen Seiten der die Linse bildenden Blenden, zwischen denen sich ein elektrisches Feld befindet, wenigstens im achsennahen Bereich durch sphärische Flächen begrenzt sind.