DE734090C - UEbermikroskop mit Vorkonzentrationssystem, insbesondere mit elektrostatischen Linsen - Google Patents

UEbermikroskop mit Vorkonzentrationssystem, insbesondere mit elektrostatischen Linsen

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DE734090C
DE734090C DEL104411D DEL0104411D DE734090C DE 734090 C DE734090 C DE 734090C DE L104411 D DEL104411 D DE L104411D DE L0104411 D DEL0104411 D DE L0104411D DE 734090 C DE734090 C DE 734090C
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DE
Germany
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anode
microscope
cathode
concentration system
openings
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Expired
Application number
DEL104411D
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English (en)
Inventor
Dr-Ing Ernst Brueche
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AEG AG
Original Assignee
AEG AG
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/15External mechanical adjustment of electron or ion optical components
    • HELECTRICITY
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    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

  • Übermikroskop mit Vorkonzentrationssystem, insbesondere mit elektrostatischen Linsen In der .Übermikroskopie besteht das Bestreben, zu möglichst hoben Auflösungen zu gelangen. Die Auflösung kann bcisl)ielsweiszdurch Erhöhung der Linsenspannungen gesteigert werden, jedoch ist der Steigerung der Spannungen einerseits eine Grenze dadurch gesetzt, daß es Schwierigkeiten bereitet. derartige Spannungen zu beherrschen, und andererseits dadurch. daß die Spannungserzeugungsanlagen zu kompliziert werden.
  • Zutn gleichen Zweck sind aber auch schon in Vbermikroskopen Vorkonzentrationssystetne angeordnet Die Erfindung betrifft ttun eine äußerst vorteilhafte Aitsführungsform eines solchen @hertnilzroskol)s mit Vorkonzentrationssvstetn. T?rhndun: gemäß besteht (las V orkonzentrattonssvsteln aus der Tathode, der mit Öffnungen versehenen Anode und einer aus einzelnen Segmenten, die mit Hilfe von durch die Öffnungen der Anode liinclurcligcführteti Streben mit der Tathode verbunden sind, gebildeten, in Strahlrichtung hinter der Anode angeordneten ringförmigen Elcktrode, und die einzelnen Segmente der mit der Kathode verbundenen Elektrode sind der Form der Üffnungen der Anode angepaßt. Das Vorkonzentrationssvstem der vorliegenden Art zeichnet sich dadurch aus, (laß keine besonderen Zuleitungen außer den für das t@berniikroskol) stets notwendigen "Luleitunren erforderlich sind. Diese Ausbildung hat wciter den Vorteil, claß die Kathode mit der damit verbundenen ringförmigen Elektrode leicht von der Anode getrennt werden kann. Als besonders zweckmäßig hat es sich ferner :rwicsen, die Anode mit Hilfe eines elastischen I#ecierungskorl@ers, beispielsweise eines `I'ombakrohres, an (ler Gefäßwand des l'bermikroskops bzw. über Zwischenglieder an dieser zu befestigen. (la hierdurch die Auswechslung der Tathode mit der ringförmigen hlektrocle erleiclitcri und gleichzeitig eine Kute G entrieruttg (1.r Elektroden zueinander ermöglicht wird. In der Zeichnung ist in zum Teil schematischer Weise ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung dargestellt. Das Vorkonzentrationssystem besteht aus der Kathode i, welche an der Scheibe 2 gehaltert ist, der Anode 9 und der aus den drei Segmenten 6, 7 und 8 bestehenden ringförmigen Elektrode. Die-Segmente 6, 7 und 8 sind unter Zwischenfügung der Streben 3, 4 und 5 an der Katho-. denscheibe 2 gehaltert, so daß also die drei Segmente 6, 7 und 8 auf Kathodenpotential liegen. Die Streben 3, 4 und 5 sind isoliert durch die. Öffnungen 1o,. i i und 12 der Anode 9 hindurchgeführt. Um eine leichte Auswechslung der Kathode mit der ringförmigen Elektrode zu ermöglichen, ist die Form der Segmente 6, 7 und 8 der Form der öffnungen io, 11, 12 der Anode angepaßt. Der die Öffnung 13 für den Strahldurchtritt enthaltende Anodenteil 21 ist zweckmäßig nur über schmale Brücken 18, i9 und 2o mit dein äußeren Ring- verbunden, um zu erreichen, daß auch die Segmente 6, 7 und 8 nur durch schmale Schlitze voneinander getrennt sind, so daß die Segmente zusammen als Ring wirken. Die Anode 9 ist mit Hilfe eines elastischen Federungskörpers 14 an der Scheibe 15, welche einen Teil der `'Wandung des Cbermikroskops bildet, befestigt. Mit Hilfe von Stellschrauben kann dann die Anode in geeigneter Weise zur Kathode justiert werden. Zu diesem Zweck sind zweckmäßig drei Stellschrauben vorgesehen, von denen lediglich die beiden Stellschrauben 16 und 17 in der Zeichnung enthalten sind, während die dritte Stellschraube der Übersicht halber fortgelassen wurde.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Übermikroskop mit Vorkonzentrationssystem, insbesondere mit elektrostatischen Linsen, dadurch gekennzeichnet, daß das Vorkonzentrationssystem aus der Kathode, der mit Öffnungen versehenen Anode und einer aus einzelnen Segmenten, die mit Hilfe von durch die Öffnungen der Anode hindurchgeführten Streben mit der Kathode verbunden sind, gebildeten, in Strahlrichtung hinter der Anode angeordneten ringförmigen Elektrode besteht, und daß - die einzelnen Segmente der mit der Kathode verbundenen Elektrode der Form der Öffnungen der Anode angepaßt sind.
  2. 2. Übermikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode mit Hilfe eines elastischen Federungskörpers an der 'Gefäßwand des Übermikroskops bzw. über Zwischenglieder an dieser befestigt ist.
DEL104411D 1941-05-27 1941-05-27 UEbermikroskop mit Vorkonzentrationssystem, insbesondere mit elektrostatischen Linsen Expired DE734090C (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE891118C (de) * 1949-09-24 1953-09-24 Zeiss Opton Optische Werke Obe Federnd gelagerter, justierbarer Blenden- oder Objekttraeger, vorzugsweise fuer Elektronenstrahlroehren
DE903018C (de) * 1948-10-01 1954-02-01 Siemens Ag Objekttisch fuer Korpuskularstrahlapparate
DE1111409B (de) * 1954-12-27 1961-07-20 Manning Maxwell & Moore Inc Aus einem Geraetekopf mit einem ueber einem Zifferblatt spielenden Zeiger und einem mit dem Geraetekopf elastisch nachgiebig verbundenen Geraeteschaft bestehendes Messgeraet

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DE891118C (de) * 1949-09-24 1953-09-24 Zeiss Opton Optische Werke Obe Federnd gelagerter, justierbarer Blenden- oder Objekttraeger, vorzugsweise fuer Elektronenstrahlroehren
DE1111409B (de) * 1954-12-27 1961-07-20 Manning Maxwell & Moore Inc Aus einem Geraetekopf mit einem ueber einem Zifferblatt spielenden Zeiger und einem mit dem Geraetekopf elastisch nachgiebig verbundenen Geraeteschaft bestehendes Messgeraet

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