DE731978C

DE731978C - Elektrisches Hochspannungsentladungsgefaess zur elektronenoptischen Abbildung mittels wenigstens teilweise elektrostatisch wirkender Linsen, insbesondere Elektronenmikroskop hoher Vergroesserung (UEbermikroskop)

Info

Publication number: DE731978C
Application number: DEA94079D
Authority: DE
Inventors: Dr Phil Hans Boersch; Dr-Ing Hans Mahl
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1939-02-23
Filing date: 1939-02-23
Publication date: 1943-06-28

Description

Elektrisches Hochspannungsentladungsgefäß zur elektronenoptischen Abbildung mittels wenigstens teilweise elektrostatisch wirkender Linsen, insbesondere Elektronenmikroskop hoher-Vergrößerung (übermikroskop) Es ist bereits vorgeschlagen worden, elektrische Hochspannungsentladungsgefäße zur elektronenoptischen Abbildung, insbesondere Übermikroskope, mit elektrischen Linsen auszurüsten. Die elektrischen Linsen bestehen im allgemeinen aus einer Mittelelektrode, die von zwei Außenelektroden umgeben ist, wobei sämtliche Elektroden aus parallel zueinander angeordneten Blenden bestehen.
Die Erfindung betrifft ein elektrisches Hochspannungsentladungsgefäß zur elektronenoptischen Abbildung mittels wenigstens teilweise elektrostatisch wirkender Linsen, die sich durch hohe Spannungsfestigkeit auszeichnen. Erfindungsgemäß sind die Außenelektroden der elektrischen Linsen in der Nähe des Blendenloches der Mittelelektrode genähert. Diese Ausbildung der Linsen bringt den Vorteil mit sich, daß nur die für die Feldausbildung unbedingt wichtigen Elektro denteile auf einen näheren Abstand an die Mittelelektrode heranreichen, während die übrigen Teile der Elektrodenflächen einen bedeutend größeren Abstand von der Mittelelektrode aufweisen, so daß die Gefahr eines Überschlages vermieden wird.
In der Abb. i ist ein Teil eines Übermikroskops mit den erfindungsgenäß ausgebildeten elektrostatisch wirkenden Linsen dargestellt, welche im einzelnen an Hand der Abb. 2 erläutert sind. Das Elektronenmikroskop, das nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist, besteht aus einen metallischen Rohr i, in dessen Innern sich ein zweites Rohr 2 befindet. Das Wandrohr i ist an seinem unteren Ende mit Hilfe eines Leuchtschirms 4 oder einer photographischen Platte o. dgl. abgeschlossen. Das Rohr 2 enthält in seinem Innern zwei zu je einer Einheit verbundene elektrische Einzellinsen 6 und 7. Jede dieser Linsen besteht, wie dies noch später erläutert werden soll, aus drei Elektroden 8, g und i o, denen eine Blende ii vorgelagert ist und die gegeneinander durch Isolierstücke 12 abgestützt sind. Zusammen mit einem Ansatz 13 bilden alle diese Elemente eine Einheit, die in das Rohr 2 hineinpaßt. Im Innern eines Rollres 18 verläuft isoliert von ihm die Zuleitung 2o für die Mittelelektroden 9 der beiden Einzellinsen 6 und -,. Diese Zuleitung verläuft weiter innerhalb des Rohres 2, wie durch 2i angedeutet, isoliert und zweckmäßig noch mit einem metallischen Schutz umgeben von der Zuführung 2o zu den beiden Elektroden. Die übrigen Elektroden S und io der beiden Einzellinsen sowie die Blende i i stehen mit dem Rohr :2 in leitender Verbindung. Die Zuführung für das Rohr kann in gleicher Weise im Innern des Zylinders 18 verlaufen, wie dies bereits durch 2o angedeutet ist. Eine mechanische Abstützung erfährt das Rohr i8 durch einen isolierenden Ansatz 22. .
Die Einzelheiten der Bauart der Einzellinsen 6 und 7 gemäß der Erfindung in Abb. i sind aus Abb. 2 ersichtlich, in der eine Einzellinse einmal zusammengesetzt und dann in ihren Einzelteilen dargestellt ist. Man erkennt die Elektroden 8, 9, io. Die Elektrode 9 liegt zwischen dem zweiteiligen Isolierstück 12. Die eigentliche Blende ist mit 34 bezeichnet. Sie liegt zwischen der Elektrode io und der nur als Halterung dienenden Blende i i. Die ganze Anordnung wird zusammengehalten durch zwei Schrauben 35, die alle Stücke durchsetzen. Das in Abb. i besonders gezeichnete Ailsatzstück 13 ist bei dieser Ausführungsform mit der Elektrode 8 zu einer Einheit verbunden. Der Außendurchmesser dieses Führungsstückes ist etwas größer als der der übrigen Bauelemente io, i i und 12, so daß beim Hineinschieben der Linse in das Rohr 2 ein Verkanten der Linse vermieden wird. Für die Bauart der Einzellinse hat es sich als zweckmäßig erwiesen, die Dicke der Elektroden und die Abstände der Elektroden voneinander gleich groß, z. B. etwa i mm, zu wählen. Die Mittelelektrode 9 ist zweckmäßig von etwas geringerer Dicke.
Wie bereits eingangs erwähnt, ist die Erfindung nicht auf Elektronenmikroskope beschränkt, sondern kann allgemein für Entladungsgefäße mit elektronenoptischer Abbildung unter Zuhilfenahme voll wenigstens teilweise elektrostatisch wirkenden Linsen, insbesondere solche Entladungsgefäße, die mit Hochspannung zu betreiben sind, Verwendung finden.
Im übrigen geben, wenn auch bei den Zeichnungen Maßstäbe nicht genau eingellalteil wurden, die Zeichnungen doch die Größenordnung der relativen Elitfernurigeri und Dimensionen richtig wieder.

Claims

PATENTANSPRUCH: Elektrisches Hochspannungcentladlingsgefäß zur elektronenoptischen Abbildung, mittels wenigstens teilweise elektrostatisch wirkender Linsen, dadurch gel:erin7eiclrnet, daP. die Außenelektroden der elektrischen Linsen in der Nähe des Blendenloches der Mitteleleltrorle genähert sind.