DE909608C

DE909608C - UEbermikroskop

Info

Publication number: DE909608C
Application number: DEA6779D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Hans Mahl
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1943-04-03
Filing date: 1943-04-03
Publication date: 1954-04-22

Description

Bei Überiiiikros:kopen können sich verschiedene Bildfehler bemerkbar machen, welche im wesentliehen durch die Linsen bedingt sind. So läßt es sieh bei der laufenden Herstellung von Elektronenlinsen, und zwar sowohl von magnetischen als auch elektrischen, nicht vermeilden, daß die Polschuhe bzw. Elektroden mit exakt zueinander zentrierten kreisrunden Bohrungen versehen sind. Die Fehler bei der Herstellung der Elektronenlinsen bedingen den unerwünschten Astigmatismus.
Eingehende Untersuchungen ergaben, da@ß sich der Astigmatismus herabsetzen läßt, wenn das Übermikroskop nach der Erfindung ausgebildet wird. Nach der Erfindung ist wenigstens die Objektivlinse mit einer zweckmäßig von außen um ihre Achse drehbaren Zylinderlinse zur Vermeiidu.ng des Astigmatismus kombiniert. Es zeigte sieh nämlich, daß es besonders wesentlich ist, -den Astigmatismus der Objektivlinse zu kompensieren, dahinter .die Objektivlinse noch eine weitere Vergrößerungsstufe geschaltet ist, so daß damit auch die Fehler erhöht werden. Im übrigen kommt der Gegenstand der Erfindung nicht nur für elektrische, sondern auch für magnetische Elektronenlinsen in Betracht.
Der Gegenstand der Erfindung ist im folgenden an einer in der Abbildung dargestellten, als Einzellinse ausgebildeten elektrostatischen Objektiv1ainse erläutert. Das Linsengehäuse i ist mit den beiden Außenelektroden 2 und 3 verbunden. Innerhalb des Linsengehäuses befinidet sich die Mittelelektrode -d.. %velche auf einem beispielsweise aus Keramik bestehenden Isolierkörper gelagert und mit einer Hochspannunguziuleitung besonders verbunden ist. Eine solche Einzellinse findet im allgemeinen bei den elektrostatischen Übermikroskopen Anwendung. In Strahlrichtung hinter diese Einzellinse ist eine Zylindere:i.nzellinse geschaltet. Diese Zylnnderlinse besteht aus einem Gehäuse i i, das miit den Außenelektroden 7 und 8 in Verbindung steht. Innenhalb des Linsengehäuses isst üie mit oiner Zuleitung 12 versehene Mittelelektrode g unter Zwischenfügung des Isolierkörpers io ;gegen die Außenelektroden abgestützt. Ebenso wie die Außenelektroden der Objektivlinise liegen auch die damit verbundenen Außenelektroden der Korrektionslinse auf Erdpotential. Die Elektroden der Zyliinderlinse haben beispiel-swei@se die in der Fig. 2 gezeigte Form. Die Elektrode 7 ist mit eiinem länglichen Schlitz 15 versehen.. Es hat sich nun als besonders zweckmäßig erwiesen, die Zylindereinzellinse um die Achse drehbar anzuordnen, wobei die Einstellung von außen her vorgenommen werden kann. Zu diesem Zweck ist die Zylinderlinse an der zu korrigierenden Linse befestigt, unter Zwischenfügung von Kugellagern 13. Zur Drehung der Zyl.iinderl,inse ist eine mit einem Ritzel versehene Stange 1q. vorgesehen, welche von außen betätigt werden kann. Gegebenenfalls kann an Stelle eines Ritzeils auch eine Kegelradübertrag ung zur Anwendung kommen. Während bei der Ob jektivli.nse die M @ittelelLektrode ,4 an Hochspannung liegt, genügt es, bei der Korrektionstinse die Mittelelektrode 9 an eine weitaus geringere Spannung, beispielsweise ± ioo btis ± 500V zu legen. Zweckmäßig ist die Spannung der Zylinderlinse einstellbar.
Bei dem Arbeiten mit der beschriebenen Anordnung wird so vorgegangen, daß :das Bild auf einem Leuchtschirm beobachtet wird. Es wird nun die Zylindereinzellinse so: weit um die Achse gedreht, bis die günstigste. Stellung, d. h. der geringste Astigmatismus, erzielt ist. Gegebenenfalls kann dann auch noch die Spannung der Zylinderlinse geändert werden.
Wenn es seich bei der dargestellten Anordnung um eine a1,9 Objektivlinse dienende Einzellinse handelt, der eine Korrektion:sLinse zugeordnet ist, so ist der Gegenstand der Erfinidung ebenfalls bei Immersionsl-insen anwendbar. Ferner kann der Gegenstand der Erfindung nicht nur beider Ob jektivlinse, sondern gegebenenfalls auch ,noch bei der Projektionstinse benutzt werden.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Übermikroskop, dadurch gekennzeichnet, diaß wenigstens die O.bjektivlinse mit einer zweckmäßig von außen um .ihre Achse drehbaren Zylinderlinse zur Vermeiidung des Ast:igma,ti:smus kombiniert ist.
2. Übermnikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Zylinderlinse durch eine Einzellinse gebildet ist, deren Mittelelektrode an einem positiven oder negativen Potential Liegt, welches nur einen Bruchteil der normalen Beschleunigungsspannung beträgt, während die Außenelektroden geerdet send.